以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
[参考例1]
図2Aは、本発明による基板の製造装置の参考例1を模式的に示す平面図である。図2Bはテーブル上の基板に個別マスクが載置された状態を示す平面図である。図2Cはテーブル上の基板に個別マスクを載置した状態を示す側面図である。図2Dは個別マスクに導電性ボールを供給する状態を示す側面図である。図2Eは個別マスクの除去、基板の搬出を説明するための平面図である。
図2Aに示されるように、基板製造装置100は、多数個取りの基板110が搬送される基板搬送経路120と、個別マスク(導電性ボール供給部材)130が搬送されるマスク搬送経路140と、基板110が載置されるテーブル170と、各機器を制御する制御装置180と、導電性ボール供給装置240、フラックス塗布装置250、マスク搬出装置270、基板搬出装置280とを有する。基板110は、複数の配線基板を個片化する前の状態であり、個別マスク130は基板110よりも小さい領域に対応する大きさに形成されている。尚、本参考例では、個別マスク130は、磁性材により形成されており、且つ配線基板の大きさに対応する寸法に形成されている。
基板搬送経路120は、基板110を搬入する基板搬入装置150と、基板110の表面に形成されたパッド112の位置を検出するパッド検出装置160と、パッド112に粘着材を塗布する粘着材塗布装置を有する。尚、本参考例では、粘着材としてフラックス254を用いた例について説明するものとする。よって、以下の説明では、粘着材塗布装置もフラックス塗布装置250というものとする。
パッド検出装置160では、例えば、CCDカメラなどの撮像装置を用いてテーブル170上に載置された基板110に形成された多数のパッド位置(XY座標位置)を検出し、その基板検出データ(パッド位置情報)を制御装置180に出力する。制御装置180は、基板検出データを記憶装置190に格納する。フラックス塗布装置250は、インクジェット方式のヘッドを有しており、基板検出データに基づいて基板110上に露出する各パッドにフラックスを塗布する。
基板110のパッド112は、各配線基板となる基板領域1141〜114n毎に所定間隔で配列されている(図2E参照)。
また、テーブル170は、内部に基板110を真空吸着するための真空発生装置(基板保持手段)172と、個別マスク130を磁気吸着するための磁力発生装置(マスク保持手段)174とを有する。基板110が上記基板搬入装置150によりテーブル170上に搬送されて載置されると、真空発生装置172による真空がテーブル170内の吸着通路に導入される。これにより、テーブル170上に載置された基板110は、テーブル170に吸着(固定)される。
マスク搬送経路140は、個別マスク130が収納されたマスク収納部200と、マスク収納部200から個別マスク130を1枚ずつ吸着して基板110上に搬入するマスク搬入装置210と、個別マスク130の導電性ボール挿通孔132の位置を検出するマスク孔検出装置220とを有する。
マスク搬入装置210は、マスク収納部200に収納された個別マスク130を上方から真空または磁気を用いた吸引力で吸着し、上方に持ち上げてテーブル170へ搬送する。マスク孔検出装置220は、例えば、CCDカメラなどの撮像装置を用いて搬送過程の個別マスク130に形成された多数の導電性ボール挿通孔132の位置(XY座標位置)を検出し、そのマスク孔検出データ(マスク孔位置情報)を制御装置180に出力する。制御装置180は、マスク孔検出データを記憶装置190に格納する。
導電性ボール供給装置240は、マスク検出データに基づいて基板110上に載置された各個別マスク130(1301〜130n)の導電性ボール挿通孔に導電性ボールを挿入する。
図2Bに示されるように、マスク搬入装置210は、テーブル170上に載置された基板110の上面の各領域に個別マスク130を搬送し、基板110の領域毎に位置調整を行う。その際、制御装置180は、記憶装置190に格納された基板検出データとマスク孔検出データとを照合して各領域でパッド112の位置と導電性ボール挿通孔132の位置とが一致するように個別マスク130(1301〜130n)の位置調整制御を行う。
図2Cに示されるように、テーブル170には、磁力発生装置174からの通電により電磁力を発生する電磁石230が設けられている。基板110の領域に対する位置を調整された個別マスク130は、電磁石230からの磁力によって基板110上に吸引される。尚、個別マスク130は、磁力によって吸着されるようにNiやFe等の軟磁性材により形成されている。
基板110上の全ての領域に個別マスク130が位置調整されて載置されると、図2Dに示されるように、導電性ボール供給装置240のヘッド242が個別マスク130(1301〜130n)の上方を移動しながら導電性ボール260を個別マスク130の導電性ボール挿通孔132に挿入する。導電性ボール260は、導電性材料(例えば、Pb,Sn,Cu,Au,Ag,W,Ni,Mo,Al等)により形成された球状体、或いは樹脂を核とし、その表面を前記導電性材料で被覆した球状体であり、個別マスク130の導電性ボール挿通孔より小径に形成されている。
また、基板110は、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂等の絶縁性樹脂からなる絶縁層116の上面にCu層からなるパッド112と、パッド112の間を覆うソルダレジスト113とが形成されている。更に、基板110は、絶縁層116の下面にもCu層からなるパッド117と、パッド117の間を覆うソルダレジスト118とが形成されており、パッド112と117との間はCu層からなる貫通電極119により電気的に接続されている。
尚、パッド112,117は、Cu層のみに限らず、Au層が基板表面に露出するようにAu層、Ni層を積層する構成としても良く、或いは、Au層が基板表面に露出するようにAu層、Ni層、Pd層、Cu層の順に積層したり、或いはAu層、Pd層、Ni層の順に積層したりする構造など、他のめっき構造としても良い。
基板110上に載置された個別マスク130(1301〜130n)の全導電性ボール挿通孔132に導電性ボール260が挿入されると、マスク搬出装置270により全個別マスク130を除去する。その後、図2Eに示されるように基板搬出装置280により基板110をテーブル170から搬出させて基板110をリフロー処理する。リフロー処理により、導電性ボール260は、基板110のパッド112に半田付けされた半球形状の半田バンプとなる。尚、図2Eにおいては、説明の便宜上、各基板領域1141〜114nの境界を示す境界線を破線で示してあるが、実際にはこのような境界線は存在しない。
ここで、上記基板製造装置100を用いた基板の製造方法について図3A〜図3Lにより説明する。図3A〜図3Lは基板の製造方法(その1〜その12)を説明するための図である。尚、図3A〜図3Lにおいて、基板110を部分的に図示しており、基板製造装置100の全体の構成は、前述した図2A〜図2Eに示す通りである。
図3Aにおいて、多数個取りの基板110を製作し、基板搬入装置150によりテーブル170上に搬送する。テーブル170上に基板110が載置されると、真空発生装置172によりテーブル170内の吸引通路に真空が導入されて基板110をテーブル170上に保持する。尚、基板110は、前述したように絶縁層116の上面に複数のパッド112が所定間隔で形成されている。
