JP5312892B2 - 導電性ボール載置装置 - Google Patents
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Description
図8は、本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール載置装置の断面図である。図8では、基板保持装置15により保持された基板18の下方から複数の導電性ボール14を浮上させた状態を図示する。また、図8において、Z,Z方向は鉛直方向を示しており、X,X方向はZ,Z方向と直交する方向を示している。
図16は、本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置装置の断面図である。図16では、基板保持装置15により保持された基板18の下方から複数の導電性ボール14を浮上させた状態を図示する。また、図16において、第1の実施の形態の導電性ボール載置装置10と同一構成部分には同一符号を付す。
図17は、本発明の第3の実施の形態に係る導電性ボール載置装置の断面図である。図17では、基板保持装置15により保持された基板18の下方から複数の導電性ボール14を浮上させた状態を図示する。また、図17において、第2の実施の形態の導電性ボール載置装置45と同一構成部分には同一符号を付す。
図18は、本発明の第4の実施の形態に係る導電性ボール載置装置の断面図である。図18では、基板保持装置15により保持された基板18の下方から複数の導電性ボール14を浮上させた状態を図示する。また、図18において、第3の実施の形態の導電性ボール載置装置50と同一構成部分には同一符号を付す。
図19は、本発明の第5の実施の形態に係る導電性ボール載置装置の断面図である。図19では、マスク46が設けられた基板18に対して、鉛直方向(Z,Z方向)と直交する方向から複数の導電性ボール14を吹き付けた状態を図示している。また、図19において、第2の実施の形態の導電性ボール載置装置45と同一構成部分には同一符号を付す。
図20は、本発明の第6の実施の形態に係る導電性ボール載置装置の断面図である。図20では、基板保持装置15により保持された基板18の下方から複数の導電性ボール14を浮上させた状態を図示する。また、図20において、第2の実施の形態の導電性ボール載置装置45と同一構成部分には同一符号を付す。
11 ステージ
12 振動装置
13,72 導電性ボール収容体
13A,76A,32A,37A 開口部
14 導電性ボール
15 基板保持装置
18,25 基板
21 基板保持部
21A,26B 下面
22 支持体
26 基板本体
26A 上面
28 貫通ビア
29 上部配線
31,35 パッド
32,37 ソルダーレジスト
34 下部配線
38 粘着材
46 マスク
46A,81A 貫通部
47 レジスト膜
51 電位差発生装置
52A,52B 絶縁部材
54 電源
54A プラス端子
54B マイナス端子
56〜58 配線
61 帯電用部材
71 支持台
73 エア供給装置
74 導電性ボール回収容器
76 前面板
77 背面板
77A エア導入口
81 板体
82 収容ステージ
82A 収容部
A 切断位置
D1,D2 距離
R1,R2 直径
Claims (1)
- 複数のパッドと、前記パッドを露出する粘着材形成用開口部を有したソルダーレジストと、前記粘着材形成用開口部に露出された部分の前記パッドに形成された粘着材とを有する基板の前記粘着材が形成された複数の前記パッドに対して、それぞれ1つの導電性ボールを載置する導電性ボール載置装置であって、
複数の前記導電性ボールを収容すると共に、複数の前記導電性ボールを通過させる開口部を有した導電性ボール収容体と、
前記導電性ボール収容体の下方に配置され、前記導電性ボール収容体を振動させることで、複数の前記導電性ボールを浮上させる振動装置と、
前記導電性ボール収容体及び前記振動装置を収容する収容ステージと、
前記収容ステージ上に設けられると共に、前記開口部と対向するように、前記導電性ボール収容体の上方に配置され、前記パッドと対向する部分に前記導電性ボールを通過させる貫通部を有する板体と、
前記板体と対向するように前記板体の上方に配置され、複数の前記導電性ボールと複数の前記パッドとが対向するように前記基板を保持する基板保持装置と、を設け、
前記基板保持装置と前記振動装置とを別体にすると共に、前記基板保持装置に保持された前記基板と前記板体とを離間させて配置したことを特徴とする導電性ボール載置装置。
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