JP4883508B2 - 導電性ボール搭載装置 - Google Patents
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Description
第1に、導電性ボールの挿入部が搭載領域に所定の配列パターンで形成された配列マスクと被搭載物の上方に配列マスクを支持するマスク支持手段と配列マスクに振動を付与する振動手段とを備え、振動手段による配列マスクの振動中に、配列マスクの上面に沿って多数の導電性ボールを収容したボールカップを移動させることによって導電性ボールを配列マスクの挿入部に落とし込んで被搭載物上に搭載する導電性ボールの搭載装置とする。
第2に、上記振動手段は、振動源と、振動源が連結されるとともに吸引口が設けられた当接面とを備え、当接面に配列マスクを吸着させて振動源の振動を当接面を介して配列マスクに伝達することを特徴とする導電性ボール搭載装置とする。
実施例は、半田ボール搭載装置に関するものである。勿論、本発明は、搭載対象物上に所定の配列パターンで形成された各電極に、導電性ボールを搭載するその他の導電性ボール搭載装置においても利用可能である。また、本発明において、ボールには、半田ボール等の導電性ボール、ボールの搭載対象物には、半導体ウエハ(以後、単にウエハと表記する)や、電子回路基板や、セラミックス基板などがあるが、実施例ではボールとして半田ボール1、ボールの搭載対象物としてウエハ2を用いている。
2......ウエハ
3......挿入孔
4......配列マスク
5......ボールカップ
6......ウエハ載置テーブル
7......ボールホッパ
8......Y軸移動装置
9......超音波振動子
10.....ダイサイズ領域
11.....搭載領域
12.....非搭載領域
13.....凹部
14.....凸部
15.....コンビネーション
16.....マスクフレーム
17.....クランプ用エアシリンダ
18.....当接面
19.....吸着溝
20.....吸引パイプ
21.....支持部材
22.....補強用薄板
30.....支持装置
31.....マスク押さえプレート
32.....マスク押さえプレート保持具
33.....エアシリンダ
Claims (4)
- 導電性ボールの挿入部が搭載領域に所定の配列パターンで形成された配列マスクと被搭載物の上方に配列マスクを支持するマスク支持手段と配列マスクに振動を付与する振動手段とを備え、
振動手段による配列マスクの振動中に、配列マスクの上面に沿って多数の導電性ボールを収容したボールカップを移動させることによって導電性ボールを配列マスクの挿入部に落とし込んで被搭載物上に搭載する導電性ボールの搭載装置において、
前記振動手段は、振動源と、振動源が連結されるとともに吸引口が設けられた当接面とを備え、当接面に配列マスクを吸着させて振動源の振動を当接面を介して配列マスクに伝達することを特徴とする導電性ボール搭載装置。
- 上記当接面は、配列マスクの挿入部の形成されていない非搭載領域に当接するものである請求項1記載の導電性ボール搭載装置。
- 上記当接面は、配列マスクの挿入部が形成された搭載領域を囲むように設けられたものである請求項1または2記載の導電性ボール搭載装置。
- 上記マスク支持手段は、配列マスクとの当接面に吸引口を設け、該吸引口からの吸引力により配列マスクを支持するものであって、マスク支持手段の当接面が振動手段の当接面を兼ねたものである請求項1乃至3のいずれかに記載の導電性ボール搭載装置。
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JP2007201982A JP4883508B2 (ja) | 2007-08-02 | 2007-08-02 | 導電性ボール搭載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007201982A JP4883508B2 (ja) | 2007-08-02 | 2007-08-02 | 導電性ボール搭載装置 |
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JP2009038242A JP2009038242A (ja) | 2009-02-19 |
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