JP5368878B2 - 情報処理装置、製造装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
ソフトウェアを更新した後に、露光装置1の制御部を起動し直す事で制御情報を反映する。最後に、ステップS4005で制御情報を更新した後の露光装置1をテストし、ステップS4005のテストで問題がなければステップS4006で露光処理を開始する。
一例を示した様に、製造装置のソフトウェアの更新は、稼動中の装置であっても高精度化や高機能化が可能な方法であり、製造装置の生産性の向上に有効である。
本発明に係る製造装置を制御するソフトウェア及びそれに付随するデータの少なくとも一方を含む制御情報を更新することが可能な情報処理装置の第1実施例について説明する。図1は製造装置としての露光装置を含む製造システムの模式図である。本実施例では、半導体装置の製造場所である工場又は事業所である半導体装置製造工場7に設置された製造システムについて説明する。半導体装置製造工場7には1つ以上の露光装置1とその他の製造装置2が配置されている。1つ以上の露光装置1とその他の製造装置2とは製造工場の制御装置3と半導体装置製造工場7のローカルエリアネットワーク等の第1通信網6で接続されている。制御装置3は、露光装置1、その他の製造装置2を制御して半導体装置の生産を行っている。
1.露光装置が動作する上でのモジュール(後述)間における条件(バージョン又はユニットIDの組み合せ)である「依存関係」の有無を示す情報(後述するモジュール間依存関係リスト)。
2.依存関係の詳細を示す情報であり、モジュール間の各条件(バージョン又はユニットIDの各組み合せ)において、露光装置が動作可能である事を示す「相性」の有無を示す情報(後述する相性テーブル)。
ここで、上記モジュールをハードウェアモジュールとソフトウェアモジュールの2つに分けて説明する。ハードウェアモジュール及びソフトウェアモジュールは、ハードウェア及びソフトウェアを管理する単位である。ハードウェアモジュールは、ユニットIDを有するユニット410及びユニット制御部403である。ソフトウェアモジュールは、制御情報を機能毎に分割した単位であり、最小単位としては例えばファイルである。また、ソフトウェアモジュールは、更にサブモジュールとして複数のソフトウェアモジュールを包含し、より大きな単位で構成される事も可能である。また、「モジュール間」と呼称するものは、少なくとも1つ以上のハードウェアモジュールと少なくとも1つ以上のソフトウェアモジュール間、あるいは少なくとも2つ以上のソフトウェアモジュール間、の双方を指す。
製造装置の一例である露光装置を含むシステム及び露光装置の制御情報を更新する方法の第2実施例について説明する。尚、本実施例における露光装置のシステムについては、図1を用いて説明した第1実施例のそれと全く同一であるため説明を省略する。第2実施例における露光装置の更新方法について、図16のフローチャートを用いて説明する。S1001〜S1005のバージョンを選択するステップ、装置構成情報を取得するステップ、整合性情報、結果情報を取得するステップ、整合性を確認するステップ、整合性情報を表示するステップは、第1実施例と同一なので説明を省略する。更に、S1006〜S1009の結果を確認するステップ、結果情報を表示するステップ、制御情報を更新するステップ、テストを行うステップについても第1実施例と同一であるため説明を省略する。図16から明らかであるが、露光装置の更新方法において本実施例第1実施例と異なる点は、テストを行うステップS1009の後に結果を記録するステップS1010が追加されている点である。本実施例によると、結果を記録するステップS1010では、判定部5は制御情報の更新後に実施されるステップS1009のテスト結果を第3通信部502を介して受信し、これを結果情報として記憶する。ここで、新たな結果情報の記憶は、図10のテスト結果リストに新たに行を追加し、対応するフィールドに結果が反映される事で実現される。尚、ステップS1009後に取得されるテスト結果を予め保持することは、特に露光装置1や更新部4に限定されず、判定部5が第3通信部502を介して受信可能であれば判定部5でも可能である。
露光装置を含むシステム及び露光装置の制御情報を更新する方法の第3実施例について図17を用いて説明する。図17は本発明を適用した露光装置を含む第2のシステムの模式図である。尚、本実施例における露光装置の更新方法については、図12を用いて説明した第1実施例の更新方法、又は図16を用いて説明した第2実施例の更新方法のいずれかを適用可能であるため、説明を省略する。また、本実施例の露光装置1、その他の製造装置2、製造工場の制御装置3、更新部4、判定部5、及び第1の通信網6は、図1を用いて説明した第1実施例と全く同一であるため説明を省略する。本実施例では、少なくとも1つ以上の半導体装置製造工場7は、第2の通信網8を介して半導体装置製造工場外に設置されている少なくとも1つ以上の第2判定部9と接続されている。ここで、第2判定部9と少なくとも1つ以上の判定部5は、第2の通信網8を介してと通信してお互いの整合性情報及び結果情報のデータを更新し、同じ整合性情報及び結果情報を共有している。これにより、複数の半導体装置製造工場7を跨って整合性情報及び結果情報を共有及び管理する事ができる。本来手作業で行っていたデータベースのメンテナンス負荷が軽減されるとともに、より多くの結果に基づく制御情報の更新可否について判定する事が可能となる。また、整合性情報と結果情報との保持を第2判定部9が行い、整合性情報と結果情報とに基づく判定を判定部5が行うように、判定部5と第2判定部9との機能を切り分けることが可能である。
Claims (10)
- 製造装置を制御するソフトウェア及びそれに付随するデータの少なくとも一方を含む制御情報を更新する情報処理装置であって、
前記製造装置に組み込まれた制御情報を新たな制御情報で更新する更新部と、
製造装置の構成と制御情報との整合性を示す整合性情報に基づいて、対象製造装置の構成と前記新たな制御情報との間に整合性があるか否か第1の判定を行い、前記第1の判定が否でなかった場合に、製造装置に制御情報を組み込んだ後における当該製造装置の運用履歴を示す運用履歴情報に基づいて、前記新たな制御情報が組み込まれた後に前記対象製造装置が正常に動作するか否か第2の判定を行い、前記第2の判定が否でなかった場合に、前記対象製造装置に組み込まれた制御情報を前記新たな制御情報で更新するように前記更新部に指令する判定部と、
を有することを特徴とする情報処理装置。 - 複数の製造装置それぞれについて、その構成と制御情報との整合性を示す整合性情報と、制御情報を組み込んだ後における製造装置の運用履歴を示す運用履歴情報とを保持する保持部をさらに有し、
前記判定部は、前記保持部により保持された前記整合性情報および前記運用履歴情報に基づいて、それぞれ前記第1の判定および前記第2の判定を行う、ことを特徴とする請求項1に記載の情報処理装置。 - 前記保持部は、前記更新部により制御情報の更新がなされた場合に、当該制御情報の更新がなされた後の製造装置が正常に動作するか否かをテストした結果の情報を蓄積し、該情報にも基づいて前記第2の判定を行う、ことを特徴とする請求項2に記載の情報処理装置。
- 前記構成は、製造装置を構成する複数のハードウェアをそれぞれ識別する複数の識別情報によって示される、ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記識別情報は、対応するハードウェアの状態についての情報を含む、ことを特徴とする請求項4に記載の情報処理装置。
- 前記整合性情報は、同一の製造装置に組み込まれうる複数のソフトウェアの間の整合性についての情報と、製造装置に組み込まれうるソフトウェアと製造装置を構成するハードウェアとの間の整合性についての情報との少なくとも一方を含む、ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記判定部は、前記運用履歴情報を解析し、当該解析をした結果に基づいて、前記第2の判定を行う、ことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記判定部は、前記第1の判定または前記第2の判定が否であった場合に、前記第1の判定および前記第2の判定のうち否であった判定に関する情報を表示し、かつ前記対象製造装置に組み込まれた制御情報を前記新たな制御情報で強制的に更新するように指令する強制指令を受け入れ可能とするように前記更新部に指令する、ことを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- パターンを基板に転写する製造装置であって、
請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の情報処理装置を有することを特徴とする製造装置。 - 請求項9に記載の製造装置を用いてパターンを基板に転写する工程と、
前記工程でパターンを転写された基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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