JP5317120B2 - X線顕微鏡用試料収容セル、x線顕微鏡、およびx線顕微鏡像の観察方法 - Google Patents
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Description
11 試料支持部材
11a 試料支持膜
11b 金属膜
11c 第2の金属膜
11d 試料吸着材
12 試料ホルダ
13 電子銃
14 走査信号を生成する回路部
15 偏向コイル
16 X線フォトダイオード
17 増幅器
18 X線画像処理PC
19 データレコーダ
20 金属製メッシュ
21 2次電子検出器
22 コントロールPC
23 A/D変換器
24 試料収容セル
24a 上部
24b 下部
24c シール材
24d 密封部材
24s 注入孔
24w 観察窓
24h 空気孔
25 O−リング
26 ステージ
26a 絞り
27 光電変換面
28 X線透過フィルタ
29 ステージ上部に形成された空間内部
30 磁石
31 圧力調整弁
32 調整ダンパ
Claims (16)
- X線顕微鏡用試料支持部材を備えた試料収容セルであって、
前記X線顕微鏡用試料支持部材は、
試料を保持する支持膜の一方主面に、荷電粒子の照射により0.6〜6nmの波長領域の特性X線を放射する膜厚が200nm以下の金属膜が設けられており、
前記金属膜は、アルミ、スカンジウム、チタン、バナジウム、クロム、コバルト、ニッケル、銅の何れかを主成分として含む膜であり、
前記支持膜と前記金属膜との間に、10kV以下の加速電圧において低い荷電粒子透過率と高いX線透過率を有する膜厚が5〜100nmの第2の金属膜が設けられており、
前記試料収容セルは、試料収容セル上部と該試料収容セル上部の試料支持膜側の面に対向する試料収容セル下部がシール部材を介して所定の間隔の隙間を有するように配置されて内部が密閉されているX線顕微鏡用試料収容セル。 - 前記第2の金属膜は、金、プラチナ、パラジウム、オスミウム、クロム、ニッケル、タングステン、鉛の何れかを主成分として含む膜である請求項1に記載のX線顕微鏡用試料収容セル。
- 前記支持膜は、窒化シリコン膜、カーボン膜、またはポリイミド膜の何れかである請求項1または2に記載のX線顕微鏡用試料収容セル。
- 前記試料収容セル上部には試料を前記隙間内に注入させる注入孔と空気孔と観察窓が形成されている、請求項1乃至3の何れかに記載のX線顕微鏡用試料収容セル。
- 前記試料支持膜側の面の他方主面側に試料吸着材が設けられている請求項1乃至4の何れか1項に記載のX線顕微鏡用試料収容セル。
- 前記注入孔と前記空気孔を気密する密閉手段を備えた請求項4または5に記載のX線顕微鏡用試料収容セル。
- 前記試料収容セル内を所定の圧力に調整する圧力調整手段を備えた請求項1乃至6の何れか1項に記載のX線顕微鏡用試料収容セル。
- 請求項1乃至7の何れか1項に記載のX線顕微鏡用試料収容セルを用い、
前記X線顕微鏡用試料支持部材の他方主面側に観察試料を支持し、前記金属膜面側から収束させた10kV以下の加速電圧の荷電粒子線を走査させて入射して該試料支持部材からX線を発生させ、該X線を前記試料支持部材の試料支持膜面側に配置されたX線検出器により検知してX線画像を形成するX線顕微鏡像の観察方法。 - 前記X線検出器を前記試料支持部材に支持された観察試料を異なる方向から望む複数の位置のそれぞれに配置して前記X線を検知する請求項8に記載のX線顕微鏡像の観察方法。
- 複数の前記X線検出器により検知されたX線検出信号を演算処理して3次元のX線画像を形成する請求項9に記載のX線顕微鏡像の観察方法。
- 請求項1乃至7の何れか1項に記載のX線顕微鏡用試料収容セルの保持部と、
前記試料支持部材に支持された観察試料に10kV以下の加速電圧の荷電粒子を照射する荷電粒子線発生部と、
前記荷電粒子を前記観察試料上で走査可能とする荷電粒子走査手段と、
前記試料支持部材の支持膜面側に配置され、前記荷電粒子の照射により発生したX線を電子に変換する光電変換手段と、
該光電変換手段により光電変換された電子を検知する電子線検出器と、
該電子線検出器により検知された電子線検出信号を処理してX線画像を形成する演算部を備えているX線顕微鏡。 - 前記観察試料と前記光電変換手段との間に荷電粒子を遮蔽するX線透過フィルタを備えた請求項11に記載のX線顕微鏡。
- 前記観察試料と前記光電変換手段との間に該光電変換手段への荷電粒子の入射を阻止する電場又は磁場の発生手段を備えた請求項11に記載のX線顕微鏡。
- 請求項1乃至7の何れか1項に記載のX線顕微鏡用試料収容セルを用い、
前記X線顕微鏡用試料支持部材の他方主面側に観察試料を支持し、前記金属膜面側から収束させた10kV以下の加速電圧の荷電粒子線を走査させて入射して該試料支持部材からX線を発生させ、前記試料支持部材の試料支持膜面側に配置された光電変換手段により前記X線を電子に変換し、該電子を電子線検出器により検知してX線画像を形成するX線顕微鏡像の観察方法。 - 前記観察試料と前記光電変換手段との間に荷電粒子を遮蔽するX線透過フィルタを設ける請求項14に記載のX線顕微鏡像の観察方法。
- 前記観察試料と前記光電変換手段との間に電場又は磁場の発生手段を設けて前記光電変換手段への荷電粒子の入射を阻止する請求項14に記載のX線顕微鏡像の観察方法。
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