JP2019074594A - 顕微鏡装置 - Google Patents

Abstract

【課題】照明レンズの物理的な調整を行うことなく、照明レンズの光軸の位置、角度の調整を容易に行うことができる顕微鏡装置を提供する。【解決手段】顕微鏡装置１００は、標本でシート状の光を形成する照明光学系１０を備え、照明光学系１０は、標本へ光を照射する照明レンズであるシリンドリカルレンズ６と、光の反射位置を変化させる移動機能、または光の反射角方向を変化させる回転機能、またはその両方の機能を備える少なくとも２枚以上の反射部材３、５と、を含み、反射部材３、５は、照明レンズの瞳位置または瞳共役な位置、または、照明レンズの後側焦点位置と共役な位置、のいずれかの位置に配置される。【選択図】図１

Description

シート照明を行う顕微鏡装置に関する。

シート状の光（シート光）を標本面で形成するライトシート顕微鏡は、観察平面以外に照明光が照射されないことから生体標本の褪色を低減するとともに、高速な撮像を可能とする観察手段として知られている。近年では、蛍光タンパク質をターゲット分子に標識したゼブラフィッシュ等の生体標本を立体的に観察する従来の用途に加え、画像解析技術により薬効評価を行う創薬スクリーニングを行うための、スフェロイドやオルガノイド等の培養細胞の立体像を取得するといった用途への適用も考えられており、ライトシート顕微鏡を用いた観察技術は、幅広いアプリケーションへの応用が期待されている。

また、ライトシート顕微鏡の検出光軸方向の分解能は、シート光の厚みにより決まり、例えば高NAの照明レンズを用いることで高い分解能による観察を実現し得る。

特許文献１、２には、ライトシート顕微鏡に係る技術であって、シート光を形成し、走査する技術について記載されている。

特許第５５２５１３６号公報 特開２０１６−９１００６号公報

ライトシート顕微鏡による観察を行うに際して光学性能を十分に引き出すべく、標本回りの光学素子の調整、具体的には、標本へ光を照射する照明側の光束の軸、検出側の光束の軸、観察を行う平面の間の相対的な角度及び位置関係の正確な調整を行うことを要する。従来では、照明側のレンズを検出側の対物レンズに対して直接傾けたりシフトさせることで上記調整が行われていた。

一方で、シート光の厚みを減らし分解能を向上させる等の目的で、高NAの照明レンズを用いる状況では（係る状況では検出側の対物レンズもシート光の厚さに併せたNAとされる）、標本付近にレンズが密集し、照明レンズ、対物レンズが移動可能なスペースは大きく制限される。従って従来の方法では、特にレンズ間隔が密集してしまう程度に高いNAの照明レンズ、対物レンズを用いる場合において、標本周りの光学素子の調整を正確に行うことが難しく、光学性能を安定化させて観察を行うことが困難であった。

以上の実情を鑑みて、本発明では、照明レンズの物理的な調整を行うことなく、照明レンズを通過する光束の軸の位置、角度の調整を容易に行うことができる顕微鏡装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様における顕微鏡装置は、 標本でシート状の光を形成する照明光学系を備え、前記照明光学系は、前記標本へ光を照射する照明レンズと、光の反射位置を変化させる移動機能、または光の反射角方向を変化させる回転機能、またはその両方の機能を備える少なくとも２枚以上の反射部材と、を含み、前記少なくとも２枚以上の反射部材の各々は、前記照明レンズの瞳位置または瞳共役な位置、または、前記照明レンズの後側焦点位置と共役な位置、のいずれかの位置に配置されることを特徴とする顕微鏡装置。

本発明によれば、照明レンズの物理的な調整を行うことなく、照明レンズを通過する光束の軸の位置、角度の調整を容易に行うことができる。

第１の実施形態における顕微鏡装置の構成を示す 第２の実施形態における顕微鏡装置の構成を示す 第３の実施形態における顕微鏡装置の構成を示す 第３の実施形態の変形例における顕微鏡装置の構成を示す 第４の実施形態における顕微鏡装置の構成を示す 第５の実施形態における顕微鏡装置の構成を示す 第５の実施形態における顕微鏡装置の別の一構成例を示す 第６の実施形態における顕微鏡装置の構成を示す

以下、本発明の第１の実施形態における顕微鏡装置１００について説明する。図１は、顕微鏡装置１００の構成を示している。また、以降の説明では方向を示す際に図１で規定される各軸方向（X、Y、Z方向）を用いて行う。尚、以降他の実施形態について説明をする際にも、同様に図中に示された方向（X、Y、Z方向）を用いて行うものとする。

顕微鏡装置１００は、照明用の光（照明光）を標本に照射し、標本においてシート状の光（シート光）を形成する照明光学系１０と、照明光学系１０の光軸と直交する光軸を有し、標本からの光を取り込む検出光学系２０と、を備えている。尚、標本は光透過性を有する容器Cの中に入れられており、照明光学系１０、検出光学系２０との間で光を介する。

照明光学系１０は、光源１、レンズ２、反射部材３、レンズ４、反射部材５、シリンドリカルレンズ６を含む。

光源１は、照明光を出力する。レンズ２は照明光を集光して光源１の一次像を形成する。レンズ４はレンズ２により形成された光源１の一次像を後段の光学系へリレーする。

反射部材３は、レンズ２により形成された一次像の位置、即ちシリンドリカルレンズ６の後側焦点位置と共役な位置に配置される。反射部材３は可動式のミラーであり、図１に示すように回転移動することで、光の出射角度（反射角方向）を調整する。また、反射部材３はZX平面上（Z方向とX方向とで作られる平面）及びXY平面上（X方向とY方向とで作られる平面）で回転移動する。

反射部材５は、シリンドリカルレンズ６の瞳位置または瞳位置と共役な位置に配置される。反射部材５は、反射部材３と同様の可動式ミラーであり、回転移動により光の出射角度を調整する。反射部材５は、ZX平面上及びXY平面上で回転移動する。

シリンドリカルレンズ６は、標本に照明光を照射する照明レンズとしての役割を有するとともに、ＹＺ平面上でZ方向にのみパワーを有し、標本に照明光を照射することでY方向に幅を有するシート光を形成する。

検出光学系２０は、対物レンズ２１と、不図示の光検出器（撮像素子等）を含む。対物レンズ２１が取り込んだ光は、光検出器へ導光され、光検出器で得られた情報に基づいて観察画像が作られる。

以下、反射部材３、５の作用について説明する。

シリンドリカルレンズ６の後側焦点位置に配置された反射部材３が回転移動することで、シリンドリカルレンズ６の入射面への照明光の入射位置が変更される。即ち、反射部材３は、回転移動に応じてシリンドリカルレンズ６の光軸と直交するZY平面に対する、シリンドリカルレンズ６を出射する光束の軸の角度を変更する手段として機能するものである。

また、シリンドリカルレンズ６の瞳位置または瞳位置と共役な位置に配置された反射部材５が回転移動することで、シリンドリカルレンズ６の入射面への照明光の入射角度が変更される。即ち、反射部材５は、回転移動に応じてシリンドリカルレンズ６の光軸と直交するZY平面上で、シリンドリカルレンズ６を出射する光束の軸の位置を変更する手段として機能する。

尚、光束の軸とは、光学系を介して実際に進行する光の軸を示し、例えばレンズに対して角度を持って光が入射すれば、そのレンズを出射する光束の軸はレンズの光軸と直交する平面上で移動し、光軸とは位置が異なる軸となる。以降、照明レンズを出射する光束の軸を、照明レンズの出射光軸とも表記する。

従って、反射部材３、５の移動に応じて、照明レンズ（シリンドリカルレンズ６）を出射する光束の軸の位置及び角度をZY平面上で変更可能となる。例えば、光源１が出力する波長の変更等により照明レンズの出射光軸が規定の位置または角度に対しズレてしまった場合に、反射部材３、５の機能により出射光軸の調整を行うことができる。尚、規定の位置または角度とは、照明レンズの光軸に対する位置や角度、または、対物レンズ２１や容器C内の標本の観察を行いたい領域との相対的な関係で決まる位置または角度を指す。

特に反射部材３、５は、ZX平面上及びXY平面上で回転移動するものであるため、照明レンズの光軸と直交する各軸（Z方向及びY方向）のいずれに対しても照明レンズの出射光軸の角度変更が可能であり、且つ、各軸方向のいずれにおいても照明レンズの出射光軸の位置変更が可能となる。そのため、ZY平面上での照明レンズの出射光軸の調整を自在に行うことができる。

以上のように顕微鏡装置１００は、装置内部に備えた反射部材３、５を移動することで、照明レンズの出射光軸の調整（位置変更及び角度変更）を行うことができるため、少なくとも上記反射部材３、５で賄うことが可能な調整に際して、照明レンズ自体を物理的に移動する構成を設けることを要しない。

従来、照明レンズを移動させることで、照明レンズの出射光軸の調整を行う構成が一般的であったが、特に高NAの対物レンズ、照明レンズを用いる場合、標本付近にレンズが密集するため、標本周りの光学素子の調整を正確に行うことが困難であった。顕微鏡装置１００の構成によれば、照明レンズに近接する構成（例えば対物レンズや容器C等）による物理的な制約を受けることなく、容易に照明レンズを出射する光束の軸の位置、角度の調整を行うことができる。

以下、第２の実施形態における顕微鏡装置２００について説明する。図２は、顕微鏡装置２００の構成を示している。尚、図２の左側は、X方向を紙面奥行き方向とした際の顕微鏡装置２００の配置を示し、図２の右側は、Y方向を紙面奥行き方向とした際の配置を示している。

顕微鏡装置２００は、照明光を標本に照射し、標本においてシート光を形成する照明光学系３０と、標本からの光を取り込む検出光学系２０と、を備えている。

照明光学系３０は、光源１、反射部材３１、レンズ３２、３３、反射部材３４、シリンドリカルレンズ３５を含む。

本構成の光源１、レンズ３２、３３、シリンドリカルレンズ３５は、それぞれ光源１、レンズ２、４、シリンドリカルレンズ６と同様の機能を有する。尚、シリンドリカルレンズ３５は、標本へ光を照射する照明レンズである。

反射部材３１は、シリンドリカルレンズ３５の瞳共役な位置に配置されている。反射部材３１は可動式のミラーであり、回転移動及び直線移動により光の出射角度、反射部材３１における光の反射位置を変化させる。具体的には図２に示されるとおり、反射部材３１は、XY平面上で回転移動し、且つ、光の入射方向（Y方向）に移動する。

反射部材３４は、反射部材３１とは異なる位置である、シリンドリカルレンズ３５の瞳共役な位置（または瞳位置でもよい）に配置される。反射部材３４は可動式のミラーであり、回転移動及び直線移動により光の出射角度、反射部材３４における光の反射位置を変化させる。具体的には図２に示されるとおり、反射部材３５は、ZX平面上で回転移動し、且つ、光の入射方向（Z方向）に移動する。

反射部材３１、３４の作用について以下に説明する。

照明レンズと瞳共役な位置に配置される反射部材３１、３４がXY平面上及びZX平面上で回転移動する作用については、第１の実施形態で述べたとおりであり、反射部材５と同様に、回転移動に応じて照明レンズの出射光軸の位置をZY平面上で変更するものとなる。

照明レンズの瞳共役な位置に配置される反射部材３１、３４が光の入射方向に対して、移動することでシリンドリカルレンズ３５の入射面への照明光の入射位置がその移動方向に変更される。即ち、反射部材３１、３４は、光の入射方向に対する移動に応じてシリンドリカルレンズ３５の出射光軸のZY平面に対する角度を変更する。

即ち、反射部材３１、３４が有する入射方向に対して直線的に移動する機能により奏する効果は、第１の実施形態で説明した照明レンズの後側焦点位置と共役な位置に配置された回転移動する反射部材（反射部材３）と同様である。つまり、本実施形態の構成によっても装置内部の構成により、照明レンズの出射光軸の調整（出射光軸の位置変更及び角度変更）を容易に行うことを可能とする。

第１の実施形態、第２の実施形態で説明したように、本発明における照明レンズの出射光軸の調整に係る反射部材（後述するが少なくとも２枚以上の反射部材である）は、光の反射角方向を変化させる回転移動をするものに限らず、光の反射位置を変化させるように直線移動する機能を有するものであってもよく、その両方の機能を有するものであってもよい。またそのような反射部材の各々は、照明レンズの後側焦点位置の共役位置または照明レンズの瞳位置または瞳共役な位置に配置されるものである。

いずれにせよ、本発明の顕微鏡装置に係る反射部材は、照明レンズの瞳位置または瞳共役位置に配置された反射部材（回転移動または直線移動またはその両方を行う）、照明レンズの後側焦点位置と共役な位置に配置された反射部材（回転移動または直線移動またはその両方を行う）の組み合わせにより、照明レンズの出射光軸のYZ平面上における位置変更及び角度変更を併せて行うことができる構成であればよい。

特に、実使用上では、YZ平面上で各軸方向（Y方向及びZ方向）において出射光軸の位置変更及び角度変更を行うことが想定され、少なくとも２枚以上の反射部材について、上記条件を満たすように配置することを条件としている。換言すると、少なくとも２枚以上の反射部材のいずれかまたは全ては、照明レンズの光軸に直交する各軸に対して、照明レンズの出射光軸の角度を変更する。また、少なくとも２枚以上の反射部材のいずれかまたは全ては、照明レンズの光軸に直交する各軸方向に、照明レンズの出射光軸の位置を変更する。係る構成の一例として、第１、２の実施形態の顕微鏡装置の構成を示した。

例えば、第２の実施形態では顕微鏡装置２００内の反射部材３１がXY平面上で回転移動し、反射部材３４がZX平面上で回転移動するものとしたが、変形例として、反射部材３４がXY平面上及びZX平面上で回転移動し、反射部材３１が回転移動しないものも考えられる。また、照明レンズの後側焦点位置と共役な位置に反射部材を配置し、その反射部材を光の入射方向に対して移動すると、照明レンズの入射面に対する照明光の角度が変更されて、照明レンズの出射光軸の位置を変更するものとなるため（反射部材５と同様の効果を奏する）、該構成を組み合わせることも考えられる。このように、第１、２の実施形態で記載した組み合わせ以外にも照明レンズの出射光軸を調整することが可能な組み合わせは考えられる。

また、可動式ミラーである反射部材を移動させることで照明レンズの出射光軸の調整を行う構成によれば、例えばレンズを傾斜及び移動する構成のように収差が発生することもない。また、反射部材を照明レンズの瞳共役位置（瞳位置）または後側焦点位置と共役な位置に置くことで、照明レンズの出射光軸の位置変更及び角度変更をそれぞれ独立して制御することができる。

以下、第３の実施形態における顕微鏡装置３００について説明する。図３は、顕微鏡装置３００の構成を示している。

顕微鏡装置３００は、照明光学系４０と、検出光学系２０を備えている。照明光学系４０と同様の構成を有する照明光学系４０’をさらに備えていてもよい。

照明光学系４０は、不図示の光源からの照明光を導光する光ファイバ４１、レンズ４２、４３、反射部材４４、レンズ４５、反射部材４６、レンズ４７、４８、絞り４９、ガルバノミラー５０、シリンドリカルレンズ５１、５２を含む。

レンズ４３は、レンズ４２により導光された光ファイバ４１のファイバ端面の照明光を集光して一次像を形成する。レンズ４５は、レンズ４３により形成された一次像を後段の光学系へリレーする。

反射部材４４は、レンズ４３により形成された一次像の位置、即ち照明レンズ（シリンドリカルレンズ５２）の後側焦点位置と共役な位置に配置される。また、反射部材４６は、シリンドリカルレンズ５２の瞳位置と共役な位置に配置される。反射部材４４、４６は、第１の実施形態で説明した反射部材３、５と同様の配置、機能を有するものである。

レンズ４７は、反射部材４６からの照明光を集光して光ファイバ４１端面の像（二次像）を形成し、レンズ４８が後段の光学系へリレーする。即ち、レンズ４７、４８はリレー光学系である。

ここでレンズ４７は、モータ等の駆動により光軸方向に移動し、図３に示すようにレンズ位置を変更することにより、照明レンズ（シリンドリカルレンズ５２）の集光位置をX方向に変更する。従って、レンズ４７は、照明レンズの集光位置を照明レンズの光軸方向に変更する集光位置変更手段として機能する。

集光位置変更手段をさらに備えることで、YZ平面上での照明レンズの出射光軸の角度、位置調整の機能に加え、X方向にシート光の位置を調整することが可能となる。

絞り４９は、光路上の開口の大きさを可変とする絞りであり、照明レンズの瞳位置の光束の大きさを変更する。

ガルバノミラー５０は、XY平面上で回転移動し、照明光学系４０の光軸と検出光学系２０の光軸と直交する軸方向であるシート光の幅方向（Y方向）に照明光学系４０が標本へ照射する光を走査する走査用のミラーである。

シリンドリカルレンズ５２は、シリンドリカルレンズ６同様にZ方向のみにパワーを有する。シリンドリカルレンズ５１は、Y方向のみにパワーを有する。即ち、シリンドリカルレンズ５１、５２により形成されるシート光は、Y方向に拡散光（または収束光）を形成し、ガルバノミラー５０の走査によってシート光が形成される標本上の領域に余すことなく光を照射することができる。一般に、光を吸収する物質等がシート光の照射面上にあった場合に、その後段に光が照射されない領域（縞）ができてしまう。一方、シリンドリカルレンズ５１、５２及び走査用のガルバノミラー５０を有する構成とし、異なる拡散角の光を有するシート光を走査することで、照射面上の全ての領域を照明することができるため、縞消しの効果を奏する。

また、第３の実施形態の変形例として、顕微鏡装置３５０は、図４に示すように集光位置変更手段としてレンズ４７の代わりに可変焦点レンズ５３を備えていてもよい。可変焦点レンズ５３によっても可変焦点レンズ５３自体の焦点距離を変更することで、照明レンズ（シリンドリカルレンズ５２）の集光位置をX方向に変更し、X方向にシート光の位置を調整することができる。

以下、第４の実施形態における顕微鏡装置４００について説明する。図５は、顕微鏡装置４００の構成を示している。

顕微鏡装置４００は、照明光学系６０と、検出光学系２０を備えている。照明光学系６０は、第３の実施形態の照明光学系４０と同様の構成については同じ符号を付している。より詳しくは、照明光学系６０は、ミラー５０（ここでは移動せず固定されたミラーである）の後段にシリンドリカルレンズ５１、５２の代わりに、アキシコンレンズ６１、レンズ６２、ミラー６３、レンズ６４、ガルバノミラー６５を備えている点で照明光学系４０と相違する。

アキシコンレンズ６１は、円錐形状のプリズムで構成される。アキシコンレンズ６１に入射した光はアキシコンレンズ６１の出射光軸上の複数の箇所に集光することでライン状の光を形成し、その後一定の厚みをもつリング状の光束を形成し、後段の光学系へ入射する。

レンズ６２、ミラー６３、レンズ６４は、アキシコンレンズ６１によりアキシコンレンズ６１の出射光軸上に形成されたライン状の光を、ガルバノミラー６５を介して標本面上へリレーする。

ガルバノミラー６５は、XY平面上で回転移動し、ライン状の光を幅方向（Y方向）に走査する走査用のミラーである。ガルバノミラー６５がライン状の光を幅方向（Y方向）に走査することで擬似的にシート光が標本面上に形成される。

シート光を形成する構成はシリンドリカルレンズのみによらず、顕微鏡装置４００のように、アキシコンレンズが形成するライン状の光を走査することにより擬似的にシート光を形成するような構成であっても構わない。

以下、第５の実施形態における顕微鏡装置５００について説明する。図６は、顕微鏡装置５００の構成を示している。

顕微鏡装置５００は、照明光学系７０、検出光学系２０を備えている。

照明光学系７０は、光源７１、照明フィルタ７２、偏光ビームスプリッタ７３、1/4λ板７４、レンズ７５、反射部材７６、反射部材７７、シリンドリカルレンズ７８を含む。

照明フィルタ７２は、光源７１が出力する照明光のうち直線偏光のみを透過するフィルタあるいは、直線偏光の偏光方向を回転させる1/2λ板、またはそれらを組み合わせで構成される偏光素子である。照明フィルタ７２は、偏光ビームスプリッタ７３にＳ偏光を入射させる機能を果たす。

偏光ビームスプリッタ７３はＳ偏光の光を反射し、Ｐ偏光の光を透過する。1/4λ板７４は、入射した光に位相差を与え、直線偏光を円偏光に変換する。レンズ７５は、1/4λ板７４からの光を後段の反射部材７６へ向けて集光し、光源７１の一次像を形成する。

反射部材７６は、光路を折り返して光を反射する折り返しミラーである。反射部材７６によって反射された円偏光の照明光はレンズ７５および1/4λ板７４を再び通過する。このとき同じ1/4λ板７４を２回通過することで、照明光がＰ偏光になり、偏光ビームスプリッタ７３を透過する。反射部材７６は、レンズ７５の光軸方向へ移動することで、照明レンズであるシリンドリカルレンズ７８の集光位置を照明光軸方向（X方向）に変更する。即ち、反射部材７６は、集光位置変更手段として機能する。

また、反射部材７６はシリンドリカルレンズ７８の後側焦点位置と共役な位置で回転移動（ZX平面上及びXY平面上）するものであり、即ち反射部材３と同様の作用及び効果を奏する。例えば、図７に示すように反射部材７６の後段に接続されたガルバノミラー７９が回転移動をするような構成が考えられる。

反射部材７７は、シリンドリカルレンズ７８の瞳位置または瞳位置と共役な位置で回転移動（ZX平面上及びXY平面上）するものであり、即ち反射部材５と同様の作用及び効果を奏する。

以上の顕微鏡装置５００のように、集光位置変更手段は光路内に配置されるレンズ（可変焦点レンズ、モータ等の駆動により移動するレンズ等）に限定されず、光路を折り返すミラーを光軸方向に移動する構成であってもよい。反射部材７６を集光位置変更手段とすることで、レンズ７５のNAとシリンドリカルレンズ７８のNAの関係を調節することで、反射部材７６の少ない移動によりシリンドリカルレンズ７８の集光位置の大きな走査が可能となる。

以下、第６の実施形態における顕微鏡装置６００について説明する。図８は、顕微鏡装置６００の構成を示している。

顕微鏡装置６００は、照明光学系８０、検出光学系２０を備えている。照明光学系８０は、第５の実施形態の照明光学系７０と同様の構成については同じ符号を付している。より詳しくは、照明光学系８０は、シリンドリカルレンズ７８の代わりに、レンズ８１、８２、ガルバノミラー８３、レンズ８４を備えている点で照明光学系７０と相違する。

ガルバノミラー８３は、XY平面上で照明光を走査することで、レンズ８４の集光位置をY方向に変更する。

レンズ８４は球面レンズであり、容器C内の標本面上の一点に集光するが、ガルバノミラー８３の走査に応じて、擬似的にY方向に幅を有するシート光を形成する。

以上の顕微鏡装置６００のように、照明レンズはシリンドリカルレンズに限らず、球面レンズと照明光を走査する構成により、擬似的にシート光を形成するものであってもよい。

上述した実施形態は、発明の理解を容易にするために具体例を示したものであり、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。上述した顕微鏡装置は、特許請求の範囲に記載した本発明を逸脱しない範囲において、さまざまな変形、変更が可能である。

１００、２００、３００、３５０、４００、５００、６００ 顕微鏡装置
１、７１ 光源
２、４、３２、３３、４２、４３、４６、４７、
４８、６２、６４、７５、８１、８２、８４ レンズ
３、５、３１、３４、４４、４６、７６、７７ 反射部材
６、３５、５２、７８ シリンドリカルレンズ
１０、３０、４０、４０’、６０、７０、８０ 照明光学系
２０ 検出光学系
２１ 対物レンズ
４９ 絞り
５０、６５、７７、８３、７９ ミラー
６１ アキシコンレンズ
７２ 照明フィルタ
７３ 偏光ビームスプリッタ
７４ 1/4λ板
Ｃ 容器

Claims (8)

1. 標本でシート状の光を形成する照明光学系を備え、
   前記照明光学系は、
   前記標本へ光を照射する照明レンズと、
   光の反射位置を変化させる移動機能、または光の反射角方向を変化させる回転機能、またはその両方の機能を備える少なくとも２枚以上の反射部材と、を含み、
   前記少なくとも２枚以上の反射部材の各々は、前記照明レンズの瞳位置または瞳共役な位置、または、前記照明レンズの後側焦点位置と共役な位置、のいずれかの位置に配置される
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
2. 請求項１に記載の顕微鏡装置において、
   前記少なくとも２枚以上の反射部材のうちいずれかの反射部材は、前記照明レンズの後側焦点位置と共役な位置に配置される
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の顕微鏡装置において、
   前記少なくとも２枚以上の反射部材のいずれかまたは全ては、前記照明レンズの光軸に直交する各軸に対して、前記照明レンズを出射する光束の軸の角度を変更し、
   前記少なくとも２枚以上の反射部材のいずれかまたは全ては、前記照明レンズの光軸に直交する各軸方向に、前記照明レンズを出射する光束の軸の位置を変更する
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の顕微鏡装置において、
   さらに、前記照明光学系の光軸と直交する光軸を有し、前記標本からの光を取り込む検出光学系を備え、
   前記照明光学系は、前記照明光学系の光軸と前記検出光学系の光軸の両方と直交する軸方向に前記照明光学系が前記標本へ照射する光を走査する走査用ミラーを含む
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の顕微鏡装置において、
   前記照明光学系は、前記照明レンズの集光位置を前記照明レンズの光軸方向に変更する集光位置変更手段を備える
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
6. 請求項５に記載の顕微鏡装置において、
   前記集光位置変更手段は、光軸方向に移動するレンズを有するリレー光学系を含む
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
7. 請求項５に記載の顕微鏡装置において、
   前記集光位置変更手段は、可変焦点レンズを含む
   ことを特徴とする顕微鏡装置。
8. 請求項５に記載の顕微鏡装置において、
   前記集光位置変更手段として、光路を折り返して光を反射する折り返しミラーと、前記折り返しミラーへ向けて光を集光する集光レンズと、を含み、
   前記折り返しミラーは、前記集光レンズの光軸方向に移動する
   ことを特徴とする顕微鏡装置。