JP5338615B2 - 可変容量デバイスおよび可変容量素子の駆動方法 - Google Patents
可変容量デバイスおよび可変容量素子の駆動方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5338615B2 JP5338615B2 JP2009246777A JP2009246777A JP5338615B2 JP 5338615 B2 JP5338615 B2 JP 5338615B2 JP 2009246777 A JP2009246777 A JP 2009246777A JP 2009246777 A JP2009246777 A JP 2009246777A JP 5338615 B2 JP5338615 B2 JP 5338615B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive voltage
- electrode
- movable electrode
- fixed
- capacitance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 50
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 6
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/01—Details
- H01G5/015—Current collectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/16—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
〔第一の実施形態〕
図5は本発明の第一の実施形態における可変容量デバイス1の構成の例を示す平面図、図6〜図9はその断面図である。なお、図7および図8は同じ断面を示しており、図7は可動電極26が変位していない状態の断面を示しており、図8は可動電極26が変位した状態の断面を示している。
〔第一の印加例〕
図12は、駆動電圧V1、駆動電圧V2、および静電容量Cの時系列変化の例を示す図、図13は電荷がチャージされた状態での駆動電圧V1と静電容量CAaとの関係(C−V特性)の例を示す図、図14は電荷がチャージされた状態の例を示す図である。
〔第二の印加例〕
図15は、駆動電圧V1、駆動電圧V2、および静電容量Cの時系列変化の例を示す図である。
〔第三の印加例〕
図16は、駆動電圧V1、駆動電圧V2、および静電容量Cの時系列変化の例を示す図である。
〔第二の実施形態〕
図17は本発明の第二の実施形態における可変容量デバイス3の構成の例を示す平面図、図18はその断面図である。
2 可変容量素子
3 可変容量デバイス
4 可変容量素子
21 第一引出電極(第1の配線部)
22 第二引出電極(第2の配線部)
23a、23b 第一固定電極(第1の固定電極)
24a、24b 第二固定電極(第2の固定電極)
25a、25b、25d、25e 誘電体層
26 可動電極
41 固定電極
42 第一引出電極(第1の配線部)
43 第二引出電極(第2の配線部)
45a、45b 第一可動電極(第1の可動電極)
46a、46b 第二可動電極(第2の可動電極)
47a、47b、47c、47d 誘電体層
61 駆動回路(第1の駆動部)
62 駆動回路(第2の駆動部)
V1 駆動電圧(第1の駆動電圧)
V2 駆動電圧(第2の駆動電圧)
Claims (4)
- 互いに絶縁された第1の固定電極および第2の固定電極と、
前記第1の固定電極および前記第2の固定電極に対向する可動電極と、
前記第1の固定電極および前記第2の固定電極と前記可動電極との間に設けられる誘電体層と、
前記第1の固定電極に前記可動電極を基準とする第1の駆動電圧を印加するための第1の配線部と、
前記第2の固定電極に前記可動電極を基準としかつ前記第1の駆動電圧とは極性が異なる第2の駆動電圧を印加するための第2の配線部と、
を有する可変容量素子、および、
前記第1の配線部を介して前記第1の固定電極に前記第1の駆動電圧を印加するための第1の駆動部、並びに、
前記第2の配線部を介して前記第2の固定電極に前記第2の駆動電圧を印加するための第2の駆動部、を有し、
前記第1の駆動電圧および前記第2の駆動電圧は、互いに異なる極性に反転することを繰り返す矩形波状の電圧であり、かつ、前記第1の駆動電圧の極性が反転するタイミングと前記第2の駆動電圧の極性が反転するタイミングとがずれている、
可変容量デバイス。 - 互いに絶縁され一体化された第1の可動電極および第2の可動電極と、
前記第1の可動電極および前記第2の可動電極に対向する固定電極と、
前記第1の可動電極および前記第2の可動電極と前記固定電極との間に設けられる誘電体層と、
前記第1の可動電極に前記固定電極を基準とする第1の駆動電圧を印加するための第1の配線部と、
前記第2の可動電極に前記固定電極を基準としかつ前記第1の駆動電圧とは極性が異なる第2の駆動電圧を印加するための第2の配線部と、
を有する可変容量素子、および、
前記第1の配線部を介して前記第1の可動電極に前記第1の駆動電圧を印加するための第1の駆動部、並びに、
前記第2の配線部を介して前記第2の可動電極に前記第2の駆動電圧を印加するための第2の駆動部、を有し、
前記第1の駆動電圧および前記第2の駆動電圧は、互いに異なる極性に反転することを繰り返す矩形波状の電圧であり、かつ、前記第1の駆動電圧の極性が反転するタイミングと前記第2の駆動電圧の極性が反転するタイミングとがずれている、
可変容量デバイス。 - 互いに絶縁された第1の固定電極および第2の固定電極と、当該第1の固定電極および当該第2の固定電極に対向する可動電極と、当該第1の固定電極および当該第2の固定電極と当該可動電極との間に設けられる誘電体層とを有する可変容量素子の駆動方法であって、
前記第1の固定電極に前記可動電極を基準とする第1の駆動電圧を印加し、
前記第2の固定電極に前記可動電極を基準としかつ前記第1の駆動電圧とは極性が異なる第2の駆動電圧を印加し、
前記第1の駆動電圧および前記第2の駆動電圧として、互いに異なる極性に反転することを繰り返す矩形波状の電圧を印加し、かつ、前記第1の駆動電圧の極性が反転するタイミングと前記第2の駆動電圧の極性が反転するタイミングとをずらす、
可変容量素子の駆動方法。 - 互いに絶縁され一体化された第1の可動電極および第2の可動電極と、当該第1の可動電極および当該第2の可動電極に対向する固定電極と、当該第1の可動電極および当該第2の可動電極と当該固定電極との間に設けられる誘電体層とを有する可変容量素子の駆動方法であって、
前記第1の可動電極に前記固定電極を基準とする第1の駆動電圧を印加し、
前記第2の可動電極に前記固定電極を基準としかつ前記第1の駆動電圧とは極性が異なる第2の駆動電圧を印加し、
前記第1の駆動電圧および前記第2の駆動電圧として、互いに異なる極性に反転することを繰り返す矩形波状の電圧を印加し、かつ、前記第1の駆動電圧の極性が反転するタイミングと前記第2の駆動電圧の極性が反転するタイミングとをずらす、
可変容量素子の駆動方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009246777A JP5338615B2 (ja) | 2009-10-27 | 2009-10-27 | 可変容量デバイスおよび可変容量素子の駆動方法 |
TW099134372A TWI419186B (zh) | 2009-10-27 | 2010-10-08 | 可變電容元件、可變電容裝置及用於驅動可變電容元件之方法 |
US12/910,267 US8363381B2 (en) | 2009-10-27 | 2010-10-22 | Variable capacitive element, variable capacitive device, and method for driving the variable capacitive element |
CN2010105320525A CN102054587B (zh) | 2009-10-27 | 2010-10-27 | 可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法 |
CN201210108857.6A CN102664102B (zh) | 2009-10-27 | 2010-10-27 | 可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009246777A JP5338615B2 (ja) | 2009-10-27 | 2009-10-27 | 可変容量デバイスおよび可変容量素子の駆動方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011096726A JP2011096726A (ja) | 2011-05-12 |
JP5338615B2 true JP5338615B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=43898255
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009246777A Expired - Fee Related JP5338615B2 (ja) | 2009-10-27 | 2009-10-27 | 可変容量デバイスおよび可変容量素子の駆動方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8363381B2 (ja) |
JP (1) | JP5338615B2 (ja) |
CN (2) | CN102664102B (ja) |
TW (1) | TWI419186B (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012164974A1 (ja) * | 2011-06-02 | 2012-12-06 | アルプス電気株式会社 | 可変容量コンデンサ |
JP5619678B2 (ja) * | 2011-06-02 | 2014-11-05 | アルプス電気株式会社 | 可変インダクタ |
WO2013033613A2 (en) * | 2011-09-02 | 2013-03-07 | Cavendish Kinetics, Inc | Rf mems isolation, series and shunt dvc, and small mems |
JP2013232536A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Toshiba Corp | 可変容量デバイス及びその駆動方法 |
WO2014038086A1 (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-13 | 富士通株式会社 | 可変容量回路及びインピーダンス整合回路 |
CN104682917B (zh) * | 2013-11-27 | 2017-09-26 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 用于等离子体反应器的阻抗匹配网络 |
US9626048B2 (en) * | 2014-01-13 | 2017-04-18 | Himax Technologies Limited | Touch screen and related touch sensing control circuit |
FR3022691B1 (fr) * | 2014-06-23 | 2016-07-01 | Stmicroelectronics Rousset | Dispositif capacitif commandable integre |
EP3345295B1 (en) * | 2015-09-04 | 2021-10-27 | Koninklijke Philips N.V. | Electrical power generation device and generation method |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10043758A1 (de) * | 1999-12-15 | 2001-07-05 | Fraunhofer Ges Forschung | Durchstimmbarer Hochfrequenzkondensator |
JP3890952B2 (ja) * | 2001-10-18 | 2007-03-07 | ソニー株式会社 | 容量可変型キャパシタ装置 |
JP4045090B2 (ja) | 2001-11-06 | 2008-02-13 | オムロン株式会社 | 静電アクチュエータの調整方法 |
GB0214206D0 (en) * | 2002-06-19 | 2002-07-31 | Filtronic Compound Semiconduct | A micro-electromechanical variable capacitor |
JP2005092175A (ja) | 2003-08-08 | 2005-04-07 | Olympus Corp | 光学特性可変光学素子 |
JP4571127B2 (ja) * | 2004-05-31 | 2010-10-27 | 富士通株式会社 | 可変キャパシタ |
JP2006247820A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Sony Corp | 可動素子並びに半導体デバイスおよび電子機器 |
JP4373994B2 (ja) * | 2006-05-31 | 2009-11-25 | 株式会社東芝 | 可変容量装置および携帯電話 |
CA2747245C (en) | 2006-07-27 | 2013-12-10 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Mirror control device |
JP4537429B2 (ja) | 2006-07-27 | 2010-09-01 | 日本電信電話株式会社 | ミラー制御装置 |
JP4945204B2 (ja) * | 2006-09-08 | 2012-06-06 | 株式会社東芝 | アクチュエータ |
JP4910679B2 (ja) * | 2006-12-21 | 2012-04-04 | 株式会社ニコン | 可変キャパシタ、可変キャパシタ装置、高周波回路用フィルタ及び高周波回路 |
JP4919819B2 (ja) * | 2007-01-24 | 2012-04-18 | 富士通株式会社 | マイクロマシンデバイスの駆動制御方法および装置 |
JP5363005B2 (ja) * | 2008-02-20 | 2013-12-11 | 富士通株式会社 | 可変容量素子、整合回路素子、および携帯端末装置 |
-
2009
- 2009-10-27 JP JP2009246777A patent/JP5338615B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-10-08 TW TW099134372A patent/TWI419186B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-10-22 US US12/910,267 patent/US8363381B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-10-27 CN CN201210108857.6A patent/CN102664102B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-10-27 CN CN2010105320525A patent/CN102054587B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI419186B (zh) | 2013-12-11 |
CN102054587A (zh) | 2011-05-11 |
CN102664102B (zh) | 2015-04-15 |
US8363381B2 (en) | 2013-01-29 |
CN102054587B (zh) | 2012-11-28 |
TW201125008A (en) | 2011-07-16 |
US20110096462A1 (en) | 2011-04-28 |
JP2011096726A (ja) | 2011-05-12 |
CN102664102A (zh) | 2012-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5338615B2 (ja) | 可変容量デバイスおよび可変容量素子の駆動方法 | |
JP4645227B2 (ja) | 振動子構造体及びその製造方法 | |
US7141989B1 (en) | Methods and apparatus for a MEMS varactor | |
US6841899B2 (en) | Actuator, actuator driving method, and atcuator system | |
JP4188805B2 (ja) | Mems可変インダクタ及びキャパシタ | |
US7961448B2 (en) | Drive control method and unit for micro machine device | |
JP5363005B2 (ja) | 可変容量素子、整合回路素子、および携帯端末装置 | |
KR102070617B1 (ko) | 멤스 진폭 변조기 및 이를 포함하는 멤스 자계 센서 | |
WO2012164943A1 (ja) | 振動発電器、振動発電装置、及び振動発電装置を搭載した電気機器と通信装置 | |
JP5619998B2 (ja) | 可変容量コンデンサ | |
US7750419B2 (en) | Tuneable electronic devices and electronic arrangements comprising such tuneable devices | |
JPWO2013108705A1 (ja) | 微小可動機構及び可変容量コンデンサ | |
US8971011B2 (en) | Semiconductor device | |
KR20140131229A (ko) | 멤스 자계 센서 | |
JP5590251B2 (ja) | 可変容量装置 | |
JP2011108989A (ja) | 可変キャパシタ | |
JP5879197B2 (ja) | 静電型変換装置、静電型トランスおよび交流電圧発生装置 | |
JP4930769B2 (ja) | 発振器 | |
JP5368214B2 (ja) | 微細電子機械素子 | |
KR20020085990A (ko) | 비선형 mems 스프링을 이용한 튜너블 캐패시터 | |
US11683036B2 (en) | Capacitive logic cell with complementary control | |
JP2010199214A (ja) | Memsチューナブルキャパシタ | |
KR100357164B1 (ko) | 마이크로 가변 커패시터 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120605 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130412 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130620 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130709 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130722 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5338615 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |