JP5364253B2 - レーザ顕微鏡用レーザ導入装置およびレーザ顕微鏡 - Google Patents
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1つのレーザ光の単独光路に設けられ、前記レーザ顕微鏡への前記レーザ光の導入状態を調整する単独レーザ調整手段と、
該単独レーザ調整手段を経た前記レーザ光を含む少なくとも2つのレーザ光の共通光路に、前記少なくとも2つのレーザ光に対して共通に設けられ、前記レーザ顕微鏡への前記少なくとも2つのレーザ光の導入状態を同時に調整する共通レーザ調整手段と、を有し、
前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、少なくとも、前記レーザ顕微鏡に設けられる前記複数のレーザ光を集光するレンズの瞳へのレーザ光の波面曲率を調整する波面曲率調整手段を有する、
ことを特徴とするものである。
前記波面曲率調整手段は、少なくとも光軸方向に移動可能なレンズを含むリレー光学系を有し、前記レンズを光軸方向に移動させることにより前記瞳へのレーザ光の波面曲率を調整するように構成したことを特徴とするものである。
前記波面曲率調整手段は、少なくとも光軸方向に移動可能なレンズを含むリレー光学系を有し、前記レンズを光軸方向に移動させることにより前記瞳へのレーザ光の波面曲率を調整するように構成したことを特徴とするものである。
前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、それぞれ、前記瞳へのレーザ光の位置を調整する位置調整手段をさらに有することを特徴とするものである。
前記位置調整手段は、レーザ光の反射角度を調整する変位可能なミラーを含む反射光学系を有し、前記ミラーを変位させることにより前記瞳へのレーザ光の位置を調整するように構成したことを特徴とするものである。
前記位置調整手段は、レーザ光を屈折透過させる変位可能なレンズを有し、該レンズを変位させて、その光軸を基準光軸に対して偏心させることにより、前記瞳へのレーザ光の位置を調整するように構成したことを特徴とするものである。
前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、それぞれ、前記瞳へのレーザ光の角度を調整する角度調整手段を有することを特徴とするものである。
前記角度調整手段は、レーザ光の反射角度を調整する変位可能なミラーを含む反射光学系を有し、前記ミラーを変位させることにより前記瞳へのレーザ光の角度を調整するように構成したことを特徴とするものである。
前記角度調整手段は、レーザ光を屈折透過させる変位可能なレンズを有し、該レンズを変位させて、その光軸を基準光軸に対して偏心させることにより、前記瞳へのレーザ光の角度を調整するように構成したことを特徴とするものである。
図1は、本発明の第1実施の形態に係るレーザ顕微鏡用レーザ導入装置の原理的構成を示す概念図である。このレーザ導入装置100は、第1レーザ光L1および第2レーザ光L2の2つのレーザ光を、ハーフミラーやダイクロイックミラー等からなる光路合成用光学素子1により光路を共通にして、図示しないレーザ顕微鏡に導入するものである。ここで、第1レーザ光L1および第2レーザ光L2は、波長が異なる場合もあるし、同一波長の場合もある。これら、第1レーザ光L1および第2レーザ光L2は、図示しないが、それぞれ独立したレーザ光源から得ることもできるし、1つのレーザ光源からのレーザ光を2分割し、その一方を第1レーザ光L1とし、他方を必要に応じて波長変換して第2レーザ光L2として得ることもできる。
図8は、本発明の第2実施の形態に係るレーザ顕微鏡用レーザ導入装置の概略構成図である。このレーザ導入装置200は、第1実施の形態のレーザ導入装置100において、光路合成用光学素子1に至る第1レーザ光L1の単独光路にも、単独レーザ調整手段40を設けたものである。
図10は、本発明の第3実施の形態に係るレーザ導入装置を備えるレーザ顕微鏡の概略構成図である。このレーザ顕微鏡50は、図6に示した第1実施の形態のレーザ導入装置100を具備するもので、該レーザ導入装置100に第1レーザ光L1および第2レーザ光L2を同時に、または選択的に導入して、共通レーザ調整手段20から出射されるレーザ光を、ガルバノスキャナ51、リレーレンズ52a,52bおよび集光レンズ53を経て標本54に集光して、標本54をガルバノスキャナ51により二次元走査するようにしたものである。
図12は、本発明の第4実施の形態に係るレーザ導入装置を備えるレーザ顕微鏡の概略構成図である。このレーザ顕微鏡60は、図8に示した第2実施の形態のレーザ導入装置200を具備するもので、該レーザ導入装置200に第1レーザ光L1および第2レーザ光L2を同時に、または選択的に導入して、共通レーザ調整手段20から出射されるレーザ光を、ガルバノスキャナ61、リレーレンズ62a,62bおよび集光レンズ63を経て標本64に集光して、標本64をガルバノスキャナ61により二次元走査するようにしたものである。
2 基準面
10,40 単独レーザ調整手段
20 共通レーザ調整手段
11,21,41 位置・角度調整手段
12,22,42 波面曲率調整手段
11a,11b,21a,21b,41a,42b ミラー
12a,12b,22a,22b,42a,42b レンズ
12c,22c,42c 移動ステージ
30,50,60 レーザ顕微鏡
31,53,63 集光レンズ
31a,53a,63a 瞳位置
54,64 標本
72a,72b レンズ
100,200 レーザ導入装置
Claims (10)
- 複数のレーザ光をレーザ顕微鏡に導入するためのレーザ顕微鏡用レーザ導入装置であって、
1つのレーザ光の単独光路に設けられ、前記レーザ顕微鏡への前記レーザ光の導入状態を調整する単独レーザ調整手段と、
該単独レーザ調整手段を経た前記レーザ光を含む少なくとも2つのレーザ光の共通光路に、前記少なくとも2つのレーザ光に対して共通に設けられ、前記レーザ顕微鏡への前記少なくとも2つのレーザ光の導入状態を同時に調整する共通レーザ調整手段と、を有し、
前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、少なくとも、前記レーザ顕微鏡に設けられる前記複数のレーザ光を集光するレンズの瞳へのレーザ光の波面曲率を調整する波面曲率調整手段を有する、
ことを特徴とするレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。 - 前記波面曲率調整手段は、少なくとも光軸方向に移動可能なレンズを含むリレー光学系を有し、前記レンズを光軸方向に移動させることにより前記瞳へのレーザ光の波面曲率を調整するように構成したことを特徴とする請求項1に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記波面曲率調整手段は、少なくとも形状可変ミラーを有し、前記形状可変ミラーの反射面形状変化により前記瞳へのレーザ光の波面曲率を調整するように構成したことを特徴とする請求項1に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、それぞれ、前記瞳へのレーザ光の位置を調整する位置調整手段をさらに有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記位置調整手段は、レーザ光の反射角度を調整する変位可能なミラーを含む反射光学系を有し、前記ミラーを変位させることにより前記瞳へのレーザ光の位置を調整するように構成したことを特徴とする請求項4に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記位置調整手段は、レーザ光を屈折透過させる変位可能なレンズを有し、該レンズを変位させて、その光軸を基準光軸に対して偏心させることにより、前記瞳へのレーザ光の位置を調整するように構成したことを特徴とする請求項4に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記単独レーザ調整手段および前記共通レーザ調整手段は、それぞれ、前記瞳へのレーザ光の角度を調整する角度調整手段を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記角度調整手段は、レーザ光の反射角度を調整する変位可能なミラーを含む反射光学系を有し、前記ミラーを変位させることにより前記瞳へのレーザ光の角度を調整するように構成したことを特徴とする請求項7に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 前記角度調整手段は、レーザ光を屈折透過させる変位可能なレンズを有し、該レンズを変位させて、その光軸を基準光軸に対して偏心させることにより、前記瞳へのレーザ光の角度を調整するように構成したことを特徴とする請求項7に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載のレーザ顕微鏡用レーザ導入装置を具備する、ことを特徴とするレーザ顕微鏡。
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