JP5347491B2

JP5347491B2 - 薄膜形成装置

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Publication number: JP5347491B2
Application number: JP2008329624A
Authority: JP
Inventors: 布野　　秀和
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 2008-12-25
Filing date: 2008-12-25
Publication date: 2013-11-20
Anticipated expiration: 2028-12-25
Also published as: JP2010150599A

Description

本発明は、可撓性基板を巻き取るための巻取りコアを備える薄膜形成装置に関する。

薄膜形成装置は、可撓性基板（以下、「基板」という）の表面上に、ａ−Ｓｉ系の材料から主に構成される薄膜光電変換素子を含む光電変換層などを成膜するために用いられている。基板を成膜する工程は、薄膜形成装置内に設けられた成膜室内で行なわれる。このような薄膜形成装置の内部で基板を搬送する代表的な方式として、ロールツーロール方式およびステッピングロール方式がある。ロールツーロール方式は、巻出しコアに巻き取られた基板を成膜室に向けて送り出し、成膜室内で基板を移動させながら基板表面上への成膜を行なった後、この基板を巻取りコアによって巻き取る方式である。これに対して、ステッピングロール方式は、成膜室内で基板表面上への成膜を行なう際に、基板の移動を一旦停止する方式となっている。

このようなロールツーロール方式およびステッピングロール方式においては、基板の搬送中に発生する基板の位置ズレによって、巻取りコアで基板を巻き取る際に巻きズレが発生することがある。この巻きズレによって基板にはシワが発生し、その結果、基板表面に成膜された薄膜光電変換素子の特性が著しく低下するおそれがある。そこで、このような巻きズレを修正するために、特許文献１の薄膜形成装置は、基板の搬送に用いられるロールを傾けることによって、基板の搬送方向を斜めにしながら基板の位置を修正している。
特開平７−３２６７８１号公報

しかしながら、特許文献１では、基板が、傾けられたロールを通過する際に、ロールの傾斜に対応して急に方向を変えられてロールに向かって斜めに引き込まれることとなる。そのため、基板に強制的な曲げが加えられることとなり、基板には大きな剪断力が発生することとなる。このような剪断力によって基板の搬送方向に対して垂直な方向に延びるシワが発生して、このシワが薄膜光電変換素子の特性を低下させるおそれがある。

また、特許文献１のように、基板を斜めに傾けて基板の位置を少しずつ修正するという構成では、基板の巻きズレを迅速に修正するという点と、巻きズレを高い精度で修正するという点とで、依然として問題がある。このような問題によって、巻きズレによるシワが発生し、薄膜光電変換素子の特性が低下するおそれがある。

本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、基板の巻きズレを確実に修正することによって基板のシワの発生を防止可能な薄膜形成装置を提供することである。

課題を解決するために本発明の薄膜形成装置は、フィルム形状の表面を垂直方向に沿わせた状態で搬送される可撓性基板を成膜するための薄膜形成装置であって、垂直方向に沿った回転軸を中心に回転することによって前記可撓性基板を巻取り可能に構成される巻取りコアと、垂直方向に沿った回転軸を中心に回転可能に構成され、かつ前記可撓性基板を前記巻取りコアに向けてガイドするように前記巻取りコアより前記可撓性基板の搬送方向上流側に配置されるガイドロールと、前記可撓性基板の縁部分を検出するように構成され、かつ前記ガイドロールより前記可撓性基板の搬送方向上流側に配置されるセンサとを備え、前記センサが、前記可撓性基板の搬送時に発生する位置変化を検出し、前記巻取りコア、前記ガイドロールおよび前記センサが、共に、前記センサにより検出された前記可撓性基板の縁部分の位置変化に対応して前記可撓性基板に相対して垂直方向に移動可能に構成されている。

また、本発明において薄膜形成装置は、次のように構成することが好ましい。
前記巻取りコアの垂直方向の下端部から前記巻取りコアの回転軸に沿って延設される下側シャフトが、前記巻取りコアの回転軸に沿って回転するように駆動し、かつ垂直方向に移動可能に構成されており、前記巻取りコアが、前記可撓性基板を巻き取るように前記下側シャフトとともに回転するように構成され、前記巻取りコア、前記ガイドロール、前記センサおよび前記下側シャフトが共に垂直方向に移動可能に構成されている。
この場合、前記巻取りコアの垂直方向の上端部から前記巻取りコアの回転軸に沿って延設される上側シャフトが、前記下側シャフトとは別体に構成されており、前記下側シャフトと協働して前記巻取りコアに圧力を加えながら前記巻取りコアを挟持し、かつ前記下側シャフトおよび前記巻取りコアとともに回転するように構成されており、前記巻取りコア、前記ガイドロール、前記センサ、前記下側シャフトおよび前記上側シャフトが共に垂直方向に移動可能に構成されることが好ましい。

さらに、本発明において薄膜形成装置は、次のように構成することが好ましい。
前記巻取りコアの垂直方向の下端部から前記巻取りコアの回転軸に沿って延設される下側シャフトが、前記巻取りコアの回転軸に沿って回転するように駆動し、かつ垂直方向に移動可能に構成されており、前記巻取りコアの垂直方向の上端部から前記巻取りコアの回転軸に沿って延設される上側シャフトが、前記下側シャフトと一体に形成されており、前記巻取りコアが、前記下側シャフトおよび前記上側シャフトによって圧力を加えながら挟持されて前記下側シャフトおよび前記上側シャフトとともに回転するように構成され、前記巻取りコア、前記ガイドロール、前記センサ、前記下側シャフトおよび前記上側シャフトが共に垂直方向に移動可能に構成されている。

本発明の薄膜形成装置によれば、以下の効果を得ることができる。本発明の薄膜形成装置は、フィルム形状の表面を垂直方向に沿わせた状態で搬送される可撓性基板を成膜するための薄膜形成装置であって、垂直方向に沿った回転軸を中心に回転することによって前記可撓性基板を巻取り可能に構成される巻取りコアと、垂直方向に沿った回転軸を中心に回転可能に構成され、かつ前記可撓性基板を前記巻取りコアに向けてガイドするように前記巻取りコアより前記可撓性基板の搬送方向上流側に配置されるガイドロールと、前記可撓性基板の縁部分を検出するように構成され、かつ前記ガイドロールより前記可撓性基板の搬送方向上流側に配置されるセンサとを備え、前記センサが、前記可撓性基板の搬送時に発生する位置変化を検出し、前記巻取りコア、前記ガイドロールおよび前記センサが、共に、前記センサにより検出された前記可撓性基板の縁部分の位置変化に対応して前記可撓性基板に相対して垂直方向に移動可能に構成されている。そのため、前記巻取りコアおよび前記ガイドロールが、前記可撓性基板の位置変化に迅速に対応して、前記可撓性基板に相対して垂直方向にスライドし、前記可撓性基板の巻きズレを迅速かつ正確に修正できる。特に前記ガイドロールのスライド移動による修正においては、前記ガイドロールの引き込みによって発生する大きな曲げが前記可撓性基板に加えられないため、前記可撓性基板に剪断力が発生し難くなっている。よって、この剪断力によるシワの発生を確実に防止しながら、前記可撓性基板の巻きズレを正確に修正できる。

また、本発明において、前記巻取りコアの垂直方向の下端部から前記巻取りコアの回転軸に沿って延設される下側シャフトが、前記巻取りコアの回転軸に沿って回転するように駆動し、かつ垂直方向に移動可能に構成されており、前記巻取りコアが、前記可撓性基板を巻き取るように前記下側シャフトとともに回転するように構成され、前記巻取りコア、前記ガイドロール、前記センサおよび前記下側シャフトが共に垂直方向に移動可能に構成されており、前記巻取りコアを回転させながら垂直方向に移動させる機能が、前記下側シャフトのようなシンプルな構成によって取扱い易くなっている。このような取扱い易い構成によって、正確な前記可撓性基板の巻きズレの修正がより容易に実現できる。

さらに、前記巻取りコアの垂直方向の上端部から前記巻取りコアの回転軸に沿って延設される上側シャフトが、前記下側シャフトとは別体に構成されており、前記下側シャフトと協働して前記巻取りコアに圧力を加えながら前記巻取りコアを挟持し、かつ前記下側シャフトおよび前記巻取りコアとともに、回転するように構成されており、前記巻取りコア、前記ガイドロール、前記センサ、前記下側シャフトおよび前記上側シャフトが共に垂直方向に移動可能に構成されており、前記巻取りコアに加えられる前記上側シャフトの圧力によって、前記上側シャフトおよび前記下側シャフトが前記巻取りコアを確実に挟持することができる。そのため、前記巻取りコアを回転させながら、垂直方向に移動させる機能が、前記下側シャフト、および前記下側シャフトとは別体の前記上側シャフトのようなシンプルな構成によって、取扱い易くなっている。このような取扱い易い構成によって、正確な前記可撓性基板の巻きズレの修正がより容易に実現できる。

また、本発明において、前記巻取りコアの垂直方向の下端部から前記巻取りコアの回転軸に沿って延設される下側シャフトが、前記巻取りコアの回転軸に沿って回転するように駆動し、かつ垂直方向に移動可能に構成されており、前記巻取りコアの垂直方向の上端部から前記巻取りコアの回転軸に沿って延設される上側シャフトが、前記下側シャフトと一体に形成されており、前記巻取りコアが、前記下側シャフトおよび前記上側シャフトによって圧力を加えながら挟持されて前記下側シャフトおよび前記上側シャフトとともに回転するように構成され、前記巻取りコア、前記ガイドロール、前記センサ、前記下側シャフトおよび前記上側シャフトが共に垂直方向に移動可能に構成されており、一体に構成された前記下側シャフトおよび前記上側シャフトが、前記巻取りコアを垂直方向上下から確実に挟持されることとなる。そのため、前記下側シャフトおよび前記上側シャフトを一体にしたシンプルな構成によって、前記巻取りコアを回転させながら垂直方向に移動させる機能が、取扱い易くなっている。このような取扱い易い構成によって、正確な前記可撓性基板の巻きズレの修正がより容易に実現できる。

［第１実施形態］
本発明の第１実施形態における薄膜形成装置（以下、「装置」という）について以下に説明する。図１は、本発明の実施形態における装置１の内部構造を概略的に表す平面図である。装置１は、フィルム形状に形成される可撓性基板（以下、「基板」という）２の表面を成膜する構成となっている。装置１には、巻出室３と、成膜室４と、巻取室５とが設けられており、基板２を、巻出室３、成膜室４、巻取室５の順に、矢印Ａで示す搬送方向に沿って搬送する構成となっている。また、巻出室３、成膜室４および巻取室５の内部は、成膜時に真空状態とすることが可能なように構成されている。

巻出室３の内部には、基板２を巻いた状態の巻出しコア６が、垂直方向に沿った回転軸を中心に回転可能に設けられており、さらに、基板２を巻出しコア６から巻出室３の搬出口３ａまで搬送するための搬送ロール７が設けられている。

成膜室４には、巻出室３から送り出された基板２が通過するように構成されている。成膜室４の内部には、基板２を成膜するために用いられる一対の電極８が設けられている。基板２は、一対の電極８間を通過するとともに、この一対の電極８間に電極を印加することによって成膜されることとなる。

巻取室５には、成膜された後の基板２を搬入するための搬入口５ａが設けられている。巻取室５の内部には、基板２を搬送するために駆動可能なドライブロール９と、このドライブロール９と協働して基板２を挟むためのプレスロール１０とが設けられている。さらに、巻取室５の内部には、基板２を巻き取るための巻取りコア１１が設けられ、巻取りコア１１の搬送方向上流側の近傍にガイドロール１２が設けられている。これらの巻取りコア１１およびガイドロール１２は、垂直方向に沿ったそれぞれの回転軸１１ａ，１２ａを中心に回転可能に構成されている。

さらに、ガイドロール１２の搬送方向上流の近傍には、センサ１３が設けられている。このセンサ１３は、垂直方向における基板２の縁部分の位置を検出可能に構成されている。センサ１３は、特に非接触式センサであると好ましく、このような非接触式センサの一例として、透過型のレーザーセンサ、および反射型のフォトセンサなどが挙げられる。このセンサ１３とドライブロール９およびプレスロール１０との間の搬送区間には、テンションロール１４が設けられている。

図２は、第１実施形態の場合における図１のＢ−Ｂ断面図である。巻取りコア１１の下端部には、下側シャフト１５が配置されている。下側シャフト１５の上端部には、下側テーパコーン部１５ａが設けられており、下側テーパコーン部１５ａは、上方から下方に向かって広がる略円錐形状に形成されている。また、巻取りコア１１の回転軸１１ａに沿って、テーパコーン部１５ａの下部から下方に向かって延びる下側シャフト部１５ｂが設けられている。

一方で、巻取りコア１１の上端部には、下側シャフト１５とは別体で構成される上側シャフト１６が配置されている。上側シャフト１６の下端部には、上側テーパコーン部１６ａが設けられており、上側テーパコーン部１６ａは、下方から上方に向かって広がる略円錐形状に形成されている。また、巻取りコア１１の回転軸１１ａに沿って、上側テーパコーン部１６ａの上部から上方に向かって延びる上側シャフト部１６ｂが設けられている。上側テーパコーン部１６ａは、上側シャフト部１６ｂに対して、巻取りコア１１の回転軸１１ａを中心に回転可能に取り付けられている。

巻取りコア１１は、垂直方向に沿って延びる円筒形状に形成されており、このような巻取りコア１１の下端部で下側テーパコーン１５ａが嵌合し、巻取りコア１１の上端部で上側テーパコーン１６ａが嵌合している。このような構成により、巻取りコア１１と、下側シャフト１５と、上側シャフト１６とは、同一の回転軸１１ａを中心に回転することとなる。

下側シャフト部１５ｂは、巻取室５の下部から巻取室５の外部に向かって延びており、下側シャフト部１５ｂの外周には軸受１７が、下側シャフト１５を回転可能とするように取付けられている。さらに、軸受１７と巻取室５との間には、軸受１７を垂直方向にスライド可能に支持するための下側直線ガイド１８が設けられている。軸受１７と下側直線ガイド１８とは、巻取室５を真空に保つための真空シール構造を備えている。

また、軸受１７の下部は、巻取室５の外部で下側可動部材１９に取付けられている。この下側可動部材１９は、下側直線ガイド１８と垂直方向に間隔を空けて配置されており、この下側可動部材１９と下側直線ガイド１８との間には、垂直方向に伸縮可能な弾性部材の一例として、ベローズ２０が挟まれて配置されている。さらに、ベローズ２０は、軸受１７の外周表面を囲むように配置されている。下側シャフト部１５ｂの下端部には、モータ２１が取付けられている。このモータ２１の回転駆動によって、下側シャフト１５ａが回転し、この回転に伴って巻取りコア１１および上側テーパコーン部１６ａが回転することとなる。

また、下側可動部材１９は、巻取室５の下部に設けられた外部直線ガイド２２に対して垂直方向にスライド可能に取付けられるスライド部１９ａを備えている。また、下側可動部材１９には、垂直方向に上下動可能とするためにアクチュエータ２３の可動部分２３ａが取付けられている。このアクチュエータ２３の固定部分２３ｂは巻取室５の外部、例えば製造ラインの床面に設置されている。

さらに、アクチュエータ２３が作動しない状態でも、下側可動部材１９が、上下方向の可動範囲の中間に位置するように、下側可動部材１９を上方に持ち上げるための重り２４が取付けられている。その結果、巻取りロール１１およびガイドロール１２もまた、アクチュエータ２３が作動しない状態で、上下方向の可動範囲の中間に位置することができる。

一方で、上側シャフト部１６ｂは、巻取室５の上部から外部に向かって延びており、上側シャフト部１６ｂと巻取室５との間には、上側シャフト部１６ｂを垂直方向にスライド可能とするための第１上側直線ガイド２５が設けられている。この第１上側直線ガイド２５は、巻取室５の内部を真空に保つための真空シール構造を有している。また、上側シャフト部１６ｂの上端部には、ピストン部１６ｃが設けられている。このピストン部１６ｃは、下方に向かって開口するシリンダ２６内に収納されている。そのため、ピストン部１６ｃの上側部分とシリンダ２６とに囲まれた空間２７が形成されることとなる。

シリンダ２６には、空間２７内を加圧または減圧するために流体を供給または排出可能に構成される圧力管２８が接続され、圧力管２８には空間２７内の圧力を制御するための圧力レギュレータ２９が設けられている。この空間２７内の圧力が上げられた場合、ピストン部１６ｃが押下げられて、上側シャフト１６の上側テーパコーン部１６ａが、巻取りコア１１の上端部に押付けられることとなる。このような状態で、巻取りコア１１は、下側テーパコーン部１５ａと上側テーパコーン部１６ａとによって、圧力を加えられながら挟持されることとなる。一方で、この空間２７内の圧力が下げられた場合、ピストン部１６ｃが上方に向かって移動可能となり、上側シャフト１６が上方に向かって移動可能となる。

軸受１７にはガイドロール１２に向かって延びる支持部材３０が取り付けられており、この支持部材３０には、ガイドロール１２の下端部が回転軸１２ａを中心に回転可能に取付けられている。一方で、ガイドロール１２の上端部は、巻取室５の上部に設けられた第２上側直線ガイド３１に、回転軸１２ａを中心に回転可能に、かつ垂直方向にスライド可能に取付けられている。

さらに、図２では図示しないが、センサ１３が、巻取りコア１１、ガイドロール１２、下側シャフト１５および上側シャフト１６と共に、垂直方向に移動可能に取付けられている。

ここで基板２の搬送動作について説明する。
巻出室３内で巻出しコア６に巻き取られた状態にある基板２は、巻出しコア６から送り出されて、搬送ロール７により巻出室３の搬出口３ａまで案内されて、搬出口３ａから搬出される。その後、基板２は成膜室４を通過し、この通過中に一対の電極８間で電圧を印加することによって基板２が成膜されることとなる。この成膜時に、基板２は、ロールツーロール方式で移動しながら成膜されてもよく、ステッピングロール方式で一旦停止した状態で成膜されてもよい。成膜された後の基板２は、巻取室５の搬入口５ａから巻取室５の内部に入り、ドライブロール９とプレスロール１０との間に挟まれて通過した後、テンションロール１４によって張力を加えられながら、ガイドロール１２に向かって案内される。ここで、テンションロール１４とガイドロール１２との間の搬送区間では、センサ１３によって基板２の縁部分の位置が検出される。さらに、ガイドロール１２を通過した基板２は、巻取りコア１１によって巻き取られる。

さらに、基板２の巻取り動作について説明する。
基板２は、ガイドロール１２の位置まで搬送された後に、ガイドロール１２に巻きつき、巻取りコア１１に向かって搬送されるようにガイドされて、巻取りコア１１によって巻き取られる。このとき、基板２は、巻取りコア１１をモータ２１の駆動により回転させることによって、巻取りコア１１に巻き取られながら搬送されている。

このような基板２の巻き取り過程において、基板２がガイドロール１２を通過する前に、基板２の垂直方向の位置ズレが発生した場合、この位置ズレをガイドロール１２の搬送方向上流に配置したセンサ１３により検出する。このように検出された位置ズレに合わせて、アクチュエータ２３を垂直方向に移動させるように制御する。このアクチュエータ２３の作動によって、下側シャフト１５が上下動するとともに、巻取りコア１１、ガイドロール１２およびセンサ１３が、基板２に相対して上下動し、基板２の巻き取り位置が修正されることとなる。このとき、巻取りコア１１の上下動に追従して上側シャフト１６が移動することとなる。この上側シャフト１６の移動に際して、圧力レギュレータ２９は、空間２７の圧力を制御することによって、上側シャフト１６を巻取りコア１１の上端部に押付ける力を制御する。そのため、下側シャフト１５と上側シャフト１６とによって巻取りコア１１を挟持する圧力は、下側シャフト１５の回転を巻取りコア１１に伝え、かつ下側テーパコーン１５ａと上側テーパコーン１６ａとによって巻取りコア１１を確実に挟持可能な大きさに維持されることとなる。

以上のように本発明の第１実施形態によれば、巻取りコア１１およびガイドロール１２が、基板２の位置変化に迅速に対応して、基板２に相対して垂直方向にスライドし、基板２の巻きズレを迅速かつ正確に修正できる。特にガイドロール１２のスライド移動による修正においては、ガイドロール１２の引き込みによって発生する大きな曲げが基板２に加えられないため、基板２に剪断力が発生し難くなっている。よって、この剪断力によるシワの発生が確実に防止しながら、基板２の巻きズレを正確に修正できる。

さらに、巻取りコア１１を回転させながら垂直方向に移動させる機能が、下側シャフト１５のようなシンプルな構成によって、取扱い易くなっている。このような取扱い易い構成によって、正確な基板２の巻きズレの修正がより容易に実現できる。

加えて、巻取りコア１１に加えられる上側シャフト１６の圧力によって、下側シャフト１５および上側シャフト１６が巻取りコア１１を確実に挟持することができる。そのため、巻取りコア１１を回転させながら、垂直方向に移動させる機能が、下側シャフト１５、および下側シャフト１５とは別体の上側シャフト１６のようなシンプルな構成によって、取扱い易くなっている。このような取扱い易い構成によって、正確な基板２の巻きズレの修正がより容易に実現できる。

［第２実施形態］
本発明の第２実施形態における装置４１について説明する。第２実施形態の装置４１は、基本的な構成を第１実施形態の装置１と同様とする。第１実施形態と同様な要素は、第１実施形態と同様の符号および名称を用いて説明する。ここでは、第１実施形態と異なる構成について説明する。

図３は、第２実施形態の場合における図１のＢ−Ｂ断面図である。巻取室４２の外部で把持機構４３によって把持されている。この把持機構４３は、上側可動部材４４に取付けられている。この上側可動部材４４は、第１上側直線ガイド２５と垂直方向に間隔を空けて配置されており、この第１上側直線ガイド２５と上側可動部材４４との間に垂直方向に伸縮可能な弾性部材の一例として、ベローズ４５が挟まれて配置されている。さらに、ベローズ４５は、上側シャフト部１６ｂの外周表面を囲むように形成されている。上側可動部材４４は、巻取室４２の上部に設けられた外部直線ガイド４６に対して垂直方向にスライド可能に取付けられるスライド部４４ａを備えている。

さらに、下側可動部材１９と上側可動部材４４とは、上下方向に延びる連結部材４７によって連結されている。このとき、巻取りコア１１は、下側テーパコーン１５ａと上側テーパコーン１６ａとによって、下側シャフト１５の回転を巻取りコア１１に伝えるために十分な圧力を加えられた状態で挟持されている。このように一体に形成された下側可動部材１９と、上側可動部材４４と、連結部材４７とは、アクチュエータ４８によって垂直方向に上下動させられるように構成されている。このアクチュエータ４８の可動部分４８ａは、連結部材４７に取付けられており、アクチュエータ４８の固定部分４８ｂは、巻取室４２の外側の側部に取付けられている。

さらに、アクチュエータ４８が作動しない状態でも、一体に構成された下側可動部材１９、上側可動部材４４および連結部材４７が、上下方向の可動範囲の中間に位置するように、一体に構成された下側可動部材１９、上側可動部材４４および連結部材４７を上方に持ち上げるための重り４９が取付けられている。その結果、巻取りロール１１およびガイドロール１２もまた、アクチュエータ４８が作動しない状態で、上下方向の可動範囲の中間に位置することができる。なお、図３では図示しないが、センサ１３が、巻取りコア１１、ガイドロール１２、下側シャフト１５および上側シャフト１６と共に、垂直方向に移動可能に取付けられている。

基板２の搬送動作については、第１実施形態と同様となっているが、基板２の巻取り動作については、巻取りコア１１およびガイドロール１２の上下動が第１実施形態と異なっている。基板２の巻き取り動作に際して、基板２がガイドロール１２を通過する前に、基板２の垂直方向の位置ズレが発生した場合、この位置ズレをガイドロール１２の搬送方向上流に配置したセンサ１３により検出する。このように検出された位置ズレに合わせて、アクチュエータ４８を垂直方向に移動させるように制御する。このアクチュエータ４８の作動によって、下側シャフト１５および上側シャフト１６が共に上下動するとともに、巻取りコア１１、ガイドロール１２およびセンサ１３が、基板２に相対して上下動して、基板２の巻き取り位置が修正されることとなる。このとき、下側シャフト１５と上側シャフト１６とによって巻取りコア１１を挟持する圧力は、下側シャフト１５の回転を巻取りコア１１に伝え、かつ下側テーパコーン１５ａと上側テーパコーン１６ａとによって巻取りコア１１を確実に挟持可能な大きさに維持されている。

以上のように本発明の第２実施形態によれば、第１実施形態と同様の構成によって、基板２におけるシワの発生を確実に防止しながら、基板２の巻きズレを正確に修正できる。

また、一体に構成された下側シャフト１５および上側シャフト１６が、巻取りコア１１を垂直方向上下から確実に挟持されることとなる。そのため、下側シャフト１５および上側シャフト１６のようなシンプルな構成によって、巻取りコア１１を回転させながら垂直方向に移動させる機能が、取扱い易くなっている。このような取扱い易い構成によって、正確な基板２の巻きズレの修正がより容易に実現できる。

ここまで本発明の実施形態について述べたが、本発明は既述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて各種の変形および変更が可能である。

本発明の第１実施形態における薄膜形成装置の内部構造を概略的に表す平面図である。第１実施形態の場合における図１のＢ−Ｂ断面図である。第２実施形態の場合における図１のＢ−Ｂ断面図である。

符号の説明

１，４１薄膜形成装置（装置）
２可撓性基板（基板）
３巻出室
４成膜室
５，４２巻取室
６巻出しコア
７搬送ロール
８電極
９ドライブロール
１０プレスロール
１１巻取りコア
１１ａ，１２ａ回転軸
１２ガイドロール
１３センサ
１４テンションロール
１５下側シャフト
１５ａ下側テーパコーン部
１５ｂ下側シャフト部
１６上側シャフト
１６ａ上側テーパコーン部
１６ｂ上側シャフト部
１６ｃピストン部
１７軸受
１８下側直線ガイド
１９下側可動部材
１９ａスライド部
２０，４５ベローズ
２１モータ
２２，４６外部直線ガイド
２３，４８アクチュエータ
２３ａ，４８ａ可動部分
２３ｂ，４８ｂ固定部分
２４，４９重り
２５第１上側直線ガイド
２６シリンダ
２７空間
２８圧力管
２９圧力レギュレータ
３０支持部材
３１第２上側直線ガイド
４３把持機構
４４上側可動部材
４４ａスライド部
４７連結部材
Ａ矢印

Claims

フィルム形状の表面を垂直方向に沿わせた状態で搬送される可撓性基板を成膜するための薄膜形成装置であって、
垂直方向に沿った回転軸を中心に回転することによって前記可撓性基板を巻取り可能に構成される巻取りコアと、
垂直方向に沿った回転軸を中心に回転可能に構成され、かつ前記可撓性基板を前記巻取りコアに向けてガイドするように前記巻取りコアより前記可撓性基板の搬送方向上流側に配置されるガイドロールと、
前記可撓性基板の縁部分を検出するように構成され、かつ前記ガイドロールより前記可撓性基板の搬送方向上流側に配置されるセンサと
を備え、
前記センサが、前記可撓性基板の搬送時に発生する位置変化を検出し、
前記巻取りコア、前記ガイドロールおよび前記センサが、共に、前記センサにより検出された前記可撓性基板の縁部分の位置変化に対応して前記可撓性基板に相対して垂直方向に移動可能に構成されている、薄膜形成装置。
前記巻取りコアの垂直方向の下端部から前記巻取りコアの回転軸に沿って延設される下側シャフトが、前記巻取りコアの回転軸に沿って回転するように駆動し、かつ垂直方向に移動可能に構成されており、前記巻取りコアが、前記可撓性基板を巻き取るように前記下側シャフトとともに回転するように構成され、前記巻取りコア、前記ガイドロール、前記センサおよび前記下側シャフトが共に垂直方向に移動可能に構成されている、請求項１に記載の薄膜形成装置。
前記巻取りコアの垂直方向の上端部から前記巻取りコアの回転軸に沿って延設される上側シャフトが、前記下側シャフトとは別体に構成されており、前記下側シャフトと協働して前記巻取りコアに圧力を加えながら前記巻取りコアを挟持し、かつ前記下側シャフトおよび前記巻取りコアとともに回転するように構成されており、前記巻取りコア、前記ガイドロール、前記センサ、前記下側シャフトおよび前記上側シャフトが共に垂直方向に移動可能に構成されている、請求項２に記載の薄膜形成装置。
前記巻取りコアの垂直方向の下端部から前記巻取りコアの回転軸に沿って延設される下側シャフトが、前記巻取りコアの回転軸に沿って回転するように駆動し、かつ垂直方向に移動可能に構成されており、前記巻取りコアの垂直方向の上端部から前記巻取りコアの回転軸に沿って延設される上側シャフトが、前記下側シャフトと一体に形成されており、前記巻取りコアが、前記下側シャフトおよび前記上側シャフトによって圧力を加えながら挟持されて前記下側シャフトおよび前記上側シャフトとともに回転するように構成され、前記巻取りコア、前記ガイドロール、前記センサ、前記下側シャフトおよび前記上側シャフトが共に垂直方向に移動可能に構成されている、請求項１に記載の薄膜形成装置。