JP5334887B2 - 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 - Google Patents
電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5334887B2 JP5334887B2 JP2010036140A JP2010036140A JP5334887B2 JP 5334887 B2 JP5334887 B2 JP 5334887B2 JP 2010036140 A JP2010036140 A JP 2010036140A JP 2010036140 A JP2010036140 A JP 2010036140A JP 5334887 B2 JP5334887 B2 JP 5334887B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- signal line
- conductor
- line conductor
- signal terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
下面には、2つの貫通孔101a・101aの間に接地端子106が接続されている。さらに、基
体101の搭載部にLD(Laser Diode:レーザダイオード)やPD(Photo Diode:フォト
ダイオ−ド)等の光半導体素子を含む光通信装置に用いられている電子部品105を搭載し
て、電子部品105と信号端子103とをボンディングワイヤ107で電気的接続を行ない、基体101の上面の外周領域に電子部品105を覆うように金属製の蓋体を溶接またはろう接により
基体101の上面周縁部に接合して気密封止することによって、電子装置としていた(例え
ば、特許文献1を参照)。
インピーダンスが高くなって信号の伝送損失が大きいという問題があった。これに対して、図13に示す例のように、電子部品105と信号端子103とを直接ボンディングワイヤ107で
接続するのではなく、信号端子103に対向する側面に接地導体層104dを形成し、上面にインピーダンスを整合させた信号線路導体104bを形成した回路基板104を介して接続することが提案されている(例えば、特許文献2を参照)。インピーダンスを整合させた信号線路導体104bを形成した回路基板104を用い、信号端子103の近くに接地導体層104dを配置して、ボンディングワイヤ107の長さを短くすることで、信号端子103の突出した部分から電子部品105までのインピーダンスが高くなることを抑えるというものであった。
、より高周波の信号に対しては信号端子103の基体101から突出した部分からボンディングワイヤ107の部分のインピーダンスが高くなるという問題点は解決されず、この部分のイ
ンピーダンスが高いことによって良好な高周波信号の伝送特性が得られないものであった。
であることから、信号端子3が基体1から突出した部分から回路基板4の信号線路導体4bまでの間にはインピーダンスが高くなるボンディングワイヤがなく、信号端子3の基体1から突出した部分は、基体1の上面に突出して信号線路導体4bと接続される部分においてインピーダンスが高くても、絶縁基板4aの側面の信号線路導体4bとろう材等によって接続された部分においては、側面の信号線路導体4bの厚みが増して信号線路導体4bと絶縁基板4aの下面の接地導体4d(または接地導体として機能する基体1)との間の容量が増えることによってインピーダンスが低下するので、信号端子3が基体1から突出した部分から絶縁基板4aの上面の信号線路導体4bまでの平均のインピーダンスは所定の値に近いものとなって伝送損失も小さくなり、高周波信号を良好に伝送させることができるようになる。
例えば直径が3〜10mmの円板状,半径が1.5〜8mmの円周の一部を切り取った半円板
状,一辺が3〜15mmの四角板状等であり、上面から下面にかけて形成された直径が0.6
〜2.65mmの貫通孔1aを有する。基体1の厚みは0.5mm以上2mm以下が好ましい。
基体1の厚みが0.5mm未満の場合は、電子部品5を保護するための金属製の蓋体8を金
属製の基体1の上面に接合する際に、接合温度等の接合条件により基体1が曲がったりして変形し易くなる。一方、基体1の厚みが2mmを超えると、電子部品搭載用パッケージや電子装置の厚みが不要に厚いものとなり、小型化し難くなる。
等の方法で射出成形して、例えば、図1に示す例のような円板状の基体1を形成する。貫通孔1aは、金属板を円板状に加工するのと同時に、あるいは円板状に加工した後に、金型による打ち抜き加工によって、またはドリル加工等の切削加工によって形成される。基体1の材質は、使用する電子部品5の熱膨張係数に近い熱膨張係数を有するものが好ましい。熱伝導性の良い金属からなり、搭載される電子部品5やセラミック製の回路基板4の熱膨張係数に近いものやコストの安いものとしては、例えば、Fe99.6質量%−Mn0.4
質量%系のSPC(Steel Plate Cold)材や、Fe−Ni−Co合金やFe−Mn合金等が挙げられる。
〜5μmのAu層とをめっき法により順次被着させておくのがよい。これにより、基体1が酸化腐食するのを有効に防止できるとともに、電子部品5や回路基板4あるいは蓋体8を基体1に良好にろう付けすることができる。
孔1aの内径が1.65mmで信号端子3の外径が0.25mmの場合であれば、封止材2の比誘電率が5であるものを用いればよい。
る場合は、低誘電率のガラスは一般的に融点が高いので、低誘電率ガラスを貫通孔2aに充填する際に基体1を高温(1000℃程度)に加熱しなければならず、このときに電子部品5や回路基板4の搭載面が変形してしまう場合があるのに対して、Au−Snはんだによる接合は350℃程度と低く、搭載面の変形が抑えられるので好ましい。
取り扱い上の少しの不注意でも信号端子3が曲がってしまいやすくなる。信号端子3が曲がってしまうと、上述したようなエア同軸部を有する場合は、この部分でのインピーダンスが狂いやすくなり、また、外部回路との接続の作業性が低下する場合がある。また信号端子3の直径が0.5mmを超えると、インピーダンス整合を行うために必要な貫通孔2a
の径が不要に大きくなるため、電子装置が小型化し難くなるので、信号端子3の直径は0.1〜0.5mmであるのが好ましい。
),モリブデン(Mo),マンガン(Mn)等の高融点金属粉末に適当な有機バインダーや溶剤を添加混合してペースト状にした金属ペーストを、従来周知のスクリーン印刷法により、セラミックグリーンシートまたはその積層体、あるいはセラミックスの成形体に所定形状に印刷塗布しておき、これらと同時焼成することにより形成される。絶縁基板4aを作製した後に、絶縁基板4a上に同様の金属ペーストを印刷塗布して焼成することにより、メタライズ層を焼き付けてもよい。この場合は、信号線路導体4b,接地導体4dおよび容量導体4cの露出する表面には、厚さが0.5〜9μmのNi層と厚さが0.5〜5μmのAu層とをめっき法により順次被着させておくのがよい。これにより、これら配線が酸化腐食するのを有効に防止できるとともに、電子部品5とのワイヤボンディング性、回路基板4の基体1へのろう付け性および信号線路導体4bと信号端子3とのろう付け性を良好なものすることができる。
電子装置の小型化を進め、狭い面積に多数の配線を形成するためには、蒸着法やフォトリソグラフィ法により形成する方法が好ましい。この場合は、信号線路導体4b,接地導体4dおよび容量導体4cの形成前に、必要に応じて絶縁基板4aの主面に研磨加工を施す場合もある。
程度が好ましい。密着金属層の厚みが0.01μm未満では、密着金属層を絶縁基板4aに強固に密着させることが困難となる傾向がある。一方、密着金属層の厚みが0.2μmを超え
ると、成膜時の内部応力によって密着金属層が絶縁基板4aから剥離し易くなる傾向がある。
体からなり、厚みが0.3mmである絶縁基板4aの下面に接地導体4dを形成し、上面の
信号線路導体4bを、幅が0.3mmで厚みが4μmのものとすればよく、絶縁基板4aが
同じ材料からなり、厚みが0.5mmである場合には、信号線路導体4bを厚みが4μmで
幅が0.5mmのものとすればよい。
4にろう材を加えた厚みが絶縁基板4aの上面側にいくに従って厚くなるのに伴って容量も大きくなるので、インピーダンスの変化が緩やかになって高周波信号の伝送が良好なものとなる。
mm程度以上とするのがよい。さらには、図4,図5および図7〜図9に示す例では、上面視して貫通孔1aと重なる部分には接地導体4dを形成していない。このようにすると、貫通孔1a内の信号端子3aと貫通孔1aに重なる位置にある接地導体4dとの間の浮遊容量によって、貫通孔1a内の信号端子3のインピーダンスがずれてしまうことがないのでよい。
は当接しているとみなす。
4bの特性インピーダンスは50Ωとなる。
、Z1=95Ω、Z2=46Ω、Z3=14Ω、Z4=51Ω程度となり、同様に平均のインピーダンスはほぼ50Ωとなる。
であり、基体1あるいは回路基板1への搭載は、AgろうやAg−Cuろう等のろう材,Au−SnはんだやPb−Snはんだ等のはんだ,エポキシ樹脂等の接着剤により基体1の上面に強固に接着固定することによって行なう。
折り曲げられて外部回路基板9の上面と平行になった部分が信号配線導体9bにろう材等で接合されている。信号端子3を折り曲げずに、外部回路基板9の絶縁基板9aに形成した孔に挿入するようにしてもよい。このときの孔の内面には導体が形成され、信号配線導体9bに接続される。
1a・・・・・・貫通孔
2・・・・・・・封止材
3・・・・・・・信号端子
4・・・・・・・回路基板
4a・・・・・・絶縁基板
4b・・・・・・信号配線導体
4c・・・・・・容量導体
4d・・・・・・接地導体
5・・・・・・・電子部品
6・・・・・・・接地端子
7・・・・・・・ボンディングワイヤ
8・・・・・・・蓋体
9・・・・・・・外部回路基板
9a・・・・・・絶縁基板
9b・・・・・・信号線路導体
9c・・・・・・接地配線導体
9d・・・・・・ビア導体
Claims (3)
- 上面から下面にかけて貫通する貫通孔を有する金属からなる基体と、前記貫通孔に充填された封止材を貫通して固定された信号端子と、前記基体の上面に搭載された、絶縁基板の上面から側面の途中にかけて信号線路導体が形成された回路基板とを具備しており、前記絶縁基板の側面に位置する前記信号線路導体と前記信号端子の前記基体の上面から突出した部分の側面とが当接して接続されていることを特徴とする電子部品搭載用パッケージ。
- 前記絶縁基板の側面に位置する前記信号線路導体に前記信号線路導体から幅方向に平行に延びる容量導体が形成されていることを特徴とする請求項1記載の電子部品搭載用パッケージ。
- 請求項1または請求項2に記載の電子部品搭載用パッケージに電子部品が搭載されていることを特徴とする電子装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010036140A JP5334887B2 (ja) | 2010-02-22 | 2010-02-22 | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010036140A JP5334887B2 (ja) | 2010-02-22 | 2010-02-22 | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011171649A JP2011171649A (ja) | 2011-09-01 |
JP5334887B2 true JP5334887B2 (ja) | 2013-11-06 |
Family
ID=44685421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010036140A Active JP5334887B2 (ja) | 2010-02-22 | 2010-02-22 | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5334887B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5409432B2 (ja) * | 2010-02-23 | 2014-02-05 | 京セラ株式会社 | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 |
JP6122309B2 (ja) * | 2013-02-23 | 2017-04-26 | 京セラ株式会社 | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 |
JP6193595B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2017-09-06 | 京セラ株式会社 | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 |
JP2015088641A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 三菱電機株式会社 | 光モジュール |
JP6412274B2 (ja) * | 2015-08-24 | 2018-10-24 | 京セラ株式会社 | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 |
