JP5374897B2

JP5374897B2 - Heat treatment system

Info

Publication number: JP5374897B2
Application number: JP2008079717A
Authority: JP
Inventors: 和彦勝俣
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2008-03-26
Filing date: 2008-03-26
Publication date: 2013-12-25
Anticipated expiration: 2028-03-26
Also published as: JP2009236344A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermal treatment system capable of preventing temperature change of treated objects during storage in a conveyance furnace and obtaining high-quality treated objects and successfully used for thermal treatment of multiple types of treated objects in small lots. SOLUTION: The thermal treatment system is provided with a plurality of treatment parts including heating furnaces and cooling furnaces and with the conveyance furnace 10 movable between the respective treatment parts, and a treated object W can be delivered/received between the respective treatment parts and the conveyance furnace 10. The conveyance furnace 10 is provided with a heating device 19 for increasing the temperature of inside of the conveyance furnace 10 and a cooling device 20 for declining the temperature of inside of the furnace 10. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

この発明は、金属製品について、例えば焼入れ等の熱処理を行う際に用いられ、複数の熱処理炉が設けられた熱処理システムに関するものである。 The present invention relates to a heat treatment system that is used when a metal product is subjected to heat treatment such as quenching, and is provided with a plurality of heat treatment furnaces.

従来、この種の熱処理システムとして、図６及び図７に示されるものが知られている。図６に示す熱処理システムＢは、被処理品Ｗにそれぞれ異なる温度で加熱処理を行う第一加熱炉１０１、第二加熱炉１０２及び第三加熱炉１０３と、被処理品Ｗに冷却処理を行うガス冷却炉１０４とが列設されると共に、これらに沿う方向（以下、Ｘ方向という。）に移動可能な保温搬送炉１０５が設けられて概略構成されている。なお、これらはそれぞれの内部空間が減圧可能となっている。 Conventionally, what is shown by FIG.6 and FIG.7 is known as this kind of heat processing system. The heat treatment system B shown in FIG. 6 performs a cooling process on the article to be processed W, the first heating furnace 101, the second heating furnace 102, and the third heating furnace 103 that perform the heating process at different temperatures. A gas cooling furnace 104 is arranged in a row, and a heat-retaining and transporting furnace 105 that can move in a direction along the gas cooling furnace 104 (hereinafter referred to as an X direction) is provided. Note that these internal spaces can be depressurized.

図７に示すように、保温搬送炉１０５は、第一加熱炉１０１等に沿ってＸ方向に敷設された一組の第一レール１０６上に設けられたものであって、第一レール１０６を滑動可能な第一滑車１０７を備える第一基台１０８と、この第一基台１０８においてＸ方向の直交方向かつ水平方向（以下、Ｙ方向という。）に敷設された一組の第二レール１０９と、この第二レール１０９を滑動可能な第二滑車１１０を備える第二基台１１１と、この第二基台１１１に設置された炉本体１１２とを備えている。 As shown in FIG. 7, the heat transfer conveyance furnace 105 is provided on a set of first rails 106 laid in the X direction along the first heating furnace 101 and the like. A first base 108 having a slidable first pulley 107 and a set of second rails 109 laid in the first base 108 in a direction orthogonal to the X direction and in the horizontal direction (hereinafter referred to as the Y direction). A second base 111 including a second pulley 110 capable of sliding on the second rail 109, and a furnace body 112 installed on the second base 111.

炉本体１１２は、炉本体１１２の内部空間１１３に配置されると共にこの内部空間１１３に連通し、被処理品Ｗを収容する加熱室１１４と、この加熱室１１４に形成された装入抽出口１１４ａを開口及び閉塞可能なヒートシールドア１１５と、炉本体１１２に形成された搬入抽出口を開口及び閉塞すると共に内部空間１１３を密閉可能な真空シールドドア１１８と、被処理品Ｗを加熱室１１４に搬入搬出する搬送装置１１６と、加熱室１１４に設けられた保温ヒータ１１７とを備えている。この炉本体１１２は、減圧した加熱室１１４に被処理品Ｗを収容すると共に保温ヒータ１１７を発熱させて、被処理品Ｗの保温がなされるように構成されたものである。 The furnace main body 112 is disposed in the internal space 113 of the furnace main body 112 and communicates with the internal space 113, and a heating chamber 114 that accommodates the workpiece W, and a charging / extracting port 114 a formed in the heating chamber 114. A heat shield door 115 that can be opened and closed, a vacuum shield door 118 that can close and close the internal space 113 while opening and closing a loading / extracting port formed in the furnace main body 112, and the article W to be processed in the heating chamber 114. A carrying device 116 for carrying in and out and a heat retaining heater 117 provided in the heating chamber 114 are provided. The furnace main body 112 is configured so that the article to be processed W is housed in the decompressed heating chamber 114 and the heat retaining heater 117 generates heat to keep the article to be processed W warm.

この熱処理システムＢは、保温搬送炉１０５が第一加熱炉１０１等に隣接する位置まで第一レール１０６上を移動した後に、炉本体１１２が第一加熱炉１０１等に密着する位置まで第二レール１０９上を移動する。そして、炉本体１１２と第一加熱炉１０１等とを密着させた状態で、第一加熱炉１０１等にそれぞれ形成される装入抽出口と、保温搬送炉１０５の搬入搬出口１１３ａ及び装入抽出口１１４ａとを開口させることにより、密閉減圧下で被処理品Ｗの受渡を行うものである。 In this heat treatment system B, the second rail is moved to a position where the furnace main body 112 comes into close contact with the first heating furnace 101 and the like after the heat transfer and transfer furnace 105 moves on the first rail 106 to a position adjacent to the first heating furnace 101 and the like. Move over 109. Then, with the furnace main body 112 and the first heating furnace 101 and the like being in close contact with each other, the charging / extraction ports formed in the first heating furnace 101 and the like, the loading / unloading outlet 113a of the heat-retaining and transporting furnace 105, and the charging / extraction are extracted. By opening the opening 114a, the workpiece W is delivered under hermetic pressure reduction.

このような熱処理システムＢは、加熱炉や冷却炉の数を増減させることで被処理品Ｗの熱処理数を調整することができ、また、加熱炉や冷却炉の自由なレイアウトを可能とし、さらに、複数の加熱炉や冷却炉のうち一つが故障したとしても、熱処理を継続して行うことができるという利点を有する。また、加熱炉や冷却炉を複数設けることで、多品種少ロットの被処理品Ｗに柔軟に対応することができるという利点を有する。 Such a heat treatment system B can adjust the number of heat treatments of the workpiece W by increasing / decreasing the number of heating furnaces and cooling furnaces, enables a free layout of the heating furnaces and cooling furnaces, Even if one of the plurality of heating furnaces and cooling furnaces fails, there is an advantage that the heat treatment can be continued. Further, by providing a plurality of heating furnaces and cooling furnaces, there is an advantage that it is possible to flexibly cope with the products W to be processed in a large variety and a small lot.

しかしながら、従来の技術では、保温搬送炉１０５は、加熱室１１４の温度を一定にした状態で被処理品Ｗの保温を図るので、熱処理の温度が異なる被処理品Ｗを連続又は同時に処理する場合に、加熱室１１４の温度と被処理品Ｗに予定される熱処理の温度とが乖離するときがある。このようなときには、予定外のタイミングで被処理品Ｗに変温が生じてしまい、所望の性質の被処理品Ｗを得ることができないという問題があった。 However, in the conventional technique, the heat-retaining and transporting furnace 105 keeps the product to be processed W in a state where the temperature of the heating chamber 114 is kept constant, so that the products to be processed W having different heat treatment temperatures are processed continuously or simultaneously. In addition, the temperature of the heating chamber 114 may deviate from the temperature of the heat treatment planned for the workpiece W. In such a case, a temperature change occurs in the workpiece W at an unscheduled timing, and there is a problem that the workpiece W having a desired property cannot be obtained.

この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、搬送炉に収容した際の被処理品の変温を防止し、良質な被処理品を得ることができ、併せて多品種少ロットの被処理品の熱処理に良好な熱処理システムを提供することにある。 The present invention has been made in consideration of such circumstances, and its purpose is to prevent the temperature of the article to be treated when stored in the transfer furnace, and to obtain a good article to be treated. Another object of the present invention is to provide an excellent heat treatment system for heat treatment of products to be processed in a wide variety and a small lot.

上記目的を達成するために、この発明は以下の手段を提案している。
すなわち、本発明は、熱処理システムに係る第一の解決手段として、加熱炉と冷却炉とを含む複数の処理部と、これら各処理部間を移動可能とされる搬送炉とを備え、前記各処理部と前記搬送炉との間で被処理品の受け渡しが可能となるように構成された熱処理システムにおいて、前記搬送炉は、前記搬送炉の炉内の温度を昇温させる加熱装置と前記炉内の温度を降温させる冷却装置とを備える、という手段を採用する。 In order to achieve the above object, the present invention proposes the following means.
That is, the present invention includes a plurality of processing units including a heating furnace and a cooling furnace as a first solving means related to the heat treatment system, and a transfer furnace that is movable between these processing units. In the heat treatment system configured to allow delivery of an object to be processed between a processing unit and the transfer furnace, the transfer furnace includes a heating device that raises a temperature in the furnace of the transfer furnace, and the furnace A means of providing a cooling device for lowering the temperature inside is adopted.

熱処理システムに係る第二の解決手段として、上記熱処理システムの第一の解決手段において、前記搬送炉は、前記複数の処理部の近傍に沿って移動可能な基台と、該基台上に設置された炉本体と、該炉本体内に設けられ、その内部が前記被処理品の熱処理を行う加熱室とされた加熱部本体とを備えてなる、という手段を採用する。 As a second solution for the heat treatment system, in the first solution for the heat treatment system, the transfer furnace is installed on a base that is movable along the vicinity of the plurality of processing units. A means is provided that includes a furnace main body and a heating section main body provided in the furnace main body, the inside of which is a heating chamber for performing heat treatment of the article to be processed.

熱処理システムに係る第三の解決手段として、上記熱処理システムの第二の解決手段において、前記搬送炉が、前記基台上であって前記炉本体外に、前記処理部との間で前記被処理品の受け渡しを行う搬送装置を備える、という手段を採用する。 As a third solving means related to the heat treatment system, in the second solving means of the heat treatment system, the transfer furnace is on the base and outside the furnace body, and between the treatment section and the treatment target. A means of providing a conveying device for delivering goods is adopted.

熱処理システムに係る第四の解決手段として、上記熱処理システムの第二又は第三の解決手段において、前記加熱部本体内にガスを供給するガス供給手段と、該加熱部本体内に供給されたガスを循環させるガス循環装置とを備えてなる、という手段を採用する。
熱処理システムに係る第五の解決手段として、上記熱処理システムの第一から第四の解決手段うちいずれかにおいて、前記冷却炉が、油冷炉である、という手段を採用する。 As a fourth solution means related to the heat treatment system, in the second or third solution means of the heat treatment system, a gas supply means for supplying a gas into the heating part body, and a gas supplied into the heating part body A means is provided that includes a gas circulation device for circulating the gas.
As a fifth solving means relating to the heat treatment system, a means is adopted in which, in any one of the first to fourth solving means of the heat treatment system, the cooling furnace is an oil cooling furnace.

本発明によれば、搬送炉が、炉内の温度を昇温させる加熱装置と前記炉内の温度を降温させる冷却装置とを備えるので、被処理品の熱処理の工程に合わせて炉内の温度を変化させることができる。これにより、予期せぬタイミングで被処理品に変温が生じることを防止し、所望の性質で良質な被処理品を得ることができ、多品種少ロットの被処理品の熱処理を良好に行うことができる。 According to the present invention, the transfer furnace includes the heating device that raises the temperature in the furnace and the cooling device that lowers the temperature in the furnace. Can be changed. As a result, it is possible to prevent the temperature change of the processed product at an unexpected timing, to obtain a high-quality processed product with desired properties, and to perform a heat treatment of the processed product of a wide variety and a small lot satisfactorily. be able to.

以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。
図１は、この発明の実施形態に係る熱処理システムＡの全体構成を示す概略図である。
図１に示すように、熱処理システムＡは、被処理品Ｗに対して熱処理を行う第一加熱炉１、第二加熱炉２、第三加熱炉３、ガス冷却炉４及び油冷炉５が一直線状に列設され、これらに沿って搬送炉１０が直線移動可能に設けられて概略構成されている。ここで、第一加熱炉１等の列設方向をＸ方向、Ｘ方向の直交方向、かつ、水平方向をＹ方向とする。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic diagram showing the overall configuration of a heat treatment system A according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, the heat treatment system A includes a first heating furnace 1, a second heating furnace 2, a third heating furnace 3, a gas cooling furnace 4, and an oil cooling furnace 5 that perform heat treatment on the workpiece W. It is arranged in a straight line, and the transfer furnace 10 is provided so as to be linearly movable along these lines. Here, the direction in which the first heating furnaces 1 and the like are arranged is the X direction, the direction orthogonal to the X direction, and the horizontal direction is the Y direction.

第一加熱炉（処理部）１、第二加熱炉（処理部）２、第三加熱炉（処理部）３は、炉内が減圧可能なものであって、所望の設定温度で被処理品Ｗを加熱することができるものである。本実施形態においては、第一加熱炉１が摂氏９８０度で被処理品Ｗを加熱することができるように設定されており、第二加熱炉２が摂氏１２５０度、第三加熱炉３が摂氏６００度に設定されている。 The first heating furnace (processing section) 1, the second heating furnace (processing section) 2, and the third heating furnace (processing section) 3 can be depressurized in the furnace, and are processed at a desired set temperature. W can be heated. In the present embodiment, the first heating furnace 1 is set to be able to heat the workpiece W at 980 degrees Celsius, the second heating furnace 2 is 1250 degrees Celsius, and the third heating furnace 3 is Celsius. It is set to 600 degrees.

第一加熱炉１、第二加熱炉２、第三加熱炉３は、それぞれに設けられた被処理品Ｗの装入抽出口１ａ〜３ａがＹ方向における搬送炉１０の配設側（図中−Ｙ方向）に向くように設置されている。なお、この装入抽出口１ａ〜３ａには、それぞれに炉内を密閉することができる真空シールドドア１ｂ〜３ｂが設けられている。 In the first heating furnace 1, the second heating furnace 2, and the third heating furnace 3, the charging / extracting ports 1 a to 3 a of the article W to be processed provided on the side of the conveying furnace 10 in the Y direction (in the drawing) -Y direction). The charging / extracting ports 1a to 3a are provided with vacuum shield doors 1b to 3b that can seal the inside of the furnace.

ガス冷却炉（処理部）４、油冷炉（処理部）５は、加熱された被処理品Ｗを所望の温度で冷却するものである。なお、これらガス冷却炉４と油冷炉５とは、第一加熱炉１等と同様に、装入抽出口４ａ，５ａが−Ｙ方向に向くように設置されており、それぞれに真空シールドドア４ｂ，５ｂが設けられている。 The gas cooling furnace (processing part) 4 and the oil cooling furnace (processing part) 5 cool the heated workpiece W at a desired temperature. The gas cooling furnace 4 and the oil cooling furnace 5 are installed so that the charging / extracting ports 4a and 5a face the -Y direction as in the first heating furnace 1 and the like, and each has a vacuum shield door. 4b and 5b are provided.

ガス冷却炉４は、炉内に充填された不活性ガスを炉内に設けられた熱交換器で冷却し、この不活性ガスを炉内に循環させることで、被処理品Ｗを所望の温度及び時間で冷却するものである。 The gas cooling furnace 4 cools the inert gas filled in the furnace with a heat exchanger provided in the furnace, and circulates the inert gas in the furnace, thereby bringing the workpiece W to a desired temperature. And cooling with time.

油冷炉５は、オイルが満たされた油槽が炉内下部に設けられると共にこの油槽に没するように上下に移動可能な載置台が設けられたものであり、炉内に装入されて載置台に設置された被処理品Ｗを油槽内に没させて冷却するものである。この油冷炉５についても、被処理品Ｗを所望の温度及び時間で冷却することができるように構成されている。 Aburahiyaro 5 is for oil tank oil filled mounting table movable is provided vertically so as submerged this oil vessel with is provided in the lower furnace, the mounting is charged into the furnace The article to be processed W installed on the pedestal is cooled by immersing it in the oil tank. The oil cooling furnace 5 is also configured so that the article to be processed W can be cooled at a desired temperature and time.

また、これら第一加熱炉１、第二加熱炉２、第三加熱炉３、ガス冷却炉４及び油冷炉５を結んだ仮想直線上には、被処理品Ｗを搬送炉１０に装入する装入台６と、被処理品Ｗを搬送炉１０から抽出する抽出台７とが配置されている。 In addition, on the virtual straight line connecting the first heating furnace 1, the second heating furnace 2, the third heating furnace 3, the gas cooling furnace 4, and the oil cooling furnace 5, the workpiece W is charged into the transfer furnace 10. A charging table 6 for performing extraction and an extraction table 7 for extracting the workpiece W from the transfer furnace 10 are disposed.