図3Bにおいて、テーブル170上に載置された基板110の一の基板領域114で、上面側に配列されたパッド112の位置(XY座標位置)をパッド検出装置160のCCDカメラ162により検出する。このCCDカメラ162により検出されたパッド位置情報は、記憶装置190に格納される。
図3Cにおいて、フラックス塗布装置250のインクジェットノズル252を各基板領域114(1141〜114n)のパッド112の上方に移動させて液状のフラックス254をパッド112の表面に塗布する。フラックス254は、粘性を有するため、導電性ボール260が投下されると、導電性ボール260はフラックス254を介してパッド112に接着される。
図3Dにおいて、マスク搬入装置210の吸着ヘッド212により真空吸着された個別マスク130の下面側から導電性ボール挿通孔132の位置(XY座標位置)をマスク孔検出装置220のCCDカメラ222により検出する。このCCDカメラ222により検出されたマスク孔位置情報は、記憶装置190に格納される。
図3Eにおいて、マスク搬入装置210の吸着ヘッド212は、当該基板領域114に個別マスク130を搬送した後、上記記憶装置190に格納された当該基板領域114に対応するパッド位置情報及びマスク孔位置情報を読み出し、このパッド位置情報及びマスク孔位置情報に基づいて導電性ボール挿通孔132の位置が基板110のパッド112の位置と一致するように吸着ヘッド212の移動位置を調整する。この位置調整制御は、記憶装置190に格納されたパッド位置情報とマスク孔位置情報とを照合して個別マスク130を降下させるため、当該基板領域114における導電性ボール挿通孔132の位置をパッド112の位置に一致させることができる。
個別マスク130に対向する基板領域114では、基板110の製造工程による加熱処理などによって伸縮しているが、基板110全体の伸縮量に比して基板領域114内の伸縮量が数分の一であるので、個別マスク130の全導電性ボール挿通孔132を当該基板領域114の全パッド112に対して容易に位置合わせすることができる。
従って、本参考例によれば、各個別マスク130単位で、当該基板領域114における導電性ボール挿通孔132の位置をパッド112の位置に一致させることができるので、基板110全体での各パッド112の位置に対して各導電性ボール挿通孔132の位置が一致している。これにより、基板110の全パッド112に導電性ボール260を正確に供給することが可能になる。
図3Fにおいて、個別マスク130の導電性ボール挿通孔132の位置が基板110のパッド112の位置と一致すると、吸着ヘッド212が降下して個別マスク130を基板110当該基板領域114に載置する。この個別マスク130の搬送は、基板110の全基板領域114(1141〜114n)に対して行われる。
図3Gにおいて、基板110の全基板領域114(1141〜114n)に対して位置調整された個別マスク130(1301〜130n)が載置されると(図2B参照)、磁力発生装置174により電磁石230が励磁され、全個別マスク130(1301〜130n)を電磁石230の磁力により保持する。これで、マスク搬入装置210によるマスク搬入を終了する。尚、磁力発生装置174による電磁石230の励磁は、個別マスク130を載置する前に行っても良い。
図3Hにおいて、導電性ボール供給装置240が基板110上の各個別マスク130の上方に移動して各個別マスク130の導電性ボール挿通孔132に導電性ボール260を挿入する。導電性ボール供給装置240は、多数の導電性ボール260を収納する収納室242を有し、収納室242の底板には、導電性ボール260を落下させるための開口244が設けられている。そして、導電性ボール供給装置240は、開口244を個別マスク130の上面に近接対向させた状態で水平移動しながら導電性ボール260を開口244から個別マスク130上面に供給する。
上記図3Eで導電性ボール挿通孔132の位置が基板110のパッド112の位置と一致するように調整されているため、各個別マスク130の上面に投下された導電性ボール260は、各個別マスク130の導電性ボール挿通孔132を通過して各パッド112に塗布されたフラックス254に接着(仮止め)される。
図3Iにおいて、磁力発生装置174による電磁石230への通電が停止されて、個別マスク130(1301〜130n)に対する保持が解除される。また、マスク搬出装置270により各個別マスク130を一枚ずつ持ち上げて基板110から除去する。
図3Jにおいて、基板搬出装置280により基板110をテーブル170から持ち上げて搬出し、更に基板110をリフロー処理工程へ搬送する。基板110は、リフロー処理により、加熱されることで導電性ボール260が溶融されて半球形状の半田バンプ262となる。そのため、リフローされた基板110の各パッド112には、半田バンプ262が半田付けされたとなる。
図3Kにおいて、洗浄ノズル300から洗浄液を基板110表面に噴射して基板表面のフラックス254を除去する。
図3Lにおいて、基板110の各基板領域114の境界線(図2E参照)に沿ってダイシングまたはダイシングソーによるVカット等により切断し、基板110から配線基板310を個片化する。本参考例では、各配線基板310が前述した基板領域114と対応しており、各基板領域114から1個の配線基板310を得られる。
尚、配線基板310には、半導体チップなどの電子部品が実装される場合、半田バンプ262に電子部品の電極を接続してから配線基板310を個片化するようにしても良いし、複数の電子部品を基板110上に実装した後に配線基板310毎に個片化することも可能である。
このように、多数個取りの基板110の全基板領域114(1141〜114n)に対して個別マスク130(1301〜130n)が対向するように位置調整されて保持されることで、生産性を高められると共に、基板110の各パッド112に正確に半田バンプ262を形成することができ、従来のように基板110のロット毎にマスクを製作する必要がない。
また、上記参考例1においては、各基板領域114から1個の配線基板310が得られるようにした場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、例えば、各基板領域114から2個以上の配線基板310を得られるように基板領域114の範囲を拡大するようにしても良い。この場合、上記個別マスク130の面積をX,Y方向に拡大して1枚の個別マスクで複数の配線基板310のパッド112をカバーすることができるように個別マスク130の各辺の寸法を大きくする。
また、上記参考例1においては、基板110の上面に露出するパッド112に導電性ボール260を供給する場合について説明したが、基板110の上下面を反転させて基板110の下面にパッド112が露出した場合にも上記方法で導電性ボール260を供給することは可能である。
[参考例2]
図4は、参考例2の基板製造装置を示す側面図である。尚、図4において、上記参考例1と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。図4に示されるように、参考例2の基板製造装置400は、基板110の下面側のパッド112に導電性ボール260を供給するように構成されており、導電性ボール供給装置410(4101〜410n)、基板110を搬送する真空チャック440を有する。
基板110は、電磁石230を有する真空チャック440により吸着され、真空チャック440と共に導電性ボール供給装置410(4101〜410n)の上方に搬送される。導電性ボール供給装置410(4101〜410n)は、各個別マスク130(1301〜130n)に対向するように基板110の下面側に個別に配置されている。
また、導電性ボール供給装置410(4101〜410n)は、上部が開口とされた導電性ボール収納箱412の内部に多数の導電性ボール260が収納され、導電性ボール収納箱412の底部には複数の空気噴射孔414が設けられている。複数の空気噴射孔414は、夫々コンプレッサ420から圧縮空気が空気配管430を介して供給される。導電性ボール供給装置410(4101〜410n)は、空気噴射孔414から上方に向けて圧縮空気が噴射されることで、各導電性ボール収納箱412に収納された導電性ボール260を個別マスク130に向けて飛ばすことができる。これにより、導電性ボール260は、導電性ボール挿通孔132を通過してパッド112に塗布されたフラックス254に接着(仮止め)される。
尚、本参考例では、コンプレッサ420から圧縮空気によって導電性ボール260を個別マスク130に向けて飛ばすようにしたが、これに限らず、例えば、導電性ボール収納箱412を振動させ、その振動による加速度で導電性ボール260を個別マスク130に供給することも可能である。
ここで、参考例2の製造方法について図5A〜図5Eを参照して説明する。図5A〜図5Eは、参考例2の製造方法(その1〜その5)を説明するための図である。尚、基板110の各基板領域114に個別マスク130を装着する工程は、前述した図3A〜図3Gに示す方法と同じであるので、その説明は省略する。
図5Aにおいて、搬送装置により移動する真空チャック440が、基板110を真空により吸着し、且つ電磁石230の磁力により個別マスク130を基板110の各装着位置に保持した状態で移動する。基板110は、個別マスク130が下面側となるように上下面を反転させた状態で搬送される。
図5Bにおいて、真空チャック440は、基板110の下面側の各個別マスク130(1301〜130n)が導電性ボール供給装置410(4101〜410n)に対向する位置で停止する。
図5Cにおいて、真空チャック440が搬送装置の降下動作によって基板110を導電性ボール供給装置410(4101〜410n)に近接する高さ位置に降下させる。
図5Dにおいて、コンプレッサ420が起動して圧縮空気を生成する。コンプレッサ420からの圧縮空気は、空気配管430を介して複数の空気噴射孔414に供給される。これにより、導電性ボール供給装置410(4101〜410n)の各導電性ボール収納箱412に収納された導電性ボール260は、空気噴射孔414から噴射された圧縮空気の噴流によって浮上し、個別マスク130に向けて吹き付けられる。
個別マスク130は、前述した参考例1と同様に、導電性ボール挿通孔132の位置が基板110のパッド112の位置と一致するように調整されているため、導電性ボール供給装置410(4101〜410n)から飛ばされた導電性ボール260は、導電性ボール挿通孔132を通過してパッド112に塗布されたフラックス254に接着(仮止め)される。
図5Eにおいて、真空チャック440は、電磁石230への通電を停止して各個別マスク130を基板110から除去した後、搬送装置の搬送動作により基板110を導電性ボール供給装置410(4101〜410n)から離間させる。この後は、前述した参考例1の図3J〜図3Lと同様に、導電性ボール260をリフローして半田バンプ262をパッド112に接続させ、更にフラックス254を洗浄して各配線基板310に個片化する。
このように、参考例2においては、多数個取りの基板110の全基板領域114(1141〜114n)に対して個別マスク130(1301〜130n)が対向するように位置調整されて保持されることで、生産性を高められると共に、基板110の各パッド112に正確に半田バンプ262を形成することができ、従来のように基板110のロット毎にマスクを製作する必要がない。
[参考例3]
図6は、参考例3の基板製造装置を示す側面図である。尚、図6において、上記参考例1、2と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。図6に示されるように、参考例3の基板製造装置500は、基板110の下面側のパッド112に導電性ボール260を供給するように構成されており、導電性ボール供給装置510(5101〜510n)、基板110を搬送する真空チャック440を有する。導電性ボール供給装置510(5101〜510n)の上部開口には、個別マスク130(1301〜130n)が取り付けられている。
基板110は、真空チャック440により吸着され、真空チャック440と共に導電性ボール供給装置510(5101〜510n)の上方に搬送される。
また、導電性ボール供給装置510(5101〜510n)は、上部開口に個別マスク130が装着された導電性ボール収納箱512の内部に多数の導電性ボール260が収納され、導電性ボール収納箱512の底部には複数の空気噴射孔514が設けられている。複数の空気噴射孔514には、夫々コンプレッサ420から空気配管430が連通されている。
導電性ボール供給装置510(5101〜510n)は、空気噴射孔514から上方に向けて圧縮空気が噴射されることで、各導電性ボール収納箱512に収納された導電性ボール260が個別マスク130の導電性ボール挿通孔132を通過してパッド112に塗布されたフラックス254に接着(仮止め)される。
ここで、参考例3の製造方法について図7A〜図7Eを参照して説明する。図7A〜図7Eは、参考例3の製造方法(その1〜その5)を説明するための図である。
図7Aにおいて、搬送装置により移動する真空チャック440が、基板110を吸着した状態で移動する。基板110には、個別マスク130が取り付けられてなく、パッド112が下面側となるように上下面を反転させた状態で搬送される。
図7Bにおいて、真空チャック440は、基板110の下面側の各パッド112が導電性ボール供給装置510(5101〜510n)に設けられた個別マスク130(1301〜130n)の導電性ボール挿通孔132と一致するように位置調整されて停止する。尚、導電性ボール挿通孔132とパッド112との位置調整は、前述した参考例1の場合と同様にパッド112の位置(XY座標位置)をパッド検出装置160のCCDカメラ162により検出し、導電性ボール挿通孔132の位置(XY座標位置)をマスク孔検出装置220のCCDカメラ222により検出する。そして、このCCDカメラ162,222により検出されたパッド位置情報及びマスク孔位置情報は、記憶装置190に格納される。パッド位置情報とマスク孔位置情報とを照合することにより、個別マスク130(1301〜130n)の各導電性ボール挿通孔132と各パッド112とが一致するように位置調整することが可能になる。
図7Cにおいて、真空チャック440が搬送装置の降下動作によって基板110の下面を導電性ボール供給装置510(5101〜510n)の個別マスク130(1301〜130n)に近接する高さ位置に降下させる。
図7Dにおいて、コンプレッサ420により生成された圧縮空気が、空気配管430を介して複数の空気噴射孔514に供給される。これにより、導電性ボール供給装置510(5101〜510n)の各導電性ボール収納箱512に収納された導電性ボール260は、空気噴射孔514から噴射された圧縮空気の噴流によって浮上し、個別マスク130の各導電性ボール挿通孔132を通過して基板110の各パッド112に向けて吹き付けられる。
導電性ボール供給装置510(5101〜510n)に装着された個別マスク130は、前述した参考例1と同様に、導電性ボール挿通孔132の位置が基板110のパッド112の位置と一致するように調整されているため、導電性ボール供給装置510(5101〜510n)から飛ばされた導電性ボール260は、導電性ボール挿通孔132を通過してパッド112に塗布されたフラックス254に接着(仮止め)される。
図7Eにおいて、真空チャック440は、搬送装置の搬送動作により基板110を導電性ボール供給装置510(5101〜510n)から離間させる。この後は、前述した参考例1の図3J〜図3Lと同様に、導電性ボール260をリフローして半田バンプ262をパッド112に接続させ、更にフラックス254を洗浄して各配線基板310に個片化する。
本参考例では、導電性ボール供給装置510(5101〜510n)に個別マスク130(1301〜130n)が取り付けられているので、個別マスク130(1301〜130n)を除去する工程を省略できる。
このように、参考例3においては、多数個取りの基板110の全基板領域114(1141〜114n)に対して個別マスク130(1301〜130n)が対向するように位置調整されて保持されることで、生産性を高められると共に、基板110の各パッド112に正確に半田バンプ262を形成することができ、従来のように基板110のロット毎にマスクを製作する必要がない。
[参考例4]
図8は、参考例4の基板製造装置を示す側面図である。尚、図8において、上記参考例1〜3と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。図8に示されるように、参考例4の基板製造装置600は、テーブル170上に載置された基板110のパッド112に対して導電性ボール搬送装置610により導電性ボール260を搬送するように構成されている。
導電性ボール搬送装置610は、移動ベース620の下面に導電性ボール260を吸着するため複数の個別吸着ヘッド(導電性ボール供給部材)630を有する。移動ベース620は、内部に導電性ボール260を真空吸着するための真空発生装置640と、吸着ヘッド630を磁気吸着するための磁力発生装置650とを有する。
各個別吸着ヘッド630は、基板110の各基板領域114に対向するように配置されており、内部に導電性ボール260を吸引するための複数の吸引孔632が設けられている。複数の吸引孔632は、基板110の各パッド112に対応する間隔で配置されている。
更に、各個別吸着ヘッド630は、各吸引孔632の位置が基板110の各領域におけるパッド112の位置と一致するように位置調整される。そして、各個別吸着ヘッド630の位置調整が完了すると、各個別吸着ヘッド630は磁力発生装置650による磁力によって移動ベース620に固定される。
このように、各個別吸着ヘッド630の位置が各パッド112に対応するように調整された状態で真空発生装置640による真空が各個別吸着ヘッド630の吸引孔632に導入され、吸引孔632に導電性ボール260を吸着させる。尚、吸引孔632の開口は、導電性ボール260の直径よりも小径であるので、導電性ボール260は各個別吸着ヘッド630の下面にパッド112と同じ間隔で吸着される。
導電性ボール搬送装置610は、各個別吸着ヘッド630の下面に吸着された複数の導電性ボール260をテーブル170上に載置された基板110上に搬送し、降下動作を行って複数の導電性ボール260を一括して基板110の全パッド112に供給する。導電性ボール260が各パッド112に塗布されたフラックス254に接着(仮止め)されると、真空発生装置640を停止させて導電性ボール260の吸引を停止した後、移動ベース620を上昇させる。
これで、基板110の全パッド112には、導電性ボール260が供給される。この後、基板110は、リフローされて半田バンプ262が各パッド112に接続され、フラックスを洗浄された後、各配線基板310に個片化される。
この参考例4では、個別マスク130の代りに各個別吸着ヘッド630の位置を基板領域114毎に位置調整することで各個別吸着ヘッド630の吸引孔632の位置と基板110の各パッド112の位置とを容易に一致させることができる。
このように、参考例4においては、多数個取りの基板110の全基板領域114(1141〜114n)に対して個別吸着ヘッド630が対向するように位置調整されることで、生産性を高められると共に、基板110の各パッド112に正確に半田バンプ262を形成することができ、従来のように基板110のロット毎にマスクを製作する必要がない。
[参考例5]
図9は、参考例5の基板製造装置を示す側面図である。尚、図9において、上記参考例1〜4と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。図9に示されるように、参考例5の基板製造装置700は、基板110の上面側のパッド112に導電性ボール260を供給するように構成されており、導電性ボール供給装置710を有する。個別マスク130は、導電性ボール供給装置710の下部開口に保持されている。
また、テーブル170は、内部に基板110を真空吸着するための真空発生装置(図示せず)が設けられている。そして、基板110が上記基板搬入装置150(図2A参照)によりテーブル170上に搬送されて載置されると、真空発生装置による真空がテーブル170内の吸着通路に導入される。これにより、テーブル170上に載置された基板110は、テーブル170に吸着(固定)される。
導電性ボール供給装置710は、図示しない移動装置により、多数個取りの基板110の上部をX,Y方向(水平方向)及びZ方向(垂直方向)に移動可能な構成とされている。この導電性ボール供給装置710は、ヘッド242、ボール収納部274、及び個別マスク130等を有した構成とされている。
ヘッド242は、下部開口に個別マスク130が取り付けられている。即ち、本参考例では個別マスク130は導電性ボール供給装置710に保持された構成とされている。また、ヘッド242の個別マスク130の保持位置よりも若干上部位置には、ボール回収経路282が接続されている。更に、ヘッド242の内部には、導電性ボール260を収納するボール収納部274が設けられている。
ボール収納部274は、その内部に導電性ボール260を収納する機能を奏するものである。このボール収納部274の上面には、開口部275が形成されている。また、ボール収納部274の側面には複数の空気噴射孔714が設けられている。この空気噴射孔714は、コンプレッサ420(図4で示したのと同様のもの)と接続されている。よって、コンプレッサ420で生成された圧縮空気は、空気噴射孔714からボール収納部274の内部に噴射される構成となっている。
また、ボール収納部274の開口部275が形成された上面と空気噴射孔714の配設位置との間には、篩(ふるい)278が設けられている。この篩278は、複数の篩孔279が形成されている。この篩孔279の直径は、導電性ボール260が通過できるよう(篩い落とされるよう)に導電性ボール260の直径より若干大きく設定されている。このように、篩孔279は導電性ボール260の直径より若干大きい程度の直径の孔であるため、多数個の導電性ボール260がボール収納部274の篩278の上部に収納された場合、図9に示されるように、導電性ボール260は直ちに篩孔279を通過してしまうようなことはなく、ボール収納部274内に収納された状態となる。
また、ボール収納部274は、振動発生装置722に接続されている。この振動発生装置722は、起動することによりボール収納部274を振動させる。よって、ボール収納部274の篩278の上部に収納されていた導電性ボール260は、振動発生装置722によりボール収納部274で移動する。そしてこの移動に伴い導電性ボール260が篩孔279の形成位置に進入すると、導電性ボール260は篩孔279を通過し個別マスク130に向け落下する。
個別マスク130の上部に落下した導電性ボール260は、個別マスク130の導電性ボール挿通孔132を通過してパッド112に塗布されたフラックス254に接着(仮止め)される。この際、本参考例ではボール収納部274に収納された全ての導電性ボール260を同時に個別マスク130に供給するのではなく、先ず導電性ボール260をボール収納部274を振動させることにより篩278から篩い落とす。そして、この篩い落とされた導電性ボール260が導電性ボール挿通孔132を通過し、パッド112上のフラックス254に接着(仮止め)される。よって、導電性ボール260は導電性ボール挿通孔132に円滑に挿入され、挿入効率及び挿入信頼性の向上を図ることができる。
一方、ヘッド242の開口部275と対向する位置には、ボール返却経路284が接続されている。このボール返却経路284は、ボール回収装置720に接続されている。ボール回収装置720は、ボール収納部274の下部に落下した導電性ボール260の内、フラックス254に接着しなかったもの回収する装置である。
具体的には、先ずボール回収装置720は、ボール収納部274の下部に残存する導電性ボール260をボール回収経路282を介して吸引することにより回収する。続いて、ボール回収装置720は、この回収した導電性ボール260を圧縮空気と共にボール返却経路284に向け吐出する。ボール返却経路284の端部は、ボール収納部274に形成された開口部275に向け開口している。よって、ボール回収装置720から送出された導電性ボール260は、ボール収納部274の篩278の上部位置に再び収納される。尚、上記したボール回収装置720、振動発生装置722、及び導電性ボール供給装置710を移動させる移動装置は、制御装置180(図2A参照)により駆動制御される構成とされている。
ここで、参考例5の製造方法について図9、図10A〜図10Cを参照して説明する。図9及び図10A〜図10Cは、参考例5の製造方法(その1〜その4)を説明するための図である。
先に図3A〜図3Cを用いて説明した処理は、本でも同様に行われる。即ち、別個の工程で作成された多数個取りの基板110は、基板搬入装置150によりテーブル170上に搬送されると共に載置される。そして、真空発生装置172によりテーブル170内の吸引通路に真空が導入され、これにより基板110はテーブル170上に保持される。
テーブル170上に基板110が載置されると、その一の基板領域114の上面側に配列されたパッド112の位置をCCDカメラ等により検出する。また、導電性ボール供給装置710の下部開口に設けられた個別マスク130の導電性ボール挿通孔132の位置もCCDカメラ等により検出しておく。更に、基板110に設けられたパッド112には、インクジェットノズルを用いて予めフラックス254が配設される。
上記のようにパッド112にフラックス254が配設されると、移動装置が起動し、導電性ボール供給装置710は基板110の導電性ボール260を配設しようとする一の基板領域114上に向けて水平移動する。そして、ヘッド242の下部に保持された個別マスク130に形成された導電性ボール挿通孔132と、基板110のパッド112が一致する位置まで移動すると、移動装置は導電性ボール供給装置710の移動を停止する。
尚、導電性ボール挿通孔132とパッド112との位置調整は、前述した各参考例の場合と同様にパッド112の位置(XY座標位置)をパッド検出装置160のCCDカメラ162により検出した情報と、導電性ボール挿通孔132の位置(XY座標位置)をマスク孔検出装置220のCCDカメラ222により検出した情報に基づき行うことができる。
上記のように導電性ボール供給装置710が導電性ボール挿通孔132とパッド112とが一致する位置まで移動すると、続いて移動装置は個別マスク130が基板110と近接する位置まで導電性ボール供給装置710を基板110に向け下降させる。この際、導電性ボール供給装置710は、個別マスク130に基板110のフラックス254が付着しない程度の位置まで下降(垂直移動)される。図9は、導電性ボール供給装置710が上記の所定位置まで下降した状態を示している。尚、この導電性ボール供給装置710が移動している間、ボール回収装置720、振動発生装置722、及びコンプレッサ420は停止した状態となっている。
上記のようにした導電性ボール供給装置710が基板110上に位置決めされると、続いて振動発生装置722が起動する。振動発生装置722が起動することによりボール収納部274は振動する(この際、ヘッド242は振動しないよう構成されている)。よって、ボール収納部274の振動に伴い篩278も振動し、この篩278から篩い落とされた導電性ボール260のみが個別マスク130に向け落下する。そして、個別マスク130の上部に落下した導電性ボール260は、個別マスク130の導電性ボール挿通孔132を通過してパッド112に塗布されたフラックス254に接着(仮止め)される。
この際、本参考例ではボール収納部274に収納された全ての導電性ボール260を同時に個別マスク130に供給するのではなく、篩278から篩い落とされた導電性ボール260が個別マスク130の上部に供給され、更にこの個別マスク130の導電性ボール挿通孔132を通過した導電性ボール260のみがパッド112上のフラックス254に接着(仮止め)される構成とされている。この構成とすることにより、導電性ボール260は導電性ボール挿通孔132に円滑に挿入され、挿入効率及び挿入信頼性の向上を図ることができる。
即ち、従来のように全ての導電性ボール260を一括的に個別マスク130に供給した場合には、下部に位置する導電性ボール260はその上部に積み重なった導電性ボール260の重さにより円滑な移動が阻害され、導電性ボール挿通孔132に導電性ボール260が円滑に導入されない現象が発生する。しかしながら、個別マスク130に対して導電性ボール260を徐々に供給することにより、個別マスク130上における導電性ボール260の移動を許容でき、よって挿入効率及び挿入信頼性の向上を図ることができる。
図10Aは、ボール収納部274が振動し、これにより個別マスク130の導電性ボール挿通孔132を介して一の基板領域114の全てのパッド112に導電性ボール260が供給された状態を示している。尚、全てのパッド112に導電性ボール260が供給されるまでには所定の時間を要し、この間もボール収納部274は振動した状態が維持されるため、個別マスク130の上部には篩278を通過し、かつパッド112に供給されなかった導電性ボール260が複数残存することとなる。
上記のように全てのパッド112に対する導電性ボール260の供給が終了すると、振動発生装置722によりボール収納部274の振動が停止されると共に、個別マスク130の上部に残存する導電性ボール260の回収処理が行われる。この回収処理では、コンプレッサ420により生成された圧縮空気が空気噴射孔714を介してボール収納部274の内部に供給される。
また、これと同時にボール回収装置720は、ボール収納部274の下部に残存する導電性ボール260をボール回収経路282を介して吸引することにより回収する。図10Bは、個別マスク130上に残存する導電性ボール260をボール回収経路282から回収している状態を示している。この導電性ボール260の回収処理の際、空気噴射孔714から圧縮空気が吐出されているため、導電性ボール260は円滑にボール回収経路282内に導入され、よってボール収納部274内に導電性ボール260が残留するようなことはない。
ボール回収装置720に回収された導電性ボール260は、圧縮空気と共にボール返却経路284に向け吐出される。前記のようにボール返却経路284の端部は、ボール収納部274に形成された開口部275に向け開口しているため、ボール回収装置720から送出された導電性ボール260はボール収納部274の篩278の上部位置に再び収納される。
個別マスク130上に残存していた全ての導電性ボール260がボール収納部274に戻されると、導電性ボール供給装置710の移動装置が起動し、図10Cに示すように先ず導電性ボール供給装置710を基板110から離間するよう上昇させる。続いて、移動装置は導電性ボール供給装置710を導電性ボール260を配設しない基板領域(例えば、図10Cに114nで示す基板領域)に移動させる。そして、上記したと同様の導電性ボール260をパッド112上のフラックス254に接着させる処理を繰り返し実施する。
基板110上の全ての基板領域114(1141〜114n)に対する導電性ボール260の供給処理が終了すると、導電性ボール260をリフローして半田バンプ262をパッド112に形成し、更にフラックス254を洗浄して各配線基板310に個片化する。
本参考例では、導電性ボール供給装置710に個別マスク130が取り付けられており、かつ導電性ボール供給装置710が移動することにより基板110上の所定の基板領域114に導電性ボール260を供給するため、多数の個別マスク130及び導電性ボール供給装置を用意する必要がなくなり、製造設備の低コスト化を図ることができる。
[参考例6]
図11A及び図11Bは、本発明の参考例6の基板製造装置を説明するための図である。尚、図11A及び図11Bにおいて、上記参考例1〜5と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。また本参考例では、導電性ボール供給部材である個別マスク730に特徴を有するため、説明及び図示の便宜上、各図には基板110及び個別マスク730のみ図示し、他の構成については図示及び説明を省略するものとする。
本参考例に係る基板製造装置に用いられる個別マスク730は、その面積が基板110に形成された一の基板領域114の面積よりも広く設定されている。また、個別マスク730は複数のフレーム734を格子状に組み合わせた構成とされており、その中央部に導電性ボール挿通孔132が形成されたボール供給部731を設けられた構成とされている。このように、複数のフレーム734を格子状に組み合わせることにより、個別マスク730には複数の開口部732が形成される。
この開口部732の形状及び大きさは、基板110に設けられた各一の基板領域114(基板領域1141〜114n)の形状及び大きさと同一となるよう構成されている。従って、ボール供給部731を基板110の導電性ボール260を供給しようとする基板領域114に位置決めすると、他の基板領域114は開口部732と対向した状態となる。
ここで、主に図11Bを用い、ボール供給部731に隣接した部位に開口部732を有する個別マスク730を用いて導電性ボール260を基板110に供給する具体的な方法について説明する。尚、以下の説明において、各図においてボール供給部731の図中左側に位置する開口部732を特に開口部732Aと示し、右側に位置する開口部732を開口部732Bと示すものとする。
導電性ボール260を基板110に供給するには、先ず個別マスク730に設けられたボール供給部731と、これから導電性ボール260を供給しようとする基板領域114n−1とを位置決めする。この位置決め処理が終了すると、ボール供給部731と基板領域114n−1との位置を維持した上で、個別マスク730が基板110と接触するか、或いは所定の離間距離を有する位置まで下降させる。
尚、図11Bでは、個別マスク730が基板110と接触した状態を示している。また、基板110のパッド112には、予めフラックス254が塗布されている。
図11Bに示すように、個別マスク730が基板110に位置決めされて配設された状態において、ボール供給部731の導電性ボール挿通孔132は基板110の基板領域114n−1に形成されたパッド112と対向した状態となっている。よって、この位置決めされた状態において導電性ボール挿通孔132から導電性ボール260を供給することにより、導電性ボール260はフラックス254を介してパッド112に接着される。
この際、個別マスク730が基板110に位置決めされた状態において、基板110の基板領域114n−2は個別マスク730の開口部732Aと対向すると共に、基板領域114nは開口部732Bと対向した状態となっている。本参考例では、基板領域114n−2はパッド112にフラックス254が塗布された領域とされ、また基板領域114nは導電性ボール260がパッド112に既に接着された領域とされている。従って、個別マスク730の開口部732Aは塗布されたフラックス254が逃げるための開口として機能し、開口部732Bは供給済みの導電性ボール260が逃げる開口として機能する。
よって、基板領域114n−1に対する導電性ボール260の供給(搭載)時において、個別マスク730がパッド112或いは供給済みの導電性ボール260に接触することを防止できる。
上記のように、基板領域114n−1に対する導電性ボール260の供給処理が終了すると、個別マスク730は基板110から離間するよう上昇する。続いて個別マスク730は、導電性ボール260が供給されていない領域である基板領域114n−2(これから導電性ボール260を供給しようとする基板領域)の上部まで移動し、この基板領域114n−2とボール供給部731とを位置決めする。
以下、上記したと同様の処理を繰り返し実施することにより、全ての基板領域1141〜114nに対して導電性ボール260の供給を行う。このように、本参考例に係る方法を用いて導電性ボール260を基板110に供給することにより、導電性ボール260を安定して基板110に供給することが可能となる。
[参考例7]
図12A〜図12Cは、本発明の参考例7の基板製造装置を説明するための図である。尚、図12A〜図12Cにおいて、上記参考例と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。また本参考例も導電性ボール供給部材である個別マスク830に特徴を有するため、説明及び図示の便宜上、各図には基板110及び個別マスク830のみ図示し、他の構成については図示及び説明を省略するものとする。
前記した参考例6に係る個別マスク730は、フレーム734を格子状に組み合わせることにより少なくともボール搭載部731の隣接位置に開口部732(732A,732B)を形成し、これをフラックス254及び導電性ボール260の逃げとして使用した。これに対して本参考例では、個別マスク830に複数の凹部832を形成することにより、参考例6に係る個別マスク730と同等の機能を奏させるよう構成したものである。
図12Aは、基板110に個別マスク830を装着する前の状態を示しており、図12Bは基板110に個別マスク830を装着した状態を示している。個別マスク830に形成された凹部832の形状及び大きさは、基板110に設けられた各一の基板領域114(基板領域1141〜114n)の形状及び大きさと同一となるよう構成されている。従って、ボール供給部731を基板110の導電性ボール260を供給しようとする基板領域114に位置決めすると、他の基板領域114は個別マスク830の対応する各凹部832と対向した状態となる。
ここで、主に図12Cを用い、上記構成とされた個別マスク830を用いて導電性ボール260を基板110に供給する具体的な方法について説明する。尚、以下の説明において、各図においてボール供給部731の図中左側に位置する凹部832を特に凹部832Aと示し、右側に位置する凹部832を凹部832Bと示すものとする。
導電性ボール260を基板110に供給するには、先ず個別マスク830に設けられたボール供給部731と、これから導電性ボール260を供給しようとする基板領域114n−1とを位置決めする。この位置決め処理が終了すると、ボール供給部731と基板領域114n−1との位置を維持した上で、個別マスク830が基板110と接触するか、或いは所定の離間距離を有する位置まで下降させる。
尚、図12Cでは、個別マスク830が基板110と接触した状態を示している。また、基板110のパッド112には、予めフラックス254が塗布されている。
図12Cに示すように、個別マスク830が基板110に位置決めされて配設された状態において、ボール供給部731の導電性ボール挿通孔132は基板110の基板領域114n−1に形成されたパッド112と対向した状態となっている。よって、この位置決めされた状態において導電性ボール挿通孔132から導電性ボール260を供給することにより、導電性ボール260はフラックス254を介してパッド112に接着される。
この際、個別マスク830が基板110に位置決めされた状態において、基板110の基板領域114n−2は個別マスク830の凹部832Aと対向すると共に、基板領域114nは凹部832Bと対向した状態となっている。本参考例では、基板領域114n−2はパッド112にフラックス254が塗布された領域とされ、また基板領域114nは導電性ボール260がパッド112に既に接着された領域とされている。従って、個別マスク830の凹部832Aは塗布されたフラックス254を保護するための逃げ部として機能し、凹部832Bは供給済みの導電性ボール260を保護する逃げ部として機能する。
上記のように、基板領域114n−1に対する導電性ボール260の供給処理が終了すると、個別マスク830は基板110から離間するよう上昇する。続いて個別マスク830は、導電性ボール260が供給されていない領域である基板領域114n−2(これから導電性ボール260を供給しようとする基板領域)の上部まで移動し、この基板領域114n−2とボール供給部731とを位置決めする。
以下、上記したと同様の処理を繰り返し実施することにより、全ての基板領域1141〜114nに対して導電性ボール260の供給を行う。本参考例に係る個別マスク830を用いて導電性ボール260の供給処理を行うことにより、フラックス254が塗布された基板領域114n−2、及び既に導電性ボール260が接着された基板領域114nは個別マスク830を構成する凹部832により覆われた構成となる。
これにより、基板領域114n−1に対する導電性ボール260の供給(搭載)時において、個別マスク830がパッド112或いは供給済みの導電性ボール260に接触することを防止できる。
また図12Cに示されるように本参考例では、参考例6と異なり基板110の基板領域114n−2,114nは露出されることなく個別マスク830に完全に覆われる。このため、フラックス254及び導電性ボール260をより確実に保護することができ、より高い信頼性を実現することができる。
[参考例8]
図13は、本発明の参考例8の基板製造装置を説明するための図である。尚、図13において、上記参考と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。また本参考例も導電性ボール供給部材である個別マスク930に特徴を有するため、説明及び図示の便宜上、各図には基板110及び個別マスク930のみ図示し、他の構成については図示及び説明を省略するものとする。
前記した参考例では、個別マスク130,730,830を導電性ボール260を基板110に供給するのに用いた。これに対して本参考例では、個別マスク930をスクリーン版として使用し、スキージ842を用いてクリームはんだ840をパッド112上にスクリーン印刷することを特徴としている。
個別マスク930は参考例7で示した個別マスク830と基本的な構成は同一である。しかしながら、その上面をスキージ842が押圧しつつ移動するため、補強のための柱部934を凹部932(932A,932B)に配設し、この柱部934が基板110と当接するよう構成している。これにより、個別マスク930の強度を高めることができ、上面をスキージ842が移動しても個別マスク930が変形したり破損したりすることを防止できる。
図18〜図20は、本発明の第2実施例(実施例2という)の基板製造装置を説明するための図である。尚、図18〜図17において、上記した各参考例及び実施例1と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。また本実施例2も導電性ボール260を供給する方法に特徴を有するため、説明及び図示の便宜上、各図には基板1010及び個別マスク1140のみ図示し、他の構成については図示及び説明を省略するものとする。
前記した実施例1に係る基板の製造方法は、縦に5個及び横に5個で、合計で25個(請求項のM個に対応する)基板領域1020が形成されている基板1010を25個(M個)に切断することにより基板中間体1030Aを形成し、この個々の基板中間体1030Aに対して導電性ボール260を供給する方法であった。
これに対して本実施例2に係る製造方法では、図18に示すように、縦に6個及び横に6個で、合計で36個(請求項のM個に対応する)基板領域1020が形成されている基板1010を切断することにより、3個(請求項のN個に対応)の基板領域1020を有した基板中間体1030Bを切り出し、これに対して導電性ボール260の供給処理を行うことを特徴とするものである。
以下、本実施例に係る基板の製造方法の具体的な手順について説明する。以下の説明では、本発明の要部となる導電性ボール260の供給処理を主に説明する。
本発明に係る基板の製造方法では、実施例1と同様に、導電性ボール260を供給する処理を実施する前に、基板1010を個片化する切断処理を実施する(切断工程)。
図18は、本実施例で用いる基板1010を示している。この基板1010は、前記のように縦に6個及び横に6個で、合計で36個の基板領域1020が形成されている。本実施例では、この基板1010を36個よりも小さいN個の基板領域数を有した数の基板中間体に切断する。具体的には、本実施例ではと、基板1010を36個よりも小さい3個の基板領域1020を有した基板中間体1030Bに切断する。よって本実施例では、切断された個々の基板中間体1030Bは短冊状の形状となる。
上記のように基板中間体1030Bが形成されると、図19に示すように、テーブル1050を用意し、このテーブル1050上に基板中間体1030Bを載置する。この際、基板中間体1030Bは、テーブル1050上へ格子状に載置される(搭載工程)。
本実施例においても、基板中間体1030Bをテーブル1050に載置する際、高精度に位置決めして載置する必要はなく、上下左右に若干ずれて搭載してもかまわない。この許容しうるずれ量は、基板中間体1030Bを効率的にかつ容易にテーブル1050上に載置できる量とされていることは、実施例1と同様である。
続いて、テーブル1050に搭載された基板中間体1030Bの位置検出処理を行う(検出工程)。本実施例でも撮像装置(図示せず)を用いてテーブル1050に搭載された全ての基板中間体1030Bの位置を一括的に撮像し、この撮像データに基づき全ての基板中間体1030Bの位置に関する情報を含む位置データを作成する。この作成された位置データは、記憶装置190(図2A参照)に格納される。
この検出工程が終了すると、個別マスク1140を基板中間体1030Bに装着する処理が行われる(装着工程)。本実施例で用いる個別マスク1140も、先に参考例7で用いた個別マスク830と略同一の構成のものを採用している。しかしながら、各凹部832の形状及びボール供給部731の形状は、短冊形状である基板中間体1030Bの形状に対応するよう形成されている(図20参照)。また、凹部832の大きさは、その内部において基板中間体1030Bが所定量だけ変位しても収納できる大きさとされている。
ここで、所定量とは前記したテーブル1050上に基板中間体1030Bを搭載する搭載工程において、基板中間体1030Bを効率的にかつ容易にテーブル1050上に載置できるずれ量である。
個別マスク1140は、具体的には次のようにして基板中間体1030Bに装着される。先ず、個別マスク1140に設けられたボール供給部731と、これから導電性ボール260を供給しようとする基板中間体1030Bとを位置決めする。
本実施例では、前記のように検出工程において全ての基板中間体1030Bの位置に関する情報が記憶装置190に位置データとして格納されている。制御装置180は、この記憶装置190に格納されている位置データに基づき、ボール供給部731と基板中間体1030B(これから導電性ボール260を供給しようとする基板中間体1030B)とが位置決めされるよう、個別マスク1140を移動させる。尚、この際にテーブル1050(基板中間体1030B)を移動させる構成としてもよいことは実施例1と同様である。
この位置決め処理が終了すると、ボール供給部731と基板中間体1030Bとの位置を維持した上で、個別マスク1140が基板中間体1030Bと接触するか、或いは所定の離間距離を有する位置まで下降させる。図20は、個別マスク1140が基板中間体1030Bに装着された状態を示している。
この際、本実施例でもこれから導電性ボール260を搭載しようとする基板中間体1030B以外の基板中間体1030Bは個別マスク1140との位置決めはされてない状態である。しかしながら、前記のように凹部832の大きさは、基板中間体1030Bがテーブル1050上で所定量だけ変位しても(ずれても)収納できる大きさとされている。よって、これから導電性ボール260を搭載しようとする基板中間体1030B以外の基板中間体1030Bも、個別マスク1140の凹部832内に確実に収納され、個別マスク1140と干渉するようなことはない。
上記のように個別マスク1140が基板中間体1030Bに装着されると、実施例1と同様にして導電性ボール挿通孔132から導電性ボール260が供給され、フラックス254を介してパッド112に導電性ボール260が接着される。
上記のように、基板中間体1030Bに対する導電性ボール260の供給処理が終了すると、個別マスク1140は基板中間体1030Bから離間するよう移動される。続いて個別マスク1130は、次に導電性ボール260を供給しようとする基板中間体1030Bの上部まで移動し、前記と実施例1と同様に位置決めする。以下、上記したと同様の処理を繰り返し実施することにより、全て基板中間体1030Bに対して導電性ボール260の供給を行う。尚、導電性ボール260が供給された基板中間体1030Bは、基板領域1020の単位に更に切断されて個片化が行われる。
上記のように本実施例においても、搭載工程において基板中間体1030Bをテーブル1050上に若干のずれを有して搭載しても、検出工程において基板中間体1030Bの位置を検出した上で、装着工程において個々の基板中間体1030Bに個別マスク1140を装着する。このため、基板中間体1030Bをテーブル1050上に高精度に位置決めして載置する必要がなくなり製造効率の向上を図ることができる。
また、上記の方法によれば、複数(本実施例では3個)の基板領域1020に対して同時に導電性ボール260の供給を行うことができるため、導電性ボール260の供給効率を高めることができる。
一方、本実施例では、1枚の基板中間体1030Bが含む基板領域1020の個数が多くなることにより、必然的に基板中間体1030Bの形状も大きくなる。よって、導電性ボール260の供給工程前に実施される加熱処理等により基板中間体1030Bに発生する変形量は、実施例1に比べては大きくなる。
しかしながら本実施例では、個別マスク1140を基板中間体1030Bに装着した際、全ての導電性ボール挿通孔132とパッド112とが誤差範囲内で対向できる基板中間体1030Bの形状(以下、この形状を許容形状という)を求め、この許容形状に基づき基板中間体1030Bに含むことができる基板領域1020の個数を設定している。よって、基板中間体1030Bが複数の基板領域1020を有した、換言すると実施例1よりも大きな形状を有した構成であっても、基板中間体1030Bの全てのパッド112に対して導電性ボール260を確実に供給することができる。
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は上記した特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能なものである。
具体的には、上記した実施例では粘着材としてフラックスを用いた例を示したが、粘着材はこれに限定されるものではなく、その他にはんだペースト、銀ペースト等の導電性ペーストを用いることも可能である。
また、上記した実施例1,2では、個別マスク1130,1140を導電性ボール260を基板中間体1030A,1030Bに供給するのに用いたが、これに代えて参考例8に示したように、個別マスク1130,1140をスクリーン版として使用し、スキージ842を用いてクリームはんだ840をパッド112上にスクリーン印刷する方法を用いることも可能である(図13参照)。
更に、上記した実施例1,2では、検出工程において、テーブル1050に載置された全ての基板中間体1030A,1030Bを一括的に撮像装置により取り込み、全ての基板中間体1030A,1030Bの位置情報を含む位置データを作成し、これに基づき個別マスク1130,1140と基板中間体1030A,1030Bとの位置決めを行う方法を用いた。
しかしながら、個別マスク1130,1140と基板中間体1030A,1030Bとの位置決めを行う方法はこれに限定されるものではなく、個々の基板中間体1030A,1030Bに予めアライメントマークを形成しておき、このアライメントマークを検出することにより、個々の基板中間体1030A,1030B毎に個別マスク1130,1140を個別に位置決めする方法を用いることも可能である。