JP5365897B2 - 位置決め装置 - Google Patents
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Description
複数の歯をスライダとの対向面まで突出させたモータステータコアと、前記対向面から所定の間隙を介して対向配置されモータコアを内蔵する前記スライダとを具備する位置決め装置において、
前記スライダに搭載され、前記対向面から所定の距離に配置され、前記対向面から歯の深さ以内の歯先のみに磁束を通すようにした磁気回路を形成するレゾルバ式位置センサを備え、
前記磁気回路は、互いのコアの一部を共通化して形成された一対のコアで構成され、これらのコアに巻回されたインピーダンス検出巻き線から、位相が180度シフトした位置信号を検出することを特徴とする。
(1)磁気回路が、モータステータコアの歯先のみを通り、つなぎ目や固定構造部分を通らないので、モータステータコアのつなぎ目や固定構造等によって測定精度が影響を受けず、高精度の位置検出ができる。
磁気回路B1〜B4は、モータステータコア10の歯先のみを通るように構成される。
磁路として空間を使用しているため、励磁周波数を上げたときのコア材の周波数特性の影響が少なく、高い励磁周波数を使用できるという利点がある。高い励磁周波数とすることで位置検出の応答速度を向上できる。
11a,11b,11c コアつなぎ目
20 モータコア
30 スライダ
40 レゾルバ式位置センサ
70 モータベース
101a,101b コア
101c インピーダンス検出巻き線
B1 磁気回路
S 対向面
Claims (1)
- 複数の歯をスライダとの対向面まで突出させたモータステータコアと、前記対向面から所定の間隙を介して対向配置されモータコアを内蔵する前記スライダとを具備する位置決め装置において、
前記スライダに搭載され、前記対向面から所定の距離に配置され、前記対向面から歯の深さ以内の歯先のみに磁束を通すようにした磁気回路を形成するレゾルバ式位置センサを備え、
前記磁気回路は、互いのコアの一部を共通化して形成された一対のコアで構成され、これらのコアに巻回されたインピーダンス検出巻き線から、位相が180度シフトした位置信号を検出することを特徴とする位置決め装置。
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