JP5379571B2 - パターン検査装置及びパターン検査方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る走査型電子顕微鏡の構成図である。
次に、SEM画像における欠陥パターンの自動検出について説明する。
この場合は、図8(a)に対応し、基準パターンN3に対して面積の差が最大のパターンN5を欠陥候補パターンとする。
この場合は、図8(b)に対応する。図8(b)は、パターンの形状の一致度を基準パターンとの比較により算出した例を示している。図8(b)に示すように、基準パターンN3との比較によってパターンN5が最低のヒット率となり一致度が最も低い。このようなパターンを欠陥を含む可能性の高いパターンと特定する。なお、パターンの形状の一致度(相関解析)は、FFTを用いる畳込法など既知の手法を用いる。
面積差及び一致度の両方から欠陥パターンを検出する際に、面積差が最大のパターンと一致度が最低のパターンが同じであれば、そのパターンを欠陥候補パターンと特定する。また、面積差が最大のパターンと一致度が最低のパターンとが同一でなければ、光学式欠陥検出装置から取得した座標位置に近い方のパターンを欠陥候補パターンと特定する。
10…電子走査部、
11…電子銃、
12…コンデンサレンズ、
13…偏向コイル、
14…対物レンズ、
15…移動ステージ、
16…試料ホルダ、
20…鏡筒制御部、
21…システム制御部、
30…SEM像表示部。
Claims (11)
- 電子ビームを試料上に照射する照射手段と、
前記電子ビームの照射によって、パターンが形成された前記試料上から発生する電子の電子量を検出する電子検出手段と、
前記電子量を基に当該パターンのSEM画像を生成する画像処理手段と、
光学式欠陥検査装置から前記試料上に形成されたパターンの欠陥位置情報を取得する制御手段と、
を有し、
前記制御手段は、前記欠陥位置情報を基に前記SEM画像の視野を決定し、当該視野内のSEM画像に表示されている複数の類似パターンの面積の平均値を閾値とし、当該閾値との差が最小のパターンを基準パターンとし、当該基準パターンと他の類似パターンとを比較して、少なく ともパターンの面積の差が大きいパターンか又はパターンの形状の一致度の低いパターンのいずれかのパターンを欠陥候補パターンと特定し、当該欠陥候補パターンの欠陥がウエハに転写されるか否かを判定することを特徴とするパターン検査装置。 - 前記制御手段は、前記基準パターンと前記視野内の他のパターンとの相関解析を行い、ヒット率が最低のパターン又は面積の差が最大のパターンを欠陥候補パターンと特定することを特徴とする請求項1に記載のパターン検査装置。
- 前記制御手段は、複数の欠陥パターンの候補が存在するとき、前記光学式欠陥検査装置における欠陥位置と比較して、最も近い位置のパターンを欠陥候補パターンと特定することを特徴とする請求項1に記載のパターン検査装置。
- 前記制御手段は、前記基準パターンと前記欠陥候補パターンとの差分を抽出し、当該差分と予め規定した転写判定基準とを比較して、前記欠陥候補パターンの欠陥がウエハに転写されるか否かを判定することを特徴とする請求項3に記載のパターン検査装置。
- 前記転写判定基準は、所定の形状及び大きさのパターンに対して、少なくとも前記差分における面積差分、X方向又はY方向の距離差分、差分内の内接円のいずれかで規定されることを特徴とする請求項4に記載のパターン検査装置。
- 電子ビームを試料上に照射する照射手段と、前記電子ビームの照射によって、パターンが形成された前記試料上から発生する電子の電子量を検出する電子検出手 段と、前記電子量を基に当該パターンの画像データを生成する画像処理手段と、を備えたパターン検査装置におけるパターン検査方法であって、
光学式欠陥検査装置から欠陥を有するパターンの欠陥位置情報を取得するステップと、
前記欠陥位置情報を基に、SEM画像の視野を決定してSEM画像を取得するステップと、
前記SEM画像に表示されているパターンから基準とする基準パターンを、前記視野内の複数の類似パターンの面積の平均値を閾値とし、当該閾値との差が最小のパターンとして特定するステップと、
前記基準パターンと他のパターンとを比較して欠陥を有する欠陥候補パターンを特定するステップと、
前記特定された欠陥候補パターンの欠陥がウエハに転写される欠陥か否かを判定するステップと、
を含むことを特徴とするパターン検査方法。 - 前記欠陥候補パターンを特定するステップでは、前記基準パターンの面積と前記視野内の他のパターンの面積との差が最大のパターンを前記欠陥候補パターンとすることを特徴とする請求項6に記載のパターン検査方法。
- 前記欠陥候補パターンを特定するステップでは、前記基準パターンと前記視野内の他のパターンとの相関解析を行い、一致度が最低のパターンを前記欠陥候補パターンとすることを特徴とする請求項6に記載のパターン検査方法。
- 前記特定された欠陥候補パターンの欠陥がウエハに転写される欠陥か否かを判定するステップでは、前記基準パターンと前記欠陥候補パターンとの差分を抽出し、当該差分と予め規定した転写判定基準とを比較して判定することを特徴とする請求項6に記載のパターン検査方法。
- 前記転写判定基準は、所定の形状及び大きさのパターンに対して、少なくとも前記差分における面積差分、X方向又はY方向の距離差分、差分内の内接円のいずれかで規定されることを特徴とする請求項9に記載のパターン検査方法。
- 電子ビームを試料上に照射する照射手段と、前記電子ビームの照射によって、パターンが形成された前記試料上から発生する電子の電子量を検出する電子検出手 段と、前記電子量を基に当該パターンの画像データを生成する画像処理手段と、を備えたパターン検査装置におけるパターン検査方法であって、
光学式欠陥検査装置から欠陥を有するパターンの欠陥位置情報を取得するステップと、
前記欠陥位置情報を基に、SEM画像の視野を決定してSEM画像を取得するステップと、
前記SEM画像に表示されているパターンから基準とする基準パターンを特定するステップと、
前記基準パターンと他のパターンとを比較して欠陥を有する欠陥候補パターンを特定するステップと、
前記特定された欠陥候補パターンの欠陥がウエハに転写される欠陥か否かを判定するステップと、
を含み、
前記欠陥候補パターンを特定するステップは、
前記基準パターンの面積と前記視野内の他のパターンの面積との差から前記欠陥を有する第1の欠陥候補パターンを抽出するステップと、
前記基準パターンと前記視野内の他のパターンとの相関解析から前記欠陥を有する第2の欠陥候補パターンを抽出するステップと、
前記光学式欠陥検査装置から取得した欠陥位置から前記第1の欠陥候補パターンの位置までの距離と、前記光学式欠陥検査装置から取得した欠陥位置から前記第2の欠陥候補パターンの位置までの距離のうち近い方のパターンを欠陥候補パターンとするステップと、
を含むことを特徴とする記載のパターン検査方法。
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