JP2017098549A (ja) * | 2015-11-18 | 2017-06-01 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置 |
JP6672878B2 (ja) * | 2016-02-23 | 2020-03-25 | 三菱電機株式会社 | 光半導体装置 |
DE102017123342A1 (de) * | 2017-10-09 | 2019-04-11 | Schott Ag | TO-Gehäuse mit hoher Reflexionsdämpfung |
US11973312B2 (en) | 2019-07-02 | 2024-04-30 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor laser device |
WO2021176573A1 (ja) * | 2020-03-03 | 2021-09-10 | 三菱電機株式会社 | 光受信モジュール |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0786758A (ja) * | 1993-09-13 | 1995-03-31 | Sony Corp | 多層プリント基板 |
JP3441974B2 (ja) * | 1998-07-30 | 2003-09-02 | シャープ株式会社 | 半導体装置の構造及び製造方法 |
JP2007123804A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-05-17 | Kyocera Corp | 電子部品搭載用基板および電子装置 |
JP2009152520A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-07-09 | Kyocera Corp | 信号端子と信号線路導体との接続構造および電子部品搭載用パッケージならびに電子装置 |
-
2010
- 2010-02-22 JP JP2010036140A patent/JP5334887B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011171649A (ja) | 2011-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5334887B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP5473583B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP5537673B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP6258724B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP5409432B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP2010062512A (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP5240726B2 (ja) | 半導体装置と回路基板との接続構造 | |
JP2016189431A (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP4874298B2 (ja) | 信号端子と信号線路導体との接続構造および電子部品搭載用パッケージならびに電子装置 | |
JP2009152520A (ja) | 信号端子と信号線路導体との接続構造および電子部品搭載用パッケージならびに電子装置 | |
JP6039470B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP5004824B2 (ja) | 信号端子と信号線路導体との接続構造および電子部品搭載用パッケージならびに電子装置 | |
JP6122309B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP2010245507A (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP5312358B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP2009054982A (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP6431441B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP5361637B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP5361609B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよび電子装置 | |
JP2007123804A (ja) | 電子部品搭載用基板および電子装置 | |
JP2007123806A (ja) | 電子部品搭載用基板および電子装置 | |
JP5766081B2 (ja) | 電子部品収納用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP5404484B2 (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 | |
JP5171751B2 (ja) | 配線基板、これを用いた能動素子収納用パッケージおよび能動素子装置 | |
JP2012227482A (ja) | 電子部品搭載用パッケージおよびそれを用いた電子装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130613 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130702 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130730 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5334887 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |