JP5308253B2 - Electronic component mounting device and backup pin for mounting electronic component - Google Patents

Electronic component mounting device and backup pin for mounting electronic component Download PDF

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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

本発明は、電子部品を吸着ノズルを用いて基板上に装着する電子部品装着装置、及びこの基板を裏面から支持するに好適な電子部品装着用のバックアップピンに関する。   The present invention relates to an electronic component mounting apparatus for mounting an electronic component on a substrate using a suction nozzle, and a backup pin for mounting the electronic component suitable for supporting the substrate from the back surface.

電子部品装着装置では、基板上に電子部品を装着する際には、その裏面を複数のバックアップピンで支持することが広く行われている。基板の大きさ、形状、更には基板裏面に先付けされた部品の種類或いは位置等は、製作する基板ごとに異なる。したがって、製作する基板が変われば、バックアップピンの配置も替える必要がある。このバックアップピンの配置替えは、従来は人手で行われていたが、最近は吸着ノズルを用いて自動的に行うように工夫されている。   In an electronic component mounting apparatus, when mounting an electronic component on a substrate, the back surface thereof is widely supported by a plurality of backup pins. The size and shape of the substrate, as well as the type or position of the components attached to the back surface of the substrate, differ depending on the substrate to be manufactured. Therefore, if the substrate to be manufactured changes, it is necessary to change the arrangement of the backup pins. The rearrangement of the backup pins has been conventionally performed manually, but recently, it has been devised so as to be automatically performed using a suction nozzle.

特許文献1は、このバックアップピンの配置替えを自動的に行うため、通常の電子部品吸着用ノズル群の中にバックアップピン用の吸着ノズルをストックし、図6に示すように、バックアップピン61の配置替えでは、バックアップピン用の吸着ノズル62に持ち替えて、バックアップピン61をバックアップピンベース63に配置することが記載されている。バックアップピン61の配置替えが終了すると、基板64が搬入され、バックアップピン61によって裏面を支持するとともに、その表面への電子部品の装着動作が開始する。尚、65はバックアップピン61を真空吸着するための真空通路である。   In Patent Document 1, in order to automatically perform the rearrangement of the backup pin, a backup pin suction nozzle is stocked in a normal electronic component suction nozzle group, and as shown in FIG. In the rearrangement, it is described that the backup pin 61 is arranged on the backup pin base 63 by switching to the suction nozzle 62 for the backup pin. When the rearrangement of the backup pins 61 is completed, the substrate 64 is carried in, the back surface is supported by the backup pins 61, and the mounting operation of the electronic components on the front surface is started. Reference numeral 65 denotes a vacuum passage for vacuum-sucking the backup pin 61.

このような配置替えは、高速にかつ細かな作業が求められ、バックアップピンの脱落や配置ミス等も心配されることから、特許文献2では、バックアップピンが適切に配置されたことを確認するバックアップピン認識装置についても提案されている。   Such rearrangement requires high-speed and fine work, and there is a concern about backup pin dropping or placement mistakes. Therefore, in Patent Document 2, a backup for confirming that the backup pin is properly placed is provided. A pin recognition device has also been proposed.

特開平5−152782号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-152782 特開平11−340693号公報JP 11-340693 A

バックアップピンの配置替えが不安定となる一つの要因として、吸着ノズルによるバックアップピンの吸着精度の問題がある。   One factor that makes the rearrangement of the backup pins unstable is the problem of the accuracy of suction of the backup pins by the suction nozzle.

特許文献1では、図6に示すように、バックアップピンと吸着ノズルとの接触部にテーパー面を形成することで、吸着ノズルへのバックアップピンの挿入を容易としているが、その反面、バックアップピンが傾斜し易く、少しの傾きで真空がリークし、脱落し易い等の問題がある。   In Patent Document 1, as shown in FIG. 6, it is easy to insert the backup pin into the suction nozzle by forming a tapered surface at the contact portion between the backup pin and the suction nozzle. On the other hand, the backup pin is inclined. There is a problem that the vacuum leaks with a slight inclination and is easily dropped.

