JP5362423B2 - 試料検査方法及び試料検査装置 - Google Patents
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ここで、試料21上への照射光24の照射領域と一次線透過部との位置合わせを行うときには、一次線透過部の寸法(開口部20の寸法)とほぼ等しい寸法の開口25を備える絞り部材11を介して、試料21に照射光24を照射するのが好適である。
Claims (10)
- 試料保持体の一次線透過部に保持された試料に対して、前記一次線透過部を介して一次線を照射し、前記一次線の照射により前記試料から発生して前記一次線透過部を通過した二次線を二次線検出手段により検出し、該検出結果に基づいて試料像の取得が可能であり、また、前記試料に対して前記一次線透過部が位置する側とは反対の側から光(照射光)を照射し、これによる反射光を検出して前記試料の光学像の取得が可能である試料検査方法において、前記照射光を前記試料に照射したときに、前記試料を介して前記一次線透過部を通過する通過光を前記二次線検出手段によって検出することにより、前記試料上への前記照射光の照射領域と前記一次線透過部との位置合わせを行うことを特徴とする試料検査方法。
- 前記試料上への前記照射光の前記照射領域と前記一次線透過部との位置合わせを行うときには、前記一次線透過部の寸法とほぼ等しい寸法の開口を備える絞り部材を介して、前記試料に前記照射光を照射することを特徴とする請求項1記載の試料検査方法。
- 前記試料保持体を移動させることにより、前記試料上での前記照射光の前記照射領域を相対的に移動させ、このときに前記二次線検出手段によって検出される前記通過光の強度に基づいて、前記試料上への前記照射光の前記照射領域と前記一次線透過部との位置合わせを行うことを特徴とする請求項1又は2記載の試料検査方法。
- 前記一次線の光軸と前記照射光の光軸とは同軸となっており、前記試料上への前記照射光の前記照射領域と前記一次線透過部との位置合わせを行うことにより、前記一次線の前記照射領域と前記一次線透過部との位置合わせが行われることを特徴とする請求項1乃至3何れか記載の試料検査方法。
- 前記一次線は、荷電粒子線又は電子線であり、前記二次線は、二次電子、反射電子、X線、若しくはカソードルミネッセンス光のうちの少なくとも一つであることを特徴とする請求項1乃至4何れか記載の試料検査方法。
- 試料保持体の一次線透過部に保持された試料に対して、前記一次線透過部を介して一次線を照射する一次線照射手段と、前記一次線の照射に基づいて前記試料から発生し、前記一次線透過部を通過した二次線を検出する二次線検出手段と、該検出結果に基づいて試料像の取得を行う試料像取得手段と、前記試料に対して、前記一次線透過部が位置する側とは反対の側から光(照射光)を照射し、これによる反射光を検出して前記試料の光学像の取得が可能である光学像取得手段とを備える試料検査装置において、前記照射光を前記試料に照射したときに、前記試料を介して前記一次線透過部を通過する通過光を前記二次線検出手段によって検出することにより、前記試料上への前記照射光の照射領域と前記一次線透過部との位置合わせを行うことができることを特徴とする試料検査装置。
- 前記光学像取得手段は、前記一次線透過部の寸法とほぼ等しい寸法の開口を備える絞り部材を具備することを特徴とする請求項6記載の試料検査装置。
- 前記試料保持体を移動させるための移動手段を備えることを特徴とする請求項6又は7記載の試料検査装置。
- 前記一次線の光軸と前記照射光の光軸とは同軸となっていることを特徴とする請求項6乃至8何れか記載の試料検査装置。
- 前記一次線は、荷電粒子線又は電子線であり、前記二次線は、二次電子、反射電子、X線、若しくはカソードルミネッセンス光のうちの少なくとも一つであることを特徴とする請求項6乃至9何れか記載の試料検査装置。
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