JP5302776B2 - 水晶片集合基板 - Google Patents
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Description
まず、平板で平面視略長方形の水晶板の表裏主面全面に耐食性膜を形成する。その耐食性膜上全面にレジスト膜を形成する。そのレジスト膜のうち、貫通部802となる部分及び水晶片820の各振動腕部に設けられる溝部824となる部分にあるレジスト膜を、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術により耐食性膜上から除去する。
本発明の目的は、水晶板及び折取部の折れを低減し、又製造工数を増やすことなく製造できる水晶片集合基板を提供することにある。
これにより、本発明は、水晶板及び折取部の折れを低減させ、又製造工数を増やすことなく水晶片集合基板を製造することができる。
尚、各図では、説明を明りょうにするため構造体の一部を図示せず、また寸法も一部誇張して図示している。特に図3、図5、図6、図7、図8及び図9の厚さ寸法は誇張して図示している。
図1及び図2に示すように、水晶片集合基板100は、水晶板101と、折取部110と、接続部120と、水晶片130とから概略構成される。
w 尚、第一の溝部102、第二の溝部103、第三の溝部111及び水晶片の各振動腕部に設けられた溝部134以外の水晶板101、折取部110、接続部120及び水晶片130の厚さは、同一の厚さとなっている。
まず、平板で平面視略長方形の水晶板の表裏主面全面に耐食性膜を形成する。その耐食性膜上全面にレジスト膜を形成する。そのレジスト膜のうち、貫通部104となる部分、各第一の溝部102となる部分、各第二の溝部103となる部分、各第三の溝部111となる部分、及び水晶片の各振動腕部に設けられる溝部124となる部分にあるレジスト膜を、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術により耐食性膜上より除去する。
よって、本発明は、水晶板101、折取部110及び接続部120の折れを低減でき、又製造工数を増やすことなく水晶片集合基板100を製造することができる。
次に、本発明の実施形態に係る水晶片集合基板の第一の変形例について説明する。図6は、本発明の実施形態に係る水晶片集合基板の第一の変形例を示す部分断面図である。尚、図6は、図3と同一箇所の断面図である。発明の実施形態になる水晶片集合基板の第一の変形例は、水晶板101の一方の主面のみに、第一の溝部102と第二の溝部103と第三の溝部111が設けられている点で前記実施形態と異なる。尚、このように水晶片集合基板100の第一の変形例を構成しても、本発明の実施形態と同様の効果を奏する。
次に、本発明の実施形態に係る水晶片集合基板の第二の変形例について説明する。図7は、本発明の実施形態に係る水晶片集合基板の第二の変形例を示す部分断面図である。尚、図7は、図3と同一箇所の断面図である。発明の実施形態になる水晶片集合基板の第二の変形例は、水晶板101の表裏主面に設けられた第一の溝部102及び第二の溝部103において、表主面に設けられた第一の溝部102及び第二の溝部103の底面と、その第一の溝部102及び第二の溝部103に対応する裏主面に設けられた第一の溝部102と第二の溝部103の底面が対向しないように設けられている点で前記実施形態と異なる。尚、このように水晶片集合基板100の第二の変形例を構成しても、本発明の実施形態と同様の効果を奏する。
次に、本発明の実施形態に係る水晶片集合基板100のさらなる変形例について説明する。前記した実施の形態、第一の変形例及び第二の変形例における水晶片130の外形形状は一例であって、本発明を限定するものではない。例えば、水晶片の外形形状は四角形状や、基部から4つの腕部が延設されたH型形状でも良い。
図8(a)に示すように、例えば、外形形状が四角形状の水晶片には、結晶軸の一つであるX軸に沿った長辺を有する、平板状の水晶板全体で厚さが同じである平板型の水晶片300がある。第三の溝部111が設けられた接続部120は、結晶軸の一つであるZ′軸に沿った水晶片300の一方の短辺の側面301の中央部に、接続部120の長さ方向の他方端が一体で繋がっている。
又、図8(b)に示すように、外形形状が四角形状の水晶片には、結晶軸の一つであるX軸に沿った長辺を有する平板形状の水晶板311の表裏主面に凸部312を有し、この凸部312を振動部とするいわゆるメサ型の水晶片310もある。第三の溝部111が設けられた接続部120は、結晶軸の一つであるZ′軸に沿った水晶片310の一方の短辺の側面313の中央部に、接続部120の長さ方向の他方端が一体で繋がっている。
更に、図8(c)に示すように、外形形状が四角形状の水晶片には、結晶軸の一つであるX軸に沿った長辺を有する平板状の水晶板321の一方の主面側に、開口部が四角形状の凹部322を有し、この凹部322の底面を振動部とするいわゆる逆メサ型の水晶片320もある。第三の溝部111が設けられた接続部120は、結晶軸の一つであるZ′軸に沿った水晶片320の一方の短辺の側面323の中央部に、接続部120の長さ方向の他方端が一体で繋がっている。このような水晶片集合基板100のさらなる変形例を構成しても、本発明の実施形態と同様の効果を奏する。
外形形状がH型形状をした水晶片は、例えば角速度センサ素子の構成部品として用いられている。図8に示すように、例えば水晶片400は、X´軸に沿って長辺を有する四角形状の基部401と、この基部401からY´軸に沿って延出する一対の励振用腕部402と、この励振用腕部402とは反対側に基部401から延出する一対の検出用腕部403と、この基部401には、素子搭載部材に固定するための支持部404が一対の検出用腕部403の間に設けられている。第三の溝部111が設けられた接続部120は、この支持部404の先端部のX′軸に沿った辺の側面405の中央部に、接続部120の長さ方向の他方端が一体で繋がっている。このような水晶片集合基板100のさらなる変形例を構成しても、本発明の実施形態と同様の効果を奏する。
101・・・水晶板
102・・・第一の溝部
103・・・第二の溝部
104・・・貫通部
110・・・折取部
111・・・第三の溝部
120・・・接続部
130,300,310,320,400・・・水晶片
131・・・基部
132・・・第一の振動腕部
133・・・第二の振動腕部
134・・・溝部
Claims (2)
- 少なくとも一つの貫通部が設けられた水晶板と、
前記貫通部の側面に設けられた複数の折取部と、
それぞれの前記折取部に繋がった接続部と、
前記接続部に繋がった水晶片とを備え、
前記水晶板には、少なくとも一方の主面に所定の間隔を空けて2個一対の第一の溝部が形成されており、前記第一の溝部の間にあって且つ前記第一の溝部と直交する方向に所定の間隔を空けて2個一対の第二の溝部が形成されており、
前記貫通部が、前記第一の溝部と前記第二の溝部とで囲われた部分に形成されており、
前記折取部と前記接続部との少なくとも一方の主面に、前記折取部から前記接続部に至る第三の溝部が設けられていることを特徴とする水晶片集合基板。 - 前記水晶片の外形形状が四角形状、音叉形状、H型形状のいずれかであることを特徴とする請求項1記載の水晶片集合基板。
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JP2009130027A JP5302776B2 (ja) | 2009-05-29 | 2009-05-29 | 水晶片集合基板 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009130027A JP5302776B2 (ja) | 2009-05-29 | 2009-05-29 | 水晶片集合基板 |
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