図２及び図３は、搬送炉１０を示す図であって、図２は、図１におけるＡ−Ａ線断面図であり、図３は、図２におけるＢ−Ｂ線断面図である。
搬送炉１０は、第一加熱炉１等に沿ってＸ方向に敷設された一組の第一レール１１上に設けられたものであり、第一レール１１を滑動可能な第一滑車１２ａが設けられ一組の第二レール１２ｂが敷設された基台１２と、第二レール１２ｂを滑動可能な第二滑車１３ａが設けられた脚部１３ｂを介して支持される炉本体１３と、炉本体１３内を減圧する真空ポンプ１４（図１参照）と、基台１２上に設けられた第一搬送装置１５（図１参照）と、を備えている。 2 and 3 are diagrams showing the transfer furnace 10, wherein FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.
The transfer furnace 10 is provided on a set of first rails 11 laid in the X direction along the first heating furnace 1 and the like, and a first pulley 12a capable of sliding on the first rails 11 is provided. A base 12 on which a pair of second rails 12b is laid, a furnace main body 13 supported via a leg portion 13b provided with a second pulley 13a capable of sliding on the second rail 12b, and a furnace main body 13 The vacuum pump 14 (refer FIG. 1) which decompresses the inside, and the 1st conveying apparatus 15 (refer FIG. 1) provided on the base 12 are provided.

炉本体１３は、脚部１３ｂが設けられた略円筒形状の真空容器１６と、真空容器１６の内部に配置され加熱室Ｒを形成する断熱部材１８と、真空容器１６の内部に不活性ガスを供給するガス供給手段１７（図１参照）と、断熱部材１８に設けられたヒータ１９と、真空容器１６の内部を冷却する冷却装置２０と、炉本体１３の内部に設けられた第二搬送装置２１と、を備えている。 The furnace body 13 includes a substantially cylindrical vacuum vessel 16 provided with legs 13b, a heat insulating member 18 disposed inside the vacuum vessel 16 to form a heating chamber R, and an inert gas inside the vacuum vessel 16. Gas supply means 17 for supplying (see FIG. 1), a heater 19 provided in the heat insulating member 18, a cooling device 20 for cooling the inside of the vacuum vessel 16, and a second transfer device provided in the furnace body 13 21.

真空容器１６は、内部空間１６ｓが形成され一端面が開放された略円筒形状の容器本体１６ａとこの開放された一端面を覆うように設けられた密閉部１６ｂとが設けられたものであり、円筒の中心軸が水平になるように設置されている。 The vacuum container 16 is provided with a substantially cylindrical container main body 16a having an inner space 16s formed therein and one end face opened, and a sealed portion 16b provided so as to cover the opened one end face. It is installed so that the central axis of the cylinder is horizontal.

容器本体１６ａは、その周壁に内部空間１６ｓを囲繞するように水冷ジャケット１６ｃが設けられたものであり、この水冷ジャケット１６ｃに冷却水が流れることによって容器本体１６ａの壁部が水冷されるようになっている。
また、密閉部１６ｂは、内部空間１６ｄが形成された略中空円盤形状のものであり、容器本体１６ａ側に形成された隔壁１６ｅと、隔壁１６ｅに対向するように形成された被密着壁１６ｆとを備えている。隔壁１６ｅには、容器本体１６ａの内部空間１６ｓに連通して断熱部材１８が露出する円孔１６ｈが形成されており、被密着壁１６ｆには、内部空間１６ｄと外部とが連通し被処理品Ｗを搬入出可能な搬入搬出口１６ｇが形成されている。 The container main body 16a is provided with a water cooling jacket 16c on its peripheral wall so as to surround the internal space 16s. The cooling water flows through the water cooling jacket 16c so that the wall portion of the container main body 16a is cooled with water. It has become.
Further, the sealing portion 16b has a substantially hollow disk shape in which an internal space 16d is formed, and includes a partition wall 16e formed on the container body 16a side, and a contacted wall 16f formed so as to face the partition wall 16e. It has. The partition wall 16e is formed with a circular hole 16h that communicates with the internal space 16s of the container body 16a and exposes the heat insulating member 18, and the contacted wall 16f communicates the internal space 16d with the outside to be processed. A loading / unloading port 16g capable of loading and unloading W is formed.

この搬入搬出口１６ｇには、内部空間１６ｄに位置する真空シールドドア２２が設けられており、この真空シールドドア２２を密閉部１６ｂの上部に設けられた第一空圧シリンダ２２ａにより上下にスライド駆動して、搬入搬出口１６ｇを開口閉塞することができるようになっている。
すなわち、搬入搬出口１６ｇを真空シールドドア２２により閉塞すると、内部空間１６ｄ及び内部空間１６ｓが密閉されるようになっている。 The carry-in / out port 16g is provided with a vacuum shield door 22 located in the internal space 16d. The vacuum shield door 22 is slid up and down by a first pneumatic cylinder 22a provided at the upper portion of the sealed portion 16b. Thus, the loading / unloading port 16g can be closed.
That is, when the loading / unloading port 16g is closed by the vacuum shield door 22, the internal space 16d and the internal space 16s are sealed.

断熱部材（加熱部本体）１８は、略円筒形状のものであって、被処理品Ｗを収容する加熱室Ｒが形成されたものである。この断熱部材１８は、一方の端面壁１８ａが隔壁１６ｅに形成された円孔１６ｈから露出するように、また、他方の端面壁１８ｂが内部空間１６ｓに位置するように、円筒の中心軸が水平になるように配置されている。 The heat insulating member (heating unit main body) 18 has a substantially cylindrical shape, and is formed with a heating chamber R that accommodates the article W to be processed. The heat insulating member 18 has a cylindrical central axis that is horizontal so that one end face wall 18a is exposed from a circular hole 16h formed in the partition wall 16e and the other end face wall 18b is located in the internal space 16s. It is arranged to be.

この断熱部材１８は、端面壁１８ａに加熱室Ｒに連通して被処理品Ｗを加熱室Ｒに装入抽出可能な装入抽出口１８ｃが、端面壁１８ｂに棒状部材導入口１８ｄが、周面上部に二つの冷却ガス排出口１８ｅ，１８ｆが、周面下部に冷却ガス導入口１８ｇが形成されている。 The heat insulating member 18 has an end surface wall 18a in communication with the heating chamber R, a charging / extracting port 18c through which the workpiece W can be charged and extracted into the heating chamber R, and a rod-shaped member introducing port 18d at the end surface wall 18b. Two cooling gas discharge ports 18e and 18f are formed on the upper surface, and a cooling gas introduction port 18g is formed on the lower peripheral surface.

装入抽出口１８ｃには、内部空間１６ｄに位置する第一ヒートシールドア２３が設けられており、この第一ヒートシールドア２３を密閉部１６ｂの上部に設けられた第二空圧シリンダ２３ａにより上下にスライド駆動して、装入抽出口１８ｃを開口閉塞することができるようになっている。
すなわち、装入抽出口１８ｃを第一ヒートシールドア２３により閉塞するとヒータ１９のふく射熱が遮断されるようになっている。 The charging / extracting port 18c is provided with a first heat shield door 23 located in the internal space 16d. The first heat shield door 23 is provided by a second pneumatic cylinder 23a provided at the upper portion of the sealed portion 16b. The charging / extracting port 18c can be closed by sliding up and down.
That is, when the charging / extracting port 18c is closed by the first heat shield door 23, the radiant heat of the heater 19 is cut off.

また、棒状部材導入口１８ｄには、第二ヒートシールドア２４が設けられており、この第二ヒートシールドア２４を容器本体１６ａ上部に設けられた第三空圧シリンダ２５により上下にスライド駆動して、棒状部材導入口１８ｄを開口閉塞することができるようになっている。
これにより、棒状部材導入口１８ｄを開口すると加熱室Ｒに後述のチェーンドック３６を導入することができると共に、棒状部材導入口１８ｄを閉塞するとヒータ１９のふく射熱が遮断されるようになっている。 Further, a second heat shield door 24 is provided at the rod-shaped member introduction port 18d, and this second heat shield door 24 is slid up and down by a third pneumatic cylinder 25 provided at the upper part of the container body 16a. Thus, the rod-shaped member introduction port 18d can be closed.
Thereby, when the rod-shaped member introduction port 18d is opened, a later-described chain dock 36 can be introduced into the heating chamber R, and when the rod-shaped member introduction port 18d is closed, the radiant heat of the heater 19 is blocked.

冷却ガス排出口１８ｅ、１８ｆには、ヒンジ機構２６ａ、２７ａを介して断熱部材１８の周面に取り付けられた第一天蓋２６と、第二天蓋２７とが設けられており、この第一天蓋２６と第二天蓋２７とをそれぞれ容器本体１６ａの上部に設けられた第四空圧シリンダ２８と第五空圧シリンダ２９で駆動することにより、冷却ガス排出口１８ｅ，１８ｆをそれぞれ開口・閉塞することが可能である。 The cooling gas discharge ports 18e and 18f are provided with a first canopy 26 and a second canopy 27 attached to the peripheral surface of the heat insulating member 18 via hinge mechanisms 26a and 27a. The cooling gas discharge ports 18e and 18f are opened and closed by driving the lid 26 and the second canopy 27 respectively by a fourth pneumatic cylinder 28 and a fifth pneumatic cylinder 29 provided on the upper portion of the container body 16a. Is possible.

