JP5301567B2 - アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機 - Google Patents

アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機 Download PDF

Info

Publication number
JP5301567B2
JP5301567B2 JP2010542044A JP2010542044A JP5301567B2 JP 5301567 B2 JP5301567 B2 JP 5301567B2 JP 2010542044 A JP2010542044 A JP 2010542044A JP 2010542044 A JP2010542044 A JP 2010542044A JP 5301567 B2 JP5301567 B2 JP 5301567B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
capacitor
pixel
pixel electrode
signal line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2010542044A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2010067639A1 (ja
Inventor
俊英 津幡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2010542044A priority Critical patent/JP5301567B2/ja
Publication of JPWO2010067639A1 publication Critical patent/JPWO2010067639A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5301567B2 publication Critical patent/JP5301567B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136213Storage capacitors associated with the pixel electrode
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1343Electrodes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/1368Active matrix addressed cells in which the switching element is a three-electrode device
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1343Electrodes
    • G02F1/134309Electrodes characterised by their geometrical arrangement
    • G02F1/134345Subdivided pixels, e.g. for grey scale or redundancy
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136259Repairing; Defects

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Description

本発明は、1画素領域に複数の画素電極を設けるアクティブマトリクス基板およびこれを用いた液晶表示装置(画素分割方式)に関する。
液晶表示装置のγ特性の視野角依存性を向上させる(例えば、画面の白浮き等を抑制する)ため、1画素に設けた複数の副画素を異なる輝度に制御し、これら副画素の面積階調によって中間調を表示する液晶表示装置(画素分割方式、例えば特許文献1参照)が提案されている。
特許文献1記載のアクティブマトリクス基板では、図47に示すように、1つの画素領域に、3つの画素電極121a〜121cがデータ信号線115に沿って並べられ、トランジスタ116のソース電極116sがコンタクト電極117aに繋がり、コンタクト電極117aと制御電極118とが引き出し配線119を介して接続され、制御電極118とコンタクト電極117bとが引き出し配線126を介して接続され、コンタクト電極117aと画素電極121aとがコンタクトホール120aを介して接続され、コンタクト電極117bと画素電極121cとがコンタクトホール120bを介して接続され、電気的にフローティングとされた画素電極121bが絶縁層を介して制御電極118に重なっており、画素電極121bは、画素電極121a・121cそれぞれに対して容量結合されている(容量結合型の画素割方式)。また、制御電極118と容量配線113との重なり部分に保持容量が形成されている。このアクティブマトリクス基板を用いた液晶表示装置では、画素電極121a・121cに対応する副画素それぞれを明副画素、画素電極121bに対応する副画素を暗副画素とすることができ、これら明副画素(2個)・暗副画素(1個)の面積階調によって中間調を表示することができる。
日本国公開特許公報「特開2006−39290号公報(公開日:2006年2月9日)」
しかしながら、図47のアクティブマトリクス基板では、例えば、制御電極118と画素電極121bとが短絡してしまった場合、引き出し配線119を切断することでデータ信号線から画素電極121bに信号電位が書き込まれることを回避することはできるものの、画素電極121bが、画素電極121aに容量結合されなくなってしまう。
このように、従来のアクティブマトリクス基板では画素電極121bに対応する副画素(暗副画素)が欠陥となり易く、歩留まりが低下するおそれがある。
上記課題に鑑み、本発明では、容量結合型の画素分割方式のアクティブマトリクス基板において、その歩留まりを向上させうる構成を提案する。
本アクティブマトリクス基板は、走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1および第2画素電極が設けられたアクティブマトリクス基板であって、上記第1画素電極は、上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続され、上記第1および第2画素電極のうちの一方の画素電極に電気的に接続された第1および第2容量電極を備え、上記第1および第2画素電極のうちの他方の画素電極と上記第1容量電極との間で容量が形成され、該他方の画素電極と上記第2容量電極との間で容量が形成されていることを特徴とする。
上記構成は、容量結合型の画素分割方式のアクティブマトリクス基板において、1画素領域に設けられる第1および第2画素電極を2つの容量(結合容量)を介して接続するものである。これにより、製造工程等において一方の容量に不具合が発生しても他方の容量によって第1および第2画素電極の容量結合を維持することができる。例えば、第1容量電極および第2容量電極が第1画素電極に電気的に接続されるとともに、第1容量電極と第2画素電極との間で容量が形成され、第2容量電極と第2画素電極との間で容量が形成される構成において、第1容量電極と第2画素電極とが短絡してしまった場合でも、第1容量電極を、第1画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断することで、第2容量電極と第2画素電極との間に形成される容量(結合容量)により、第1および第2画素電極の容量結合を維持することができる。これにより、本アクティブマトリクス基板およびこれを備えた液晶パネルの製造歩留まりを高めることができる。
本アクティブマトリクス基板では、上記トランジスタの一方の導通電極と、上記第1容量電極と、上記第2容量電極とが同層に形成されている構成とすることもできる。これにより、アクティブマトリクス基板のレイヤー構造および製造工程を簡易化することができる。
本アクティブマトリクス基板では、上記第1容量電極の少なくとも一部が、上記トランジスタのチャネルを覆う層間絶縁膜を介して上記他方の画素電極と重なり、上記第2容量電極の少なくとも一部が、上記層間絶縁膜を介して上記他方の画素電極と重なっている構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、上記第1および第2画素電極の外周は複数の辺からなるとともに、上記第1画素電極の一辺と上記第2画素電極の一辺とが隣接しており、上記第1および第2容量電極それぞれが、この隣接する2辺の間隙と上記第1画素電極と上記第2画素電極とに重なるように配されている構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、上記トランジスタの一方の導通電極がコンタクトホールを介して上記第1画素電極に接続されるとともに、該導通電極が、これから引き出された引き出し配線を介して上記第1容量電極に接続され、上記第1画素電極と上記第2容量電極とがコンタクトホールを介して接続されている構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、上記トランジスタの一方の導通電極と上記第1画素電極とがコンタクトホールを介して接続されるとともに、上記第1画素電極と上記第1容量電極とがコンタクトホールを介して接続され、上記第1画素電極と上記第2容量電極とがコンタクトホールを介して接続されている構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、上記トランジスタの一方の導通電極がコンタクトホールを介して上記第1画素電極に接続され、上記第2画素電極と上記第1容量電極とがコンタクトホールを介して接続されるとともに、上記第2画素電極と上記第2容量電極とがコンタクトホールを介して接続されている構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、走査信号線の延伸方向を行方向として、上記第1および第2画素電極が列方向に並べられている構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、行方向に隣り合う2つの画素領域について、その一方の画素領域における上記第1画素電極と、他方の画素領域における上記第2画素電極とが行方向に隣接している構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、上記第1画素電極が上記第2画素電極を取り囲んでいる構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、上記第2画素電極が上記第1画素電極を取り囲んでいる構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、上記第1画素電極あるいはこれに電気的に接続された導電体と容量を形成するとともに、上記第2画素電極あるいはこれに電気的に接続された導電体と容量を形成する保持容量配線をさらに備える構成とすることもできる。この場合、上記保持容量配線は画素領域中央を横切るように走査信号線と同方向に延伸している構成とすることもできる。また、上記第1容量電極および第2容量電極それぞれが上記保持容量配線と容量を形成している構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、上記保持容量配線は、上記画素領域の中央を横切るように上記走査信号線と同方向に延伸している構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、上記第1容量電極および上記第2容量電極それぞれが、上記保持容量配線と容量を形成している構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、上記層間絶縁膜は無機絶縁膜とこれよりも厚い有機絶縁膜とからなるが、上記第1容量電極と重畳する部分の少なくとも一部と、上記第2容量電極と重畳する部分の少なくとも一部とについては、有機絶縁膜が除去されている構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、上記層間絶縁膜は、上記第1容量電極の一部および上記第2容量電極の一部と重なる領域を含む、上記有機絶縁膜が除去されてなる薄膜部を有し、上記第1および第2容量電極は、走査信号線の延伸方向に並んで配されるとともに、上記第1容量電極は上記薄膜部の1辺を跨ぎ、上記第2容量電極は該1辺に対向する辺を跨いでいる構成とすることもできる。
これにより、例えば、第1および第2容量電極と第2画素電極との間で結合容量が形成される構成において、第1および第2容量電極が行方向にずれた場合でも、第1容量電極および第2画素電極の重なり面積と、第2容量電極および第2画素電極の重なり面積とが補償し合うこととなり、2つの容量(結合容量)の総量が変化しにくいという効果が得られる。
本アクティブマトリクス基板では、上記薄膜部は、上記第1および第2画素電極のいずれか一方と重なっている構成とすることもできる。
これにより、例えば、第1および第2容量電極と第2画素電極との間で結合容量が形成される構成の場合、上記効果に加えて、第1および第2容量電極と第2画素電極との短絡の可能性を低減することができるという効果が得られる。
本アクティブマトリクス基板では、上記第1および第2画素電極の間隙が配向規制構造物として機能する構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板では、上記第1画素電極が上記第2画素電極を取り囲んでおり、上記第2画素電極の外周には互いに平行な2つの辺が含まれるとともに、上記第1画素電極の外周には上記2つの辺の一方と第1間隙を介して対向する辺と、他方と第2間隙を介して対向する辺とが含まれ、上記第1容量電極が、上記第1画素電極と上記第1間隙と上記第2画素電極とに重なるように配されるとともに、上記第2容量電極が、上記第2画素電極と上記第2間隙と上記第1画素電極とに重なるように配される構成とすることもできる。
これにより、第1および第2画素電極のアライメントが第1および第2容量電極に対して上記間隙に直交する方向にずれた場合でも、第1容量電極および第2画素電極の重なり面積と、第2容量電極および第2画素電極の重なり面積とが補償し合うこととなり、2つの容量(結合容量)の総量が変化しにくいというメリットがある。この場合、第1容量電極と第2容量電極とは、第1間隙および第2間隙に平行でかつ両間隙どうしの中心を通る線を軸として、線対称となっている構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板は、走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1、第2および第3画素電極が設けられたアクティブマトリクス基板であって、上記第1画素電極は、上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続され、上記第3画素電極は、上記第1画素電極に電気的に接続され、上記第1画素電極に電気的に接続された第1容量電極と、上記第3画素電極に電気的に接続された第2容量電極とを備え、上記第1容量電極と上記第2画素電極との間で容量が形成され、上記第2容量電極と上記第2画素電極との間で容量が形成されていることを特徴とする。
