JP5361466B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5361466B2 JP5361466B2 JP2009061356A JP2009061356A JP5361466B2 JP 5361466 B2 JP5361466 B2 JP 5361466B2 JP 2009061356 A JP2009061356 A JP 2009061356A JP 2009061356 A JP2009061356 A JP 2009061356A JP 5361466 B2 JP5361466 B2 JP 5361466B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- sio
- nozzle hole
- exposed
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 98
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 37
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 25
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 21
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 17
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 13
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 4
- 238000000347 anisotropic wet etching Methods 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 137
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 6
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 6
- 239000002585 base Substances 0.000 description 5
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 4
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- VIFIHLXNOOCGLJ-UHFFFAOYSA-N trichloro(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-heptadecafluorodecyl)silane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)CC[Si](Cl)(Cl)Cl VIFIHLXNOOCGLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910016569 AlF 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101710162828 Flavin-dependent thymidylate synthase Proteins 0.000 description 1
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- 101710135409 Probable flavin-dependent thymidylate synthase Proteins 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N chloro(fluoro)methane Chemical compound F[C]Cl KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- -1 etc.) Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N hydrofluoric acid Substances F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002835 noble gases Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/161—Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
本発明は、2層のSi層間に第1のSiO2層を有するSOI基板の少なくとも一方のSi層を熱酸化し、第2のSiO2層を形成する第1酸化工程と、前記第2のSiO2層、及び前記第1のSiO2層と前記第2のSiO2層との間のSi層の一部を、エッチング処理により少なくとも前記第1のSiO2層が露出するまで除去し、ノズル孔を形成するノズル孔形成工程と、形成された前記ノズル孔の少なくとも側壁のSi層を熱酸化し、SiO2層を形成する第2酸化工程と、前記ノズル孔における前記側壁以外のSiO2層を、少なくともSi層が露出するまで異方性ドライエッチング処理し、前記ノズル孔を開口処理する孔開口処理工程と、露出する前記第2のSiO 2 層の表面の少なくとも一部と、インク流路を有するベースウエハと、を接合した後、前記他方のSi層を除去し、ノズルを形成するノズル形成工程と、を有するインクジェットヘッドの製造方法である。
フォトレジスト法により前記第2のSiO2層上にエッチングマスクを形成するマスク形成工程と、前記第2のSiO2層の一部をエッチング処理により、前記第1のSiO2層と前記第2のSiO2層との間のSi層が露出するまで除去するSiO2除去工程と、前記除去により露出した前記Si層を、異方性ウェットエッチング処理又は異方性ドライエッチング処理により前記第1のSiO2層が露出するまで除去するSi除去工程と、前記エッチングマスクを除去するマスク除去工程と、を設けることにより、前記ノズル孔を形成するものであることが好ましい。
熱酸化の条件については、特に制限はなく、所望の酸化膜となるように適宜選択すればよい。
エッチング処理は、Si層13が露出したところで終了する。このようにして、図1(b)のように凹部18がパターン状に形成される。
<条件>
・ドライエッチング装置:酸化膜異方性エッチング装置(アプライドマテリアルズ社製)
・RFパワー:800W
・チャンバー圧力:4Pa
・基板温度:50℃
・ガス種及び流量:Ar:800mL、CHF3:200mL、O2:50mL
以上のようにして、最終的にインクが流通するノズルを構成するノズル孔が形成される。
なお、熱酸化の条件については、特に制限はなく、所望の酸化膜となるように適宜選択すればよい。
12・・・表面Si層
13・・・第1のSiO2層
15・・・SOI基板
16・・・第2のSiO2層
21,22・・・SiO2層
20・・・ノズル孔
Claims (5)
- 2層のSi層間に第1のSiO2層を有するSOI基板の少なくとも一方のSi層を熱酸化し、第2のSiO2層を形成する第1酸化工程と、
前記第2のSiO2層、及び前記第1のSiO2層と前記第2のSiO2層との間のSi層の一部を、エッチング処理により少なくとも前記第1のSiO2層が露出するまで除去し、ノズル孔を形成するノズル孔形成工程と、
形成された前記ノズル孔の少なくとも側壁のSi層を熱酸化し、SiO2層を形成する第2酸化工程と、
前記ノズル孔における前記側壁以外のSiO2層を、少なくともSi層が露出するまで異方性ドライエッチング処理し、前記ノズル孔を開口処理する孔開口処理工程と、
露出する前記第2のSiO 2 層の表面の少なくとも一部と、インク流路を有するベースウエハと、を接合した後、前記他方のSi層を除去し、ノズルを形成するノズル形成工程と、
を有するインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記ノズル孔形成工程は、
フォトレジスト法により前記第2のSiO2層上にエッチングマスクを形成するマスク形成工程と、
前記第2のSiO2層の一部をエッチング処理により、前記第1のSiO2層と前記第2のSiO2層との間のSi層が露出するまで除去するSiO2除去工程と、
前記除去により露出した前記Si層を、異方性ウェットエッチング処理又は異方性ドライエッチング処理により前記第1のSiO2層が露出するまで除去するSi除去工程と、
前記エッチングマスクを除去するマスク除去工程と、
を設け、前記ノズル孔を形成することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記ノズル形成工程は、他方のSi層を研磨した後、前記第1のSiO2層が露出するまでドライエッチング処理することにより、前記他方のSi層を除去することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記ノズル孔形成工程は、更に、前記第1のSiO2層の一部をSi層が露出するまで除去し、前記第2酸化工程は、形成されたノズル孔のSi層の表面全体にSiO2層を形成することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 少なくとも前記第1のSiO2層の厚みが、0.5〜1μmであることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009061356A JP5361466B2 (ja) | 2009-03-13 | 2009-03-13 | インクジェットヘッドの製造方法 |
US12/712,026 US8133798B2 (en) | 2009-03-13 | 2010-02-24 | Method for producing ink-jet head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009061356A JP5361466B2 (ja) | 2009-03-13 | 2009-03-13 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010214641A JP2010214641A (ja) | 2010-09-30 |
JP5361466B2 true JP5361466B2 (ja) | 2013-12-04 |
Family
ID=42731060
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009061356A Expired - Fee Related JP5361466B2 (ja) | 2009-03-13 | 2009-03-13 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8133798B2 (ja) |
JP (1) | JP5361466B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022054204A1 (ja) | 2020-09-10 | 2022-03-17 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018131130B4 (de) | 2018-12-06 | 2022-06-02 | Koenig & Bauer Ag | Verfahren zur Modifikation eines Behälters eines Druckkopfes |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS567874B2 (ja) * | 1974-05-10 | 1981-02-20 | ||
US4047184A (en) * | 1976-01-28 | 1977-09-06 | International Business Machines Corporation | Charge electrode array and combination for ink jet printing and method of manufacture |
US4630356A (en) * | 1985-09-19 | 1986-12-23 | International Business Machines Corporation | Method of forming recessed oxide isolation with reduced steepness of the birds' neck |
US5136310A (en) * | 1990-09-28 | 1992-08-04 | Xerox Corporation | Thermal ink jet nozzle treatment |
JP3094803B2 (ja) * | 1994-09-16 | 2000-10-03 | 松下電器産業株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
JP4393730B2 (ja) | 2001-09-19 | 2010-01-06 | 株式会社リコー | インクジェットヘッド |
WO2005051049A1 (en) * | 2003-11-21 | 2005-06-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Display panel |
JP4321574B2 (ja) * | 2006-02-27 | 2009-08-26 | セイコーエプソン株式会社 | ノズル基板の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置 |
JP2008068499A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Fujifilm Corp | ノズルプレートの製造方法 |
JP2008094018A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Seiko Epson Corp | ノズルプレートの製造方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
-
2009
- 2009-03-13 JP JP2009061356A patent/JP5361466B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-02-24 US US12/712,026 patent/US8133798B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022054204A1 (ja) | 2020-09-10 | 2022-03-17 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8133798B2 (en) | 2012-03-13 |
JP2010214641A (ja) | 2010-09-30 |
US20100233833A1 (en) | 2010-09-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5511191B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法および構造体の形成方法 | |
JP4671200B2 (ja) | インクジェットプリントヘッドの製造方法 | |
KR100538230B1 (ko) | 모놀리틱 잉크젯 프린트헤드의 제조방법 | |
JP2005205916A (ja) | モノリシック・インクジェット・プリントヘッドの製造方法 | |
JP7119943B2 (ja) | ノズルプレートの製造方法及びインクジェットヘッドの製造方法 | |
JP5361466B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP4979793B2 (ja) | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法 | |
JP6242174B2 (ja) | インク吐出ヘッドの製造方法 | |
US8647896B2 (en) | Process for producing a substrate for a liquid ejection head | |
US8491803B2 (en) | Method of hydrophobizing and patterning frontside surface of integrated circuit | |
JP2013028110A (ja) | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法 | |
JP2007160927A (ja) | パリレンマスクを用いたシリコン湿式エッチング方法及びこの方法を用いたインクジェットプリントヘッドのノズルプレートの製造方法 | |
JP5224929B2 (ja) | 液体吐出記録ヘッドの製造方法 | |
JP7150500B2 (ja) | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法 | |
US7462500B2 (en) | Manufacturing method of ink jet recording head and ink jet recording head manufactured by manufacturing method | |
JP2017013276A (ja) | 樹脂層の押圧方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2007210242A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその作製方法 | |
US9205654B2 (en) | Method of manufacturing a liquid ejection head | |
JP2005212131A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
JP2010253685A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
JP2008105418A (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP6562963B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2017154322A (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2004262241A (ja) | 基板の加工方法およびインクジェット記録ヘッド用基板の作製方法 | |
JP4298286B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110804 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121127 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130813 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130903 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5361466 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |