JP5337547B2 - Coating device - Google Patents
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Description
本発明は、基板上に塗布液を塗布する塗布装置に関するものである。 The present invention relates to a coating apparatus that coats a coating solution on a substrate.
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、レジスト液が塗布されたガラス基板(以下、塗布基板とも言う)が使用されている。そして、この塗布基板は、ガラス基板上にレジスト液を均一に塗布する塗布装置を用いて作製される。 For flat panel displays such as liquid crystal displays and plasma displays, glass substrates coated with a resist solution (hereinafter also referred to as coated substrates) are used. And this application | coating board | substrate is produced using the coating device which apply | coats a resist liquid uniformly on a glass substrate.
このような塗布装置として、下記特許文献1には、基板を保持する基板保持盤と、基板保持盤に保持された基板の上方に配置され、下端部のノズルからレジスト液を流出する塗布ヘッド(塗布部)と、基板保持盤に対して塗布ヘッドを相対的に水平に移動させる相対移動手段とを備え、基板保持盤に対して塗布ヘッドを相対的に水平に移動させながら塗布ヘッドから塗布液を流出し、基板保持盤上の基板にレジスト液を塗布するものが開示されている。 As such a coating apparatus, the following Patent Document 1 discloses a substrate holding plate for holding a substrate, and a coating head that is disposed above the substrate held by the substrate holding plate and flows out a resist solution from a nozzle at the lower end ( And a relative moving means for moving the coating head relatively horizontally with respect to the substrate holding plate, and the coating liquid is applied from the coating head while moving the coating head relatively horizontally with respect to the substrate holding plate. And a resist solution is applied to the substrate on the substrate holding plate.
また、基板の上面と塗布ヘッドのノズルとの間は、通常、数十μm〜百数十μmの僅かな隙間しかないので、基板上に異物が存在していたり、基板保持盤上に異物が存在することによって基板が浮き上がっていたりすると、塗布ヘッドのノズルが異物や基板に衝突して、ノズルや基板を損傷してしまうおそれがある。 In addition, since there is usually only a small gap of several tens of μm to several hundreds of μm between the upper surface of the substrate and the nozzle of the coating head, foreign matter is present on the substrate or foreign matter is present on the substrate holding plate. If the substrate is lifted due to the presence, the nozzle of the coating head may collide with a foreign object or the substrate and damage the nozzle or the substrate.
このため、特許文献1の塗布装置は、図6に示すように、塗布ヘッド122のノズル144よりも基板保持盤114に対する相対移動方向X1の先方側において、異物Pに衝突するように設けられた板状部材(衝突部)150と、この板状部材150の振動を検出する振動センサ151と、この振動センサ151によって振動が検出されたときに塗布ヘッド122の相対移動を強制停止させる制御手段とを備えている。そして、この塗布装置は、基板112上の異物Pに板状部材150を衝突させることによって、この衝突による振動を振動センサ151によって検出し、その検出信号に基づいて塗布ヘッド122のX1方向への移動を強制停止することによって、塗布ヘッド122のノズル144が異物Pに衝突するのを未然に防止するように構成されている。
For this reason, as shown in FIG. 6, the coating apparatus of Patent Document 1 is provided so as to collide with the foreign matter P on the front side in the relative movement direction X <b> 1 relative to the
また、異物の存在を検出するための他の技術として、レーザー光等によって光学的に検出する技術も従来から知られている。 Further, as another technique for detecting the presence of a foreign substance, a technique for optical detection with a laser beam or the like has been conventionally known.
特許文献1の塗布装置は、板状部材が異物等に衝突することによって発生する振動を振動センサによって検出しているが、塗布装置が稼働している間は少なからず振動は発生しており、特に塗布動作の開始時や終了時等に塗布ヘッドが基板保持盤に相対して加減速した場合には比較的大きな振動が発生する。そのため、板状部材と異物等との衝突に起因する振動とそれ以外の振動とを明確に判別するのが困難になる。また、レーザー光等によって異物等を光学的に検出するセンサは、投光器と受光器の位置づけによって検出感度が異なる場合があり、安定した検出精度を得るのが困難である。 The coating apparatus of Patent Document 1 detects vibration generated by the collision of the plate-like member with a foreign substance or the like by a vibration sensor, but vibration is generated not a little while the coating apparatus is operating, In particular, when the coating head is accelerated or decelerated relative to the substrate holder at the start or end of the coating operation, a relatively large vibration is generated. Therefore, it becomes difficult to clearly discriminate between the vibration caused by the collision between the plate-like member and the foreign matter and the other vibration. In addition, a sensor that optically detects a foreign substance or the like with a laser beam or the like may have different detection sensitivities depending on the positioning of the projector and the light receiver, and it is difficult to obtain stable detection accuracy.
本発明はこのような問題を解決するためになされたもので、基板上や保持台上に異物が存在する場合に、衝突部と異物又は基板表面との衝突のみを正確に検出することによって検出精度の向上を図った塗布装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve such a problem, and when a foreign substance exists on the substrate or the holding table, it is detected by accurately detecting only the collision between the collision part and the foreign substance or the substrate surface. An object of the present invention is to provide a coating apparatus with improved accuracy.
(1)本発明の塗布装置は、基板を水平に保持する保持台と、前記保持台上の前記基板に塗布液を流出するノズルを備えた塗布部と、前記塗布部を前記保持台に相対して水平方向に走行させる走行機構と、前記塗布部を上下に昇降させる昇降機構と、前記基板に塗布液を塗布するため前記走行機構により前記塗布部を走行させた際に、前記ノズルよりも走行方向の先方側に存在する異物を検出する異物検出部と、前記塗布部の高さを検出する高さ検出部と、この高さ検出部の検出結果に基づいて前記塗布部の高さを所定に制御する昇降制御部と、を備え、前記異物検出部が、前記ノズルよりも走行方向の先方側に設けられていて、前記基板上の異物又は前記保持台上に異物がある場合には前記基板の表面に衝突可能であり、かつ前記塗布部とともに昇降可能なように当該塗布部に一体的に設けられた衝突部と、前記異物又は前記基板表面との衝突に起因する前記衝突部の高さの変化を検出する衝突検出部と、を備え、前記高さ検出部が、前記衝突検出部を兼ねていることを特徴とする。 (1) The coating apparatus according to the present invention includes a holding table that holds the substrate horizontally, an application unit that includes a nozzle that flows the coating liquid onto the substrate on the holding table, and the application unit relative to the holding table. A traveling mechanism that travels in the horizontal direction, a lifting mechanism that moves the coating unit up and down, and a traveling mechanism that applies the coating liquid to the substrate so that the coating unit travels more than the nozzle. A foreign matter detection unit that detects foreign matter present on the front side in the traveling direction, a height detection unit that detects the height of the application unit, and the height of the application unit based on the detection result of the height detection unit e Bei and a lift control unit for controlling a predetermined, the foreign object detection section, the have also provided other party side of the running direction of the nozzle, when there is a foreign matter in the foreign matter or the holder on on the substrate and is capable collide with the surface of the substrate, and the coating unit A collision portion provided integrally with the coating portion so as to be raised and lowered also, a collision detection unit for detecting a change in the height of the collision portion due to the collision with the foreign object or the substrate surface, the Bei example, the height detection unit, characterized in that also serves as the collision detection unit.
本発明の塗布装置は、衝突検出部が異物や基板の表面(以下、「異物等」ともいう)との衝突に起因する衝突部の高さの変化を検出するように構成されているので、当該衝突に起因する振動を振動センサによって検出する場合に比べて誤検出を少なくし、検出精度を高めることができる。
すなわち、従来のように衝突部の振動を振動センサによって検出する場合、衝突部と異物等との衝突以外に起因して発生する振動、例えば、塗布動作の開始時や終了時に、塗布部が加速、減速を行うことに起因する走行方向の振動をも誤って検出してしまうことがあるが、本発明のように、衝突部の高さの変化を検出する場合はこのような問題が生じることはほとんどなく、衝突部と異物等との衝突を正確に検出することができる。
The coating apparatus of the present invention is configured so that the collision detection unit detects a change in the height of the collision part due to a collision with a foreign object or the surface of the substrate (hereinafter also referred to as “foreign substance etc.”). Compared with the case where the vibration caused by the collision is detected by a vibration sensor, false detection can be reduced and detection accuracy can be increased.
That is, when the vibration of the collision part is detected by a vibration sensor as in the past, vibration generated due to other than the collision between the collision part and a foreign object, for example, the application part is accelerated at the start or end of the application operation. Although vibrations in the traveling direction due to deceleration can be detected erroneously, such a problem occurs when a change in the height of the collision part is detected as in the present invention. The collision between the collision part and the foreign matter can be accurately detected.
また、塗布部の高さ制御のために使用される高さ検出部が、異物等との衝突に起因する衝突部の高さの変化を検出するためにも使用されるので、衝突部の高さの変化を検出するために別途センサを設ける必要がなくなる。したがって、部品点数の削減が可能となり、製造コストを抑制することができる。 In addition, since the height detection unit used for controlling the height of the coating unit is also used to detect the change in the height of the collision unit due to the collision with a foreign object, the height of the collision unit There is no need to provide a separate sensor to detect the change in height. Therefore, the number of parts can be reduced, and the manufacturing cost can be suppressed.
(2)上記塗布装置は、前記異物検出部によって異物が検出された場合に、前記塗布部を上方に退避させるように昇降機構を制御する退避制御部をさらに備えていることが好ましい。
この構成によれば、異物検出部によって異物を検出すると、塗布部を上方に退避させるように昇降機構が退避制御部によって制御されるので、異物検出部が異物を検出してからノズルが異物に到るまでの距離(異物検出部からノズルまでの間隔)を長くしなくても、ノズルと異物等との衝突を回避することが可能となる。すなわち、従来(図6参照)の塗布装置の場合、振動センサ151が振動を検出してから実際に塗布ヘッド122が停止するまでの塗布ヘッド122の移動距離(停止距離)の分だけ塗布ヘッド122のノズル144と板状部材150との間隔Lをあけておかなければならないが、本発明では塗布部を上方へ退避させるので、衝突部からノズルまでの間隔を従来ほど長くする必要がなく、装置の大型化を抑制することができる。
( 2 ) It is preferable that the coating apparatus further includes a retraction control unit that controls a lifting mechanism so as to retreat the application unit upward when a foreign object is detected by the foreign material detection unit.
According to this configuration, when the foreign object is detected by the foreign object detection unit, the lifting mechanism is controlled by the retraction control unit so that the application unit is retracted upward. It is possible to avoid a collision between the nozzle and the foreign matter or the like without increasing the distance (distance from the foreign matter detection unit to the nozzle). That is, in the case of a conventional coating apparatus (see FIG. 6), the
(3)前記衝突部における走行方向の先方側の下部には、同方向の先方側ほど高位となるように傾斜する傾斜面が形成されていることが好ましい。この構成によれば、基板等に異物が存在すると、傾斜面とされた衝突部の下面が異物等に衝突し、この衝突に伴って衝突部には上向き成分を含む反力が作用する。したがって、衝突部は、異物等との衝突によって高さが変化しやすくなり、異物の検出精度をより高めることができる。 ( 3 ) It is preferable that an inclined surface that is inclined so as to be higher toward the front side in the traveling direction is formed in the lower portion on the front side in the traveling direction in the collision portion. According to this configuration, when a foreign substance is present on the substrate or the like, the lower surface of the collision part that is an inclined surface collides with the foreign substance or the like, and a reaction force including an upward component acts on the collision part in accordance with the collision. Accordingly, the height of the collision part is easily changed by collision with a foreign object or the like, and the detection accuracy of the foreign object can be further increased.
本発明の塗布装置は、基板上や保持台上に異物が存在する場合に、衝突部と異物又は基板表面との衝突のみを正確に検出し、検出精度の向上を図ることができる。 The coating apparatus of the present invention can accurately detect only the collision between the collision part and the foreign substance or the substrate surface when a foreign substance is present on the substrate or the holding table, and can improve the detection accuracy.
次に本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る塗布装置11を示す斜視図、図2は、同塗布装置11における塗布ユニット15のユニット支持部23付近を拡大して示す正面図である。図1および図2に示すように、塗布装置11は、供給される薄板状の基板12に薬液やレジスト等の液状物(以下、塗布液ともいう)を塗布するものである。この塗布装置11は、基台13と、基板12を載置するためのステージ(保持台)14と、このステージ14に対し特定方向に移動可能に構成される塗布ユニット15とを備えている。
なお、以下の説明では、塗布ユニット15が移動する方向をX軸方向、これと水平面上で直交する方向をY軸方向、X軸方向およびY軸方向の双方に直交する上下方向をZ軸方向とする。
Next, modes for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing a
In the following description, the direction in which the
基台13には、ステージ14が載置され、このステージ14のY軸方向の両側にはスライドレール17が設けられている。そして、このスライドレール17に塗布ユニット15が載置されている。
ステージ14は、搬入された基板12をその上面に載置して保持するものである。ステージ14の表面には複数の吸引孔(図示略)が形成され、これらの吸引孔には真空ポンプ(図示略)が接続されている。そして、真空ポンプを作動させると、負圧によって基板12がステージ14の表面に吸引され、当該表面上に保持される。また、ステージ14には、基板12を昇降動作させる基板昇降機構(図示略)が設けられている。
A
The
スライドレール17は、塗布ユニット15の走行をガイドするものであり、X軸方向に延伸して設けられている。スライドレール17は、Z軸方向に垂直な方向とY軸方向に垂直な方向とに、平坦かつ平滑なガイド面19を有している。このガイド面19は、後述する塗布ユニット15のエアベアリング20と対向している。
The
塗布ユニット15は、ステージ14に載置された基板12に塗布液を塗布するためのものであり、Y軸方向に沿って延び塗布液を流出する口金部(塗布部)22と、この口金部22の両端部分に設けられたユニット支持部23とを有している。
ユニット支持部23は、口金部22をZ軸方向に昇降させるとともに、この口金部22をX軸方向に走行させるためのものである。すなわち、このユニット支持部23は、口金部22をZ軸方向に昇降させる昇降機構24と、口金部22をX軸方向に走行させる走行機構25とを有している。また、昇降機構24および走行機構25は、制御装置26(図4参照)によって動作制御される。なお、制御装置26は、CPUからなる演算手段、プログラムやデータを記憶するROM、RAM、HDD等の記憶手段、外部に対する信号を入出力するための入出力インターフェース等を含むコンピュータからなり、記憶手段に記憶された各種プログラムを演算手段が実行するように構成されている。
The
The
図1および図2に示すように、昇降機構24は、Z軸方向に延びるガイドレール28と、口金部22と連結されるスライダ29とを有している。このガイドレール28には、スライダ29がガイドレール28に沿ってスライド自在に取り付けられている。図3は、昇降機構24の概略図であり、昇降機構24は、駆動体としてのサーボモータ30と、このサーボモータ30により駆動されるボールねじ機構31とを有しており、このボールねじ機構31にスライダ29又は口金部22が連結されている。制御装置26は、サーボモータ30を駆動制御する昇降制御部32を一機能部として備えており(図4も参照)、昇降制御部32は、サーボモータ30を制御して口金部22をZ軸方向に昇降させるとともに、任意の位置で停止させるように構成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the elevating
また、昇降機構24は、口金部22の上下方向の変位を検出する高さ検出部33を備えている。この高さ検出部33は、光学式又は磁気式等のリニアスケールからなっており、口金部22に並設された第1スケール34と、この第1スケール34に対向する位置に設けられ、口金部22とともに上下方向に昇降する第1読取部35とを備えている。そして、高さ検出部33は、第1読取部35によって第1スケール34を読み取ることで口金部22の高さを検出するように構成されている。第1読取部35によって検出された信号は制御装置26の昇降制御部32に入力され、この入力された信号に応じてサーボモータ30が昇降制御部32によって制御される。
Further, the elevating
図1および図2に示すように、走行機構25は、口金部22をX軸方向に走行させるためのものであり、スライド支持部36とリニアモータ37とを有している。
このスライド支持部36は、スライドレール17との間に設けられるエアベアリング20によってスライドレール17上に支持されている。そして、リニアモータ37を制御装置26が駆動制御することにより、スライド支持部36がX軸方向に移動する。具体的には、スライド支持部36に設けられたエアベアリング20には管路を通じてコンプレッサ(図示略)が接続されており、このコンプレッサの作動でエアベアリング20からガイド面19にエアが供給される。そして、エアベアリング20とガイド面19との間にエアが供給されることにより、スライド支持部36がガイド面19から浮上し、この状態でリニアモータ37を駆動させることにより、スライド支持部36がX軸方向に移動する。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
The
図4に示すように、制御装置26は、リニアモータ37を制御する走行制御部39を一機能部として備えており、この走行制御部39は、リニアモータ37を制御して口金部22をX軸方向に走行させるとともに、任意の位置で停止させるように構成されている。
また、スライド支持部36には、塗布ユニット15のX軸方向における位置を検出する走行位置検出部40が設けられている。この走行位置検出部40は、図1および図2に示すように、スライドレール17上にガイド面19に沿って設けられた第2スケール41と、この第2スケール41と対向する位置に設けられた第2読取部42とを備え、この第2読取部42によって第2スケール41を読み取ることにより、塗布ユニット15の走行位置が検出される。第2読取部42によって検出された信号は、走行制御部39に入力され、走行制御部39は、入力された信号に基づいてリニアモータ37を制御する。また走行制御部39は、入力された信号を元に塗布ユニット15の走行速度を演算する機能を有している。
As shown in FIG. 4, the
The
図1および図2に示すように、口金部22は、ステージ14上に保持された基板12の上面に塗布液を塗布するものである。この口金部22は、Y軸方向に延びる形状を有する柱状部材であり、ステージ14の表面と対向する側に塗布液を流出するノズル44を備えている。このノズル44は、ステージ14の表面側へ向けて突出し、この突出した部分にはY軸方向に延びる形状のスリットが形成され、このスリットを通じて口金部22に供給された塗布液が基板12の表面に流出される。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
口金部22は、走行制御部39によってリニアモータ37を制御することにより、ステージ14のX軸方向の端部側に配置された状態から矢印X1方向に走行しながら基板12の表面に塗布液を塗布する。
また、基板12の表面に塗布液を塗布する際、口金部22の高さは、ノズル44と基板12の表面との隙間が約数十μm〜百数十μmの間の所定値となるように設定される。具体的には、塗布液を塗布している間、口金部22の高さは高さ検出部33(図3参照)によって常時検出され、その検出信号は制御装置26の昇降制御部32に入力される。そして、口金部22が所定の高さに維持されるように、サーボモータ30が昇降制御部32によってフィードバック制御されるようになっている。
The
Further, when the coating liquid is applied to the surface of the
図3に示すように、口金部22の下面には衝突部45が設けられている。この衝突部45は、口金部22と同様にY軸方向に延び、このY軸方向に直交する断面形状が略L字形状に形成されている。そして、衝突部45は、口金部22の走行方向X1の先方側であって、ノズル44に対して同方向に所定の間隔Lをあけた位置に配置されている。また、衝突部45は口金部22に一体的に固定されており、口金部22とともに上下昇降および水平移動するように構成されている。衝突部45の下端位置は、ノズル44の先端と略同じかやや低い高さに設定されている。
As shown in FIG. 3, a
塗布液を塗布している間、基板12上に異物Pが存在すると、矢印X1方向に走行している口金部22の衝突部45がこの異物Pに衝突する。また、ステージ14上に異物Pが存在すると、その上に載せられた基板12が部分的に浮き上がり、衝突部45が基板12の表面に衝突する。そして、これらの衝突が発生すると、口金部22は上方(Z軸方向)に持ち上げられるように急激に変位する。この変位は、高さ検出部33の第1読取部35が第1スケール34を読み取ることによって検出され、その検出信号は制御装置26に入力される。
If the foreign matter P exists on the
このように衝突部45が異物P等に衝突することによって生じる口金部22の変位は、口金部22の通常の走行によって生じる微小な上下動よりも大きく、両者は明らかに区別することができる。したがって、制御装置26は、第1読取部35によって検出された変位が所定の閾値以上である場合には、その変位を異物P等との衝突に起因するものであると判別する。
Thus, the displacement of the
そして、図4に示すように、制御装置26の昇降制御部32は、異物P等との衝突に起因する変位の検出信号(衝突信号)に基づき、口金部22を上昇させるようにサーボモータ30を制御する。そして、この口金部22の上昇によって、異物Pに対するノズル44の衝突が回避される。
また、制御装置26の走行制御部39は、入力された衝突信号に基づき、口金部22の走行を停止させるようにリニアモータ37を制御する。そして、この口金部22の停止によっても異物Pに対するノズル44の衝突が回避されるようになっている。
Then, as shown in FIG. 4, the
Further, the
ここに、衝突部45および高さ検出部33は、基板12上またはステージ14上に存在する異物Pを検出する異物検出部を構成し、制御装置26の昇降制御部32は、異物Pから口金部22を上方に退避させる退避制御部として機能し、走行制御部39は、異物Pにノズル44が衝突しないように口金部22を停止させる停止制御部として機能している。
Here, the
本実施形態の塗布装置11は、異物検出部によって基板12上の異物Pを検出すると、口金部22を停止させるだけでなく上方に退避させているので、従来(図6参照)ほどノズル44の先端と衝突部45との間隔Lを長くする必要がなく、装置の大型化を抑制することができる。
すなわち、従来は、単に口金部22の走行を停止させていただけであるので、異物Pを検出してからリニアモータ37が停止動作を開始して実際に口金部22が停止するまでの間に口金部22が移動する距離(停止距離)よりも、ノズル44と衝突部45との間隔Lを長くしなければならず、この停止距離は、口金部22の走行速度が速くなるほど長くなることから間隔Lもより長くする必要があったが、本実施形態では、異物Pの高さよりも若干高く口金部22を上昇させれば異物Pとの衝突を回避することができ、しかもこの上昇量は上記停止距離よりも十分に小さいので、ノズル44と衝突部45との間隔Lを従来ほど長くする必要がない。
When the foreign substance P on the
That is, conventionally, since the travel of the
また、ノズル44と衝突部45(第1読取部35)との間隔Lが長いと、口金部22の重心位置を中心として振動が発生した場合に、第1読取部35の位置における振動(上下動)が大きくなり、異物Pとの衝突に起因する高さ変化として誤検出される可能性が生じるが、本実施形態の場合は、ノズル44と衝突部45(第1読取部35)との間隔Lをそれほど長くする必要がないので、このような問題も生じ難くなる。
In addition, if the distance L between the
さらに、本実施形態では、口金部22の高さ制御に使用する高さ検出部33によって衝突部45と異物P等との衝突を検出しているので、当該衝突を検出するための専用のセンサを別途設ける必要がなく、部品点数の削減による製造コストの抑制が可能となる。
Furthermore, in this embodiment, since the collision between the
従来(図6参照)のように、衝突部45が異物P等に衝突したことを振動センサを用いて検出する場合、当該振動センサは、Z軸方向に検知感度が最大となるように設置しても、塗布装置のようなXYZ方向に駆動部をもつ装置では、検知感度が最大となる方向以外の振動をも検知してしまうため、例えば、塗布動作の開始時や終了時に口金部22の加速や減速に伴って発生する振動をも誤検出してしまうおそれがある。これに対して、本実施形態では、衝突部45が異物P等に衝突した際の高さの変化(Z軸方向の変位)を高さ検出部33によって検出しているので、塗布動作の開始終了時等に誤検出が生じることもない。
As in the prior art (see FIG. 6), when detecting that the
図5は、本発明の他の実施形態に係る塗布装置の衝突部を示す拡大概略図である。本実施形態の衝突部45の下部には傾斜面45aが形成されている。具体的に、この傾斜面45aは、衝突部45における走行方向X1の先方側の角部を、同方向X1に関する幅aと高さbで面取りすることによって形成されている。この幅aと高さbとはb<aの関係にあり、したがって、水平面に対する傾斜面45aの傾斜角度θは、0<θ<45°とされている。
FIG. 5 is an enlarged schematic view showing a collision portion of a coating apparatus according to another embodiment of the present invention. An
本実施形態の場合、基板12上に存在する異物Pに対して衝突部45の傾斜面45aが衝突すると、衝突部45は、傾斜面45aの傾斜角度θに基づいた上向きの成分を含む反力を受ける。そのため、本実施形態では、異物Pとの衝突によって衝突部45を上方に変位させやすく、この変位に基づいて異物の検出精度を高めることが可能となっている。また、傾斜面45aの傾斜角度θを0<θ<45°とすることによって、衝突部45に作用する反力の上向き成分を大きくすることができ、衝突部45をより上方に変位させやすくすることができる。また、衝突部45が異物Pに衝突した後、走行方向X1へ走行することによって、傾斜面45aに沿って口金部22が上昇しやすくなり、異物Pとノズル44との衝突をより確実に回避することが可能となる。
In the case of the present embodiment, when the
本発明は、上記実施形態に限定されることなく適宜設計変更可能である。
例えば、衝突部45の高さの変化を検出する衝突検出部は、サーボモータ30への供給電流を検出する電流計であってもよい。衝突部45が異物P等に衝突することによって口金部22が上昇すると、サーボモータ30のトルクが変化して供給電流も変化する。したがって、この供給電流の値の変化を検出すれば衝突部45が異物に衝突したことを検出することができる。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and the design can be changed as appropriate.
For example, the collision detection unit that detects a change in the height of the
上記実施形態では、衝突部45が口金部22とは別の部材で形成され、口金部22に固定されることによって一体化されているが、口金部22自身を加工することによって衝突部45を一体形成してもよい。
また、衝突部45は、口金部22とは別に単独で上下に昇降する構造であってもよい。この場合、高さ検出部33とは別に、衝突部45の高さを検出する衝突検出部を備えればよい。
In the above embodiment, the
Moreover, the
上記実施形態では、塗布ユニット15をスライドレール17上で移動させることによって、口金部22をステージ14に対してX軸方向に走行させているが、塗布ユニット15を固定とし、ステージ14をX軸方向に移動させることによって、相対的に口金部22をステージ14に対してX軸方向に走行させてもよい。
In the above embodiment, the
11 塗布装置
12 基板
14 ステージ(保持台)
15 塗布ユニット
22 口金部(塗布部)
24 昇降機構
25 走行機構
26 制御装置
32 昇降制御部(退避制御部)
33 高さ検出部(異物検出部)
39 走行制御部(停止制御部)
44 ノズル
45 衝突部(異物検出部)
45a 傾斜面
11
15
24 Elevating
33 Height detector (foreign matter detector)
39 Travel controller (stop controller)
44
45a inclined surface
Claims (3)
前記保持台上の前記基板に塗布液を流出するノズルを備えた塗布部と、
前記塗布部を前記保持台に相対して水平方向に走行させる走行機構と、
前記塗布部を上下に昇降させる昇降機構と、
前記基板に塗布液を塗布するため前記走行機構により前記塗布部を走行させた際に、前記ノズルよりも走行方向の先方側に存在する異物を検出する異物検出部と、
前記塗布部の高さを検出する高さ検出部と、
この高さ検出部の検出結果に基づいて前記塗布部の高さを所定に制御する昇降制御部と、を備え、
前記異物検出部が、前記ノズルよりも走行方向の先方側に設けられていて、前記基板上の異物又は前記保持台上に異物がある場合には前記基板の表面に衝突可能であり、かつ前記塗布部とともに昇降可能なように当該塗布部に一体的に設けられた衝突部と、
前記異物又は前記基板の表面との衝突に起因する前記衝突部の高さの変化を検出する衝突検出部と、を備え、
前記高さ検出部が、前記衝突検出部を兼ねていることを特徴とする塗布装置。 A holding table for holding the substrate horizontally;
An applicator having a nozzle for flowing a coating liquid onto the substrate on the holding table;
A traveling mechanism that causes the coating unit to travel in a horizontal direction relative to the holding table;
An elevating mechanism for elevating the application unit up and down;
A foreign matter detection unit that detects foreign matter existing on the far side of the running direction from the nozzle when the running unit is run by the running mechanism to apply the coating liquid to the substrate;
A height detection unit for detecting the height of the application unit;
An elevation control unit that controls the height of the application unit based on a detection result of the height detection unit ;
The foreign matter detection unit is provided on the front side of the traveling direction with respect to the nozzle, and when there is a foreign matter on the substrate or a foreign matter on the holding table, the foreign matter detection unit can collide with the surface of the substrate , and A collision part integrally provided in the application part so that it can be moved up and down together with the application part ;
A collision detection unit that detects a change in height of the collision unit due to a collision with the foreign object or the surface of the substrate ;
The coating apparatus according to claim 1 , wherein the height detection unit also serves as the collision detection unit .
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