JP5512052B2 - 非接触吸着盤 - Google Patents
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Description
しかしながら、特許文献1および2の装置は、このような要請に応えることができなかった。
薄板状の被吸着物を非接触状態で吸着する非接触吸着盤であって、
厚さ方向に貫通して延びる複数の通気孔が吸着固定領域に形成された板状の多孔質パッドと、
前記多孔質パッドの裏面に隣接して配置され、加圧空気が導入される第1密閉空間と、
前記第1密閉空間と隔離され、減圧される第2密閉空間と、
前記第2密閉空間と前記通気孔とを連通させる連通手段と、
表面が前記多孔質パッドの裏面側に積層され、該多孔質パッドの裏面との間に前記第1密閉空間を構成する凹所を備えた板状のホルダと、
前記ホルダの裏面側に積層され、該ホルダの裏面との間に第2密閉空間を形成するベースと、を備え、
前記ホルダが、一端が前記積層時に前記多孔質パッドの通気孔に接続され他端が該ホルダの裏面に開口し前記連通手段として機能する複数の連通孔と、前記複数の通気孔の裏面側開口端の位置で前記多孔質パッドの裏面に当接する平坦な頂部を備え前記ホルダの略全面にわたって配列された複数の島状の突出部を備え、
前記連通孔が前記突出部を貫通して延び、
前記突出部の間の空間が前記第1密閉空間とされている、
ことを特徴とする非接触吸着盤が提供される。
吸引圧力(減圧)と給気圧力(加圧)を独立して調整できるため、把持力と浮上力を制御可能としている。そのため、浮上隙間の調整も可能である。
前記多孔質パッドの裏面側に積層され、前記多孔質パッドの通気孔に対応する貫通孔を備えた板状のホルダを備え、
さらに、前記ホルダの裏面側に積層され、該ホルダの裏面との間に第2密閉空間を形成するベースを備え、
前記多孔質パッドの裏面に前記ホルダとの間に前記第1密閉空間を構成する凹所が形成され、
前記多孔質パッドの通気孔が前記ホルダの貫通孔に連結され前記連通手段として機能する。
前記ホルダと前記ベースとの間に配置される環状部を有する枠部材を備え、
前記第2密閉空間が、前記環状部の内部空間によって形成される。
前記多孔質パッドの凹所に、前記ホルダの表面に当接する平坦な頂部を備えた複数の島状の突出部を備え、
前記多孔質パッドの通気孔が、前記島状の突出部を貫通している。
前記通気孔が、前記多孔質パッドの表面全体に分散して配置されている。
このような構成によれば、多孔質パッドの通気孔から均一に加圧空気を噴出させることができる。
前記多孔質パッドが、多孔質カーボンで形成されている。
先ず、本発明の第1実施形態の非接触吸着盤の構成について説明する。図1は、本発明の第1実施形態の非接触吸着盤1の分解斜視図である。
多孔質パッド2には、複数の吸引孔(通気孔)8が形成されている。図2および図3に示されているように、吸引孔8は、多孔質パッド2の略全面に亘って、格子状に配列、すなわち碁盤の目の交点上に配置された状態で配列されている。本実施形態では、吸引孔8の間隔は25mm程度に設定されている。
上述したように、パッドホルダ4は、多孔質パッド2を下側(裏側)から保持する略円板状の部材であり、例えば、アルミ合金等の金属材料で形成されている。パッドホルダ4は、CFRP・PEEKなどの樹脂で形成することもできる。
各突出部14の頂面は平坦であり、中央に、パッドホルダ4を厚さ方向に貫通する連通孔18が穿孔されている。
この結果、多孔質パッド2が、所定の角度位置で、パッドホルダ4の立上がり部12の内側の空間に収容されると、多孔質パッド2の吸引口8とパッドホルダ4の連通孔18とが流体連通する。
このような構成によって、多孔質パッド2とパッドホルダ4とベース6とを、所定の角度位置で連結した状態で、真空孔24から真空吸引を行うと、パッドホルダ4の連通孔18を介して、多孔質パッド2の各吸引孔8から吸引が行われ、多孔質パッド2上のワークを多孔質パッド2に向けて吸着することができる。
このパッドホルダ4’は、下面が、上面が平坦な円板状のベースと接合され、ベースの平坦な上面と、薄い円柱状の凹所22’とによって、パッドホルダ4’とベースとの間の薄い(高さが低い)円柱状の第2密閉空間が形成される。このパッドホルダ4’の側壁には、凹所22’に連通する真空孔(図示せず)が形成されている。
このパッドホルダ4”も、下面が、上面が平坦な円板状のベースが接合され、ベースの平坦な上面と、格子状の溝22”とによって、パッドホルダ4”とベースとの間に格子状の溝による第2密閉空間が形成される。このパッドホルダ4”の側壁にも、格子状の溝22”に連通する真空孔(図示せず)が形成されている。
図11乃至図19は、非接触吸着盤1を使用したワーク搬送装置50によるワーク搬送の各工程を示す図面である。
ワーク搬送装置50は、カラム52と、カラム52の上端に肩関節54を介して回転自在に基端が連結された第1アーム56と、第1アーム56の先端に肘関節58を介して回転自在に基端が連結された第2アーム60と、第2アーム60の先端に手首関節62を介して回転自在に基端が連結されたハンド部64とを備えている。ハンド部64の下面には、上記実施形態の非接触吸着盤1が吸着面2aを下方に向けた状態で取付けられている。
ワークWは、図11に示されるように、第1の処理装置66上の吸着装置70によって、第1の処理装置66上に吸着保持されている。本実施形態の搬送工程では、先ず、ワーク搬送装置50の第1および第2のアーム56、60を、第1の処理装置66方向に伸張させ、ハンド部64に取付けられている非接触吸着盤1を、第1の処理装置66上に吸着保持されているワークWの上方に配置する(図12)。
非接触吸着盤100では、パッドホルダ104とベース106との間に、環状部分108aを備えた枠部材108が配置されている。
また、図23および図24に示されているように、矩形の多孔質パッド2”に、格子状または環状に、複数の吸引孔8”を配置した構成でもよい。この場合、矩形のパッドホルダ4”等が使用される。
2:多孔質パッド
4:パッドホルダ
6:ベース
8:吸引孔(通気孔)
10:連結穴
12:立上がり部
14:溝
16:突出部
18:連通孔
20:加圧空気入口
22:ベース溝
24:真空孔
Claims (6)
- 薄板状の被吸着物を非接触状態で吸着する非接触吸着盤であって、
厚さ方向に貫通して延びる複数の通気孔が吸着固定領域に形成された板状の多孔質パッドと、
前記多孔質パッドの裏面に隣接して配置され、加圧空気が導入される第1密閉空間と、
前記第1密閉空間と隔離され、減圧される第2密閉空間と、
前記第2密閉空間と前記通気孔とを連通させる連通手段と、
表面が前記多孔質パッドの裏面側に積層され、該多孔質パッドの裏面との間に前記第1密閉空間を構成する凹所を備えた板状のホルダと、
前記ホルダの裏面側に積層され、該ホルダの裏面との間に第2密閉空間を形成するベースと、を備え、
前記ホルダが、一端が前記積層時に前記多孔質パッドの通気孔に接続され他端が該ホルダの裏面に開口し前記連通手段として機能する複数の連通孔と、前記複数の通気孔の裏面側開口端の位置で前記多孔質パッドの裏面に当接する平坦な頂部を備え前記ホルダの略全面にわたって配列された複数の島状の突出部を備え、
前記連通孔が前記突出部を貫通して延び、
前記突出部の間の空間が前記第1密閉空間とされている、
ことを特徴とする非接触吸着盤。 - 前記多孔質パッドの裏面側に積層され、前記多孔質パッドの通気孔に対応する貫通孔を備えた板状のホルダを備え、
さらに、前記ホルダの裏面側に積層され、該ホルダの裏面との間に第2密閉空間を形成するベースを備え、
前記多孔質パッドの裏面に前記ホルダとの間に前記第1密閉空間を構成する凹所が形成され、
前記多孔質パッドの通気孔が前記ホルダの貫通孔に連結され前記連通手段として機能する、
請求項1に記載の非接触吸着盤。 - 前記ホルダと前記ベースとの間に配置される環状部を有する枠部材を備え、
前記第2密閉空間が、前記環状部の内部空間によって形成される、
請求項2に記載の非接触吸着盤。 - 前記多孔質パッドの凹所に、前記ホルダの表面に当接する平坦な頂部を備えた複数の島状の突出部を備え、
前記多孔質パッドの通気孔が、前記島状の突出部を貫通している、
請求項2または3に記載の非接触吸着盤。 - 前記通気孔が、前記多孔質パッドの表面全体に分散して配置されている、
請求項1ないし4のいずれか1項に記載の非接触吸着盤。 - 前記多孔質パッドが、多孔質カーボンで形成されている、
請求項1乃至5のいずれか1項に記載の非接触吸着盤。
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