冷却ガス導入口１８ｇには、床蓋３０が設けられており。この床蓋３０を容器本体１６ａの下部に設けられた第六空圧シリンダ３１により上下に駆動させることにより、冷却ガス導入口１８ｇを開口・閉塞することが可能である。 A floor lid 30 is provided at the cooling gas inlet 18g. By driving the floor lid 30 up and down by a sixth pneumatic cylinder 31 provided at the lower part of the container body 16a, the cooling gas inlet 18g can be opened and closed.

ガス供給手段１７は、不活性ガスを加熱室Ｒに供給するように構成されている。
ヒータ（加熱装置）１９は、断熱部材１８の内壁面において、加熱室Ｒに装入された被処理品Ｗを囲うように配設されている。 The gas supply means 17 is configured to supply an inert gas to the heating chamber R.
The heater (heating device) 19 is disposed on the inner wall surface of the heat insulating member 18 so as to surround the workpiece W inserted in the heating chamber R.

冷却装置２０は、ファンモータ２０ａとファン２０ｂとからなるガス循環装置２０ｃと冷却ジャケット１６ｃとによって構成されている。
ファンモータ２０ａは、容器本体１６ａの上部に位置するように配置されると共に、ファン２０ｂは、加熱室Ｒの上部に位置するように配置される。なお、ファンモータ２０ａの回動シャフトは、断熱部材１８を貫通している。すなわち、ガス循環装置２０ｃは、冷却ガス導入口１８ｇ及び冷却ガス排出口１８ｅ、１８ｆを開口させた状態において、加熱室Ｒ及び内部空間１６ｓに、ガス供給手段１７によって供給された不活性ガスを循環させることが可能である。 The cooling device 20 includes a gas circulation device 20c including a fan motor 20a and a fan 20b and a cooling jacket 16c.
The fan motor 20a is disposed so as to be positioned above the container body 16a, and the fan 20b is disposed so as to be positioned above the heating chamber R. The rotating shaft of the fan motor 20a penetrates the heat insulating member 18. That is, the gas circulation device 20c circulates the inert gas supplied by the gas supply means 17 to the heating chamber R and the internal space 16s in a state where the cooling gas introduction port 18g and the cooling gas discharge ports 18e and 18f are opened. It is possible to make it.

このように冷却装置２０は、ガス循環装置２０ｃによって不活性ガスを循環させると共に、容器本体１６ａの内壁面を介して、水冷ジャケット１６ｃに流れる冷却水で不活性ガスを冷却して、断熱部材１８及び真空容器１６を冷却するように構成されている。 As described above, the cooling device 20 circulates the inert gas by the gas circulation device 20c, and cools the inert gas with the cooling water flowing through the water cooling jacket 16c through the inner wall surface of the container body 16a. And it is comprised so that the vacuum vessel 16 may be cooled.

第二搬送装置２１は、複数のフリーローラ３５と、先端に突起部３６ａが設けられたチェーンドック３６と、スプロケット３７と、チェーンドック３６をガイドするためにＹ方向に所定間隔を空けて配置された複数のチェーンガイド３８とを備えている。 The second transport device 21 is arranged at predetermined intervals in the Y direction to guide the plurality of free rollers 35, the chain dock 36 provided with a protrusion 36a at the tip, the sprocket 37, and the chain dock 36. And a plurality of chain guides 38.

フリーローラ３５は、軸心を中心に自由に回転することが可能な円筒形の短いローラであり、加熱室Ｒに設けられて、被処理品Ｗが載置されたトレーＴのＸ方向両端部のみをＹ方向に搬送可能に支持する。すなわち、加熱室Ｒにおける被処理品Ｗは、フリーローラ３５上にトレーＴを介して載置されることになる。なお、フリーローラ３５は、第一加熱炉１、第二加熱炉２、第三加熱炉３、ガス冷却炉４及び油冷炉５のそれぞれの内部空間に、また、装入台６及び抽出台７に、搬送炉１０のフリーローラ３５と略同一の高さに設けられている。 The free roller 35 is a short cylindrical roller that can freely rotate around its axis, and is provided in the heating chamber R and has both ends in the X direction of the tray T on which the workpiece W is placed. Is supported so as to be transportable in the Y direction. That is, the article W to be processed in the heating chamber R is placed on the free roller 35 via the tray T. A free roller 35 is provided in each internal space of the first heating furnace 1, the second heating furnace 2, the third heating furnace 3, the gas cooling furnace 4, and the oil cooling furnace 5, and the charging table 6 and the extraction table. 7 is provided at substantially the same height as the free roller 35 of the transfer furnace 10.

チェーンドック３６は、一端に突起部３６ａが設けられた棒状部材３６ｂと、この棒状部材３６ｂの他端に連結されたチェーン３６ｃとを備えたものである。
スプロケット３７は、チェーン３６ｃを巻架し炉外に設けられた駆動装置（不図示）により回動されて、チェーンドック３６を駆動するものである。
チェーンガイド３８は、対向するフリーローラ３５の間に、Ｙ方向に所定間隔を空けて配置されるものであり、上下に昇降可能なものである。このチェーンガイド３８は、フリーローラ３５と同じく、第一加熱炉１、第二加熱炉２、第三加熱炉３、ガス冷却炉４及び油冷炉５のそれぞれの内部空間に、また、装入台６及び抽出台７にそれぞれ複数設けられている。 The chain dock 36 includes a rod-shaped member 36b provided with a protrusion 36a at one end, and a chain 36c connected to the other end of the rod-shaped member 36b.
The sprocket 37 winds the chain 36c and is rotated by a driving device (not shown) provided outside the furnace to drive the chain dock 36.
The chain guide 38 is disposed between the free rollers 35 facing each other at a predetermined interval in the Y direction, and can be moved up and down. As with the free roller 35, the chain guide 38 is inserted into the internal space of each of the first heating furnace 1, the second heating furnace 2, the third heating furnace 3, the gas cooling furnace 4, and the oil cooling furnace 5, and A plurality of tables 6 and extraction tables 7 are provided.

この第二搬送装置２１は、スプロケット３７を回動することにより、チェーン３６ｃを介して、棒状部材３６ｂをＹ方向に往復動させる。すなわち、チェーンガイド３８を上昇させた状態でチェーンドック３６を駆動すると被処理品Ｗを載置したトレーＴに係合して、被処理品ＷをＹ方向に搬送することができる。 The second transport device 21 rotates the sprocket 37 to reciprocate the rod-shaped member 36b in the Y direction via the chain 36c. That is, when the chain dock 36 is driven in a state where the chain guide 38 is raised, the product W can be conveyed in the Y direction by engaging with the tray T on which the product W is placed.

真空ポンプ１４は（図１参照）、真空容器１６の搬入搬出口１６ｇを閉塞させた状態において、真空容器１６の内部空間１６ｄ，１６ｓ及び加熱室Ｒを減圧することができる。 The vacuum pump 14 (see FIG. 1) can depressurize the internal spaces 16d and 16s and the heating chamber R of the vacuum container 16 in a state where the loading / unloading port 16g of the vacuum container 16 is closed.

図４は、第一搬送装置１５の構成を示す図であって、図４（ａ）は、短縮時の第一搬送装置１５を示す図であり、図４（ｂ）は、伸長時の第一搬送装置１５を示す図である。
第一搬送装置（搬送装置）１５は、基台１２に脚部４０ａを介して固定される基部４０と、一端が基部４０に固定された上下可動部４１と、上下可動部４１に設けられＹ方向に移動可能な中間可動部４２と、中間可動部４２に設けられＹ方向に移動可能な載置部４３と、上下可動部４１の他端を上下に昇降させるカム機構４４と、中間可動部４２と載置部４３とをＹ方向に移動させる駆動機構４５とを備えている。 FIG. 4 is a diagram illustrating the configuration of the first transport device 15, FIG. 4 (a) is a diagram illustrating the first transport device 15 during shortening, and FIG. 4 (b) is a diagram illustrating the first transport device 15 during expansion. It is a figure which shows the one conveying apparatus.
The first transport device (transport device) 15 includes a base 40 that is fixed to the base 12 via a leg portion 40a, a vertically movable portion 41 having one end fixed to the base 40, and a Y that is provided on the vertically movable portion 41. An intermediate movable part 42 movable in the direction, a mounting part 43 provided in the intermediate movable part 42 and movable in the Y direction, a cam mechanism 44 for moving the other end of the vertical movable part 41 up and down, and an intermediate movable part 42 and a drive mechanism 45 that moves the mounting portion 43 in the Y direction.

基部４０は、それぞれ脚部４０ａが設けられＹ方向に離間した箱型ケーシング４０ｂ，４０ｃを連結部材４０ｄが連結しているものである。
上下可動部４１は、Ｙ方向に沿って互いに対向して設けられた一対のコ字状フレーム４１ｄが連結されたものであり、その一端が箱型ケーシング４０ｃに軸固定されている。 The base portion 40 is formed by connecting a connecting member 40d to box-shaped casings 40b and 40c provided with leg portions 40a and spaced apart in the Y direction.
The vertically movable portion 41 is formed by connecting a pair of U-shaped frames 41d provided to face each other along the Y direction, and one end of the vertically movable portion 41 is fixed to the box-shaped casing 40c.

中間可動部４２は、互いに対向する一対のコ字状フレーム４２ａが連結されたものであり、このコ字状フレーム４２ａの下部に車輪４２ｄが設けられている。この車輪４２ｄは、コ字状フレーム４１ｄ内方に着脱不能に配置されており、コ字状フレーム４１ｄに沿って回動することにより、中間可動部４２がＹ方向に移動できるようになっている。 The intermediate movable portion 42 is formed by connecting a pair of U-shaped frames 42a facing each other, and wheels 42d are provided below the U-shaped frames 42a. The wheel 42d is disposed in the inner side of the U-shaped frame 41d so as not to be detachable. By rotating along the U-shaped frame 41d, the intermediate movable portion 42 can move in the Y direction. .

載置部４３は、フォーク形状のものであり、下部に車輪４３ａが設けられている。この車輪４３ａは、コ字状フレーム４２ａ内方に着脱不能に配置されており、コ字状フレーム４２ａに沿って回動することにより、載置部４３がＹ方向に移動できるようになっている。 The mounting portion 43 is fork-shaped, and is provided with a wheel 43a at the lower portion. The wheel 43a is disposed in the U-shaped frame 42a so as not to be detachable. By rotating along the U-shaped frame 42a, the mounting portion 43 can move in the Y direction. .

カム機構４４は、箱型ケーシング４０ｂに設けられており、上下可動部４１の他端を上下に可動させることができる。
駆動機構４５は、箱型ケーシング４０ｃに設けられており、不図示の駆動機構の駆動力により、車輪４２ｄ及び車輪４３ａを回動させることができるように構成されている。 The cam mechanism 44 is provided in the box-shaped casing 40b and can move the other end of the vertically movable portion 41 up and down.
The drive mechanism 45 is provided in the box-shaped casing 40c, and is configured to be able to rotate the wheels 42d and the wheels 43a by the drive force of a drive mechanism (not shown).

次に、本熱処理システムＡの作用について説明する。図５は、被処理品Ｗ（Ｗ１，Ｗ２）の処理温度と時間との関係を示す図である。以下の説明では、二つの被処理品Ｗ１，Ｗ２について略同時に異なる熱処理を行う場合について説明する。なお、第一加熱炉１、第二加熱炉２、第三加熱炉３、ガス冷却炉４及び油冷炉５のそれぞれの内部空間は、減圧されている。 Next, the operation of the heat treatment system A will be described. FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the processing temperature of the article to be processed W (W1, W2) and time. In the following description, a case where different heat treatments are performed on the two workpieces W1 and W2 substantially simultaneously will be described. In addition, each internal space of the 1st heating furnace 1, the 2nd heating furnace 2, the 3rd heating furnace 3, the gas cooling furnace 4, and the oil cooling furnace 5 is pressure-reduced.

まず、レール１１上の搬送炉１０を装入台６に隣接させ、レール１２ｂ上の炉本体１３を装入台６に近接させる。そして、搬入搬出口１６ｇ、装入抽出口１８ｃ及び棒状部材導入口１８ｄを開口させた状態で、第二搬送装置２１を作動させて、装入台６においてトレーＴに載置された被処理品Ｗ１を加熱室Ｒに装入する。すなわち、搬送炉１０及び装入台６のチェーンガイド３８を降下させた状態でスプロケット３７を回動させ、チェーン３６ｃを介して棒状部材３６ｂの突起部３６ａを被処理品Ｗ１よりも＋Ｙ方向側まで移動させる。そして、チェーンガイド３８を上昇させた後に、スプロケット３７を逆回動させて、突起部３６ａをトレーＴに係合させると共に、被処理品Ｗ１を加熱室Ｒに装入する。 First, the transfer furnace 10 on the rail 11 is made adjacent to the charging table 6, and the furnace body 13 on the rail 12 b is brought close to the charging table 6. Then, with the loading / unloading port 16g, the loading / unloading port 18c, and the rod-shaped member introduction port 18d opened, the second transfer device 21 is operated, and the article to be processed placed on the tray T in the loading table 6 W1 is charged into the heating chamber R. That is, the sprocket 37 is rotated in a state where the transfer furnace 10 and the chain guide 38 of the charging table 6 are lowered, and the protruding portion 36a of the rod-shaped member 36b is moved to the + Y direction side from the workpiece W1 via the chain 36c. Move. Then, after raising the chain guide 38, the sprocket 37 is rotated in the reverse direction to engage the projection 36a with the tray T, and the workpiece W1 is loaded into the heating chamber R.

次に、搬送炉１０を第一加熱炉１に隣接する位置まで移動させた後に、炉本体１３を＋Ｙ方向に移動させて、被密着壁１６ｆを第一加熱炉１に密着させる。この際、第一空圧シリンダ２２ａにより真空シールドドア２２を駆動して搬入搬出口１６ｇを閉塞させると共に、第二空圧シリンダ２３ａにより第一ヒートシールドア２３を駆動して装入抽出口１８ｃを閉塞させており、真空ポンプ１４で内部空間１６ｄ、内部空間１６ｓ及び加熱室Ｒを減圧している。 Next, after the transfer furnace 10 is moved to a position adjacent to the first heating furnace 1, the furnace body 13 is moved in the + Y direction so that the adherend wall 16 f is in close contact with the first heating furnace 1. At this time, the vacuum shield door 22 is driven by the first pneumatic cylinder 22a to block the loading / unloading port 16g, and the first heat shield door 23 is driven by the second pneumatic cylinder 23a to set the charging / extracting port 18c. The internal space 16d, the internal space 16s, and the heating chamber R are decompressed by the vacuum pump 14.

そして、被密着壁１６ｆを第一加熱炉１に密着させた状態で、第一空圧シリンダ２２ａにより真空シールドドア２２を駆動して搬入搬出口１６ｇを開口させると共に、第二空圧シリンダ２３ａにより第一ヒートシールドア２３を駆動して装入抽出口１８ｃを開口させる。略同時に第一加熱炉１の真空シールドドア１ｂを駆動して装入抽出口１ａを開口させる。つまり、炉本体１３の内部空間１６ｄ，内部空間１６ｓ及び加熱室Ｒと、第一加熱炉１の内部空間とが互いに減圧した状態で連通する。そして、この減圧下において、第二搬送装置２１を作動させて、被処理品Ｗ１を第一加熱炉１の内部に装入する。 Then, in a state where the adherend wall 16f is in close contact with the first heating furnace 1, the vacuum shield door 22 is driven by the first pneumatic cylinder 22a to open the carry-in / out port 16g, and the second pneumatic cylinder 23a. The first heat shield door 23 is driven to open the charging / extracting port 18c. At substantially the same time, the vacuum shield door 1b of the first heating furnace 1 is driven to open the charging / extracting port 1a. That is, the internal space 16d, the internal space 16s and the heating chamber R of the furnace body 13 and the internal space of the first heating furnace 1 communicate with each other in a decompressed state. And under this pressure reduction, the 2nd conveying apparatus 21 is operated, and the to-be-processed product W1 is inserted into the inside of the 1st heating furnace 1. FIG.

その後、第二搬送装置２１を作動させて、棒状部材３６ｂを内部空間１６ｓに収容し、真空シールドドア１ｂを駆動して装入抽出口１ａを閉塞させる。そして、図５（ａ）に示すように、減圧した第一加熱炉１で被処理品Ｗ１を処理時間ｔ１だけ加熱する。 Then, the 2nd conveying apparatus 21 is operated, the rod-shaped member 36b is accommodated in the internal space 16s, the vacuum shield door 1b is driven, and the insertion extraction port 1a is obstruct | occluded. And as shown to Fig.5 (a), the to-be-processed product W1 is heated only for process time t1 with the reduced 1st heating furnace 1. As shown in FIG.

一方、搬送炉１０を再度装入台６に隣接する位置まで移動させ、上述した動作と同様にして、加熱室Ｒに被処理品Ｗ２を装入する。その後、搬送炉１０を第二加熱炉２に隣接する位置まで移動させて、被処理品Ｗ１と同様に、減圧下において、被処理品Ｗ２を第二加熱炉２に装入する。
そして、棒状部材３６ｂを搬送炉１０の内部に収容し、真空シールドドア２ｂを駆動して装入抽出口２ａを閉塞させ、図５（ｂ）に示すように、減圧した第二加熱炉２で被処理品Ｗ２を処理時間ｔ２だけ加熱する。 On the other hand, the transfer furnace 10 is moved again to a position adjacent to the charging table 6, and the workpiece W2 is charged into the heating chamber R in the same manner as described above. Thereafter, the transfer furnace 10 is moved to a position adjacent to the second heating furnace 2, and the article to be processed W 2 is charged into the second heating furnace 2 under reduced pressure in the same manner as the article to be processed W 1.
And the rod-shaped member 36b is accommodated in the inside of the transfer furnace 10, the vacuum shield door 2b is driven to close the charging / extracting port 2a, and as shown in FIG. The workpiece W2 is heated for the processing time t2.

被処理品Ｗ２を第二加熱炉２に移動させた後から処理時間ｔ１経過前に、加熱室Ｒが第一加熱炉１の加熱温度と同一の温度（摂氏９８０度）にされる。すなわち、第一加熱炉１から被処理品Ｗ１を回収する前に、装入抽出口１８ｃを第一ヒートシールドア２３により、棒状部材導入口１８ｄを第二ヒートシールドア２４により、冷却ガス排出口１８ｅ、１８ｆをそれぞれ第一天蓋２６、第二天蓋２７により、冷却ガス導入口１８ｇを床蓋３０により閉塞する。そして、加熱室Ｒに不活性ガスを充填すると共にヒータ１９によってこの不活性ガスを加熱し、ファン２０ｂを回動して加熱した不活性ガスを対流させ、加熱室Ｒを急加熱する。なお、加熱室Ｒが第一加熱炉１の加熱温度と同一の温度となった後には、内部空間１６ｄ、内部空間１６ｓ及び加熱室Ｒを再び減圧する。 The heating chamber R is set to the same temperature as the heating temperature of the first heating furnace 1 (980 degrees Celsius) before the processing time t1 elapses after the workpiece W2 is moved to the second heating furnace 2. That is, before the workpiece W1 is recovered from the first heating furnace 1, the charging / extracting port 18c is provided by the first heat shield door 23, the rod-shaped member inlet 18d is provided by the second heat shield door 24, and the cooling gas discharge port is provided. 18e and 18f are closed by the first canopy 26 and the second canopy 27, respectively, and the cooling gas inlet 18g is closed by the floor cover 30. Then, the inert gas is filled in the heating chamber R, the inert gas is heated by the heater 19, the heated inert gas is convected by rotating the fan 20 b, and the heating chamber R is rapidly heated. In addition, after the heating chamber R becomes the same temperature as the heating temperature of the first heating furnace 1, the internal space 16d, the internal space 16s, and the heating chamber R are decompressed again.

処理時間ｔ１経過後に、搬送炉１０を第一加熱炉１に隣接する位置まで移動させ、再度被密着壁１６ｆを第一加熱炉１に密着させると共に真空シールドドア２２、第一ヒートシールドア２３及び真空シールドドア１ｂを駆動し、搬入搬出口１６ｇ、装入抽出口１８ｃ及び装入抽出口１ａを開口させる。そして、減圧下において、第二搬送装置２１を作動させて、第一加熱炉１から加熱室Ｒに被処理品Ｗ１を回収した後、真空シールドドア２２、第一ヒートシールドア２３及び真空シールドドア１ｂを駆動し、搬入搬出口１６ｇ、装入抽出口１８ｃ及び装入抽出口１ａを閉塞させる After the processing time t1 elapses, the transfer furnace 10 is moved to a position adjacent to the first heating furnace 1, and the adhered wall 16f is brought into close contact with the first heating furnace 1 again, and the vacuum shield door 22, the first heat shield door 23, and the like. The vacuum shield door 1b is driven to open the carry-in / out port 16g, the charging / extracting port 18c, and the charging / extracting port 1a. Then, under reduced pressure, the second transfer device 21 is operated to recover the product W1 from the first heating furnace 1 to the heating chamber R, and then the vacuum shield door 22, the first heat shield door 23, and the vacuum shield door 1b is driven, and the carry-in / out port 16g, the charging / extracting port 18c and the charging / extracting port 1a are closed.

この際、加熱室Ｒの温度は、第一加熱炉１と同一の温度とされており、被処理品Ｗ１を加熱室Ｒに載置させても被処理品Ｗ１に変温が生ずることはない。
その後、搬送炉１０を油冷炉５に隣接する位置に移動させると共に油冷炉５に密着させて、減圧下において、被処理品Ｗ１を油冷炉５内部に装入し、処理時間ｔ３だけ油冷する。 At this time, the temperature of the heating chamber R is set to the same temperature as that of the first heating furnace 1, and even if the workpiece W1 is placed in the heating chamber R, the temperature of the workpiece W1 does not change. .
Thereafter, the transfer furnace 10 is moved to a position adjacent to the oil cooling furnace 5 and is brought into close contact with the oil cooling furnace 5, and the product W1 is charged into the oil cooling furnace 5 under reduced pressure, and only during the processing time t3. Oil cool.

被処理品Ｗ１を油冷炉５に移動させた後、処理時間ｔ２経過前に、上述した手順と同様にして、搬送炉１０の内部が第二加熱炉２の加熱温度（摂氏１２５０度）と同一の温度にされる。
その後、搬送炉１０を第二加熱炉２に隣接する位置まで移動させ、上述した手順と同様にして、減圧下で被処理品Ｗ２を回収する。
この際にも、加熱室Ｒの炉内温度は、第二加熱炉２と同一の温度とされており、被処理品Ｗ２を加熱室Ｒに載置させても被処理品Ｗ２に変温が生ずることはない。 After the workpiece W1 is moved to the oil-cooled furnace 5, before the processing time t2 elapses, the inside of the transfer furnace 10 is heated to the heating temperature (1250 degrees Celsius) of the second heating furnace 2 in the same manner as described above. The same temperature is set.
Thereafter, the transfer furnace 10 is moved to a position adjacent to the second heating furnace 2, and the workpiece W2 is recovered under reduced pressure in the same manner as described above.
Also in this case, the temperature in the furnace of the heating chamber R is the same as that of the second heating furnace 2, and even if the article to be processed W2 is placed in the heating chamber R, the temperature of the article to be processed W2 is changed. Never happen.

被処理品Ｗ２を第二加熱炉２から回収した後に、搬送炉１０をガス冷却炉４に隣接する位置に移動させ、上述した手順と同様にして、減圧下で被処理品Ｗ２をガス冷却炉４に装入する。そして、ガス冷却炉４に装入した被処理品Ｗ２を、所定の温度で、処理時間ｔ４だけガス冷却する。 After the workpiece W2 is recovered from the second heating furnace 2, the transfer furnace 10 is moved to a position adjacent to the gas cooling furnace 4, and the workpiece W2 is removed from the gas cooling furnace under reduced pressure in the same manner as described above. 4 is charged. Then, the workpiece W2 charged in the gas cooling furnace 4 is gas-cooled at a predetermined temperature for a processing time t4.

被処理品Ｗ２をガス冷却炉４に装入後、かつ、処理時間ｔ３経過後に、搬送炉１０を移動させて、搬送炉１０の第一搬送装置１５を油冷炉５の装入抽出口５ａに隣接させ、第一搬送装置１５を作動させる。すなわち、駆動機構４５により中間可動部４２及び載置部４３を＋Ｙ方向側に伸縮させる。そして、載置部４３が被処理品Ｗ１の下部に到達したときに、カム機構４４により上下可動部４１を介して、載置部４３を上側に上昇させ、被処理品Ｗ１を載置部４３に載置する。そして、再び駆動機構４５により、中間可動部４２と載置部４３とを−Ｙ方向側に短縮する。このようにして、油冷炉５の内部から被処理品Ｗ１を回収する。 After charging the article to be processed W2 into the gas cooling furnace 4 and after the processing time t3 has elapsed, the transfer furnace 10 is moved so that the first transfer device 15 of the transfer furnace 10 is inserted into the charging / extracting port 5a of the oil cooling furnace 5. And the first transfer device 15 is operated. That is, the intermediate movable unit 42 and the mounting unit 43 are expanded and contracted in the + Y direction side by the drive mechanism 45. When the placement unit 43 reaches the lower part of the workpiece W1, the cam mechanism 44 raises the placement unit 43 via the up and down movable unit 41, and the workpiece W1 is placed on the placement unit 43. Placed on. Then, the intermediate movable portion 42 and the placement portion 43 are shortened to the −Y direction side by the drive mechanism 45 again. In this way, the workpiece W1 is recovered from the inside of the oil cooling furnace 5.

被処理品Ｗ１を回収後、搬送炉１０を移動させて抽出台７に第一搬送装置１５を隣接させて、上記動作と同様にして、被処理品Ｗ１を抽出台７に載置させて被処理品Ｗ１の熱処理を終了する。 After the workpiece W1 is collected, the transfer furnace 10 is moved so that the first transfer device 15 is adjacent to the extraction table 7, and the workpiece W1 is placed on the extraction table 7 in the same manner as described above. The heat treatment of the processed product W1 is finished.

一方、被処理品Ｗ２をガス冷却炉４に装入後、処理時間ｔ４経過前に、加熱室Ｒをガス冷却炉４の冷却温度と同一の温度にする。すなわち、第二加熱炉２と同一の温度となっている加熱室Ｒを冷却する。具体的には、搬入搬出口１６ｇが真空シールドドア２２により、棒状部材導入口１８ｄが第二ヒートシールドア２４により閉塞されると共に、冷却ガス排出口１８ｅ，１８ｆと、冷却ガス導入口１８ｇとが開口される。そして、加熱室Ｒに不活性ガスを充填すると共に、この不活性ガスをガス循環装置２０ｃで内部空間１６ｓ及び加熱室Ｒに循環させる。この際、内部空間１６ｓを流れる不活性ガスは真空容器１６の内壁に接して、水冷ジャケット１６ｃを流れる冷媒と熱交換が行われることにより冷却される。このように、冷却された不活性ガスが加熱室Ｒに流れることにより、加熱室Ｒの温度が冷却される。なお、加熱室Ｒの温度がガス冷却炉４の冷却温度と同一の温度となった後には、内部空間１６ｄ、内部空間１６ｓ及び加熱室Ｒが再び減圧される。 On the other hand, the temperature of the heating chamber R is set to the same temperature as the cooling temperature of the gas cooling furnace 4 before the processing time t 4 elapses after the article W 2 is charged into the gas cooling furnace 4. That is, the heating chamber R having the same temperature as that of the second heating furnace 2 is cooled. Specifically, the loading / unloading port 16g is closed by the vacuum shield door 22, the rod-shaped member introduction port 18d is closed by the second heat shield door 24, and the cooling gas discharge ports 18e and 18f and the cooling gas introduction port 18g are provided. Opened. Then, the heating chamber R is filled with an inert gas, and the inert gas is circulated through the internal space 16s and the heating chamber R by the gas circulation device 20c. At this time, the inert gas flowing through the internal space 16s contacts the inner wall of the vacuum vessel 16 and is cooled by heat exchange with the refrigerant flowing through the water cooling jacket 16c. As described above, the cooled inert gas flows into the heating chamber R, whereby the temperature of the heating chamber R is cooled. In addition, after the temperature of the heating chamber R becomes the same temperature as the cooling temperature of the gas cooling furnace 4, the internal space 16d, the internal space 16s, and the heating chamber R are decompressed again.

そして、処理時間ｔ４経過後に、被処理品Ｗ２をガス冷却炉４から加熱室Ｒに回収する。この場合においても、加熱室Ｒは、ガス冷却炉４と同一の温度であるので、被処理品Ｗ２に変温が生じることはない。その後、搬送炉１０を移動させ第三加熱炉３に被処理品Ｗ２を装入して所望時間ｔ５だけ加熱する。所望時間ｔ５経過後、搬送炉１０を移動させて、被処理品Ｗ２を第三加熱炉３から加熱室Ｒに回収した後に、油冷炉５で被処理品Ｗ２を冷却し、冷却後に第一搬送装置１５で被処理品Ｗ２を回収して、抽出台７に被処理品Ｗ２を載置する。 Then, after the processing time t4 has elapsed, the product W2 to be processed is collected from the gas cooling furnace 4 into the heating chamber R. Even in this case, the heating chamber R has the same temperature as that of the gas cooling furnace 4, so that the temperature of the article to be processed W2 does not change. Thereafter, the transfer furnace 10 is moved, the product W2 is charged into the third heating furnace 3, and heated for a desired time t5. After the desired time t5 has elapsed, the transfer furnace 10 is moved to collect the product to be processed W2 from the third heating furnace 3 into the heating chamber R, and then the product to be processed W2 is cooled in the oil cooling furnace 5, and the first after cooling. The workpiece W2 is collected by the transport device 15, and the workpiece W2 is placed on the extraction table 7.

このように、本実施形態によれば、搬送炉１０が、加熱室Ｒの温度を昇温させるヒータ１９と加熱室Ｒの温度を降温させる冷却装置２０とを備えるので、被処理品Ｗ（Ｗ１，Ｗ２）の熱処理の工程に合わせて炉内の温度を変化させることができる。これにより、予期せぬタイミングで被処理品Ｗ（Ｗ１、Ｗ２）に変温が生じることを防止し、所望の性質で良質な被処理品Ｗ（Ｗ１、Ｗ２）を得ることができる。つまり、加熱室Ｒの温度と被処理品Ｗ（Ｗ１、Ｗ２）の温度が乖離している場合であっても、予定していた熱処理の前に被処理品Ｗ（Ｗ１、Ｗ２）が冷却されたり（図５中、一点鎖線）、加熱されたりしないので、被処理品Ｗ（Ｗ１、Ｗ２）の熱処理を良好に行うことができる。 Thus, according to this embodiment, since the transfer furnace 10 includes the heater 19 that raises the temperature of the heating chamber R and the cooling device 20 that lowers the temperature of the heating chamber R, the workpiece W (W1) , W2), the temperature in the furnace can be changed in accordance with the heat treatment step. As a result, it is possible to prevent the temperature of the article to be processed W (W1, W2) from changing at an unexpected timing, and to obtain a good article to be processed W (W1, W2) with desired properties. That is, even if the temperature of the heating chamber R and the temperature of the article to be processed W (W1, W2) are different from each other, the article to be processed W (W1, W2) is cooled before the scheduled heat treatment. (The one-dot chain line in FIG. 5) or heating, the article W (W1, W2) can be favorably heat treated.

また、搬送炉１０は、加熱室Ｒを備えるので、この加熱室Ｒの温度を容易に昇降させて、被処理品Ｗ（Ｗ１、Ｗ２）の変温を有効に防止することができる。
また、搬送炉１０は、基台１２に第一搬送装置１５を備えるので、冷却処理が終了した被処理品Ｗ（Ｗ１、Ｗ２）を抽出台７に搬送する場合に、加熱室Ｒの温度を降温させる必要がない。これにより、搬送炉１０の加熱室Ｒの温度を不必要に降温させることが防止され、熱処理システムＡの省電力化が可能となる。さらに、油冷後の被処理品Ｗを回収しても加熱室Ｒがオイルで汚されることを防止することができる。 Moreover, since the conveyance furnace 10 is provided with the heating chamber R, the temperature of this heating chamber R can be raised / lowered easily, and the temperature change of the to-be-processed goods W (W1, W2) can be prevented effectively.
Moreover, since the conveyance furnace 10 is equipped with the 1st conveying apparatus 15 in the base 12, when conveying the to-be-processed goods W (W1, W2) which completed the cooling process to the extraction stand 7, the temperature of the heating chamber R is set. There is no need to lower the temperature. Thereby, it is prevented that the temperature of the heating chamber R of the transfer furnace 10 is unnecessarily lowered, and the power saving of the heat treatment system A can be achieved. Furthermore, even if the article W to be processed after oil cooling is recovered, the heating chamber R can be prevented from being soiled with oil.

また、装入台６の搬送炉１０側に、密閉かつ減圧可能であり一つの被処理品Ｗを収容可能な容器を設け、被処理品Ｗを収容した状態でその容器を密閉・減圧し、装入台６から搬送炉１０に被処理品Ｗを装入すれば、加熱室Ｒが高温でもよくなり、加熱室Ｒが不必要に降温することを防止することができる。 In addition, a container that can be sealed and depressurized and can accommodate one article to be processed W is provided on the transfer furnace 10 side of the charging table 6, and the container is sealed and decompressed in a state in which the article to be treated W is accommodated. If the workpiece W is charged into the transfer furnace 10 from the charging table 6, the heating chamber R may be at a high temperature, and the heating chamber R can be prevented from being unnecessarily lowered.

また、ガス供給手段１７とガス循環装置２０ｃとを備えるので、加熱室Ｒを加熱した不活性ガスを循環させて熱対流により、急速に昇温させることができると共に、冷却した不活性ガスを加熱室Ｒに循環させて急速に降温させることが可能となる。 Further, since the gas supply means 17 and the gas circulation device 20c are provided, the heated inert gas heated in the heating chamber R can be circulated and rapidly heated by heat convection, and the cooled inert gas can be heated. The temperature can be rapidly lowered by circulating in the chamber R.

なお、上述した実施の形態において示した動作手順、あるいは各構成部材の諸形状や材質、その組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、本実施形態では、水冷ジャケット１６ｃに流れる冷媒により不活性ガスを冷却したが、内部空間１６ｓ（特に、加熱室Ｒ）に熱交換器を設ける構成にしてもよい。また、これらを重畳して用いて、不活性ガスを冷却してもよい。 Note that the operation procedure shown in the above-described embodiment, or the shapes, materials, combinations, and the like of each component are examples, and can be variously changed based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention. is there.
For example, in the present embodiment, the inert gas is cooled by the refrigerant flowing through the water cooling jacket 16c, but a heat exchanger may be provided in the internal space 16s (particularly, the heating chamber R). Moreover, you may cool an inert gas by superimposing these.

また、本実施形態では、第一搬送装置１５は、伸縮自在な構成のものとしたが、第一搬送装置１５を、他の搬送装置（例えば、第二搬送装置２１）の構成としてもよい。同様に、第二搬送装置２１を他の搬送装置（例えば、第一搬送装置１５）の構成としてもよい。 Moreover, in this embodiment, although the 1st conveying apparatus 15 was taken as the thing of the structure which can be expanded-contracted, it is good also considering the 1st conveying apparatus 15 as a structure of another conveying apparatus (for example, 2nd conveying apparatus 21). Similarly, the 2nd conveying apparatus 21 is good also as a structure of another conveying apparatus (for example, 1st conveying apparatus 15).

また、本実施形態では、二つの被処理品Ｗ１，Ｗ２を熱処理する場合について説明したが、被処理品Ｗを三つ以上としてもよいし、必ずしも同時に処理する必要はない。また、加熱炉や冷却炉は、適宜増減することが可能である。 Moreover, although this embodiment demonstrated the case where two to-be-processed goods W1, W2 were heat-processed, it is good also considering the to-be-processed product W as three or more, and it is not necessary to process simultaneously. The number of heating furnaces and cooling furnaces can be increased or decreased as appropriate.

また、本実施形態では、搬送装置の移動を第一レール１１と第二レール１２ｂとを敷設し、第一滑車１２ａと第二滑車１３ａを滑動させる構成としたが、例えば、レールを敷設せずに通常の車輪を設けてもよい。 Further, in the present embodiment, the movement of the transfer device is configured such that the first rail 11 and the second rail 12b are laid and the first pulley 12a and the second pulley 13a are slid. For example, the rail is not laid. Ordinary wheels may be provided.

また、本実施形態の熱処理は一例であり、種々の熱処理に対応することができる。そして、搬送炉１０に第一搬送装置１５を備えるので、種々の熱処理の工程に応じて被処理品Ｗを最適な温度で迅速に回収・搬送することが可能であると共に、加熱室Ｒの温度調整を少なくすることが可能である。
例えば、本実施形態では、ガス冷却炉４における冷却処理から第三加熱炉３における加熱処理までの間に、被処理品Ｗに変温が生じることを防止するために搬送炉１０を降温させて被処理品Ｗを回収し、ガス冷却炉４から第三加熱炉３まで搬送した。しかし、ガス冷却炉４における冷却処理で被処理品Ｗを常温まで降温させて全ての熱処理を完了する場合には、第一搬送装置１５で被処理品Ｗを回収すればよい。このように、第一搬送装置１５で被処理品Ｗを回収することで、常温下において冷却処理が終了した被処理品Ｗを迅速に回収・搬送することができると共に、加熱室Ｒの温度を常温まで降下させる必要がなくなり、加熱室Ｒの温度調整を少なくすることができる。 In addition, the heat treatment of this embodiment is an example, and various heat treatments can be handled. And since the conveyance furnace 10 is equipped with the 1st conveying apparatus 15, while being able to collect | recover and convey the to-be-processed goods W at optimal temperature rapidly according to the process of various heat processing, while being the temperature of the heating chamber R It is possible to reduce the adjustment.
For example, in the present embodiment, the temperature of the transfer furnace 10 is lowered in order to prevent the temperature of the article to be processed W from changing between the cooling process in the gas cooling furnace 4 and the heating process in the third heating furnace 3. The article to be processed W was collected and transferred from the gas cooling furnace 4 to the third heating furnace 3. However, when the product W is cooled to room temperature by the cooling process in the gas cooling furnace 4 and all the heat treatments are completed, the product W may be collected by the first transfer device 15. In this way, by collecting the article to be processed W by the first conveying device 15, the article to be processed W that has been cooled at normal temperature can be quickly collected and conveyed, and the temperature of the heating chamber R can be set. It is not necessary to lower the temperature to room temperature, and the temperature adjustment of the heating chamber R can be reduced.

この発明の一実施形態における熱処理システムＡの全体構成を示す図である。It is a figure showing the whole heat treatment system A composition in one embodiment of this invention. この発明の一実施形態における搬送炉１０を示す図であって、図１におけるＡ−Ａ線断面図である。It is a figure which shows the conveyance furnace 10 in one Embodiment of this invention, Comprising: It is the sectional view on the AA line in FIG. この発明の一実施形態における搬送炉１０を示す図であって、図２におけるＢ−Ｂ線断面図である。It is a figure which shows the conveyance furnace 10 in one Embodiment of this invention, Comprising: It is the BB sectional drawing in FIG. この発明の一実施形態における第一搬送装置１５の構成を示す図であって、図４（ａ）は、短縮時の第一搬送装置１５を示すものであり、図４（ｂ）は、伸長時の第一搬送装置１５を示すものである。It is a figure which shows the structure of the 1st conveying apparatus 15 in one Embodiment of this invention, Comprising: Fig.4 (a) shows the 1st conveying apparatus 15 at the time of shortening, FIG.4 (b) is expansion | extension. 1 shows the first transport device 15 at the time. この発明の一実施形態における被処理品Ｗ１，Ｗ２の処理温度と時間との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the process temperature and time of to-be-processed goods W1 and W2 in one Embodiment of this invention. 従来技術における熱処理システムＢの全体構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the whole structure of the heat processing system B in a prior art. 従来技術における熱処理システムＢにおける保温搬送炉１０５の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the heat insulation conveyance furnace 105 in the heat processing system B in a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

１…第一加熱炉（加熱炉、処理部）
２…第二加熱炉（加熱炉、処理部）
３…第三加熱炉（加熱炉、処理部）
４…冷却炉（処理部）
５…油冷炉（処理部）
１０…搬送炉
１２…基台
１３…炉本体
１５…第一搬送装置（搬送装置）
１８…断熱部材（加熱部本体）
１７…ガス供給手段
１９…ヒータ（加熱装置）
２０…冷却装置
２０ｃ…ガス循環装置
Ａ…熱処理システム
Ｒ…加熱室
1 ... First heating furnace (heating furnace, processing section)
2 ... Second heating furnace (heating furnace, processing section)
3 ... Third heating furnace (heating furnace, processing section)
4 ... Cooling furnace (processing section)
5 ... Oil-cooled furnace (processing section)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Conveying furnace 12 ... Base 13 ... Furnace main body 15 ... 1st conveying apparatus (conveying apparatus)
18 ... Heat insulation member (heating unit body)
17 ... Gas supply means 19 ... Heater (heating device)
20 ... Cooling device 20c ... Gas circulation device A ... Heat treatment system R ... Heating chamber

Claims

加熱炉と冷却炉とを含む複数の処理部と、
これら各処理部間を移動可能とされる搬送炉とを備え、
前記各処理部と前記搬送炉との間で被処理品の受け渡しが可能となるように構成された熱処理システムにおいて、
前記搬送炉は、前記搬送炉の炉内の温度を前記加熱炉の温度と同じ温度に昇温させて該加熱炉から受け渡された前記被処理品を前記加熱炉の温度と同じ温度に保持可能な加熱装置と、前記搬送炉の炉内の温度を前記冷却炉の温度と同じ温度に降温させて該冷却炉から受け渡された前記被処理品を前記冷却炉の温度と同じ温度に保持可能な冷却装置とを備えることを特徴とする熱処理システム。 A plurality of processing units including a heating furnace and a cooling furnace;
It is provided with a transfer furnace that can move between these processing units,
In the heat treatment system configured to enable delivery of the product to be processed between each processing unit and the transfer furnace,
The conveyor furnace, holding the conveying furnace the temperature of the furnace was raised to the same temperature as the temperature of the furnace the workpieces transferred from the heating furnace at the same temperature as the temperature of the heating furnace a heating device capable of holding the transport furnace the temperature of the furnace is cooled to the same temperature as the temperature of the cooling furnace the workpieces transferred from the cooled reactor at the same temperature as the temperature of the cooled reactor thermal processing system characterized in that it comprises a cooling device capable.

前記搬送炉は、前記複数の処理部の近傍に沿って移動可能な基台と、該基台上に設置された炉本体と、該炉本体内に設けられ、その内部が前記被処理品の熱処理を行う加熱室とされた加熱部本体とを備えてなることを特徴とする請求項１に記載の熱処理システム。 The transfer furnace is provided in a base that is movable along the vicinity of the plurality of processing units, a furnace main body that is installed on the base, and the inside of the furnace main body. The heat treatment system according to claim 1, further comprising a heating unit main body that is a heating chamber for performing heat treatment.

前記搬送炉は、前記基台上であって前記炉本体外に、前記処理部との間で前記被処理品の受け渡しを行う搬送装置を備えることを特徴とする請求項２に記載の熱処理システム。 3. The heat treatment system according to claim 2, wherein the transfer furnace includes a transfer device that transfers the workpieces to and from the processing unit on the base and outside the furnace main body. .

前記加熱部本体内にガスを供給するガス供給手段と、該加熱部本体内に供給されたガスを循環させるガス循環装置とを備えてなる請求項２又は３に記載の熱処理システム。 4. The heat treatment system according to claim 2, further comprising: a gas supply unit that supplies gas into the heating unit main body; and a gas circulation device that circulates the gas supplied into the heating unit main body.

前記冷却炉は、油冷炉であることを特徴とする請求項１から４のうちいずれか一項に記載の熱処理システム。 The heat treatment system according to any one of claims 1 to 4, wherein the cooling furnace is an oil cooling furnace.