JP5329505B2 - レーザ加工機 - Google Patents
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Description
レーザ加工機に関する。
X2=(XD−XR)×(X1/X0)
となる。
XT=X1+X2+X3
となる。尤も、補正量X3を算出してX1に加味することは必須ではない。
P…特定点
1…加工機本体
2…加工ノズル
6…カメラ
Claims (6)
- 加工対象となる基板を支持する本体と、
前記本体に対して相対的に移動し、本体に支持させた基板の被加工面に向けてレーザ光を照射する複数個の加工ノズルと、
前記複数個の加工ノズルのそれぞれの位置を検出するための、複数個の加工ノズルに共通のリニアスケールと、
前記複数個の加工ノズルのうちの少なくとも二個の加工ノズルに付設した、基板上の少なくとも二つの特定点をそれぞれ検出するカメラと、
前記カメラの各々により同時に検出した二つの特定点の位置を前記共通のリニアスケールを参照して知得し、それらの位置に基づき、各加工ノズルから基板の被加工面に向けてレーザ光を照射する際の各加工ノズルの目標照射位置を補正する制御部と
を具備するレーザ加工機。 - 前記加工ノズルは、所定方向に散開し、その各々が同方向に沿って移動可能であり、
前記カメラは、前記加工ノズルのうち前記所定方向の両外側方に所在する二個の加工ノズルにそれぞれ付設され、前記基板上における同方向の両外側部の特定点を感知し、
前記制御部は、レーザ光を照射する際の各加工ノズルの前記本体に対する前記所定方向に沿った相対位置を補正する請求項1記載のレーザ加工機。 - 前記基板の前記所定方向の両外側端のうちの一辺を前記本体に対して不動となるように保定する保定機構を具備する請求項2記載のレーザ加工機。
- 前記複数個の加工ノズルは、各々が前記所定方向に対して交差する方向に沿って移動可能である請求項2または3記載のレーザ加工機。
- 前記カメラは、前記基板に予め付されたアライメントマーク、基板に既に施された加工痕、または基板の縁辺を前記特定点として感知するものである請求項1、2、3または4記載のレーザ加工機。
- 薄膜太陽電池を製造するための加工機であり、
前記基板に製膜された透明性導電膜、発電層または裏面電極膜にレーザ光を照射してこれを切削する請求項1、2、3、4または5記載のレーザ加工機。
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