JP5384437B2 - 塗布方法 - Google Patents
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Description
実験には12インチウエハWを用いた。レジスト液として前述したArF液浸露光用レジストA(表面張力:28.8[mN/m])を、レジスト溶解性溶剤として前述したOK73(表面張力:27.7[mN/m])を、そして高表面張力液体としてDIW(表面張力:約72[mN/m])を用いた。プリウエット液およびレジスト液の供給は、図7を参照して説明した実施の形態と同じ手順で行った。なお、レジスト塗布工程S3における第2の速度V2は2000rpmとした。プリウエット液として、DIW含有率(DIW量/(OK73量+DIW量)(体積比))が、0%、10%、15%、20%、25%、30%、50%、100%となるように調整したものを用意した。プリウエット液の供給量は2.5mlとした。各DIW含有率毎に、レジスト液の吐出量を0.3mlから段階的に増大させてゆき、ウエハを被覆できるレジスト液の吐出量の最小値を調べた。
プリウエット液の表面張力調整の有無によるレジスト液の被覆性の差異を確認する試験を行った。プリウエット液としてOK73にDIWを混合してDIW含有率(DIW量/(OK73量+DIW量)(体積比))が0%(比較例)、20%(実施例)となるように調整したものを用意した。レジスト液塗布工程S3において、第2の速度V2は、2000rpm、3000rpm、4000rpmとした。他の条件は、実験例1と同じである。レジスト液の吐出量を0.3mlから段階的に増大させてゆき、各第2の速度V2に対してフィンガリングの発生を防止できるレジスト液の吐出量の最小値を調べた。
レジスト溶解性溶剤と高表面張力液体との他の組合せについても検討した。
レジスト溶解性溶剤としてOK73およびCHN(表面張力:33.5mN/m)の二種類を用い、高表面張力液体としてGBL(表面張力:約45mN/m)を用いた。なお、CHNもレジストの溶剤として比較的よく用いられる物質であり、それ自体プリウエット液として使用することができる物質である。
上記のプリウエット液の表面張力調整技術によれば、以下の有利な効果が得られる。
(1)プリウエット液の表面張力をレジスト液の表面張力より高く調整することにより、フィンガリングの発生を効果的に抑制することができ、少ない量のレジスト液でも均一なレジスト膜を作成することができる。
(2)1種類のレジスト溶解性溶剤と1種類の高表面張力液体とを別個に用意し、プリウエット液を供給する際にレジスト溶解性溶剤と高表面張力液体とを適当な混合比で混合することにより、様々なレジスト液に対応するプリウエット液を容易にその場で作成することができる。これにより、予め様々な表面張力を有するプリウエット液を準備しておく必要がなくなり、ひいては塗布装置に多数の処理液貯留部を設ける必要がなくなる。
(3)上記(2)に示した利点は、一つの塗布装置が多種類(例えば3種以上)のレジスト液を塗布するように構成されている場合により顕著となる。なお、前述した実施形態において、第1のレジスト液および第2のレジスト液をそれぞれ吐出する第1および第2のレジストノズルに加えて、更に他の1または複数のレジストノズル例えば第3のレジスト液を吐出する第3のレジストノズルを設けても良いことはもちろんである。
(4)高表面張力にDIWを使用すれば、廉価に表面張力調整を行うことができる。また、DIWは塗布現像システムの様々なユニットで使用されるため、高表面張力液体の供給専用のDIW供給源を設ける必要はない。
(5)装置のユーザーの負担を軽減することができる。例えばプリウエット液としてOK73を原則として使用しているユーザーにとって、それを例えばCHN等の他のプリウエット液に変更するとなると、液の切り換えのための工数、液の切り換えに伴い必要となる品質確認試験の工数が必要となる。これに対して、高表面張力液体添加により表面張力を調整することにすれば、基礎となるプリウエット液を変更する必要が無い点、および上記品質確認試験が容易に行えるという点において、ユーザーの負担はかなり小さくなる。
(6)上記実施形態の塗布装置のように、高表面張力液体を含まないレジスト溶解性溶剤をプリウエット液として吐出するノズルと、レジスト溶解性溶剤と高表面張力液体との混合液体を吐出するためのノズルを別々にすることにより、高表面張力液体を含まない純度の高いレジストの溶剤をウエハに供給することができる。
30 レジスト塗布装置(塗布装置)
130 スピンチャック
143A,143B 第1および第2のレジストノズル(塗布液ノズル)
152A,152B 第1および第2のプリウエットノズル
154A 高表面張力流体の供給源
154B 溶剤の供給源
156 プリウエット液供給制御部
155A,155B 第1および第2のライン
157 接続ライン
158,159,160 流量調整弁
Claims (3)
- 第1の基板の中心にプリウエット液を供給するとともに前記第1の基板を回転させて前記プリウエット液を基板の表面全体に拡散させるプリウエット工程と、
前記プリウエット液が供給された前記第1の基板に塗布液を供給し、これを乾燥させることにより第1の基板の表面に塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、を備え、
前記塗布膜形成工程は、
前記第1の基板を回転させた状態で、前記第1の基板の中心部に塗布液を供給する第1段階と、
その後、前記第1の基板の回転速度を減少させ、引き続き前記第1の基板を回転させる第2段階と、
その後、前記第1の基板の回転速度を増加させ、前記第1の基板上の塗布液を乾燥させる第3段階と、を有し、
前記第1段階において、前記塗布液を前記第1の基板上に供給する直前においては、第1の一定の回転速度で前記第1の基板を回転させて、前記塗布液の供給を開始した後に前記基板の回転速度が連続的に次第に増加するようにし、前記塗布液の吐出の終了前に、前記第1の基板の回転の加速度を次第に減少させて、基板の回転を前記第1の速度より速い第2の速度に収束させるようにし、
前記プリウエット工程において、塗布膜成分を溶解しうる溶剤と、前記溶剤よりも表面張力が高い高表面張力液体とを混合することにより得た前記塗布液よりも表面張力が高い混合液体を前記プリウエット液として用い、
前記溶剤がPGME(プロピレングリコールモノメチルエーテル)とPGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)との混合物であり、前記高表面張力液体が純水であり、前記溶剤及び前記高表面張力液体を混合してなる前記混合液体中に前記高表面張力が体積比で10〜25%含まれていることを特徴とする塗布方法。 - 前記溶剤と前記高表面張力液体とを別個に用意し、前記プリウエット液を供給する際に前記溶剤と前記高表面張力液体とを混合することを特徴とする、請求項1に記載の塗布方法。
- 第2の基板の中心にプリウエット液を供給するとともに前記第2の基板を回転させて前記プリウエット液を基板の表面全体に拡散させるプリウエット工程と、
前記プリウエット液が供給された前記第2の基板に前記第1の基板に供給した塗布液と表面張力が異なる塗布液を供給し、これを乾燥させることにより第2の基板の表面に塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、を更に備え、
前記第1の基板に対する前記プリウエット工程および前記塗布膜形成工程と、前記第2の基板に対する前記プリウエット工程および前記塗布膜形成工程とは同一の塗布装置により実行され、
前記第2の基板に対する前記プリウエット工程において用いられる前記プリウエット液の表面張力は、前記第1の基板に対する前記プリウエット工程において用いられる前記プリウエット液の表面張力と異なっており、これらの表面張力が異なるプリウエット液は、同じ溶剤および同じ高表面張力液体を異なる混合比で混合することにより得られたものである
ことを特徴とする請求項2に記載の塗布方法。
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