JP5324474B2 - 近接場光ヘッド及び情報記録再生装置 - Google Patents
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Description
H=i/2r (1)
磁界強度Hはrに反比例するので、rが大きければ大きいほどHは小さくなり、コイル中心軸から近い巻線と遠い巻線の発生する磁界強度の差が大きい。そのため、流す電流iに対する発生磁界の損失が大きく、磁界発生効率が比較的に悪い。
以下、本発明に係る近接場光ヘッド及び情報記録再生装置の第1実施形態を、図1から図6を参照して説明する。なお、本実施形態の情報記録再生装置1は、磁気記録層d3を有するディスク(磁気記録媒体)Dに対して、面内記録方式で書き込みを行う場合を例に
挙げて説明する。
図6は磁気回路20に巻回されるコイル21の製造方法の概略図である。図6(a)は図5(a)のA−A´断面を、図6(b)は図5(a)のB−B´断面を示す。S1からS6の各行は作製ステップを示す。まずステップS1で、スライダ15の対向面15aのコア16近傍に下部配線21aを導電性材料、例えば、Auなどを用い形成する。下部配線21aの成膜はスパッタリングや真空蒸着などの手段で形成することができる。下部配線21aのパターニングは、導電性材料を成膜し、その上にフォトレジストをパターングした後、ドライエッチング法またはウエットエッチング法を用い、行うことができる。また、下部配線21aのパターニングの他の手段として、対向面15a上にフォトレジストをパターニングし、前記パターニングされたフォトレジスト上に導電性材料を成膜した後、リフトオフする方法もある。
(実施の形態2)
次に、本発明に係る近接場光ヘッドの第2実施形態について、図7を参照して説明する。なお、第2実施形態において第1実施形態と同一の構成については、同一の符号を付しその説明を省略する。
(実施の形態3)
次に、本発明に係る近接場光ヘッドの第3実施形態について、図8を参照して説明する。なお、第3実施形態において第1実施形態と第2実施形態と同一の構成については、同一の符号を付しその説明を省略する。
(実施の形態4)
次に、本発明に係る近接場光ヘッドの第4実施形態について、図9を参照して説明する。なお、第4実施形態において第1実施形態から第3実施形態までと同一の構成については、同一の符号を付しその説明を省略する。
(実施の形態5)
次に、本発明に係る近接場光ヘッドの第5実施形態について、図11を参照して説明する。なお、第5実施形態において第1実施形態から第4実施形態までと同一の構成については、同一の符号を付しその説明を省略する。
(実施の形態6)
次に、本発明に係る近接場光ヘッドの第6実施形態について、図12から図13を参照して説明する。なお、第6実施形態において第1実施形態から第5実施形態までと同一の構成については、同一の符号を付しその説明を省略する。
Claims (13)
- 導入された光束から近接場光を発生させて、一定方向に回転する磁気記録媒体を加熱すると共に、該磁気記録媒体に磁界を与えて磁化反転を生じさせ情報を記録させる近接場光ヘッドであって、
前記磁気記録媒体の表面から所定距離だけ浮上した状態で配置され、磁気記録媒体の表面に対向する対向面を有するスライダと、
前記対向面上に形成され、前記近接場光を発生させる近接場光発生素子と、
前記近接場光発生素子上に形成された第1の磁極および第2の磁極と、
前記対向面上に形成された複数の下部配線と、
前記複数の下部配線を覆う位置に配置され、前記磁極に接続された薄膜状の磁気回路と、
前記磁気回路の両側のうち、前記複数の下部配線が配置されている側とは逆側に配置された複数の上部配線と、
前記下部配線、前記磁気回路及び前記上部配線のそれぞれを絶縁する絶縁層と、
前記下部配線と前記上部配線とが交互に直列に接続されることにより前記磁気回路の周囲に巻回されたコイルとを備え、
前記近接場光発生素子は、前記近接場光を発生させる開口を有し、
前記第1の磁極は、前記開口を囲む縁部分の一部を構成するとともに、前記対向面に対して傾斜する膜状に形成され、断面が前記磁気記録媒体の表面に向かい合うように形成され、
前記第2の磁極は、前記対向面に対して傾斜する膜状に形成され、断面が前記磁気記録媒体の表面に向かい合うように形成されていることを特徴とする近接場光ヘッド。 - 前記第1の磁極及び前記第2の磁極は、互いに向い合わせに配置されることを特徴とする請求項1に記載の近接場光ヘッド。
- 前記磁気回路が、前記第1の磁極と前記第2の磁極とを接続するように形成されていることを特徴とする請求項2に記載の近接場光ヘッド。
- 前記磁気回路が前記対向面上に複数個形成されており、前記複数個の前記磁気回路の周囲を前記コイルがそれぞれ巻回していることを特徴とする請求項1に記載の近接場光ヘッド。
- 前記磁気回路の周囲を、複数個の前記コイルが巻回していることを特徴とする請求項1あるいは4に記載の近接場光ヘッド。
- 前記下部配線及び前記上部配線が、一本ずつ絶縁された複数の配線からなることを特徴とする請求項1に記載の近接場光ヘッド。
- 前記第1の磁極と前記第2の磁極が分離しており、前記第1の磁極と前記第2の磁極にそれぞれ前記磁気回路が形成されており、前記磁気回路の周囲に前記コイルがそれぞれ巻回していることを特徴とする請求項2に記載の近接場光ヘッド。
- 前記コイルは、前記上部配線及び前記下部配線の積層方向に対して直交するコイル軸の回りで巻回されており、前記コイル軸に対して直交する方向に沿う断面積のそれぞれは、略同一であることを特徴とする請求項2に記載の近接場光ヘッド。
- 前記下部配線と前記上部配線とが、前記絶縁層の特定側面上に形成される側面配線によって交互直列に接続され、前記磁気回路の周囲に巻回された前記コイル形状を構成することを特徴とする請求項1に記載の近接場光ヘッド。
- 前記特定側面の少なくとも一部が、前記対向面に対し、所定の角度を持った斜面形状となっていることを特徴とする請求項9に記載の近接場光ヘッド。
- 前記特定側面の少なくとも一部が、階段形状となっていることを特徴とする請求項9に記載の近接場光ヘッド。
- 前記近接場光ヘッドを製造する工程において、前記磁極の幅が、前記対向面から離れる方向につれて順次減少するように形成する工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の近接場光ヘッドの製造方法。
- 請求項1から14のいずれか1項に記載の近接場光ヘッドと、
前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に移動可能とされ、該磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する2軸回りに回動自在な状態で、前記近接場光ヘッドを先端側で支持するビームと、
前記スライダに対して平行に配置された状態で該スライダに固定され、入射された光束を前記近接場発生素子に導く光束導入手段と、
前記光束導入手段に対して前記光束を入射させる光源と、
前記ビームの基端側を支持すると共に、該ビームを前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に向けて移動させるアクチュエータと、
前記磁気記録媒体を前記一定方向に回転させる回転駆動部と、
前記コイルに電流を供給すると共に前記光源の作動を制御する制御部とを備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
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