特許文献2では、このテーパー面を止め、バックアップピンにフランジを設けて水平面とし、吸着ノズル先端部の吸着口内側に小さなテーパーを形成することで、バックアップピンの挿入を容易にした構成が開示されている。しかし、このテーパー部で形成される空間が、吸着力を弱めると共に、バックアップピンの微小な傾斜を許容することになることから、前記特許文献1の場合と同様に、バックアップピンの少しの傾きで真空がリークし易いという問題があることが解った。   Patent Document 2 discloses a configuration that facilitates insertion of the backup pin by stopping the taper surface, providing a flange with the backup pin, forming a horizontal surface, and forming a small taper inside the suction port at the tip of the suction nozzle. ing. However, since the space formed by the tapered portion weakens the attractive force and allows a slight inclination of the backup pin, as in the case of Patent Document 1, the inclination of the backup pin is small. It was found that there was a problem that the vacuum was likely to leak.

他方、最近は電子部品の微細化・多様化が一段と進み、基板の裏面に先付けされる電子部品も微細化・多様化すると共に搭載間隔が狭くなる傾向にあることから、この基板裏面における支持位置も制約が多く、厳しくなる傾向にある。   On the other hand, recently, electronic components have been further miniaturized and diversified, and electronic components pre-attached to the back side of the substrate have also been miniaturized and diversified, and the mounting interval tends to be narrowed. However, there are many restrictions and tend to be severe.

そこで本発明は、このような最近の傾向にも対応し、その主な目的とするところは、基板裏面に先付けされた電子部品との干渉を避けることが容易で、かつ、バックアップピンの自動配置替え作業の信頼性を向上することの出来る電子部品装着装置、更にはそのためのバックアップピンを提供することにある。   Therefore, the present invention also responds to such a recent trend, and the main purpose thereof is to easily avoid interference with electronic components attached to the back side of the substrate, and automatic placement of backup pins. An object is to provide an electronic component mounting apparatus capable of improving the reliability of replacement work, and further to provide a backup pin therefor.

上記目的を達成するための、本発明の主な特徴は、バックアップピンを吸着ノズルを用いて配置するようにした電子部品装着装置において、バックアップピンの形状、特に吸着ノズルの吸着口に嵌合する部分の形状を、基板を支持する基板支柱部、テーパー部、及びバックアップピン本体に繋がる嵌合支柱部とから形成し、このテーパー部の勾配を利用することで基板支柱部の径を嵌合支柱部の径より小さくすることにより、この基板支柱部の径を調整して基板裏面に先付けされた電子部品との干渉を回避することを可能とし、且つ、テーパー部を利用して吸着ノズルの挿入を容易にしつつ、嵌合支柱部との作用で吸着力を高め、精度の高いバックアップピンの吸着を可能にしたところにある。   In order to achieve the above object, the main feature of the present invention is that in the electronic component mounting apparatus in which the backup pin is arranged using the suction nozzle, the shape of the backup pin, particularly, the suction port of the suction nozzle is fitted. The shape of the part is formed from a substrate support portion supporting the substrate, a taper portion, and a fitting support portion connected to the backup pin body, and the diameter of the substrate support portion is adjusted by using the gradient of the taper portion. By making it smaller than the diameter of the part, it is possible to adjust the diameter of the board support part to avoid interference with electronic components attached to the back of the board, and use the taper part to insert the suction nozzle This makes it easy to attract the back-up pin with high accuracy by increasing the attracting force by the action with the fitting support.

本発明の他の目的及び特徴については、以下述べる実施例で詳述する。   Other objects and features of the present invention will be described in detail in the following embodiments.

本発明によれば、基板裏面に先付けされた電子部品との干渉性が少なく、かつ精度の高いバックアップピンの吸着が可能となるので、バックアップピンの自動配置替え作業の信頼性、ひいては装着信頼性の高い電子部品装着装置、及びそのためのバックアップピンを提供することができる。   According to the present invention, since the back-up pin can be attracted with high accuracy and less interference with the electronic components attached to the back surface of the substrate, the reliability of the automatic rearrangement work of the backup pin, and hence the mounting reliability. It is possible to provide a high electronic component mounting apparatus and a backup pin therefor.

本発明に使用するバックアップピン用吸着ノズルの一実施例断面図である。It is sectional drawing of one Example of the suction nozzle for backup pins used for this invention. 本発明によるバックアップピンの一実施例の側面図である。It is a side view of one Example of the backup pin by this invention. 本発明によるバックアップピンの吸着動作説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a backup pin suction operation according to the present invention. 本発明によるバックアップピンの他の実施例の側面図である。It is a side view of the other Example of the backup pin by this invention. 本発明を適用した電子部品装着装置の一実施例の平面図である。It is a top view of one Example of the electronic component mounting apparatus to which this invention is applied. 従来のバックアップピンの説明図である。It is explanatory drawing of the conventional backup pin.

以下、本発明の実施の形態について、図示する実施例を用いて具体的に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the illustrated examples.

先ず、本発明を適用した電子部品装着装置の全体構成について、図5に示す一実施例平面図を用いて説明する。図示するように、電子部品装着装置50の基台59上に、種々の電子部品を供給するための電子部品供給装置53が、着脱可能に、複数個並んで設置されている。対向する部品供給装置53群の間には、基板搬送コンベア51が設けられている。基板搬送コンベア51は、矢印Fの方向から搬送されてくる基板52を、基板搬送レール60に沿って搬送及び位置決めする。図では、左側の部分にのみ基板52が挿入され、右側部分はバックアップピンベース61の全面が見えている状態を示す。基板搬送レール60は基板52の大きさに合わせて移動可能な可動式であり、また、基板52の裏面は、図示する位置でバックアップピンにより支持されて、その表面に電子部品が装着される。   First, an overall configuration of an electronic component mounting apparatus to which the present invention is applied will be described with reference to a plan view of an embodiment shown in FIG. As shown in the figure, a plurality of electronic component supply devices 53 for supplying various electronic components are detachably arranged on a base 59 of the electronic component mounting device 50 in a detachable manner. A substrate transport conveyor 51 is provided between the opposing component supply devices 53 group. The substrate transport conveyor 51 transports and positions the substrate 52 transported from the direction of the arrow F along the substrate transport rail 60. In the figure, the substrate 52 is inserted only in the left portion, and the right portion shows the state where the entire surface of the backup pin base 61 is visible. The substrate transport rail 60 is movable so as to be movable according to the size of the substrate 52, and the back surface of the substrate 52 is supported by a backup pin at the position shown in the figure, and an electronic component is mounted on the front surface.

55は、基板52が搬送される方向と同方向に長い一対のXビームであり、その両端部には図示していないアクチュエータ(例えば、リニアモータなど)が取り付けられている。このアクチュエータによりXビーム55は、基板52が搬送される方向と直交する方向に、Yビーム57に沿って移動可能に支持されており、部品供給装置53と基板52との間を行き来することが可能である。さらにXビーム55には、図示していないアクチュエータ(例えば、リニアモータなど)により、Xビーム55の長手方向に、Xビームに沿って移動する部品吸着装着装置54が設置されている。部品供給装置53と基板搬送コンベア51との間には、認識カメラ56と吸着ノズル保管部58が配置され、バックアップピン吸着用の吸着ノズルもこの保管部58に保管されている。また、バックアップピンは、バックアップピンベース61の隅に設けられたバックアップピン保管部62に、必要な本数だけ保管されている。   Reference numeral 55 denotes a pair of X beams that are long in the same direction as the direction in which the substrate 52 is transported, and actuators (for example, linear motors) (not shown) are attached to both ends thereof. By this actuator, the X beam 55 is supported so as to be movable along the Y beam 57 in a direction orthogonal to the direction in which the substrate 52 is conveyed, and can move back and forth between the component supply device 53 and the substrate 52. Is possible. Further, the X beam 55 is provided with a component suction mounting device 54 that moves along the X beam in the longitudinal direction of the X beam 55 by an actuator (not shown) (for example, a linear motor). A recognition camera 56 and a suction nozzle storage unit 58 are arranged between the component supply device 53 and the substrate transport conveyor 51, and a suction pin for suctioning a backup pin is also stored in the storage unit 58. Further, as many backup pins as necessary are stored in a backup pin storage unit 62 provided at a corner of the backup pin base 61.

