JPH05215604A - 分光分析装置 - Google Patents
分光分析装置Info
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- JPH05215604A JPH05215604A JP1762892A JP1762892A JPH05215604A JP H05215604 A JPH05215604 A JP H05215604A JP 1762892 A JP1762892 A JP 1762892A JP 1762892 A JP1762892 A JP 1762892A JP H05215604 A JPH05215604 A JP H05215604A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 分光器の出口スリットのスリット幅を変えた
場合のピーク波長のシフト量が自動的に補正されて、常
に精度良い分析結果が得られるようにする。 【構成】 分光器４の出口スリットＳoのスリット幅を
設定するスリット幅設定手段１０と、出口スリットＳo
をスリット幅設定手段１０で設定されたスリット幅の大
きさに駆動制御するスリット幅可変手段１２と、スリッ
ト幅設定手段１０で設定されるスリット幅の大きさに応
じた波長ピークのシフト量が予め記憶されたシフト量記
憶手段１６と、スリット幅設定手段１０で設定されたス
リット幅の大きさに応じて、シフト量記憶手段１６から
これに対応するシフト量を読み出すとともに、このシフ
ト量に基づいて検出器６で検出されるスペクトル光のピ
ーク波長を補正する補正手段１８とを備える。
場合のピーク波長のシフト量が自動的に補正されて、常
に精度良い分析結果が得られるようにする。 【構成】 分光器４の出口スリットＳoのスリット幅を
設定するスリット幅設定手段１０と、出口スリットＳo
をスリット幅設定手段１０で設定されたスリット幅の大
きさに駆動制御するスリット幅可変手段１２と、スリッ
ト幅設定手段１０で設定されるスリット幅の大きさに応
じた波長ピークのシフト量が予め記憶されたシフト量記
憶手段１６と、スリット幅設定手段１０で設定されたス
リット幅の大きさに応じて、シフト量記憶手段１６から
これに対応するシフト量を読み出すとともに、このシフ
ト量に基づいて検出器６で検出されるスペクトル光のピ
ーク波長を補正する補正手段１８とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、発光分光分析装置、光
吸収分光分析装置などの分光分析装置に係り、特には、
分光器の出口スリットのスリット幅の大きさに応じて波
長ピークがシフトするのを自動的に補正するようにした
技術に関する。
吸収分光分析装置などの分光分析装置に係り、特には、
分光器の出口スリットのスリット幅の大きさに応じて波
長ピークがシフトするのを自動的に補正するようにした
技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、分光分析装置では、光源からの
光を分光器で分光し、分光された各波長ごとのスペクト
ル光をそれぞれ検出器で検出して、各種の分析を行う。
光を分光器で分光し、分光された各波長ごとのスペクト
ル光をそれぞれ検出器で検出して、各種の分析を行う。
【０００３】このような分光分析装置において、上記の
分光器には、通常、スペクトル光が入射される位置に出
口スリットが配置されており、この出口スリットは、一
対のスリット刃を有し、これらのスリット刃の一方が固
定され、他方がこの固定側のスリット刃に対して近接、
離間するように摺動可能に構成されている。
分光器には、通常、スペクトル光が入射される位置に出
口スリットが配置されており、この出口スリットは、一
対のスリット刃を有し、これらのスリット刃の一方が固
定され、他方がこの固定側のスリット刃に対して近接、
離間するように摺動可能に構成されている。
【０００４】そして、分析条件に応じてスリット刃の相
互の離間幅、すなわちスリット幅を調整できるようにし
ている。すなわち、スリット幅を大きく設定した場合に
は、ピーク検出感度が高くなって分析の安定度が増す一
方で、分解能が低下し、逆に、スリット幅を小さく設定
した場合には、分解能が向上する一方、ピーク検出感度
が小さくなりノイズの影響を受け易くなるので、分析条
件に応じて適切なスリット幅に設定する。
互の離間幅、すなわちスリット幅を調整できるようにし
