JP5313457B2 - 窒化物半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
このような構成にすることにより、窒化物半導体層に2次元電子ガスが形成され、この2次元電子ガスを電子チャネルとすることができる。その結果、直列抵抗成分の小さい電界効果トランジスタを実現することができる。
図1(a)は(1 1 −2 0)面に形成した金属/Al0.25Ga0.75N界面のバンドダイアグラムであり、図1(b)は(0 0 0 1)面に形成した金属/Al0.25Ga0.75N界面のバンドダイアグラムである。
すなわち、まず(0 0 0 1)面を主面とするサファイア基板306上に例えばMOCVD(有機金属気相成長)法により低温GaNからなるバッファ層307が成長され、その上にアンドープのGaNを2μm成長してGaN層301が形成される。なお、バッファ層307はAlN層であってもよい。その後、GaN層301上に、Siがドープされた厚さ25nmのn型Al0.25Ga0.75Nからなる電子供給層としてのn型Al0.25Ga0.75N層305が形成される。n型Al0.25Ga0.75N層305において、Al0.25Ga0.75N/GaNへテロ界面での2次元電子ガスのシートキャリア濃度を大きくするためにはAl組成が大きく膜厚が厚いほうが良い。
図8(a)は、第2の実施形態に係るHFETの上面図であり、図8(b)は同HFETの断面図(図8(a)のAA’線における断面図)である。
すなわち、まず(0 0 0 1)面を主面とするサファイア基板807上に例えばMOCVD法により低温GaNからなるバッファ層808が成長され、その上にアンドープのGaNを2μm成長してGaN層801が形成される。なお、バッファ層808はAlN層であってもよい。その後、GaN層801上に、Siがドープされた厚さ25nmのn型Al0.25Ga0.75Nからなる電子供給層としてのn型Al0.25Ga0.75N層806が形成される。n型Al0.25Ga0.75N層806において、Al0.25Ga0.75N/GaNへテロ界面での2次元電子ガスのシートキャリア濃度を大きくするためにはAl組成が大きく膜厚が厚いほうが良い。
図9(a)は、第3の実施形態に係るHFETの上面図であり、図9(b)は同HFETの断面図(図9(a)のAA’線における断面図)である。
図11は、第4の実施形態に係るHFETの断面図である。
302、402、502、602、802、902、1106 素子分離層
303、403、503、603、803、903、1103 オーミック電極
304、404、504、604、805、904、1104 ゲート電極
305、405、505、605、806、1105 n型Al0.25Ga0.75N層
306、406、506、606、807、907、1107 サファイア基板
307、407、507、607、808、908、1109 バッファ層
804 キャップ層
905 第1のn型Al0.25Ga0.75N層
906 第2のn型Al0.25Ga0.75N層
1101 SiO2膜
1102 第1のGaN層
1108 第2のGaN層
Claims (16)
- 基板と、
前記基板の上に形成された第1の窒化物半導体層と、
前記第1の窒化物半導体層の上に形成された第2の窒化物半導体層と、
前記第2の窒化物半導体層の側面と接するオーミック電極とを備え、
前記側面は、無極性面である
ことを特徴とする窒化物半導体装置。 - 前記第2の窒化物半導体層の主面は、(0 0 0 1)面である
ことを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体装置。 - 前記第2の窒化物半導体層表面には、凹凸が形成され、
前記側面は、凹部の側面である
ことを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体装置。 - 前記凹部の底面は、(0 3 −3 8)面又は(0 3 −3 16)面である
ことを特徴とする請求項3記載の窒化物半導体装置。 - 前記凹部は、前記第2の窒化物半導体層表面に市松状又はストライプ状に配置される
ことを特徴とする請求項3記載の窒化物半導体装置。 - 前記第1の窒化物半導体層と前記第2の窒化物半導体層との間に第3の窒化物半導体層が形成され、
前記第3の窒化物半導体層の上にはゲート電極を備え、
前記第2の窒化物半導体層は、低抵抗キャップ層を構成する
ことを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体装置。 - 前記第2の窒化物半導体層は、AlGaN及びGaNを交互に積層した層又はInxAlyGa1-x-yN(0<x<1、0<y<1)により構成される
ことを特徴とする請求項6記載の窒化物半導体装置。 - 前記第1の窒化物半導体層上には、開口部を有する誘電体膜を備え、
前記第2の窒化物半導体層は、前記第1の窒化物半導体層の前記開口部で露出した部分から結晶成長する形で形成される
ことを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体装置。 - 前記第1の窒化物半導体層と前記第2の窒化物半導体層とはヘテロ接合している
ことを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体装置。 - 前記第2の窒化物半導体層は、AlGaN及びGaNのいずれか一方から構成され、
前記第1の窒化物半導体層は、AlGaN及びGaNのいずれか他方から構成される
ことを特徴とする請求項9記載の窒化物半導体装置。 - 前記第2の窒化物半導体層表面には、凹凸が形成され、
前記凹部は、前記第2の窒化物半導体層を貫通して前記第1の窒化物半導体層に到達する形で形成されている
ことを特徴とする請求項9記載の窒化物半導体装置。 - 前記側面は、(1 1 −2 0)面、(1 −1 0 0)面、(0 3 −3 8)面又は
(0 3 −3 16)面である
ことを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の窒化物半導体装置。 - 第1の窒化物半導体層上に開口部を有するマスク層を形成するマスク形成工程と、
前記第1の窒化物半導体層の前記開口部で露出した部分上に第2の窒化物半導体層を形成する半導体層形成工程と、
前記マスク層を除去する除去工程と、
前記第2の窒化物半導体層の側面に接するオーミック電極を形成する電極形成工程とを含み、
前記側面は、無極性面である
ことを特徴とする窒化物半導体装置の製造方法。 - 第1の窒化物半導体層上に開口部を有する誘電体膜を形成する誘電体膜形成工程と、
前記第1の窒化物半導体層において、前記開口部から露出した部分から窒化物半導体を結晶成長させて第2の窒化物半導体層を形成する半導体層形成工程と、
前記第2の窒化物半導体層の側面に接するオーミック電極を形成する電極形成工程とを含み、
前記側面は、無極性面である
ことを特徴とする窒化物半導体装置の製造方法。 - 前記側面は、(1 1 −2 0)面、(1 −1 0 0)面、(0 3 −3 8)面又は
(0 3 −3 16)面である
ことを特徴とする請求項13又は14記載の窒化物半導体装置の製造方法。 - 前記第2の窒化物半導体は、AlGaN及びGaNのヘテロ接合を含む
ことを特徴とする請求項14記載の窒化物半導体装置の製造方法。
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