認識カメラ56は、部品供給装置53にて部品吸着装着装置54に吸着した電子部品の位置ずれ情報を取得するためのもので、電子部品が基板搬送方向及び基板搬送方向と直交する方向にどれだけ位置ずれしているか、また回転角度はどの程度か等の情報を、電子部品を撮影することにより確認することがきる。また、電子部品が吸着されているか否かを確認することもできることから、この認識カメラ56を利用して、前記特許文献2に記載されているように、バックアップピン吸着時の吸着状態も確認することができる。   The recognition camera 56 is for acquiring positional deviation information of the electronic component sucked by the component suction mounting device 54 by the component supply device 53, and how much the electronic component is in the substrate transport direction and the direction orthogonal to the substrate transport direction. It is possible to confirm information such as the positional deviation and the rotation angle by photographing the electronic component. In addition, since it is possible to confirm whether or not the electronic component is attracted, the recognition state at the time of attracting the backup pin is also confirmed using the recognition camera 56 as described in Patent Document 2. be able to.

ノズル保管部58は、種々の電子部品を吸着するための吸着ノズルを保管しておくところであるが、前記したように、ここに保管されているバックアップピン吸着用のノズルを、部品吸着装着装置54に取り付けることで、バックアップピンの配置替え作業を行う。即ち、バックアップピンの配置替え動作時には、部品吸着装着装置54は、自身のX方向への移動とXビーム55のY方向への移動との並行動作により、先ずバックアップピンベース61上の配置換えが必要なバックアップピンを吸着して取り去り、次にそのバックアップピン又はバックアップピン保管部62からバックアップピンを吸着して、バックアップピンベース61上の指定された位置にバックアップピンを装着するわけである。   The nozzle storage unit 58 stores a suction nozzle for sucking various electronic components. As described above, the nozzle for suctioning the backup pin stored therein is used as the component suction mounting device 54. Reattach the backup pin by attaching it to. That is, at the time of the rearrangement operation of the backup pin, the component suction mounting device 54 first rearranges the backup pin base 61 by the parallel operation of the movement in the X direction and the movement of the X beam 55 in the Y direction. The necessary backup pins are sucked and removed, and then the backup pins are sucked from the backup pins or the backup pin storage unit 62, and the backup pins are mounted at specified positions on the backup pin base 61.

次に、このノズル保管部58に保管されるバックアップピン用吸着ノズル、及びバックアップピン保管部62に保管されるバックアップピンの一実施例について、図1及び図2を用いて説明する。   Next, an example of a backup pin suction nozzle stored in the nozzle storage unit 58 and a backup pin stored in the backup pin storage unit 62 will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

図1はバックアップピン用吸着ノズルの断面図であり、図に示すように、バックアップピン用吸着ノズル1は、バックアップピンを吸着する吸着口3、及びバックアップピンを真空吸引するための真空通路2から成る。   FIG. 1 is a cross-sectional view of a backup pin suction nozzle. As shown in the figure, the backup pin suction nozzle 1 includes a suction port 3 for sucking the backup pin and a vacuum passage 2 for vacuum suction of the backup pin. Become.

図2はバックアップピンの側面図であり、バックアップピンベース4上に、バックアップピン5が設置されている状態を示す。図示するように、バックアップピン5の上部には、基板の裏面を支持する基板支持部5a、テーパー部5b、嵌合支柱部5c、及び段差部5dが形成されており、この部分がバックアップピン用吸着ノズル1の吸着口に嵌合する。   FIG. 2 is a side view of the backup pin, and shows a state where the backup pin 5 is installed on the backup pin base 4. As shown in the figure, a substrate support portion 5a for supporting the back surface of the substrate, a taper portion 5b, a fitting support portion 5c, and a step portion 5d are formed on the upper portion of the backup pin 5, and this portion is used for the backup pin. It fits into the suction port of the suction nozzle 1.

次に、図3を用いて吸着動作の詳細を説明する。図は、バックアップピン用吸着ノズル1の吸着口3に、バックアップピン5の先端部分が嵌合し、真空通路2からの真空吸引により、吸着している状態を示す。   Next, details of the suction operation will be described with reference to FIG. The figure shows a state where the tip of the backup pin 5 is fitted to the suction port 3 of the backup pin suction nozzle 1 and is sucked by vacuum suction from the vacuum passage 2.

本発明では、基板支持部5aと嵌合支柱部5cとの間にテーパー部5bを設けているので、その勾配を調整することで、基板支持部5aの径を任意に形成することが出来る。従って、基板の裏面に先付けされる電子部品の微細化に合わせてその径を小さくすることができ、厚さの大きい電子部品に対しても、その支持部5aの長さを選定することで容易に対応することが出来る。   In the present invention, since the tapered portion 5b is provided between the substrate support portion 5a and the fitting support portion 5c, the diameter of the substrate support portion 5a can be arbitrarily formed by adjusting the gradient. Therefore, the diameter can be reduced in accordance with the miniaturization of the electronic component attached to the back surface of the substrate, and it is easy to select the length of the support portion 5a even for the electronic component having a large thickness. Can be supported.

他方、吸着力は主に嵌合支柱部5cの径Bと隙間Dに依存するが、この嵌合支柱部5cの径Bも、テーパー部5bの勾配を調整することで、任意の大きさに形成することができる。併せて、この嵌合支柱部5cの長さAを十分確保することで、吸着力を高める一方、バックアップピン5の傾きを抑制することができるので、バックアップピンの揺れによる真空のリークを極力小さくすることができ、更には脱落を防止することができる。   On the other hand, the adsorption force mainly depends on the diameter B and the gap D of the fitting support portion 5c. The diameter B of the fitting support portion 5c can also be set to an arbitrary size by adjusting the gradient of the tapered portion 5b. Can be formed. At the same time, by securing a sufficient length A of the fitting support 5c, the suction force can be increased while the inclination of the backup pin 5 can be suppressed, so that the vacuum leakage due to the back-up pin swing is minimized. Further, it is possible to prevent the dropout.

実験によれば、嵌合支柱部5cの径Bと吸着口3の内径C、及び嵌合支柱部5cの長さAを以下の寸法で形成することで、従来に比べて揺れに強い安定した吸着力で、信頼性の高い配置替え作業を実現することが出来た。   According to the experiment, the diameter B of the fitting support 5c, the inner diameter C of the suction port 3, and the length A of the fitting support 5c are formed with the following dimensions, so that they are more stable against shaking than in the past. With the adsorption power, we were able to realize highly reliable relocation work.

A=5.0mm、B=3.4mm、C=3.5mm
この場合の嵌合支柱部5cと吸着口Cとの径の差Dは、0.1mmとなり、この狭い間隔により、吸引力が維持され、かつ段差部5dの平坦部との面接触とも作用して、バックアップピン5の垂直度も維持されて、揺れによる真空のリークを十分抑制することができることが解った。
A = 5.0mm, B = 3.4mm, C = 3.5mm
In this case, the difference D in the diameter between the fitting support 5c and the suction port C is 0.1 mm. Due to this narrow space, the suction force is maintained and the surface contact with the flat portion of the stepped portion 5d also acts. Thus, it was found that the verticality of the backup pin 5 is also maintained, and the vacuum leak due to shaking can be sufficiently suppressed.

このことは、吸着ノズル1の吸着口3の内径Cと嵌合支柱部5a径Bとの径差Dが一定となる区間Aが、その径差Dの25倍以上であることを示し、嵌合支柱部5cの長さAがこの値以上であれば、バックアップピン5の傾きを抑制しつつ十分な吸着力を維持することができ、この場合の嵌合支柱部5cの径Bは、吸着ノズル1の吸着口3の内径Cの0.94倍以上となることが解った。   This indicates that the section A in which the diameter difference D between the suction port 3 of the suction nozzle 1 and the fitting support portion 5a diameter B is constant is 25 times or more of the diameter difference D. If the length A of the combined support portion 5c is equal to or greater than this value, a sufficient suction force can be maintained while suppressing the inclination of the backup pin 5, and the diameter B of the fitting support portion 5c in this case is the suction force. It was found that the inner diameter C of the suction port 3 of the nozzle 1 was 0.94 times or more.

本実施例によれば、このような嵌合支柱部5cの径Bも、テーパー部5bの傾きを調整することで容易に実現することができ、かつ、このテーパー部5bの傾きによって、吸着ノズル1への挿入時のガイドを兼ねることが出来る。   According to the present embodiment, the diameter B of the fitting support portion 5c can be easily realized by adjusting the inclination of the tapered portion 5b, and the suction nozzle can be formed by the inclination of the tapered portion 5b. Can also serve as a guide for insertion into 1.

前記したように、バックアップピン5の吸着力は、嵌合支柱部5cの径Bに依存する。一方、基板支持部5aの長さは、基板裏面への先付け電子部品の種類によっては、ある程度の長さを確保する必要があり、テーパー部5bの長さも、上記した吸着ノズル1の挿入時のガイドのためにある程度の長さが必要になる場合もある。このような場合に、吸着ノズル1の吸着口の長さが不足すると、更に別の吸着ノズルを準備しておく必要がある。   As described above, the suction force of the backup pin 5 depends on the diameter B of the fitting support portion 5c. On the other hand, the length of the substrate support portion 5a needs to be secured to some extent depending on the type of electronic components attached to the back surface of the substrate, and the length of the tapered portion 5b is also the same as that when the suction nozzle 1 is inserted. Some length may be required for the guide. In such a case, if the length of the suction port of the suction nozzle 1 is insufficient, it is necessary to prepare another suction nozzle.

図5は、このような場合に好適なバックアップピンの他の実施例であり、バックアップピン5の嵌合支柱部5cの径Bを大きくすることで、吸着力を増やすと共に、その支柱部5cの長さAを短く抑えた例を示す。加えて、本実施例では、フランジ5eを設けることで、吸着ノズル1の先端との接触面を確保し、バックアップピン5の本体の径は変更不要としている。   FIG. 5 shows another embodiment of the backup pin suitable for such a case. By increasing the diameter B of the fitting support portion 5c of the backup pin 5, the suction force is increased and the support portion 5c An example in which the length A is kept short will be shown. In addition, in this embodiment, by providing the flange 5e, a contact surface with the tip of the suction nozzle 1 is secured, and the diameter of the main body of the backup pin 5 is not required to be changed.

この様に本実施例においては、バックアップピン5の嵌合支柱部5cの径Bを大きくするわけであるが、このような場合にも、テーパー部5bの傾きを調整することで容易に対応することができる。   As described above, in this embodiment, the diameter B of the fitting support portion 5c of the backup pin 5 is increased. However, such a case can be easily dealt with by adjusting the inclination of the tapered portion 5b. be able to.

1・・・吸着ノズル
2・・・真空通路
3・・・吸着ノズルの吸着口
4・・・バックアップピンベース
5・・・バックアップピン
5a・・・基板支持部
5b・・・テーパー部
5c・・・嵌合支柱部
50・・・電子部品装着装置
52・・・基板
53・・・電子部品供給装置
56・・・認識カメラ
58・・・吸着ノズル保管部
60・・・基板搬送レール
61・・・バックアップピンベース
62・・・バックアップピン保管部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Adsorption nozzle 2 ... Vacuum passage 3 ... Adsorption port 4 of an adsorption nozzle ... Backup pin base 5 ... Backup pin 5a ... Substrate support part 5b ... Taper part 5c ...・ Fitting support 50 ... Electronic component mounting device 52 ... Substrate 53 ... Electronic component supply device 56 ... Recognition camera 58 ... Suction nozzle storage unit 60 ... Substrate transport rail 61 ...・ Backup pin base 62 ... Backup pin storage

Claims (6)