ている。すなわち、スリット幅を大きく設定した場合に
は、ピーク検出感度が高くなって分析の安定度が増す一
方で、分解能が低下し、逆に、スリット幅を小さく設定
した場合には、分解能が向上する一方、ピーク検出感度
が小さくなりノイズの影響を受け易くなるので、分析条
件に応じて適切なスリット幅に設定する。
【０００５】また、一対のスリット刃の内の一方のみを
摺動できるようにしているのは、両刃が共に摺動するよ
うにすると、その摺動機構のバックラッシュの影響等が
大きくなってスリット幅を正確に設定できず、測定誤差
が増大するためである。
摺動できるようにしているのは、両刃が共に摺動するよ
うにすると、その摺動機構のバックラッシュの影響等が
大きくなってスリット幅を正確に設定できず、測定誤差
が増大するためである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
に出口スリットを構成する一対のスリット刃の内の一方
を他方のそれに対して近接、離間させることでスリット
幅を調整する構成を採る場合には、次の問題を生じる。
に出口スリットを構成する一対のスリット刃の内の一方
を他方のそれに対して近接、離間させることでスリット
幅を調整する構成を採る場合には、次の問題を生じる。
【０００７】図３は出口スリットＳoの正面図で、esを
固定側のスリット刃、emを摺動側のスリット刃とし、同
図(a)ではスリット幅がＷ0、同図(b)ではスリット幅が
Ｗ1、同図(c)ではスリット幅がＷ2にそれぞれ設定され
ているものとする(但しＷ0＞Ｗ1＞Ｗ2)。このとき、ス
リット幅がＷ0の中心位置はＣ0、スリット幅がＷ1の中
心位置はＣ1、スリット幅がＷ2の中心位置はＣ2とな
り、スリット幅がＷ0→Ｗ1→Ｗ2と次第に狭くなるのに
従い、その中心位置はＣ0→Ｃ1→Ｃ2と図上、左方向に
シフトする。したがって、このように、出口スリットＳ
oのスリット幅が変化すると、これを通過して検出器で
検出される同一波長成分のスペクトル光のピーク位置
も、このスリット幅の大きさに応じて、図４に示すよう
に変化する。すなわち、スリット幅をＷ0に設定した場
合のピーク波長がλ0であったとする(同図(a))。この状
態からスリット幅がＷ1に変更されると、ピーク波長は
λ1になり(同図(b))、さらにスリット幅がＷ2に変更さ
れるとピーク波長はλ2になる(同図(c))。つまり、同じ
波長成分をもつスペクトル光が出口スリットＳoに入射
していても、検出されるピーク波長の位置がスリット幅
の大きさに応じてシフトする。
固定側のスリット刃、emを摺動側のスリット刃とし、同
図(a)ではスリット幅がＷ0、同図(b)ではスリット幅が
Ｗ1、同図(c)ではスリット幅がＷ2にそれぞれ設定され
ているものとする(但しＷ0＞Ｗ1＞Ｗ2)。このとき、ス
リット幅がＷ0の中心位置はＣ0、スリット幅がＷ1の中
心位置はＣ1、スリット幅がＷ2の中心位置はＣ2とな
り、スリット幅がＷ0→Ｗ1→Ｗ2と次第に狭くなるのに
従い、その中心位置はＣ0→Ｃ1→Ｃ2と図上、左方向に
シフトする。したがって、このように、出口スリットＳ
oのスリット幅が変化すると、これを通過して検出器で
検出される同一波長成分のスペクトル光のピーク位置
も、このスリット幅の大きさに応じて、図４に示すよう
に変化する。すなわち、スリット幅をＷ0に設定した場
合のピーク波長がλ0であったとする(同図(a))。この状
態からスリット幅がＷ1に変更されると、ピーク波長は
λ1になり(同図(b))、さらにスリット幅がＷ2に変更さ
れるとピーク波長はλ2になる(同図(c))。つまり、同じ
波長成分をもつスペクトル光が出口スリットＳoに入射
していても、検出されるピーク波長の位置がスリット幅
の大きさに応じてシフトする。
【０００８】従来技術では、この点について十分に考慮
されておらず、スリット幅を変えた場合のピーク波長の
シフトに対する補正が何等なされていなかった。そのた
めに、同一波長成分のスペクトル光を検出しているにも
かかわらず、異なる波長成分のスペクトル光を検出した
かのように、誤った判断がなされ、精度良い測定結果が
得られない場合があった。
されておらず、スリット幅を変えた場合のピーク波長の
シフトに対する補正が何等なされていなかった。そのた
めに、同一波長成分のスペクトル光を検出しているにも
かかわらず、異なる波長成分のスペクトル光を検出した
かのように、誤った判断がなされ、精度良い測定結果が
得られない場合があった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した課題
