JP5326865B2 - サファイア単結晶の製造方法 - Google Patents
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Al2O3 ⇔ AlO+Al2O+O2…
したがって、酸化アルミニウムの分解を抑制するためには、この化学平衡式の右辺に示される分子の濃度を上げればよい、すなわち酸素濃度を上げればよいと考えられる。
チョクラルスキ法を用いて、以下の手順でサファイア単結晶を育成した。まず、原料として純度99.99%の酸化アルミニウム240gと、二酸化チタン0.0188g(Al原子に対してTi原子が50ppm相当)とを、直径50mm(φ)、深さ50mmのイリジウム坩堝に充填した。この坩堝を高周波誘導加熱炉内に載置した。坩堝の外周にジルコニア製の円筒を配置して、坩堝周辺を保温した。窒素ガスと二酸化炭素ガスとの混合ガス雰囲気のもとで高周波誘導によって坩堝を加熱し、坩堝内の原料を溶融させて融液とした。このとき、混合ガス雰囲気中の二酸化炭素ガス濃度を、下記表1に示す濃度に調整した。
チョクラルスキ法を用いて、以下の手順でサファイア単結晶を育成した。まず、原料として純度99.99%の酸化アルミニウム270gと、二酸化チタン0.0212g(Al原子に対してTi原子が50ppm相当)とを、直径50mm(φ)、深さ50mmのイリジウム坩堝に充填した。この坩堝を高周波誘導加熱炉内に載置した。坩堝の外周にジルコニア製の円筒を配置して、坩堝周辺を保温した。窒素ガス雰囲気のもとで高周波誘導によって坩堝を加熱し、坩堝内の原料を溶融させて融液とした。
Claims (2)
- イリジウム坩堝に酸化アルミニウムを含むサファイア単結晶の原料を装入して加熱溶融し、原料融液から成長結晶を引き上げるチョクラルスキ法を用いたサファイア単結晶の製造方法であって、
前記原料の溶融及び前記サファイア単結晶の育成を行う際の雰囲気を、二酸化炭素ガスと不活性ガスとを混合した混合ガス雰囲気とし、前記混合ガス中の二酸化炭素ガス濃度を0.8体積%以上1.5体積%以下とし、
前記原料が、アルミニウム原子に対して30ppm以上70ppm以下のチタン原子を含有する、サファイア単結晶の製造方法。 - 前記混合ガスが、前記不活性ガスとして窒素ガス及び/又はアルゴンガスを含有する、請求項1に記載のサファイア単結晶の製造方法。
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