JP5354339B2 - 露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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- エネルギビームを照射して物体を露光し、前記物体上に2次元配列された複数のパターン領域を形成する露光方法であって、
前記物体上の少なくとも1つの配列方向に関して互いに隣接しない複数の第1領域のグループに、前記エネルギビームを照射して露光し、
前記複数の第1領域のグループを露光した後、前記物体上の少なくとも1つの配列方向に関して互いに隣接しない複数の第2領域のグループに前記エネルギビームを照射して露光し、
前記複数の第2領域のグループの露光に先だって、前記物体上の複数のマークを検出し、該検出結果に基づいて、前記複数の第2領域のグループに対する露光の際の前記物体の位置を制御する露光方法。 - 前記複数の第1領域のグループは、前記複数のパターン領域のうち2次元方向に1つ置きに配列された複数の領域を含み、
前記複数の第2領域のグループは、前記複数のパターン領域のうち、前記第1の領域グループを除く、残りの複数の領域を含む請求項1に記載の露光方法。 - 前記露光に先だって検出されるマークは、前記第1領域のグループに対する露光によって前記感応層に形成されたマークの潜像である請求項1又は2に記載の露光方法。
- 前記露光に先だって検出される複数のマークは、前層までの露光によって前記物体上に形成されたマークである請求項1又は2に記載の露光方法。
- 前記複数の第2領域のグループに露光を行う際には、前記複数のマークの検出結果から前記複数のパターン領域の位置及び/又は形状の、設計値又は基準となる層からのずれを評価し、該評価の結果を考慮して前記第2領域のグループに対する露光を行う請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記第1領域のグループ及び前記第2領域のグループの分割数は、前記パターンの位置合わせ精度から定められる請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記物体は、該物体を保持して移動する移動体に保持され、
前記複数のパターン領域を形成するための、前記物体上の複数の領域への露光は、前記移動体による前記物体の保持を解除することなく実行される請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光方法。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光方法を用いて、物体上にパターンが形成された前記複数のパターン領域を形成する工程と;
前記複数のパターン領域が形成された前記物体を現像する工程と;
を含むデバイス製造方法。 - エネルギビームを照射して物体上にパターンを転写する露光装置であって、
前記物体を保持して移動する移動体と;
前記物体上の複数のマークを検出するマーク検出系と;
前記物体上に形成された感応層に前記エネルギビームを照射して前記パターンを前記物体上に形成するパターン生成装置と;
要求されるパターンの位置合わせ精度と、前記感応層に対する前記エネルギビームの照射量と前記位置合わせ精度との関係とに基づいて、前記移動体と前記パターン生成装置とを用いて、請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光方法により前記物体を露光する制御系と;
を備える露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008321813A JP5354339B2 (ja) | 2008-12-18 | 2008-12-18 | 露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
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JP2010147202A JP2010147202A (ja) | 2010-07-01 |
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JP (1) | JP5354339B2 (ja) |
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JP5436967B2 (ja) * | 2009-08-05 | 2014-03-05 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH09293672A (ja) * | 1996-04-26 | 1997-11-11 | Fujitsu Ltd | 荷電粒子ビーム露光方法 |
JP2000021702A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Canon Inc | 露光装置ならびにデバイス製造方法 |
JP2001318972A (ja) * | 2000-05-08 | 2001-11-16 | Yukon:Kk | 日程表の作成業務支援システム |
US8330936B2 (en) * | 2006-09-20 | 2012-12-11 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
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JP2010147202A (ja) | 2010-07-01 |
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