を解決するためになされたものであって、分光器の出口
スリットのスリット幅を変えた場合のピーク波長のシフ
ト量が自動的に補正されるようにして、常に精度良い分
析結果が得られるようにするものである。
を解決するためになされたものであって、分光器の出口
スリットのスリット幅を変えた場合のピーク波長のシフ
ト量が自動的に補正されるようにして、常に精度良い分
析結果が得られるようにするものである。
【００１０】そのため、本発明では、光源からの光を分
光する分光器と、この分光器で分光された各波長ごとの
スペクトル光を検出する検出器とを備え、前記分光器
は、前記スペクトル光が入射される出口スリットを有
し、この出口スリットは、これを構成する一対のスリッ
ト刃の一方が固定され、他方がこの固定側のスリット刃
に対して近接、離間するように摺動可能に設けられてい
る分光分析装置において、次の構成を採る。
光する分光器と、この分光器で分光された各波長ごとの
スペクトル光を検出する検出器とを備え、前記分光器
は、前記スペクトル光が入射される出口スリットを有
し、この出口スリットは、これを構成する一対のスリッ
ト刃の一方が固定され、他方がこの固定側のスリット刃
に対して近接、離間するように摺動可能に設けられてい
る分光分析装置において、次の構成を採る。
【００１１】すなわち、本発明では、一対のスリット刃
の相互の離間幅であるスリット幅を設定するスリット幅
設定手段と、前記出口スリットを前記スリット幅設定手
段で設定されたスリット幅の大きさに駆動制御するスリ
ット幅可変手段と、前記スリット幅設定手段で設定され
るスリット幅の大きさに応じた波長ピークのシフト量が
予め記憶されたシフト量記憶手段と、スリット幅設定手
段で設定されたスリット幅の大きさに応じて、前記シフ
ト量記憶手段からこれに対応するシフト量を読み出すと
ともに、このシフト量に基づいて検出器で検出されるス
ペクトル光のピーク波長を補正する補正手段とを備えて
いる。
の相互の離間幅であるスリット幅を設定するスリット幅
設定手段と、前記出口スリットを前記スリット幅設定手
段で設定されたスリット幅の大きさに駆動制御するスリ
ット幅可変手段と、前記スリット幅設定手段で設定され
るスリット幅の大きさに応じた波長ピークのシフト量が
予め記憶されたシフト量記憶手段と、スリット幅設定手
段で設定されたスリット幅の大きさに応じて、前記シフ
ト量記憶手段からこれに対応するシフト量を読み出すと
ともに、このシフト量に基づいて検出器で検出されるス
ペクトル光のピーク波長を補正する補正手段とを備えて
いる。
【００１２】
【作用】上記構成において、スリット幅設定手段によっ
て出口スリットのスリット幅を設定すると、このスリッ
ト幅の大きさに応じて、スリット幅可変手段が出口スリ
ットをその設定されたスリット幅の大きさに駆動制御す
る一方、補正手段が設定されたスリット幅に対応するシ
フト量を読み出し、このシフト量に基づいて検出器で検
出されるスペクトル光のピーク波長を補正する。
て出口スリットのスリット幅を設定すると、このスリッ
ト幅の大きさに応じて、スリット幅可変手段が出口スリ
ットをその設定されたスリット幅の大きさに駆動制御す
る一方、補正手段が設定されたスリット幅に対応するシ
フト量を読み出し、このシフト量に基づいて検出器で検
出されるスペクトル光のピーク波長を補正する。
【００１３】これにより、分光器の出口スリットのスリ
ット幅を変えた場合には、これにより検出器で検出され
るピーク波長のシフト量が自動的に補正されるので、ス
ペクトル光の検出誤りが無くなり、常に精度良い測定結
果が得られることになる。
ット幅を変えた場合には、これにより検出器で検出され
るピーク波長のシフト量が自動的に補正されるので、ス
ペクトル光の検出誤りが無くなり、常に精度良い測定結
果が得られることになる。
【００１４】
【実施例】図１は本発明の分光分析装置の実施例を示す
構成図である。
構成図である。
【００１５】同図において、１は分光分析装置の全体を
示し、２は光源、４は光源２からの光を分光する分光
器、６は分光器４で分光された各波長ごとのスペクトル
光を検出する光電子増倍管などの検出器である。そし
て、本例では、上記の分光器４としてはツェルニターナ
形のものが適用されている。すなわち、この分光器４
は、光源２からの光の発散を制限するための入口スリッ
トＳi、コリメート用の２つの反射鏡Ｍ1，Ｍ2、入射光
を各波長成分のスペクトル光に分散する回折格子Ｇ、ス
ペクトル光の発散を制限する出口スリットＳoからな
る。そして、出口スリットＳ0は、一対のスリット刃e
s，emの一方esが固定され、他方emがこの固定側のスリ
ット刃esに対して近接、離間するように摺動可能に設け
られている。
示し、２は光源、４は光源２からの光を分光する分光
器、６は分光器４で分光された各波長ごとのスペクトル
光を検出する光電子増倍管などの検出器である。そし
て、本例では、上記の分光器４としてはツェルニターナ
形のものが適用されている。すなわち、この分光器４
は、光源２からの光の発散を制限するための入口スリッ
トＳi、コリメート用の２つの反射鏡Ｍ1，Ｍ2、入射光
を各波長成分のスペクトル光に分散する回折格子Ｇ、ス
ペクトル光の発散を制限する出口スリットＳoからな
る。そして、出口スリットＳ0は、一対のスリット刃e
s，emの一方esが固定され、他方emがこの固定側のスリ
ット刃esに対して近接、離間するように摺動可能に設け
られている。
【００１６】８は検出器６から出力される検出電流を積
分するなどして測光信号を得る測光手段、１０は上記の
出口スリットＳoのスリット刃es，emの相互の離間幅で
あるスリット幅を設定するスリット幅設定手段で、たと
えばキーボードで構成される。
分するなどして測光信号を得る測光手段、１０は上記の
出口スリットＳoのスリット刃es，emの相互の離間幅で
あるスリット幅を設定するスリット幅設定手段で、たと
えばキーボードで構成される。
【００１７】１２は分光器４の出口スリットＳoがスリ
ット幅設定手段１０で設定されたスリット幅の大きさに
なるように片側のスリット刃emを駆動制御するスリット
幅可変手段であって、たとえば、スリット刃emに取り付
けられた圧電素子と、この圧電素子の印加電圧を変える
可変電源とから構成される。なお、パルスモータとラッ
ク・ピニオンとを組み合わた機械的な駆動方式を採用す
ることも可能である。１４はＣＰＵであって、シフト量
記憶手段１６、補正手段１８、およびデータ処理手段２
０を含む。シフト量記憶手段１６は、たとえばＲＯＭで
構成されており、図２に示すように、スリット幅設定手
段１０で設定されるスリット幅Ｗの大きさに応じた波長
ピークのシフト量Δが予め記憶されている。補正手段１
６は、スリット幅設定手段１０で設定されたスリット幅
Ｗの大きさに応じて、シフト量記憶手段１６からこれに
対応するシフト量Δを読み出すとともに、このシフト量
Δに基づいて検出器６で検出されるスペクトル光のピー
ク波長λを補正するものであり、また、データ処理手段
２０は、補正後のスペクトル光のピーク波長と測光強度
との値に基づいて物質の定性、定量分析を行うものであ
る。
ット幅設定手段１０で設定されたスリット幅の大きさに
なるように片側のスリット刃emを駆動制御するスリット
幅可変手段であって、たとえば、スリット刃emに取り付
けられた圧電素子と、この圧電素子の印加電圧を変える
可変電源とから構成される。なお、パルスモータとラッ
ク・ピニオンとを組み合わた機械的な駆動方式を採用す
ることも可能である。１４はＣＰＵであって、シフト量
記憶手段１６、補正手段１８、およびデータ処理手段２
０を含む。シフト量記憶手段１６は、たとえばＲＯＭで
構成されており、図２に示すように、スリット幅設定手
段１０で設定されるスリット幅Ｗの大きさに応じた波長
ピークのシフト量Δが予め記憶されている。補正手段１
６は、スリット幅設定手段１０で設定されたスリット幅
Ｗの大きさに応じて、シフト量記憶手段１６からこれに
対応するシフト量Δを読み出すとともに、このシフト量
Δに基づいて検出器６で検出されるスペクトル光のピー
ク波長λを補正するものであり、また、データ処理手段
２０は、補正後のスペクトル光のピーク波長と測光強度
との値に基づいて物質の定性、定量分析を行うものであ
る。
【００１８】また、２２はデータ処理部２０で得られる
分析結果を表示するカラーＣＲＴなどの表示器である。
分析結果を表示するカラーＣＲＴなどの表示器である。
【００１９】次に、上記構成の分光分析装置１の動作に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００２０】予め、スリット幅設定手段１０によって、
分析条件に応じた適切なスリット幅Ｗを設定すると、こ
れに応じてスリット幅可変手段１２が出口スリットＳo
の片方のスリット刃emを駆動制御し、これによって、出
口スリットＳoが所期のスリット幅Ｗに一致される。
分析条件に応じた適切なスリット幅Ｗを設定すると、こ
れに応じてスリット幅可変手段１２が出口スリットＳo
の片方のスリット刃emを駆動制御し、これによって、出
口スリットＳoが所期のスリット幅Ｗに一致される。
【００２１】ここで、分析を開始すると、光源２からの
光は分光器４に入射され、入口スリットＳiを通過して
前段の反射鏡Ｍ1で反射されて回折格子Ｇによって各波
長成分のスペクトル光に分散される。そして、回折格子
Ｇの角度に応じて分散された特定の波長成分をもつスペ
クトル光のみが後段の反射鏡Ｍ2で反射されて出口スリ
ットＳoに入射された後、この出口スリットＳoを通過し
て検出器６で検出される。その検出出力は測光手段８で
測定光信号に変換されて補正手段１８に入力される。
光は分光器４に入射され、入口スリットＳiを通過して
前段の反射鏡Ｍ1で反射されて回折格子Ｇによって各波
長成分のスペクトル光に分散される。そして、回折格子
Ｇの角度に応じて分散された特定の波長成分をもつスペ
クトル光のみが後段の反射鏡Ｍ2で反射されて出口スリ
ットＳoに入射された後、この出口スリットＳoを通過し
て検出器６で検出される。その検出出力は測光手段８で
測定光信号に変換されて補正手段１８に入力される。
【００２２】一方、補正手段は、先にスリット幅設定手
段１０で設定されたスリット幅Ｗに対応するシフト量Δ
を読み出し、このシフト量Δを用いて測光手段８から出
力される測光信号によって決定されるスペクトル光のピ
ーク波長の値を補正する。
段１０で設定されたスリット幅Ｗに対応するシフト量Δ
を読み出し、このシフト量Δを用いて測光手段８から出
力される測光信号によって決定されるスペクトル光のピ
ーク波長の値を補正する。
【００２３】たとえば、図４において、出口スリットＳ
0のスリット幅がＷ0の場合、測光手段８から出力される
測光信号によって決定されるスペクトル光のピーク波長
は、λ0の位置にあり(図４(a)参照)、このとき、図２の
関係からシフト量は零である。これに対して、いま、出
口スリットＳoのスリット幅がＷ1に設定されたとする
と、何等補正を加えない場合のピーク波長はλ0の位置
からシフトしてλ1の位置になる。しかし、このスリッ
ト幅Ｗ1におけるピーク波長のシフト量は、図２の関係
より、Δ1となるから、補正手段１８は、ピーク波長を
λ1＋Δ1として補正する。つまり、スリット幅が変わる
ことで検出されるピーク波長がシフトしても、補正手段
１８は、このシフト量を打ち消してシフト量が零のピー
ク波長λ0の位置になるように補正し、この補正したピ
ーク波長の値λ1＋Δ1をデータ処理手段２０に送る。し
たがって、データ処理手段２０は、出口スリットＳoの
スリット幅の大きさに影響されることなく、精度良い定
性、定量分析結果を引き出すことができるようになる。
0のスリット幅がＷ0の場合、測光手段８から出力される
測光信号によって決定されるスペクトル光のピーク波長
は、λ0の位置にあり(図４(a)参照)、このとき、図２の
関係からシフト量は零である。これに対して、いま、出
口スリットＳoのスリット幅がＷ1に設定されたとする
と、何等補正を加えない場合のピーク波長はλ0の位置
からシフトしてλ1の位置になる。しかし、このスリッ
ト幅Ｗ1におけるピーク波長のシフト量は、図２の関係
より、Δ1となるから、補正手段１８は、ピーク波長を
λ1＋Δ1として補正する。つまり、スリット幅が変わる
ことで検出されるピーク波長がシフトしても、補正手段
１８は、このシフト量を打ち消してシフト量が零のピー
ク波長λ0の位置になるように補正し、この補正したピ
ーク波長の値λ1＋Δ1をデータ処理手段２０に送る。し
たがって、データ処理手段２０は、出口スリットＳoの
スリット幅の大きさに影響されることなく、精度良い定
性、定量分析結果を引き出すことができるようになる。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、分光器の出口スリット
のスリット幅を変えた場合には、これにより検出器で検
出されるピーク波長のシフト量が自動的に補正されるの
で、スペクトル光の検出誤りが無くなり、常に精度良い
測定結果が得られるようになる。
のスリット幅を変えた場合には、これにより検出器で検
出されるピーク波長のシフト量が自動的に補正されるの
で、スペクトル光の検出誤りが無くなり、常に精度良い
測定結果が得られるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係る分光分析装置の構成図で
ある。
ある。
【図２】シフト量記憶手段に記憶されているスリット幅
とシフト量との関係を示す特性図である。
とシフト量との関係を示す特性図である。
【図３】出口スリットのスリット幅を変えた場合に中心
位置がシフトする状態の説明図である。
位置がシフトする状態の説明図である。
【図４】同一波長成分のスペクトル光について、出口ス
リットのスリット幅を変えた場合に検出されるピーク波
長がシフトする状態を示す説明図である。
リットのスリット幅を変えた場合に検出されるピーク波
長がシフトする状態を示す説明図である。
１…分光分析装置、２…光源、４…分光器、６…検出
器、１０…スリット幅設定手段、１２…スリット幅可変
手段、１４…ＣＰＵ、１６…シフト量記憶手段、１８…
補正手段、Ｓo…出口スリット、es…固定側のスリット
刃、em…摺動側のスリット刃。
器、１０…スリット幅設定手段、１２…スリット幅可変
手段、１４…ＣＰＵ、１６…シフト量記憶手段、１８…
補正手段、Ｓo…出口スリット、es…固定側のスリット
刃、em…摺動側のスリット刃。
Claims (1)
- 【請求項１】 光源からの光を分光する分光器と、この
分光器で分光された各波長ごとのスペクトル光を検出す
る検出器とを備え、前記分光器は、前記スペクトル光が
入射される出口スリットを有し、この出口スリットは、
これを構成する一対のスリット刃の一方が固定され、他
方がこの固定側のスリット刃に対して近接、離間するよ
うに摺動可能に設けられている分光分析装置において、 前記両スリット刃の相互の離間幅であるスリット幅を設
定するスリット幅設定手段と、 前記出口スリットを前記スリット幅設定手段で設定され
たスリット幅の大きさに駆動制御するスリット幅可変手
段と、 前記スリット幅設定手段で設定されるスリット幅の大き
さに応じた波長ピークのシフト量が予め記憶されたシフ
ト量記憶手段と、 前記スリット幅設定手段で設定されたスリット幅の大き
さに応じて、前記シフト量記憶手段からこれに対応する
シフト量を読み出すとともに、このシフト量に基づいて
前記検出器で検出されるスペクトル光のピーク波長を補
正する補正手段と、 を備えることを特徴とする分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1762892A JPH05215604A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1762892A JPH05215604A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 分光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05215604A true JPH05215604A (ja) | 1993-08-24 |
Family
ID=11949132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1762892A Pending JPH05215604A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05215604A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008185525A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Shimadzu Corp | 分光器 |
| JP2011122888A (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-23 | Shimadzu Corp | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
-
1992
- 1992-02-03 JP JP1762892A patent/JPH05215604A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008185525A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Shimadzu Corp | 分光器 |
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