基板上に電子部品を装着する装置であって、上記基板の裏面をバックアップピンで支持し、当該バックアップピンを吸着ノズルを用いて配置するようにした電子部品装着装置において、上記吸着ノズルによって吸着され、当該吸着ノズルの吸着口に嵌合する部分のバックアップピンの形状を、上記基板を支持する基板支柱部、テーパー部、及びバックアップピン本体に繋がる嵌合支柱部とから形成し、上記テーパー部は上記基板支柱部の径を上記嵌合支柱部の径より小さくする勾配を有し、上記基板支柱部は上記径で所定の長さに形成され、上記嵌合支柱部に繋がる上記バックアップピン本体は、当該嵌合支柱部の径よりも大きく、且つ吸着時に上記吸着ノズル先端と接する段差部を形成してなり、上記段差部より下の部分がストレートに形成されたことを特徴とする電子部品装着装置。 An apparatus for mounting an electronic component on a substrate, wherein the back surface of the substrate is supported by a backup pin, and the backup pin is arranged using a suction nozzle, and is sucked by the suction nozzle. The shape of the portion of the backup pin that fits into the suction port of the suction nozzle is formed from a substrate post portion that supports the substrate, a taper portion, and a fitting post portion that connects to the backup pin body, and the taper portion is the diameter of the substrate struts have a gradient smaller than the diameter of the fitting struts, the substrate support portion is formed in a predetermined length in the radial, the backup pin body connected to the fitting strut A step portion that is larger than the diameter of the fitting support column and that contacts the tip of the suction nozzle during suction, and a portion below the step portion is straight. An electronic component mounting apparatus characterized in that it is. 請求項において、前記吸着ノズルの先端と前記バックアップピンの段差部とは、吸着時に互いに面接触する平坦部を形成してなることを特徴とする電子部品装着装置。 The electronic component mounting apparatus according to claim 1 , wherein the tip of the suction nozzle and the step portion of the backup pin form a flat portion that is in surface contact with each other during suction. 請求項1において、前記嵌合支柱部の長さは、前記吸着ノズルの吸着口の内径と嵌合支柱部の外径との径差が一定となる区間が、その径差の25倍以上となるようにしたことを特徴とする電子部品装着装置。   In claim 1, the length of the fitting strut portion is a section where the diameter difference between the inner diameter of the suction port of the suction nozzle and the outer diameter of the fitting strut portion is constant is 25 times or more of the diameter difference. An electronic component mounting apparatus characterized by comprising: 請求項において、前記嵌合支柱部の径は、前記吸着ノズルの吸着口の内径の0.94倍以上としたことを特徴とする電子部品装着装置。 4. The electronic component mounting apparatus according to claim 3 , wherein the diameter of the fitting support portion is 0.94 times or more the inner diameter of the suction port of the suction nozzle. 電子部品が装着される基板の裏面を支持し、吸着ノズルによってバックアップピン取付け面に配置される電子部品装着用バックアップピンにおいて、上記バックアップピンは、吸着ノズルの吸着口に嵌合する部分のバックアップピンの形状を基板支柱部とテーパー部と嵌合支柱部とから形成し、上記テーパー部は上記基板支柱部の径を上記嵌合支柱部の径より小さくするための勾配を有し、上記基板支柱部は上記径で所定の長さに形成され、上記嵌合支柱部に繋がる上記バックアップピン本体は、当該嵌合支柱部の径よりも大きく、且つ吸着時に上記吸着ノズル先端と接する段差部を形成してなり、上記段差部より下の部分がストレートに形成されたことを特徴とする電子部品装着用バックアップピン。 An electronic component mounting backup pin that supports the back surface of the substrate on which the electronic component is mounted and is arranged on the backup pin mounting surface by the suction nozzle. of a shape formed of a substrate support portion and the tapered portion and the fitting support portion, the tapered portion have a slope for smaller than the diameter of the fitting strut diameter of the substrate support portion, the substrate support column The part is formed to a predetermined length with the diameter, and the backup pin main body connected to the fitting support part is larger than the diameter of the fitting support part and forms a step part that contacts the tip of the suction nozzle during suction. A back-up pin for mounting an electronic component, wherein a portion below the step portion is formed straight . 請求項において、前記吸着ノズル先端と前記バックアップピンの段差部とは、吸着時に互いに面接触する平坦部を形成してなることを特徴とする電子部品装着用バックアップピン。 In claim 5, the pre-Symbol suction nozzle tip and the stepped portion of the backup pins, the backup pins for electronic component mounting, characterized in that by forming a flat portion to each other in surface contact during adsorption.
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