本アクティブマトリクス基板は、走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1、第2および第3画素電極が設けられたアクティブマトリクス基板であって、上記第1画素電極は、上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続され、上記第3画素電極は、上記第1画素電極に電気的に接続され、上記第2画素電極に電気的に接続された第1および第2容量電極を備え、上記第1容量電極と上記第1画素電極との間で容量が形成され、上記第2容量電極と上記第3画素電極との間で容量が形成されていることを特徴とする。
本アクティブマトリクス基板は、走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1、第2および第3画素電極が設けられたアクティブマトリクス基板であって、上記第2画素電極は、上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続され、上記第2画素電極に電気的に接続された第1および第2容量電極を備え、上記第1容量電極と上記第1画素電極との間で容量が形成され、上記第2容量電極と上記第3画素電極との間で容量が形成されていることを特徴とする。
本アクティブマトリクス基板は、走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1、第2および第3画素電極が設けられたアクティブマトリクス基板であって、上記第2画素電極は、上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続され、上記第1画素電極に電気的に接続された第1容量電極と、上記第3画素電極に電気的に接続された第2容量電極とを備え、上記第1容量電極と上記第2画素電極との間で容量が形成され、上記第2容量電極と上記第2画素電極との間で容量が形成されていることを特徴とする。
本アクティブマトリクス基板は、上記画素領域に第1および第2保持容量配線をさらに備え、上記第1容量電極が上記第1保持容量配線と容量を形成し、上記第2容量電極が上記第2保持容量配線と容量を形成している構成とすることもできる。
本アクティブマトリクス基板の製造方法は、走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1および第2画素電極が設けられ、上記第1画素電極が上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続されたアクティブマトリクス基板の製造方法であって、上記第1および第2画素電極のうちの一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、他方の画素電極と容量を形成する第1容量電極と、上記一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、上記他方の画素電極と容量を形成する第2容量電極とを形成する工程と、上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡、および上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡の少なくとも一方を検出する工程と、上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡が検出された場合には、上記第1容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断し、上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡が検出された場合には、上記第2容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断する工程とを含むことを特徴とする。
本アクティブマトリクス基板の製造方法は、走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1および第2画素電極が設けられ、上記第1画素電極が上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続されたアクティブマトリクス基板の製造方法であって、上記第1および第2画素電極のうちの一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、他方の画素電極および保持容量配線と容量を形成する第1容量電極と、上記一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、上記他方の画素電極および上記保持容量配線と容量を形成する第2容量電極とを形成する工程と、上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡、上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡、上記第1容量電極と上記保持容量配線との短絡、上記第2容量電極と上記保持容量配線との短絡の少なくともいずれか一つを検出する工程と、上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡あるいは上記第1容量電極と上記保持容量配線との短絡が検出された場合には、上記第1容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断し、上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡あるいは上記第2容量電極と上記保持容量配線との短絡が検出された場合には、上記第2容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断する工程とを含むことを特徴とする。
本液晶パネルの製造方法は、走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素に、第1および第2画素電極が設けられ、上記第1画素電極が上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続された液晶パネルの製造方法であって、上記第1および第2画素電極のうちの一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、他方の画素電極と容量を形成する第1容量電極と、上記一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、上記他方の画素電極と容量を形成する第2容量電極とを形成する工程と、上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡、および上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡の少なくとも一方を検出する工程と、上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡が検出された場合には、上記第1容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断し、上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡が検出された場合には、上記第2容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断する工程とを含むことを特徴とする。
本液晶パネルの製造方法は、走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素に、第1および第2画素電極が設けられ、上記第1画素電極が上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続された液晶パネルの製造方法であって、上記第1および第2画素電極のうちの一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、他方の画素電極および保持容量配線と容量を形成する第1容量電極と、上記一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、上記他方の画素電極および上記保持容量配線と容量を形成する第2容量電極とを形成する工程と、上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡、上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡、上記第1容量電極と上記保持容量配線との短絡、上記第2容量電極と上記保持容量配線との短絡の少なくともいずれか一つを検出する工程と、上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡あるいは上記第1容量電極と上記保持容量配線との短絡が検出された場合には、上記第1容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断し、上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡あるいは上記第2容量電極と上記保持容量配線との短絡が検出された場合には、上記第2容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断する工程とを含むことを特徴とする。
本液晶パネルは上記アクティブマトリクス基板を備えることを特徴とする。また、本液晶表示ユニットは、上記液晶パネルとドライバとを備えることを特徴とする。また、本液晶表示装置は、上記液晶表示ユニットと光源装置とを備えることを特徴とする。また、本テレビジョン受像機は、上記液晶表示装置と、テレビジョン放送を受信するチューナー部とを備えることを特徴とする。
以上のように、本発明は、容量結合型の画素分割方式のアクティブマトリクス基板において、1画素領域に設けられる第1および第2画素電極を並列な2つの容量(結合容量)を介して接続するものである。こうすれば、製造工程等において一方の容量に不具合が発生しても他方の容量によって第1および第2画素電極の容量結合を維持することができるため、本アクティブマトリクス基板の製造歩留まりを高めることができる。
本実施の形態1にかかる液晶パネルの構成を示す回路図である。 図1の液晶パネルの一具体例を示す平面図である。 図2のA−B矢視断面図である。 図2の変形構成におけるA−B矢視断面図である。 図1の液晶パネルを備えた液晶表示装置の駆動方法を示すタイミングチャートである。 図5の駆動方法を用いた場合のフレーム毎の表示状態を示す模式図である。 図1に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 図2の液晶パネルの修正方法を示す平面図である。 図1に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 図9の液晶パネルの修正方法を示す平面図である。 図1に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 本実施の形態1にかかる液晶パネルの他の構成を示す回路図である。 図12に示す液晶パネルの具体例を示す平面図である。 本実施の形態1にかかる液晶パネルの他の構成を示す回路図である。 図14の液晶パネルを備えた液晶表示装置に図5の駆動方法を用いた場合のフレーム毎の表示状態を示す模式図である。 図14に示す液晶パネルの具体例を示す平面図である。 本実施の形態1にかかる液晶パネルの他の構成を示す回路図である。 図17に示す液晶パネルの具体例を示す平面図である。 本実施の形態2にかかる液晶パネルの構成を示す回路図である。 図19に示す液晶パネルの具体例を示す平面図である。 図19に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 図19に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 図19に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 図19に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 図19に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 本実施の形態2にかかる液晶パネルの他の構成を示す回路図である。 図26に示す液晶パネルの具体例を示す平面図である。 本実施の形態2にかかる液晶パネルの他の構成を示す回路図である。 図28に示す液晶パネルの具体例を示す平面図である。 図28に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 本実施の形態3にかかる液晶パネルの構成を示す回路図である。 図31に示す液晶パネルの具体例を示す平面図である。 図31に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 図31に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 図31に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 本実施の形態4にかかる液晶パネルの他の構成を示す回路図である。 図36に示す液晶パネルの具体例を示す平面図である。 図36に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 図36に示す液晶パネルの変形例を示す平面図である。 本液晶表示ユニットおよび本液晶表示装置の構成を示す模式図であり、(a)は本液晶表示ユニットの構成を示し、(b)は本液晶表示装置の構成を示す。 本液晶表示装置の全体構成を説明するブロック図である。 本液晶表示装置の機能を説明するブロック図である。 本テレビジョン受像機の機能を説明するブロック図である。 本テレビジョン受像機の構成を示す分解斜視図である。 図1に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 図28に示す液晶パネルの他の具体例を示す平面図である。 従来の液晶パネルの構成を示す平面図である。
本発明にかかる実施の形態の例を、図面を用いて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜のため、以下では走査信号線の延伸方向を行方向とする。ただし、本液晶パネル(あるいはこれに用いられるアクティブマトリクス基板)を備えた液晶表示装置の利用(視聴)状態において、その走査信号線が横方向に延伸していても縦方向に延伸していてもよいことはいうまでもない。また、液晶パネルに形成される配向規制用構造物については、適宜省略記載している。
〔実施の形態1〕
図1は実施の形態1にかかる液晶パネルの一部を示す等価回路図である。図1に示すように、本液晶パネルは、列方向(図中上下方向)に延伸するデータ信号線(15x・15y)、行方向(図中左右方向)に延伸する走査信号線(16x・16y)、行および列方向に並べられた画素(101〜104)、保持容量配線(18p・18q)、および共通電極(対向電極)comを備え、各画素の構造は同一である。なお、画素101・102が含まれる画素列と、画素103・104が含まれる画素列とが隣接し、画素101・103が含まれる画素行と、画素102・104が含まれる画素行とが隣接している。
本液晶パネルでは、1つの画素に対応して1本のデータ信号線と1本の走査信号線とが設けられる。1つの画素に2つの画素電極が列方向に並べられて設けられ、画素101に設けられた2つの画素電極17a・17b、および画素102に設けられた2つの画素電極17c・17dが一列に配されるともに、画素103に設けられた2つの画素電極17A・17B、および画素104に設けられた2つの画素電極17C・17Dが一列に配され、画素電極17aと17A、画素電極17bと17B、画素電極17cと17C、画素電極17dと17Dが、それぞれ行方向に隣接している。また、保持容量配線18pが画素101・103それぞれを横切り、保持容量配線18qが画素102・104それぞれを横切っている。
画素101では、画素電極17a・17bが、並列に配された結合容量Cab1・Cab2を介して接続され、画素電極17aが、走査信号線16xに接続されたトランジスタ12aを介してデータ信号線15xに接続され、画素電極17aと保持容量配線18pとの間に保持容量Cha(Cha1・Cha2)が形成され、画素電極17bと保持容量配線18pとの間に保持容量Chbが形成され、画素電極17aおよび共通電極com間に液晶容量Claが形成され、画素電極17bおよび共通電極com間に液晶容量Clbが形成されている。
また、画素101と列方向に隣接する画素102では、画素電極17c・17dが、並列に配された結合容量Ccd1・Ccd2を介して接続され、画素電極17cが、走査信号線16yに接続されたトランジスタ12cを介してデータ信号線15xに接続され、画素電極17cと保持容量配線18qとの間に保持容量Chc(Chc1・Chc2)が形成され、画素電極17dと保持容量配線18qとの間に保持容量Chdが形成され、画素電極17cおよび共通電極com間に液晶容量Clcが形成され、画素電極17dおよび共通電極com間に液晶容量Cldが形成されている。
また、画素101と行方向に隣接する画素103では、画素電極17A・17Bが、並列に配された結合容量CAB1・CAB2を介して接続され、画素電極17Aが、走査信号線16xに接続されたトランジスタ12Aを介してデータ信号線15yに接続され、画素電極17Aと保持容量配線18pとの間に保持容量ChA(ChA1・ChA2)が形成され、画素電極17Bと保持容量配線18pとの間に保持容量ChBが形成され、画素電極17Aおよび共通電極com間に液晶容量ClAが形成され、画素電極17Bおよび共通電極com間に液晶容量ClBが形成されている。
本液晶パネルを備えた液晶表示装置では、順次走査が行われ、走査信号線16x、16yが順次選択される。例えば、走査信号線16xが選択された場合には、画素電極17aがデータ信号線15xに(トランジスタ12aを介して)接続され、画素電極17aと画素電極17bとが結合容量Cab1・Cab2を介して容量結合されているため、Claの容量値=Clbの容量値=Clとし、Chaの容量値=Chbの容量値=Ch、Cab1の容量値=C1、Cab2の容量値=C2とし、トランジスタ12aがOFFした後の画素電極17aの電位をVa、トランジスタ12bがOFFした後の画素電極17bの電位をVbとすれば、Vb=Va×〔(C1+C2)/(Cl+Ch+C1+C2)〕〕となる。すなわち、|Va|≧|Vb|(なお、例えば|Va|は、Vaとcom電位=Vcomとの電位差を意味する)であるため、中間調表示時には画素電極17aを含む副画素を明副画素、画素電極17bを含む副画素を暗副画素とし、これら明・暗副画素の面積階調によって表示を行うことができる。これにより、上記液晶表示装置の視野角特性を高めることができる。
図1の画素101の具体例を図2に示す。同図に示されるように、データ信号線15xおよび走査信号線16xの交差部近傍にトランジスタ12aが配され、両信号線(15x・16x)で画される画素領域に、長方形形状の画素電極17aと長方形形状の画素電極17bとが列方向に並べられており、第1画素電極の外周をなす4辺のうち1辺と第2画素電極の外周をなす4辺のうち1辺とが隣接している。行方向に延伸する保持容量配線18pは、画素電極17bと重なるように配されている。そして、容量電極37a・38aそれぞれが、保持容量配線18pおよび画素電極17bに重なるように配されている。
より詳細には、容量電極37aは、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17bに重なっている。容量電極38aは、容量電極37aと行方向(上記延伸方向)に並んで配され、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17bに重なっている。
走査信号線16x上には、トランジスタ12aのソース電極8aおよびドレイン電極9aが形成され、ソース電極8aはデータ信号線15xに接続される。ドレイン電極9aはドレイン引き出し配線27aに接続され、ドレイン引き出し配線27aは、同層に形成された容量電極37aに繋がるとともにコンタクトホール11aを介して画素電極17aに接続され、容量電極37aが層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab1(図1参照)が形成される。また、容量電極38aが、コンタクトホール68aを介して画素電極17aに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab2(図1参照)が形成される。さらに、容量電極37aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha1(図1参照)が形成され、容量電極38aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha2(図1参照)が形成される。そして、画素電極17bと保持容量配線18pとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb(図1参照)が形成される。
図3は図2のA−B矢視断面図である。同図に示すように、本液晶パネルは、アクティブマトリクス基板3と、これに対向するカラーフィルタ基板30と、両基板(3・30)間に配される液晶層40とを備える。
アクティブマトリクス基板3では、ガラス基板31上に、走査信号線16xおよび保持容量配線18pが形成され、これらを覆うように無機ゲート絶縁膜22が形成されている。無機ゲート絶縁膜22の上層には、半導体層24(i層およびn+層)と、n+層に接する、ソース電極8aおよびドレイン電極9aと、ドレイン引き出し配線27aと、容量電極37a・38aとが形成され、これらを覆うように無機層間絶縁膜25が形成されている。無機層間絶縁膜25上には画素電極17a・17bが形成され、さらに、これら(画素電極17a・17b)を覆うように配向膜(図示せず)が形成されている。ここで、コンタクトホール11aでは、無機層間絶縁膜25が刳り貫かれており、これによって、画素電極17aとドレイン引き出し配線27aとが接続される。同様に、コンタクトホール(図示せず)では、無機層間絶縁膜25が刳り貫かれており、これによって、画素電極17aと容量電極38aとが接続される。また、ドレイン引き出し配線27aと同層で繋がる容量電極37aは、無機層間絶縁膜25を介して画素電極17bと重なっており、これによって、結合容量Cab1(図1参照)が形成され、容量電極38aは、無機層間絶縁膜25を介して画素電極17bと重なっており、これによって、結合容量Cab2(図1参照)が形成される。また、容量電極37aは無機ゲート絶縁膜22を介して保持容量配線18pと重なっており、これによって、保持容量Cha1(図1参照)が形成され、容量電極38aは無機ゲート絶縁膜22を介して保持容量配線18pと重なっており、これによって、保持容量Cha2(図1参照)が形成される。また、画素電極17bと保持容量配線18pとが、無機層間絶縁膜25および無機ゲート絶縁膜22を介して重なっており、これによって、保持容量Chb(図1参照)が形成される。
一方、カラーフィルタ基板30では、ガラス基板32上に着色層14が形成され、その上層に共通電極(com)28が形成され、さらにこれを覆うように配向膜(図示せず)が形成されている。
図5は図1および図2に示す液晶パネルを備えた本液晶表示装置(ノーマリブラックモードの液晶表示装置)の駆動方法を示すタイミングチャートである。なお、SvおよびSVは、隣接する2本のデータ信号線(例えば、15x・15y)それぞれに供給される信号電位を示し、Gx・Gyは走査信号線16x・16yに供給されるゲートオンパルス信号、Va・Vb、VA・VB、Vc・Vdはそれぞれ、画素電極17a・17b、17A・17B、17c・17dの電位を示している。
この駆動方法では、図5に示されるように、走査信号線を順次選択し、データ信号線に供給する信号電位の極性を1水平走査期間(1H)ごとに反転させるとともに、各フレームにおける同一番目の水平走査期間に供給される信号電位の極性を1フレーム単位で反転させ、かつ同一水平走査期間においては隣接する2本のデータ信号線に逆極性の信号電位を供給する。
具体的には、連続するフレームF1・F2において、F1では、走査信号線を順次選択(例えば、走査信号線16x・16yをこの順に選択)し、隣接する2本のデータ信号線の一方(例えば、データ信号線15x)には、1番目の水平走査期間(例えば、画素電極17aの書き込み期間含む)にプラス極性の信号電位を供給し、2番目の水平走査期間(例えば、画素電極17cの書き込み期間含む)にマイナス極性の信号電位を供給し、上記2本のデータ信号線の他方(例えば、データ信号線15y)には、1番目の水平走査期間(例えば、画素電極17Aの書き込み期間含む)にマイナス極性の信号電位を供給し、2番目の水平走査期間(例えば、画素電極17Cの書き込み期間含む)にプラス極性の信号電位を供給する。これにより、図5に示すように、|Va|≧|Vb|,|Vc|≧|Vd|,|VA|≧|VB|となり、画素電極17a(プラス極性)を含む副画素は明副画素(以下、「明」)、画素電極17b(プラス極性)を含む副画素は暗副画素(以下、「暗」)となり、画素電極17c(マイナス極性)を含む副画素は「明」、画素電極17d(マイナス極性)を含む副画素は「暗」となり、画素電極17A(マイナス極性)を含む副画素は「明」、画素電極17B(マイナス極性)を含む副画素は「暗」となり、全体としては、図6(a)のようになる。
また、F2では、走査信号線を順次選択(例えば、走査信号線16x・16yをこの順に選択)し、隣接する2本のデータ信号線の一方(例えば、データ信号線15x)には、1番目の水平走査期間(例えば、画素電極17aの書き込み期間含む)にマイナス極性の信号電位を供給し、2番目の水平走査期間(例えば、画素電極17cの書き込み期間含む)にプラス極性の信号電位を供給し、上記2本のデータ信号線の他方(例えば、データ信号線15y)には、1番目の水平走査期間(例えば、画素電極17Aの書き込み期間含む)にプラス極性の信号電位を供給し、2番目の水平走査期間(例えば、画素電極17Cの書き込み期間含む)にマイナス極性の信号電位を供給する。これにより、図5に示すように、|Va|≧|Vb|,|Vc|≧|Vd|,|VA|≧|VB|となり、画素電極17a(マイナス)を含む副画素は「明」、画素電極17b(マイナス)を含む副画素は「暗」となり、画素電極17c(プラス極性)を含む副画素は「明」、画素電極17d(プラス極性)を含む副画素は「暗」となり、画素電極17A(プラス極性)を含む副画素は「明」、画素電極17B(プラス極性)を含む副画素は「暗」となり、全体としては、図6(b)のようになる。
なお、図2では配向規制用構造物の記載を省略しているが、例えばMVA(マルチドメインバーティカルアライメント)方式の液晶パネルでは、例えば図7に示すように、画素電極17aに配向規制用のスリットS1〜S4が設けられ、カラーフィルタ基板の画素電極17aに対応する部分に配向規制用のリブL1・L2が設けられ、画素電極17bに配向規制用のスリットS5〜S8が設けられ、カラーフィルタ基板の画素電極17bに対応する部分に配向規制用のリブL3・L4が設けられる。なお、上記のような配向規制用のリブを設ける代わりに、カラーフィルタ基板の共通電極に配向規制用のスリットを設けてもよい。
図2の液晶パネルでは、画素電極17aと画素電極17bとを、並列する2つの結合容量(Cab1・Cab2)によって接続(容量結合)しているため、例えば、図2のPでドレイン引き出し配線27aが(製造工程等において)断線してしまっても、容量電極38aによって画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。また、容量電極37aと、保持容量配線18pあるいは画素電極17bとが(製造工程等において)短絡してしまった場合には、ドレイン引き出し配線27aを、コンタクトホール11a以降の部分で切断するか、あるいは、容量電極37aを、画素電極17aとの接続箇所および短絡箇所の間でレーザ切断する修正工程を行うことにより、画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。また、容量電極38aと保持容量配線18pあるいは画素電極17bとが短絡した場合には、容量電極38aを、コンタクトホール68aおよび短絡箇所の間でレーザ切断すればよい。
アクティブマトリクス基板の段階で上記修正工程を行う場合には、アクティブマトリクス基板の裏面(ガラス基板側)から、ドレイン引き出し配線27a(コンタクトホール11a以降の部分)にレーザを照射してこれを切断する(図8参照)か、あるいは、アクティブマトリクス基板のおもて面(ガラス基板の反対側)から、画素電極17a・17bの間隙を介してドレイン引き出し配線27aにレーザを照射してこれを切断することになる。また、液晶パネル段階で上記修正工程を行う場合には、液晶パネル裏面(アクティブマトリクス基板のガラス基板側)から、ドレイン引き出し配線27a(コンタクトホール11a以降の部分)にレーザを照射してこれを切断することになる。
以上から、本実施の形態によれば、液晶パネルやこれに用いられるアクティブマトリクス基板の製造歩留まりを高めることができる。なお、図47に示す従来のアクティブマトリクス基板(参照)では、引き出し配線119が断線してしまうと、画素電極121bの電位制御が不可能となる。また、制御電極118と容量配線113とが短絡してしまった場合、引き出し配線119を切断することで画素電極121aへの信号電位の書き込みは可能となるものの、画素電極121bが、画素電極121a・121cに容量結合されなくなってしまう。
また、図2の液晶パネルでは、容量電極37a・38aそれぞれが、画素電極17bおよび保持容量配線18pと重なっている。このように、結合容量を形成するために設けた容量電極37a・38aを、保持容量を形成するための電極としても機能させることで、開口率を高めることができる。
次に、本液晶パネルの製造方法について説明する。液晶パネルの製造方法には、アクティブマトリクス基板製造工程と、カラーフィルタ基板製造工程と、両基板を貼り合わせて液晶を充填する組み立て工程とが含まれる。また、アクティブマトリクス基板製造工程および組み立て工程の少なくとも一方の途中あるいはその後に検査工程を行い、検査工程において画素(副画素)欠陥が検出された場合には、その修正をするための修正工程が追加される。
以下に、アクティブマトリクス基板製造工程について説明する。
まず、ガラス、プラスチックなどの基板上に、チタン、クロム、アルミニウム、モリブデン、タンタル、タングステン、銅などの金属膜、それらの合金膜、または、それらの積層膜(厚さ1000Å〜3000Å)をスパッタリング法により成膜し、その後、フォトリソグラフィー技術(Photo Engraving Process、以下、「PEP技術」と称する)によりパターンニングを行い、走査信号線やトランジスタのゲート電極(走査信号線がゲート電極を兼ねる場合もある)および保持容量配線を形成する。
次いで、走査信号線などが形成された基板全体に、CVD(Chemical Vapor Deposition)法により窒化シリコンや酸化シリコンなどの無機絶縁膜(厚さ3000Å〜5000Å程度)を成膜し、ゲート絶縁膜を形成する。
続いて、ゲート絶縁膜上(基板全体)に、CVD法により真性アモルファスシリコン膜(厚さ1000Å〜3000Å)と、リンがドープされたn+アモルファスシリコン膜(厚さ400Å〜700Å)とを連続して成膜し、その後、PEP技術によってパターニングを行い、ゲート電極上に、真性アモルファスシリコン層とn+アモルファスシリコン層とからなるシリコン積層体を島状に形成する。
続いて、シリコン積層体が形成された基板全体に、チタン、クロム、アルミニウム、モリブデン、タンタル、タングステン、銅などの金属膜、それらの合金膜、または、それらの積層膜(厚さ1000Å〜3000Å)をスパッタリング法により成膜し、その後、PEP技術によりパターンニングを行い、データ信号線、トランジスタのソース電極・ドレイン電極、ドレイン引き出し配線および容量電極を形成する。
さらに、ソース電極およびドレイン電極をマスクとして、シリコン積層体を構成するn+アモルファスシリコン層をエッチング除去し、トランジスタのチャネルを形成する。ここで、半導体層は、上記のようにアモルファスシリコン膜により形成させてもよいが、ポリシリコン膜を成膜させてもよく、また、アモルファスシリコン膜およびポリシリコン膜にレーザアニール処理を行って結晶性を向上させてもよい。これにより、半導体層内の電子の移動速度が速くなり、トランジスタ(TFT)の特性を向上させることができる。
次いで、データ信号線などが形成された基板全体に、CVD法により窒化シリコンや酸化シリコンなどの無機絶縁膜(厚さ2000Å〜5000Å)を成膜して、無機層間絶縁膜を形成する。
その後、PEP技術により層間絶縁膜をエッチング除去して、コンタクトホールを形成する。続いて、コンタクトホールが形成された層間絶縁膜上の基板全体に、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、酸化亜鉛、酸化スズなどからなる透明導電膜(厚さ1000Å〜2000Å)をスパッタリング法により成膜し、その後、PEP技術によりパターニングし、各画素電極を形成する。
最後に、画素電極上の基板全体に、ポリイミド樹脂を厚さ500Å〜1000Åで印刷し、その後、焼成して、回転布にて1方向にラビング処理を行って、配向膜を形成する。以上のようにして、アクティブマトリクス基板が製造される。
以下に、カラーフィルタ基板製造工程について説明する。
まず、ガラス、プラスチックなどの基板上(基板全体)に、クロム薄膜、または黒色顔料を含有する樹脂を成膜した後にPEP技術によってパターンニングを行い、ブラックマトリクスを形成する。次いで、ブラックマトリクスの間隙に、顔料分散法などを用いて、赤、緑および青のカラーフィルタ層(厚さ2μm程度)をパターン形成する。
続いて、カラーフィルタ層上の基板全体に、ITO、IZO、酸化亜鉛、酸化スズなどからなる透明導電膜(厚さ1000Å程度)を成膜し、共通電極(com)を形成する。
最後に、共通電極上の基板全体に、ポリイミド樹脂を厚さ500Å〜1000Åで印刷し、その後、焼成して、回転布にて1方向にラビング処理を行って、配向膜を形成する。上記のようにして、カラーフィルタ基板を製造することができる。
以下に、組み立て工程について、説明する。
まず、アクティブマトリクス基板およびカラーフィルタ基板の一方に、スクリーン印刷により、熱硬化性エポキシ樹脂などからなるシール材料を液晶注入口の部分を欠いた枠状パターンに塗布し、他方の基板に液晶層の厚さに相当する直径を持ち、プラスチックまたはシリカからなる球状のスペーサーを散布する。
次いで、アクティブマトリクス基板とカラーフィルタ基板とを貼り合わせ、シール材料を硬化させる。
最後に、アクティブマトリクス基板およびカラーフィルタ基板並びにシール材料で囲まれる空間に、減圧法により液晶材料を注入した後、液晶注入口にUV硬化樹脂を塗布し、UV照射によって液晶材料を封止することで液晶層を形成する。以上のようにして、液晶パネルが製造される。
以下に、アクティブマトリクス基板製造工程の途中(例えば、画素電極形成後で配向膜の形成前)あるいはアクティブマトリクス基板製造工程後に行う第1検査工程について説明する。第1検査工程では、アクティブマトリクス基板に対して、外観検査や電気光学検査などを行うことにより、短絡発生箇所(短絡部)を検出する。短絡には、例えば、容量電極と保持容量配線との短絡や容量電極と画素電極との短絡がある。なお、外観検査とは、CCDカメラなどにより、配線パターンを光学的に検査するものであり、電気光学検査とは、アクティブマトリクス基板に対向するようにモジュレータ(電気光学素子)を設置した後、アクティブマトリクス基板とモジュレータとの間に電圧を印加させると共に光を入射させて、その光の輝度の変化をCCDカメラで捉えることで配線パターンを電気光学的に検査するものである。
短絡箇所が検出された場合には、短絡した容量電極あるいはこれに接続する導電体部分(例えば、ドレイン引き出し配線)をレーザ切断する修正工程を行う。このレーザ切断には、例えば、YAG(Yttrium Aluminium Garnet)レーザの第4高調波(波長266nm)を用いる。こうすれば、切断精度を高めることができる。また、短絡箇所が検出された場合に、短絡した容量電極にコンタクトホールを介して接続する画素電極のうち、該コンタクトホール内の部分をレーザ等により除去(トリミング)する修正工程を行う場合もある。なお、第1検査工程後に行われる修正工程では、通常、アクティブマトリクス基板のおもて面(画素電極側)あるいは裏面(基板側)からのレーザ照射が可能である。
なお、第1検査工程および修正工程は、画素電極の形成後のほか、容量電極の形成後、または、トランジスタのチャネル形成後に行ってもよい。こうすれば、製造工程のより初期の段階で欠陥を修正することができ、アクティブマトリクス基板の製造歩留りを高めることができる。
次に、組み立て工程の後に行う第2検査工程について説明する。この第2検査工程では、液晶パネルに対して点灯検査を行うことにより、短絡箇所を検出する。短絡には、例えば、容量電極と保持容量配線との短絡や容量電極と画素電極との短絡がある。具体的には、例えば、各走査信号線にバイアス電圧−10V、周期16.7msec、パルス幅50μsecの+15Vのパルス電圧のゲート検査信号を入力して全てのTFTをオン状態にする。さらに、各データ信号線に16.7msec毎に極性が反転する±2Vの電位のソース検査信号を入力して、各TFTのソース電極およびドレイン電極を介して画素電極に±2Vに対応した信号電位を書き込む。同時に、共通電極(com)および保持容量配線に直流で−1Vの電位の共通電極検査信号を入力する。このとき、画素電極と共通電極との間で構成される液晶容量、および保持容量配線と容量電極との間で構成される保持容量に電圧が印加され、その画素電極で構成する副画素が点灯状態になる。そして短絡箇所では、その画素電極と保持容量配線が導通して、黒点となる(ノーマリーブラック)。これにより、短絡箇所が検出される。
短絡箇所が検出された場合には、短絡した容量電極あるいはこれに接続する導電体部分(例えば、ドレイン引き出し配線)をレーザ切断する修正工程を行う。なお、第2検査工程後に行われる修正工程では、通常、アクティブマトリクス基板の裏面(アクティブマトリクス基板の基板側)からレーザ照射を行うこととなる。
ところで、図2のA−B断面を図4のように構成することもできる。すなわち、ガラス基板31上に厚い有機ゲート絶縁膜21と薄い無機ゲート絶縁膜22とを形成し、画素電極の下層に薄い無機層間絶縁膜25と厚い有機層間絶縁膜26とを形成する。こうすれば、各種寄生容量の低減、配線同士の短絡防止、および平坦化による画素電極の裂け等の低減といった効果が得られる。なおこの場合には、図4に示すように、有機ゲート絶縁膜21については容量電極37a・38a下に位置する部分を刳り貫いておき、有機層間絶縁膜26については容量電極37a・38a上に位置する部分を刳り貫いておくことが好ましい。こうすれば、結合容量(Cab1・Cab2)の容量値および保持容量(Cha1・Cha2・Chb)の容量値を十分に確保しながら、上記の効果を得ることができる。
また、有機層間絶縁膜26の刳り貫き部(薄膜部51a)は、図45の点線部で示すような領域であることがより好ましい。具体的には、図45に示すように、薄膜部51aは第1辺(J1)〜第4辺(J4)により矩形状に形成され、容量電極37aが第1辺(J1)を跨ぎ、容量電極37aと行方向に並んで配される容量電極38aが第1辺(J1)に対向する第3辺(J3)を跨いでいる。これにより、容量電極37a・38aが行方向にずれた場合でも、容量電極37aおよび画素電極17bの重なり面積と、容量電極38aおよび画素電極17bの重なり面積とが補償し合うこととなり、2つの容量(結合容量)の総量が変化しにくいという効果が得られる。なお、この構成は、本実施の形態において後述する各液晶パネルにも適用可能であることは言うまでもない。
図4の無機層間絶縁膜25、有機層間絶縁膜26およびコンタクトホール11a・11bは例えば、以下のようにして形成することができる。すなわち、トランジスタ(TFT)やデータ信号線を形成した後、SiHガスとNHガスとNガスとの混合ガスを用い、基板全面を覆うように、厚さ約3000ÅのSiNxからなる無機層間絶縁膜25(パッシベーション膜)をCVDにて形成する。その後、厚さ約3μmのポジ型感光性アクリル樹脂からなる有機層間絶縁膜26をスピンコートやダイコートにて形成する。続いて、フォトリソグラフィーを行って有機層間絶縁膜26の刳り貫き部分および各種のコンタクト用パターンを形成し、さらに、パターニングされた有機層間絶縁膜26をマスクとし、CFガスとOガスとの混合ガスを用いて、無機層間絶縁膜25をドライエッチングする。具体的には、例えば、有機層間絶縁膜の刳り貫き部分についてはフォトリソグラフィー工程でハーフ露光とすることで現像完了時に有機層間絶縁膜が薄く残膜するようにしておく一方、コンタクトホール部分については上記フォトリソグラフィー工程でフル露光することで現像完了時に有機層間絶縁膜が残らないようにしておく。ここで、CFガスとOガスとの混合ガスでドライエッチングを行えば、有機層間絶縁膜の刳り貫き部分については(有機層間絶縁膜の)残膜が除去され、コンタクトホール部分については有機層間絶縁膜下の無機層間絶縁膜が除去されることになる。なお、有機ゲート絶縁膜21や有機層間絶縁膜26は、例えば、SOG(スピンオンガラス)材料からなる絶縁膜であってもよく、また、有機ゲート絶縁膜21や有機層間絶縁膜26に、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ノボラック樹脂、およびシロキサン樹脂の少なくとも1つが含まれていてもよい。
図2の画素101を図9のように変形してもよい。図9の構成では、トランジスタ12aのドレイン電極9aを、コンタクトホール11aを介して画素電極17aに接続し、画素電極17aと容量電極37aとをコンタクトホール67aを介して接続する。こうすれば、ドレイン電極9aと容量電極37aとを接続するドレイン引き出し配線を短縮でき、開口率を高めることができる。また、図9の液晶パネルでは、画素電極17aと画素電極17bとを、並列する2つの結合容量(Cab1・Cab2)によって接続(容量結合)しているため、製造工程等でコンタクトホール67aが形成不良となった場合でも、画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。また、容量電極37aと、保持容量配線18pあるいは画素電極17bとが(製造工程等において)短絡してしまった場合には、図10に示すように、画素電極17aのうちコンタクトホール67a内の部分をレーザ等により除去(トリミング)して画素電極17aと容量電極37aとを電気的に切り離すことで、画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。
ここで、保持容量Chbの容量値は信頼性の観点から大きい方が好ましい。そこで、保持容量Chbは、図11に示す構成により形成されていてもよい。すなわち、図11に示すように、容量電極37a・38aと同層に形成された保持容量電極39bが、コンタクトホール69bを介して画素電極17bに接続されることによって、保持容量電極39bと保持容量配線18pとの間で保持容量Chbが形成される。この構成の場合には、図2のように画素電極17bと保持容量配線18pとの間で保持容量Chbを形成する場合に比べて、それらの間に介在する絶縁膜を少なく(薄く)できるため、保持容量値を稼ぐことができる。また、保持容量Chbを形成する絶縁膜を薄くできるため、保持容量値の大きさを変えずに保持容量配線18pの幅を狭くすることもでき、信頼性を低下させることなく開口率の向上が図れるという効果も得られる。
ここで、図1の液晶パネルでは、1画素に設けられる2つの画素電極のうちトランジスタに近接する方を該トランジスタに接続しているが、これに限定されない。図12のように、1画素に設けられる2つの画素電極のうちトランジスタから遠い方を該トランジスタに接続してもよい。図12の画素101の具体例を図13に示す。図13の液晶パネルでは、データ信号線15xおよび走査信号線16xの交差部近傍にトランジスタ12aが配され、両信号線(15x・16x)で画される画素領域に、長方形形状の画素電極17aと長方形形状の画素電極17bとが列方向に並べられており、第1画素電極の外周をなす4辺のうち1辺と第2画素電極の外周をなす4辺のうち1辺とが隣接している。行方向に延伸する保持容量配線18pは、画素電極17aと重なるように配されている。そして、容量電極37b・38bそれぞれが、保持容量配線18pおよび画素電極17aに重なるように配されている。
より詳細には、容量電極37bは、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17aに重なっている。容量電極38bは、容量電極37bと行方向(上記延伸方向)に並んで配され、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17aに重なっている。
走査信号線16x上には、トランジスタ12aのソース電極8aおよびドレイン電極9aが形成され、ソース電極8aはデータ信号線15xに接続される。ドレイン電極9aはドレイン引き出し配線27aに接続され、ドレイン引き出し配線27aは、同層に形成された容量電極37bに繋がるとともにコンタクトホール11bを介して画素電極17bに接続され、容量電極37bが層間絶縁膜を介して画素電極17aと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab1(図12参照)が形成される。また、容量電極38bが、コンタクトホール68bを介して画素電極17bに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17aと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab2(図12参照)が形成される。さらに、容量電極37bがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb1(図12参照)が形成され、容量電極38bがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb2(図12参照)が形成される。また、画素電極17aと保持容量配線18pとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha(図12参照)が形成される。
図13の液晶パネルでは、画素電極17aを含む副画素は「暗」、画素電極17bを含む副画素は「明」となる。
図13の液晶パネルでは、画素電極17aと画素電極17bとを、並列する2つの結合容量(Cab1・Cab2)によって接続(容量結合)しているため、例えば、図13のPで、容量電極37bと画素電極17aとが(製造工程等において)短絡してしまった場合には、容量電極37bを、コンタクトホール11bおよび短絡箇所の間でレーザ切断する修正工程を行うことにより、画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。また、容量電極38bと画素電極17aとが短絡した場合には、容量電極38bを、コンタクトホール68bおよび短絡箇所の間でレーザ切断すればよい。
図1の液晶パネルを図14に示す構成としてもよい。図14では、行方向に隣り合う2つの画素の一方ではトランジスタに近接する方の画素電極を該トランジスタに接続し、他方ではトランジスタから遠い方の画素電極を該トランジスタに接続している。
図14の液晶パネルを備えた液晶表示装置においてデータ信号線15x・15yを図5のように駆動すると、フレームF1では、画素電極17a(プラス極性)を含む副画素は「明」、画素電極17b(プラス極性)を含む副画素は「暗」となり、画素電極17c(マイナス極性)を含む副画素は「明」、画素電極17d(マイナス極性)を含む副画素は「暗」となり、画素電極17A(マイナス極性)を含む副画素は「暗」、画素電極17B(マイナス極性)を含む副画素は「明」となり、全体としては、図15(a)のようになる。また、フレームF2では、画素電極17a(マイナス極性)を含む副画素は「明」、画素電極17b(マイナス極性)を含む副画素は「暗」となり、画素電極17c(プラス極性)を含む副画素は「明」、画素電極17d(プラス極性)を含む副画素は「暗」となり、画素電極17A(プラス極性)を含む副画素は「暗」、画素電極17B(プラス極性)を含む副画素は「明」となり、全体としては、図15(b)のようになる。
図14の液晶パネルによれば、明副画素同士が行方向に並んだり、暗副画素同士が行方向に並んだりすることがなくなるため、行方向のスジムラを低減することができる。
図14の画素101・103の具体例を図16に示す。同図に示されるように、画素101では、データ信号線15xおよび走査信号線16xの交差部近傍にトランジスタ12aが配され、両信号線(15x・16x)で画される画素領域に、長方形形状の画素電極17aと長方形形状の画素電極17bとが列方向に並べられており、第1画素電極の外周をなす4辺のうち1辺と第2画素電極の外周をなす4辺のうち1辺とが隣接している。また、行方向に延伸する保持容量配線18pが、この隣接する2辺の間隙(画素電極17a・17bの間隙)全体と重なるように配されている。そして、容量電極37a・38aそれぞれが、保持容量配線18pおよび画素電極17bに重なるように配されている。
より詳細には、容量電極37aは、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17bに重なっている。容量電極38aは、容量電極37aと行方向(上記延伸方向)に並んで配され、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17bに重なっている。
走査信号線16x上には、トランジスタ12aのソース電極8aおよびドレイン電極9aが形成され、ソース電極8aはデータ信号線15xに接続される。ドレイン電極9aはドレイン引き出し配線27aに接続され、ドレイン引き出し配線27aは、同層に形成された容量電極37aに繋がるとともにコンタクトホール11aを介して画素電極17aに接続され、容量電極37aが層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab1(図14参照)が形成される。また、容量電極38aが、コンタクトホール68aを介して画素電極17aに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab2(図14参照)が形成される。さらに、容量電極37aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha1(図14参照)の多くが形成され、容量電極38aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha2(図14参照)の多くが形成される。また、画素電極17bと保持容量配線18pとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb(図14参照)が形成される。
一方、画素103では、データ信号線15yおよび走査信号線16xの交差部近傍にトランジスタ12Aが配され、両信号線(15y・16x)で画される画素領域に、長方形形状の画素電極17Aと長方形形状の画素電極17Bとが列方向に並べられており、第1画素電極の外周をなす4辺のうち1辺と第2画素電極の外周をなす4辺のうち1辺とが隣接している。また、行方向に延伸する保持容量配線18pが、この隣接する2辺の間隙(画素電極17A・17Bの間隙)全体と重なるように配されている。そして、容量電極37B・38Bそれぞれが、保持容量配線18pおよび画素電極17Aに重なるように配されている。
より詳細には、容量電極37Bは、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17Aに重なっている。容量電極38Bは、容量電極37Bと行方向(上記延伸方向)に並んで配され、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17Aに重なっている。
走査信号線16x上には、トランジスタ12Aのソース電極8Aおよびドレイン電極9Aが形成され、ソース電極8Aはデータ信号線15yに接続される。ドレイン電極9Aはドレイン引き出し配線27Aに接続され、ドレイン引き出し配線27Aは、同層に形成された容量電極37Bに繋がるとともにコンタクトホール11Bを介して画素電極17Bに接続され、容量電極37Bが層間絶縁膜を介して画素電極17Aと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17A・17B間の結合容量CAB1(図14参照)が形成される。また、容量電極38Bが、コンタクトホール68Bを介して画素電極17Bに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17Aと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17A・17B間の結合容量CAB2(図14参照)が形成される。さらに、容量電極37Bがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量ChB1(図14参照)の多くが形成され、容量電極38Bがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量ChB2(図14参照)の多くが形成される。そして、画素電極17Aと保持容量配線18pとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量ChA(図14参照)が形成される。
ここで、上述した各液晶パネルでは、容量電極が、明副画素となる副画素に対応する画素電極に電気的に接続される構成であるが、これに限定されない。本液晶パネルは、図17のように、容量電極が、暗副画素となる副画素に対応する画素電極に電気的に接続される構成であってもよい。図17の画素の具体例101を図18に示す。
図18の液晶パネルでは、データ信号線15xおよび走査信号線16xの交差部近傍にトランジスタ12aが配され、両信号線(15x・16x)で画される画素領域に、長方形形状の画素電極17aと長方形形状の画素電極17bとが列方向に並べられており、第1画素電極の外周をなす4辺のうち1辺と第2画素電極の外周をなす4辺のうち1辺とが隣接している。行方向に延伸する保持容量配線18pは、画素電極17aと重なるように配されている。そして、容量電極37b・38bそれぞれが、保持容量配線18pおよび画素電極17aに重なるように配されている。
より詳細には、容量電極37bは、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17aに重なっている。容量電極38bは、容量電極37bと行方向(上記延伸方向)に並んで配され、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17aに重なっている。
走査信号線16x上には、トランジスタ12aのソース電極8aおよびドレイン電極9aが形成され、ソース電極8aはデータ信号線15xに接続される。ドレイン電極9aはドレイン引き出し配線27aに接続され、ドレイン引き出し配線27aは、コンタクトホール11aを介して画素電極17aに接続される。また、容量電極37bが、コンタクトホール67bを介して画素電極17bに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17aと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab1(図17参照)が形成される。また、容量電極38bがコンタクトホール68bを介して画素電極17bに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17aと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab2(図17参照)が形成される。また、容量電極37bがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb1(図17参照)が形成され、容量電極38bがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb2(図17参照)が形成される。また、画素電極17aと保持容量配線18pとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha(図17参照)が形成される。
図18の液晶パネルでは、画素電極17aを含む副画素は「明」、画素電極17bを含む副画素は「暗」となる。
図18の液晶パネルでは、画素電極17aと画素電極17bとを、並列する2つの結合容量(Cab1・Cab2)によって接続(容量結合)しているため、例えば、図18のPで、容量電極37bと画素電極17aとが(製造工程等において)短絡してしまった場合には、容量電極37bを、コンタクトホール67bおよび短絡箇所の間でレーザ切断する修正工程を行うことにより、画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。また、容量電極38bと画素電極17aとが短絡した場合には、容量電極38bを、コンタクトホール68bおよび短絡箇所の間でレーザ切断すればよい。
なお、図17に示したような、暗副画素となる副画素に対応する画素電極に容量電極を電気的に接続する構成は、上述した各液晶パネルにも適用可能であることはいうまでもない。
〔実施の形態2〕
図19は実施の形態2にかかる液晶パネルの一部を示す等価回路図である。図19に示すように、本液晶パネルでは、列方向(図中上下方向)に延伸するデータ信号線(15x・15y)、行方向(図中左右方向)に延伸する走査信号線(16x・16y)、行および列方向に並べられた画素(101〜104)、保持容量配線(18p・18q)、および共通電極(対向電極)comを備え、各画素の構造は同一である。なお、画素101・102が含まれる画素列と、画素103・104が含まれる画素列とが隣接し、画素101・103が含まれる画素行と、画素102・104が含まれる画素行とが隣接している。
本液晶パネルでは、1つの画素に対応して1本のデータ信号線と1本の走査信号線とが設けられる。また、1画素に、2つの画素電極が、その一方が他方を取り囲むように設けられ、画素101に、画素電極17bとこれを取り囲む画素電極17aとが設けられ、画素102に、画素電極17dとこれを取り囲む画素電極17cとが設けられ、画素103に、画素電極17Bとこれを取り囲む画素電極17Aとが設けられ、画素104に、画素電極17Dとこれを取り囲む画素電極17Cとが設けられている。
図19の画素101の具体例を図20に示す。同図に示されるように、データ信号線15xおよび走査信号線16xの交差部近傍にトランジスタ12aが配され、両信号線(15x・16x)で画される画素領域に、行方向に視てV字形状をなす画素電極17bとこれを取り囲む画素電極17aとが配され、保持容量配線18pが画素中央を横切って行方向に延伸している。具体的には、画素電極17bは、保持容量配線18p上にあって行方向に対して略90°をなす第1辺と、第1辺の一端から行方向に対して略45°をなして延伸する第2辺と、第1辺の他端から行方向に対して略315°をなして延伸する第3辺と、保持容量配線18p上に一端を有し、第2辺に平行でかつこれよりも短い4辺と、第4辺の一端に接続され、第3辺に平行でかつこれよりも短い5辺と、第2および第4辺とを繋ぐ第6辺と、第3および第5辺を繋ぐ第7辺とを備えており、画素電極17aの内周は、上記第1〜第7辺に対向する7つの辺からなる。
なお、画素電極17bの第1辺とこれに対向する画素電極17aの内周の一辺との間隙が第1間隙K1となっており、画素電極17bの第2辺とこれに対向する画素電極17aの内周の一辺との間隙が第2間隙K2となっており、画素電極17bの第3辺とこれに対向する画素電極17aの内周の一辺との間隙が第3間隙K3となっており、画素電極17bの第4辺とこれに対向する画素電極17aの内周の一辺との間隙が第4間隙K4となっており、画素電極17bの第5辺とこれに対向する画素電極17aの内周の一辺との間隙が第5間隙K5となっている。そして、容量電極37a・38aそれぞれが、第1間隙K1と画素電極17aと画素電極17bとに重なるように配されている。より詳細には、容量電極37a・38aは、ともに第1間隙K1と交差するように行方向に延伸する形状であって、それぞれが、保持容量配線18pと重なるように列方向に並べられている。
走査信号線16x上には、トランジスタ12aのソース電極8aおよびドレイン電極9aが形成され、ソース電極8aはデータ信号線15xに接続される。ドレイン電極9aはドレイン引き出し配線27aに接続され、ドレイン引き出し配線27aはコンタクトホール11aを介して画素電極17aに接続される。また、容量電極37aが、コンタクトホール67aを介して画素電極17aに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab1(図19参照)が形成される。また、容量電極38aが、コンタクトホール68aを介して画素電極17aに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab2(図19参照)が形成される。さらに、容量電極37aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha1(図19参照)の多くが形成され、容量電極38aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha2(図19参照)の多くが形成される。そして、画素電極17bと保持容量配線18pとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb(図19参照)が形成される。
図20の液晶パネルでは、画素電極17aと画素電極17bとを、並列する2つの結合容量(Cab1・Cab2)によって接続(容量結合)しているため、例えば、容量電極37aと保持容量配線18pあるいは画素電極17bとが(製造工程等において)短絡してしまった場合には、容量電極37aを、コンタクトホール67aおよび短絡箇所の間でレーザ切断する修正工程を行うことにより、画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。さらに、製造工程等でコンタクトホール67aが形成不良となった場合でも、画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。なお、容量電極38aと保持容量配線18pあるいは画素電極17bとが短絡した場合には、容量電極38aを、コンタクトホール68aおよび短絡箇所の間でレーザ切断すればよい。
上記修正工程を行う場合には、アクティブマトリクス基板のおもて面(ガラス基板の反対側)から、画素電極17a・17bの間隙を介して容量電極37aにレーザを照射してこれを切断する。ただこの場合、容量電極37aおよび保持容量配線18p間の短絡を新たに生じさせてしまう懸念がある。この懸念を解消するためには、保持容量配線18pに、第1間隙K1と重なるような開口部を形成しておけばよい。
なお、容量電極37aと保持容量配線18pあるいは画素電極17bとが短絡してしまった場合に、画素電極17aのうちコンタクトホール67a内の部分をレーザ等により除去(トリミング)して画素電極17aと容量電極37aとを電気的に切り離すことによっても、画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。
以上から、本実施の形態によれば、液晶パネルやこれに用いられるアクティブマトリクス基板の製造歩留まりを高めることができる。
また、図20の液晶パネルでは、容量電極37aは画素電極17bおよび保持容量配線18pと重なり、容量電極38aは画素電極17bおよび保持容量配線18pと重なっている。このように、結合容量を形成するために設けた容量電極37a・38aを、保持容量を形成するための電極としても機能させることで、開口率を高めることができる。
また、図20の液晶パネルでは、電気的にフローティングとなる画素電極17bを画素電極17aが取り囲んでいるため、この画素電極17aがシールド電極として機能し、画素電極17bへの電荷の飛び込み等を抑制することができる。これにより、画素電極17bを含む副画素(暗副画素)の焼き付きを抑制することができる。
なお、図20では配向規制用構造物の記載を省略しているが、例えばMVA(マルチドメインバーティカルアライメント)方式の液晶パネルでは、例えば図21に示すように、画素電極17a・17bの間隙K2〜K5が配向規制用構造物として機能し、カラーフィルタ基板の画素電極17bに対応する部分に、間隙K2・K4に平行なリブL3と、間隙K3・K5に平行なリブL4とが設けられ、カラーフィルタ基板の画素電極17aに対応する部分に、間隙K2・K4に平行なリブL1・L5と、間隙K3・K5に平行なリブL2・L6とが設けられる。なお、上記のような配向規制用のリブを設ける代わりに、カラーフィルタ基板の共通電極に配向規制用のスリットを設けてもよい。
図20の画素101を図22のように変形してもよい。図22の構成では、容量電極37a・38aは、第3間隙K3と交差するように行方向に対して315°をなして延伸する形状であって、ともに保持容量配線18pとは重ならない。
なお、トランジスタ12aのドレイン電極9aは、ドレイン引き出し配線27aに接続され、ドレイン引き出し配線27aはコンタクトホール11aを介して画素電極17aに接続される。また、容量電極37aが、コンタクトホール67aを介して画素電極17aに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab1(図19参照)が形成される。また、容量電極38aが、コンタクトホール68aを介して画素電極17aに接続されるとともに、容量電極38aが層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab2(図19参照)が形成される。また、画素電極17aの一部がゲート絶縁膜および層間絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha(図19のCha1・Cha2に相当)が形成される。また、画素電極17bの一部がゲート絶縁膜および層間絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb(図19参照)が形成される。
図22の液晶パネルでは、容量電極37aと画素電極17bとが(製造工程等において)短絡してしまった場合には、アクティブマトリクス基板のおもて面(ガラス基板の反対側)から、第3間隙K3を介して、(保持容量配線18pと重ならない)容量電極37aにレーザを照射し、これを切断することができる。なお、画素電極17aのうちコンタクトホール67a内の部分をレーザ等により除去(トリミング)して画素電極17aと容量電極37aとを電気的に切り離してもよい。
図22の画素101を図23のように変形してもよい。図23の構成では、保持容量配線18pから、画素電極17bの第1辺、第2辺、第6辺および第4辺と重なるように延伸して再び保持容量配線18pに合流する保持容量配線延伸部18xと、保持容量配線18pから、画素電極17bの第1辺、第3辺、第7辺および第5辺と重なるように延伸して再び保持容量配線18pに合流する保持容量配線延伸部18yとが設けられている。
図23の液晶パネルでは、電気的にフローティングとなる画素電極17bを取り囲む保持容量配線延伸部18x・18yが、画素電極17bのシールド電極として機能するため、画素電極17bへの電荷の飛び込み等をより効果的に抑制することができる。これにより、画素電極17bを含む副画素(暗副画素)の焼き付きを抑制することができる。
図19の画素101の他の具体例を図24に示す。同図に示されるように、データ信号線15xおよび走査信号線16xの交差部近傍にトランジスタ12aが配され、両信号線(15x・16x)で画される画素領域に、行方向に視て台形形状をなす画素電極17bとこれを取り囲む画素電極17aとが配され、保持容量配線18pが画素中央を横切って行方向に延伸している。具体的には、画素電極17bは、保持容量配線18pと交差し、行方向に対して略90°をなす第1辺と、第1辺に平行で保持容量配線18pと交差する第2辺と、第1辺の一端から行方向に対して略45°をなして延伸する第3辺と、第1辺の他端から行方向に対して略315°をなして延伸する第4辺と、を備えており、画素電極17aの内周は上記第1〜第4辺に対向する4つの辺からなり、画素電極17aの外周は長方形形状である。
なお、画素電極17bの第1辺とこれに対向する画素電極17aの内周の一辺との間隙が第1間隙K1となっており、画素電極17bの第2辺とこれに対向する画素電極17aの内周の一辺との間隙が第2間隙K2となっており、容量電極37aが、画素電極17aと第1間隙K1と画素電極17bとに重なるように配され、容量電極38aが、画素電極17aと第2間隙K2と画素電極17bとに重なるように配されている。
より詳細には、容量電極37aは、第1間隙K1と交差するように行方向に延伸する形状であるとともに、容量電極38aは、第2間隙K2と交差するように行方向に延伸する形状であり、それぞれが、保持容量配線18pと重なるように行方向に並べられている。また、容量電極37a・38aは、容量電極37aを、画素101における保持容量配線18p上の点を中心として180°回転させると容量電極37bに略一致するように配されている。すなわち、容量電極37a・38aは、第1間隙K1および第2間隙K2に平行でかつ両間隙どうしの中心を通る線を軸として、線対称となっている。
走査信号線16x上には、トランジスタ12aのソース電極8aおよびドレイン電極9aが形成され、ソース電極8aはデータ信号線15xに接続される。ドレイン電極9aはドレイン引き出し配線27aに接続され、ドレイン引き出し配線27aはコンタクトホール11aを介して画素電極17aに接続される。また、容量電極37aが、コンタクトホール67aを介して画素電極17aに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab1(図19参照)が形成される。また、容量電極38aが、コンタクトホール68aを介して画素電極17aに接続されるとともに、容量電極38aが層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab2(図19参照)が形成される。さらに、容量電極37aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha1(図19参照)の多くが形成され、容量電極38aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha2(図19参照)の多くが形成される。そして、画素電極17bと保持容量配線18pとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb(図19参照)が形成される。
図24の液晶パネルでは、画素電極17aと画素電極17bとを、並列する2つの結合容量(Cab1・Cab2)によって接続(容量結合)しているため、例えば、容量電極37aと保持容量配線18pあるいは画素電極17bとが(製造工程等において)短絡してしまった場合には、容量電極37aを、コンタクトホール67aおよび短絡箇所の間でレーザ切断する修正工程を行うことにより、画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。また、容量電極38aと保持容量配線18pあるいは画素電極17bとが短絡した場合には、容量電極38aを、コンタクトホール68aおよび短絡箇所の間でレーザ切断すればよい。
上記修正工程を行う場合には、アクティブマトリクス基板のおもて面(ガラス基板の反対側)から、第1間隙K1を介して容量電極37aにレーザを照射してこれを切断する。ただこの場合、容量電極37aおよび保持容量配線18p間の短絡を新たに生じさせてしまう懸念がある。この懸念を解消するためには、保持容量配線18pに、第1間隙K1と重なるような開口部を形成しておけばよい。
なお、容量電極37aと保持容量配線18pあるいは画素電極17bとが短絡してしまった場合に、画素電極17aのうちコンタクトホール67a内の部分をレーザ等により除去(トリミング)して画素電極17aと容量電極37aとを電気的に切り離すことによっても、画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。
以上から、本実施の形態によれば、液晶パネルやこれに用いられるアクティブマトリクス基板の製造歩留まりを高めることができる。
また、図24の液晶パネルでは、容量電極37a・38aが、保持容量配線18pと重なるように保持容量配線18pの延伸方向(行方向)に並んで配されている。また、容量電極37a・38aは、第1間隙K1および第2間隙K2に平行でかつ両間隙どうしの中心を通る線を軸として、線対称となっている。そのため、画素電極17a・17bのアライメントが容量電極37a・38aに対して行方向にずれた場合でも、容量電極37aおよび画素電極17bの重なり面積と、容量電極38aおよび画素電極17bの重なり面積とが補償し合うこととなり、2つの結合容量(Cab1・Cab2)の総量が変化しにくいというメリットがある。
また、図24の液晶パネルでは、容量電極37a・38aそれぞれは、画素電極17bおよび保持容量配線18pと重なっている。このように、結合容量を形成するために設けた容量電極37a・38aを、保持容量を形成するための電極としても機能させることで、開口率を高めることができる。
さらに、容量電極37a・38aを行方向に延伸する形状とし、かつこれらを保持容量配線18pと重なるように行方向に並べているため、保持容量配線18pの線幅を小さくすることができる。これにより、開口率を一層高めることができる。
なお、保持容量Chbの容量値は信頼性の観点から大きい方が好ましい。そこで、保持容量Chbは、図25に示す構成により形成されていてもよい。すなわち、図25に示すように、容量電極37a・38aと同層に形成された保持容量電極39bが、コンタクトホール69bを介して画素電極17bに接続されることによって、保持容量電極39bと保持容量配線18pとの間で保持容量Chbが形成される。この構成の場合には、図24のように画素電極17bと保持容量配線18pとの間で保持容量Chbを形成する場合に比べて、それらの間に介在する絶縁膜を少なく(薄く)できるため、保持容量値を稼ぐことができる。また、保持容量Chbを形成する絶縁膜を薄くできるため、保持容量値の大きさを変えずに保持容量配線18pの幅を狭くすることもでき、信頼性を低下させることなく開口率の向上が図れるという効果も得られる。
ここで、図19では、1つの画素に設けられた2つの画素電極の一方が他方を取り囲んでおり、この取り囲んでいる方の画素電極をトランジスタに接続しているがこれに限定されない。図26に示すように、1つの画素に設けられた2つの画素電極の一方が他方を取り囲んでおり、この取り囲まれている方の画素電極をトランジスタに接続することもできる。
図26の画素101の具体例を図27に示す。同図に示すように、画素電極17a・17bおよび保持容量配線18pの形状および配置は図20と同じである。容量電極37b・38bそれぞれは、第2間隙K2と画素電極17aと画素電極17bとに重なるように配されている。
走査信号線16x上には、トランジスタ12aのソース電極8aおよびドレイン電極9aが形成され、ソース電極8aはデータ信号線15xに接続される。ドレイン電極9aはドレイン引き出し配線27aおよびコンタクトホール11bを介して画素電極17bに接続される。容量電極37bはコンタクトホール67bを介して画素電極17bに接続され、容量電極37bの一部が層間絶縁膜を介して画素電極17aと重なっており、両者の重なり部分に結合容量Cab1(図26参照)が形成される。また、容量電極38bはコンタクトホール68bを介して画素電極17bに接続され、容量電極38bの一部が層間絶縁膜を介して画素電極17aと重なっており、両者の重なり部分に結合容量Cab2(図26参照)が形成される。また、画素電極17aの一部がゲート絶縁膜および層間絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha(図26参照)が形成される。また、画素電極17bの一部がゲート絶縁膜および層間絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb(図26参照)が形成される。
図27の液晶パネルでは、画素電極17aを含む副画素は「暗」、画素電極17bを含む副画素は「明」となる。
図27の液晶パネルでは、画素電極17aと画素電極17bとを、並列する2つの結合容量(Cab1・Cab2)によって接続(容量結合)しているため、例えば、容量電極37bと画素電極17aとが(製造工程等において)短絡してしまった場合には、容量電極37bを、コンタクトホール67bおよび短絡箇所の間でレーザ切断する修正工程を行うことにより、画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。さらに、製造工程等でコンタクトホール67bが形成不良となった場合でも、画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。なお、容量電極38bと画素電極17aとが短絡した場合には、容量電極38bを、コンタクトホール68bおよび短絡箇所の間でレーザ切断すればよい。
上記修正工程を行う場合には、アクティブマトリクス基板のおもて面(ガラス基板の反対側)から、第2間隙K2を介して容量電極37bにレーザを照射してこれを切断する。以上から、本実施の形態によれば、液晶パネルやこれに用いられるアクティブマトリクス基板の製造歩留まりを高めることができる。
また、図27の液晶パネルでは、暗副画素に対応する画素電極17aが、明副画素に対応する画素電極17bを取り囲んでいる構成であるため、空間周波数の高い映像を鮮明に表示することができるという効果がある。
ここで、上述した各液晶パネルでは、容量電極が、明副画素となる副画素に対応する画素電極に電気的に接続される構成であるが、これに限定されない。本液晶パネルは、図28のように、容量電極が、暗副画素となる副画素に対応する画素電極に電気的に接続される構成であってもよい。図28の画素の具体例101を図29に示す。
図29の液晶パネルでは、図24の液晶パネルと同様、データ信号線15xおよび走査信号線16xの交差部近傍にトランジスタ12aが配され、両信号線(15x・16x)で画される画素領域に、行方向に視て台形形状をなす画素電極17bとこれを取り囲む画素電極17aとが配され、保持容量配線18pが画素中央を横切って行方向に延伸している。
より詳細には、容量電極37bは、第1間隙K1と交差するように行方向に延伸する形状であるとともに、容量電極38bは、第2間隙K2と交差するように行方向に延伸する形状であり、それぞれが、保持容量配線18pと重なるように行方向に並べられている。また、容量電極37b・38bは、容量電極37bを、画素101における保持容量配線18p上の点を中心として180°回転させると容量電極38bに略一致するように配されている。すなわち、容量電極37b・38bは、第1間隙K1および第2間隙K2に平行でかつ両間隙どうしの中心を通る線を軸として、線対称となっている。
走査信号線16x上には、トランジスタ12aのソース電極8aおよびドレイン電極9aが形成され、ソース電極8aはデータ信号線15xに接続される。ドレイン電極9aはドレイン引き出し配線27aに接続され、ドレイン引き出し配線27aは、コンタクトホール11aを介して画素電極17aに接続される。また、容量電極37bが、コンタクトホール67bを介して画素電極17bに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17aと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab1(図28参照)が形成される。また、容量電極38bが、コンタクトホール68bを介して画素電極17bに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17aと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab2(図28参照)が形成される。さらに、容量電極37bがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb1(図28参照)の多くが形成され、容量電極38bがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb2(図28参照)の多くが形成される。また、画素電極17aと保持容量配線18pとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha(図28参照)が形成される。
これにより、画素電極17aを含む副画素は「明」、画素電極17bを含む副画素は「暗」となる。
図29の液晶パネルでは、画素電極17aと画素電極17bとを、並列する2つの結合容量(Cab1・Cab2)によって接続(容量結合)しているため、例えば、図29のPで、容量電極37bと画素電極17aとが(製造工程等において)短絡してしまった場合には、容量電極37bを、コンタクトホール67bおよび短絡箇所の間でレーザ切断する修正工程を行うことにより、画素電極17a・17bの容量結合を維持することができる。また、容量電極38bと画素電極17aとが短絡した場合には、容量電極38bを、コンタクトホール68bおよび短絡箇所の間でレーザ切断すればよい。
図29の液晶パネルにおいても、図24の液晶パネルと同様、容量電極37b・38bは、保持容量配線18pと重なるように保持容量配線18pの延伸方向(行方向)に並んで配され、容量電極37b・38bは、第1間隙K1および第2間隙K2に平行でかつ両間隙どうしの中心を通る線を軸として、線対称となっている。そのため、画素電極17a・17bのアライメントが容量電極37b・38bに対して行方向にずれた場合でも、容量電極37bおよび画素電極17aの重なり面積と、容量電極38bおよび画素電極17aの重なり面積とが補償し合うこととなり、2つの結合容量(Cab1・Cab2)の総量が変化しにくいというメリットがある。
なお、図29に示したような、暗副画素となる副画素に対応する画素電極に容量電極を電気的に接続する構成は、上述した各液晶パネルにも適用可能であることはいうまでもない。
ところで、本実施の形態2にかかる液晶パネルにおいても、実施の形態1にかかる液晶パネル(図4参照)と同様、ガラス基板31上に厚い有機ゲート絶縁膜21と薄い無機ゲート絶縁膜22とを形成し、画素電極の下層に薄い無機層間絶縁膜25と厚い有機層間絶縁膜26とを形成してもよい。こうすれば、各種寄生容量の低減、配線同士の短絡防止、および平坦化による画素電極の裂け等の低減といった効果が得られる。なおこの場合には、例えば図30の点線部で示す領域において、図4に示したように、有機ゲート絶縁膜21については容量電極37a・38a下に位置する部分を刳り貫いておき、有機層間絶縁膜26については容量電極37a・38a上に位置する部分を刳り貫いておくことが好ましい。こうすれば、結合容量(Cab1・Cab2)の容量値および保持容量(Cha1・Cha2・Chb)の容量値を十分に確保しながら、上記の効果を得ることができる。
また、図30における有機層間絶縁膜26の刳り貫き部(薄膜部51a)は、図45に示したように、第1辺(J1)〜第4辺(J4)により矩形状に形成され、容量電極37aが第1辺(J1)を跨ぎ、容量電極37aと行方向に並んで配される容量電極38aが第1辺(J1)に対向する第3辺(J3)を跨いでいるため、容量電極37a・38aが行方向にずれた場合でも、容量電極37aおよび画素電極17bの重なり面積と、容量電極38aおよび画素電極17bの重なり面積とが補償し合うこととなり、2つの容量(結合容量)の総量が変化しにくいという効果が得られる。
また、図30の薄膜部51aは、図46に示すように、画素電極17bのみと重なるように、画素電極17bの領域内に形成されていてもよい。すなわち、矩形状の薄膜部51aを形成する第1辺(J1)〜第4辺(J4)が画素電極17bの領域内に位置するように構成される。これにより、上記の図30の構成により得られる効果(2つの容量の総量が変化しにくい)に加えて、容量電極37a・38aと画素電極17bとの重なり面積が少なくなるため、容量電極37a・38aと画素電極17bとの短絡の可能性を低減することができるという効果が得られる。
〔実施の形態3〕
図31は実施の形態3にかかる液晶パネルの一部を示す等価回路図である。図31に示すように、本液晶パネルでは、列方向(図中上下方向)に延伸するデータ信号線(15x・15y)、行方向(図中左右方向)に延伸する走査信号線(16x・16y)、行および列方向に並べられた画素(101〜104)、保持容量配線(18p〜18s)、および共通電極(対向電極)comを備え、各画素の構造は同一である。なお、画素101・102が含まれる画素列と、画素103・104が含まれる画素列とが隣接し、画素101・103が含まれる画素行と、画素102・104が含まれる画素行とが隣接している。
本液晶パネルでは、1つの画素に対応して1本のデータ信号線と1本の走査信号線と2本の保持容量配線とが設けられる。また、1画素に、3つの画素電極が設けられており、画素101には、画素電極17a・17b・17a′が設けられ、画素102には、画素電極17c・17d・17c′が設けられ、画素103には、画素電極17A・17B・17A′が設けられ、画素104には、画素電極17C・17D・17C′が設けられている。
図31の画素101の具体例を図32に示す。同図に示されるように、データ信号線15xおよび走査信号線16xの交差部近傍にトランジスタ12aが配され、両信号線(15x・16x)で画される画素領域に、台形形状をなす画素電極17aと、保持容量配線18pの行方向に対して略315°の位置に、画素電極17aを180°回転した状態の形状と略一致する台形形状をなす画素電極17a′と、これら画素電極17a・17a′を除いた領域において、画素電極17a・17a′の形状に対応する(かみ合う)ように配される画素電極17bとを有する。また、保持容量配線18p・18rは互いに平行に配され、保持容量配線18pが画素電極17a・17bを横切って行方向に延伸し、保持容量配線18rが画素電極17b・17a′を横切って行方向に延伸している。
このような構成により、画素電極17a・17b・17a′は、それぞれ、画素電極17aの一部が走査信号線16xに近接し、画素電極17a′の一部が、走査信号線16yに近接し、画素電極17bの一方の端部が走査信号線16xに近接するとともに、他方の端部が走査信号線16yに近接するように配されている。換言すると、画素電極17a・17a′それぞれの少なくとも一部が、走査信号線16x・16yのそれぞれに近接して配されるとともに、画素電極17bは、走査信号線16x・16y同士を繋ぐように、列方向に延びて配されている。容量電極37aは、保持容量配線18pおよび画素電極17a・17bに重なるように配され、容量電極38aは、保持容量配線18rおよび画素電極17b・17a′に重なるように配されている。
より詳細には、容量電極37aは、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17a・17bに重なっている。容量電極38aは、容量電極37aを180°回転した状態の形状と略一致する形状をなして、容量電極37aと平行に配され、保持容量配線18rの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18rおよび画素電極17b・17a′に重なっている。
走査信号線16x上には、トランジスタ12aのソース電極8aおよびドレイン電極9aが形成され、ソース電極8aはデータ信号線15xに接続される。ドレイン電極9aはドレイン引き出し配線27aに接続され、ドレイン引き出し配線27aは、コンタクトホール11aを介して画素電極17aに接続される。画素電極17aにはコンタクトホール111aを介して中継配線110aが接続され、中継配線110aはコンタクトホール112aを介して画素電極17a′に接続される。また、容量電極37aが、コンタクトホール67aを介して画素電極17aに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab1(図31参照)が形成される。また、容量電極38aが、コンタクトホール68aを介して画素電極17a′に接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a′・17b間の結合容量Cab2(図31参照)が形成される。また、容量電極37aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha1(図31参照)の多くが形成され、容量電極38aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18rと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha2(図31参照)の多くが形成される。また、画素電極17bと保持容量配線18pとが層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb1(図31参照)の多くが形成され、画素電極17bと保持容量配線18rとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb2(図31参照)が形成される。
図32の液晶パネルでは、画素電極17a・17a′を含む副画素は「明」、画素電極17bを含む副画素は「暗」となる。
図32の液晶パネルでは、画素電極17a・17a′と画素電極17bとを、並列する2つの結合容量(Cab1・Cab2)によって接続(容量結合)しているため、例えば、図32のPで、容量電極37aと画素電極17bとが(製造工程等において)短絡してしまった場合には、容量電極37aを、コンタクトホール67aおよび短絡箇所の間でレーザ切断する修正工程を行うことにより、画素電極17a・17b・17a′の容量結合を維持することができる。さらに、製造工程等でコンタクトホール67aが形成不良となった場合でも、画素電極17a・17b・17a′の容量結合を維持することができる。なお、容量電極38aと画素電極17bとが短絡した場合には、容量電極38aを、コンタクトホール68aおよび短絡箇所の間でレーザ切断すればよい。
なお、容量電極37aと保持容量配線18pあるいは画素電極17bとが短絡してしまった場合に、画素電極17aのうちコンタクトホール67a内の部分をレーザ等により除去(トリミング)して画素電極17aと容量電極37aとを電気的に切り離すことによっても、画素電極17a・17b・17a′の容量結合を維持することができる。
以上から、本実施の形態によれば、液晶パネルやこれに用いられるアクティブマトリクス基板の製造歩留まりを高めることができる。
また、図32の液晶パネルでは、容量電極37aは、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17a・17bに重なり、容量電極38aは、容量電極37aを180°回転した状態の形状と略一致する形状をなして、保持容量配線18rの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18rおよび画素電極17b・17a′に重なっている。そのため、画素電極17a・17b・17a′のアライメントが容量電極37a・38aに対して行方向にずれた場合でも、容量電極37aおよび画素電極17bの重なり面積と、容量電極38aおよび画素電極17bの重なり面積とが補償し合うこととなり、2つの結合容量(Cab1・Cab2)の総量が変化しにくいというメリットがある。
また、図32の液晶パネルでは、容量電極37aは、画素電極17bおよび保持容量配線18pと重なり、容量電極38aは、画素電極17b′および保持容量配線18rと重なっている。このように、結合容量を形成するために設けた容量電極37a・38aを、保持容量を形成するための電極としても機能させることで、開口率を高めることができる。
さらに、容量電極37a・38aを行方向に延伸する形状とし、かつこれらを保持容量配線18p・18rと重なるように配しているため、保持容量配線18p・18rの線幅を小さくすることができる。これにより、開口率を一層高めることができる。
図32の画素101を図33のように変形してもよい。図33の構成では、走査信号線16x上に、トランジスタ12aのソース電極8aおよびドレイン電極9aが形成され、ソース電極8aはデータ信号線15xに接続される。ドレイン電極9aはドレイン引き出し配線27aに接続され、ドレイン引き出し配線27aは、コンタクトホール11aを介して画素電極17aに接続される。容量電極37aは、一端がコンタクトホール67aを介して画素電極17aに接続されるとともに、他端がコンタクトホール112aを介して画素電極17a′に接続される。また、容量電極37aは、層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17a′および画素電極17b間の結合容量Cab1・Cab2(図31参照)が形成される。容量電極38aは、一端がコンタクトホール111aを介して画素電極17aに接続されるとともに、他端がコンタクトホール68aを介して画素電極17a′に接続される。また、容量電極38aは、層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17a′および17b間の結合容量Cab1・Cab2(図31参照)が形成される。さらに、容量電極37aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha1(図31参照)の多くが形成され、容量電極38aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18rと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha2(図31参照)の多くが形成される。また、画素電極17bと保持容量配線18pとが層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb1(図31参照)の多くが形成され、画素電極17bと保持容量配線18rとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb2(図31参照)が形成される。
図32の画素101を図34のように変形してもよい。図34の構成では、図32の画素電極17a・17a′どうしが画素電極17bの外周領域において、ITOなどからなる接続部17aaを介して互いに接続されている。すなわち、画素電極17a・17a′により一体的に形成される画素電極が画素電極17bを取り囲むように設けられている。これにより、図32に示す、画素電極17a・17a′どうしを接続するためのコンタクトホール111a・112aおよび中継配線110aが不要になるため、開口率を高めることができる。
また、電気的にフローティングとなる画素電極17bを画素電極17a・17a′が取り囲んでいるため、画素電極17a・17a′がシールド電極として機能し、画素電極17bへの電荷の飛び込み等を抑制することができる。これにより、画素電極17bを含む副画素(暗副画素)の焼き付きを抑制することができる。
ここで、上述した液晶パネルでは、容量電極が、明副画素となる副画素に対応する画素電極に電気的に接続される構成であるが、これに限定されない。本液晶パネルは、容量電極が、暗副画素となる副画素に対応する画素電極に電気的に接続される構成であってもよい。この構成の画素の具体例101を図35に示す。
図35の液晶パネルでは、データ信号線15xおよび走査信号線16xの交差部近傍にトランジスタ12aが配され、両信号線(15x・16x)で画される画素領域に、台形形状をなす画素電極17aと、保持容量配線18pの行方向に対して略315°の位置に、画素電極17aを180°回転した状態の形状と略一致する台形形状をなす画素電極17a′と、これら画素電極17a・17a′を除いた領域において、画素電極17a・17a′の形状に対応する(かみ合う)ように配される画素電極17bとを有する。また、保持容量配線18p・18rは互いに平行に配され、保持容量配線18pが画素電極17a・17bを横切って行方向に延伸し、保持容量配線18rが画素電極17b・17a′を横切って行方向に延伸している。
このような構成により、画素電極17a・17b・17a′は、それぞれ、画素電極17aの一部が走査信号線16xに近接し、画素電極17a′の一部が、走査信号線16yに近接し、画素電極17bの一方の端部が走査信号線16xに近接するとともに、他方の端部が走査信号線16yに近接するように配されている。換言すると、画素電極17a・17a′それぞれの少なくとも一部が、走査信号線16x・16yのそれぞれに近接して配されるとともに、画素電極17bは、走査信号線16x・16y同士を繋ぐように、列方向に延びて配されている。容量電極37bは、保持容量配線18pおよび画素電極17a・17bに重なるように配され、容量電極38bは、保持容量配線18rおよび画素電極17b・17a′に重なるように配されている。より詳細には、容量電極37bは、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17a・17bに重なっている。容量電極38bは、容量電極37bを180°回転した状態の形状と略一致する形状をなして、容量電極37bと平行に配され、保持容量配線18rの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18rおよび画素電極17b・17a′に重なっている。
走査信号線16x上には、トランジスタ12aのソース電極8aおよびドレイン電極9aが形成され、ソース電極8aはデータ信号線15xに接続される。ドレイン電極9aはドレイン引き出し配線27aに接続され、ドレイン引き出し配線27aは、コンタクトホール11aを介して画素電極17aに接続される。画素電極17aにはコンタクトホール111aを介して中継配線110aが接続され、中継配線110aはコンタクトホール112aを介して画素電極17a′に接続される。また、容量電極37bが、コンタクトホール67bを介して画素電極17bに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17aと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab1(図31参照)が形成される。また、容量電極38bが、コンタクトホール68bを介して画素電極17bに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17a′と重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a′・17b間の結合容量Cab2(図31参照)が形成される。また、容量電極37bがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb1(図31参照)の多くが形成され、容量電極38bがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18rと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb2(図31参照)の多くが形成される。また、画素電極17aと保持容量配線18pとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha1(図31照)が形成され、画素電極17a′と保持容量配線18rとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha2(図31参照)が形成される。
図35の液晶パネルでは、画素電極17a・17a′を含む副画素は「明」、画素電極17bを含む副画素は「暗」となる。
図35の液晶パネルでは、画素電極17aと画素電極17bとを、並列する2つの結合容量(Cab1・Cab2)によって接続(容量結合)しているため、例えば、図35のPで、容量電極37bと画素電極17aとが(製造工程等において)短絡してしまった場合には、容量電極37bを、コンタクトホール67bおよび短絡箇所の間でレーザ切断する修正工程を行うことにより、画素電極17a・17b・17a′の容量結合を維持することができる。また、容量電極38bと画素電極17a′とが短絡した場合には、容量電極38bを、コンタクトホール68bおよび短絡箇所の間でレーザ切断すればよい。
なお、図35に示したような、暗副画素となる副画素に対応する画素電極に容量電極を電気的に接続する構成は、上述した各液晶パネルにも適用可能であることはいうまでもない。
〔実施の形態4〕
図36は実施の形態4にかかる液晶パネルの一部を示す等価回路図である。図36に示すように、本液晶パネルでは、列方向(図中上下方向)に延伸するデータ信号線(15x・15y)、行方向(図中左右方向)に延伸する走査信号線(16x・16y)、行および列方向に並べられた画素(101〜104)、保持容量配線(18p〜18s)、および共通電極(対向電極)comを備え、各画素の構造は同一である。なお、画素101・102が含まれる画素列と、画素103・104が含まれる画素列とが隣接し、画素101・103が含まれる画素行と、画素102・104が含まれる画素行とが隣接している。
本液晶パネルでは、1つの画素に対応して1本のデータ信号線と1本の走査信号線と2本の保持容量配線とが設けられる。また、1画素に、3つの画素電極が設けられており、画素101には、画素電極17b・17a・17b′が設けられ、画素102には、画素電極17d・17c・17d′が設けられ、画素103には、画素電極17B・17A・17B′が設けられ、画素104には、画素電極17D・17C・17D′が設けられている。
図36の画素101の具体例を図37に示す。同図に示されるように、データ信号線15xおよび走査信号線16xの交差部近傍にトランジスタ12aが配され、両信号線(15x・16x)で画される画素領域に、台形形状をなす画素電極17bと、保持容量配線18pの行方向に対して略315°の位置に、画素電極17bを180°回転した状態の形状と略一致する台形形状をなす画素電極17b′と、これら画素電極17b・17b′を除いた領域において、画素電極17b・17b′の形状に対応する(かみ合う)ように配される画素電極17aとを有する。また、保持容量配線18p・18rは互いに平行に配され、保持容量配線18pが画素電極17a・17bを横切って行方向に延伸し、保持容量配線18rが画素電極17a・17b′を横切って行方向に延伸している。
このような構成により、画素電極17b・17a・17b′は、それぞれ、画素電極17bの一部が走査信号線16xに近接し、画素電極17b′の一部が、走査信号線16yに近接し、画素電極17aの一方の端部が走査信号線16xに近接するとともに、他方の端部が走査信号線16yに近接するように配されている。換言すると、画素電極17b・17b′それぞれの少なくとも一部が、走査信号線16x・16yのそれぞれに近接して配されるとともに、画素電極17aは、走査信号線16x・16y同士を繋ぐように、列方向に延びて配されている。容量電極37aは、保持容量配線18pおよび画素電極17a・17bに重なるように配され、容量電極38aは、保持容量配線18rおよび画素電極17a・17b′に重なるように配されている。より詳細には、容量電極37aは、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17a・17bに重なっている。容量電極38aは、容量電極37aを180°回転した状態の形状と略一致する形状をなして、容量電極37aと平行に配され、保持容量配線18rの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18rおよび画素電極17a・17b′に重なっている。
走査信号線16x上には、トランジスタ12aのソース電極8aおよびドレイン電極9aが形成され、ソース電極8aはデータ信号線15xに接続される。ドレイン電極9aはドレイン引き出し配線27aに接続され、ドレイン引き出し配線27aは、コンタクトホール11aを介して画素電極17aに接続される。また、容量電極37aが、コンタクトホール67aを介して画素電極17aに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17bと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab1(図36参照)が形成される。また、容量電極38aが、コンタクトホール68aを介して画素電極17aに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17b′と重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b′間の結合容量Cab2(図36参照)が形成される。また、容量電極37aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha1(図36参照)の多くが形成され、容量電極38aがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18rと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha2(図36参照)の多くが形成される。また、画素電極17bと保持容量配線18pとが層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb1(図36参照)が形成され、画素電極17b′と保持容量配線18rとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb2(図36参照)が形成される。
図37の液晶パネルでは、画素電極17aを含む副画素は「明」、画素電極17b・17b′を含む副画素は「暗」となる。
図37の液晶パネルでは、画素電極17aと画素電極17b・17b′とを、並列する2つの結合容量(Cab1・Cab2)によって接続(容量結合)しているため、例えば、図37のPで、容量電極37aと画素電極17bとが(製造工程等において)短絡してしまった場合には、容量電極37aを、コンタクトホール67aおよび短絡箇所の間でレーザ切断する修正工程を行うことにより、画素電極17b・17a・17b′の容量結合を維持することができる。さらに、製造工程等でコンタクトホール67aが形成不良となった場合でも、画素電極17b・17a・17b′の容量結合を維持することができる。なお、容量電極38aと画素電極17b′とが短絡した場合には、容量電極38aを、コンタクトホール68aおよび短絡箇所の間でレーザ切断すればよい。
なお、容量電極37aと保持容量配線18pあるいは画素電極17bとが短絡してしまった場合に、画素電極17aのうちコンタクトホール67a内の部分をレーザ等により除去(トリミング)して画素電極17aと容量電極37aとを電気的に切り離すことによっても、画素電極17b・17a・17b′の容量結合を維持することができる。
以上から、本実施の形態によれば、液晶パネルやこれに用いられるアクティブマトリクス基板の製造歩留まりを高めることができる。
また、図37の液晶パネルでは、容量電極37aは、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17a・17bに重なり、容量電極38aは、容量電極37aを180°回転した状態の形状と略一致する形状をなして、保持容量配線18rの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18rおよび画素電極17a・17b′に重なっている。
また、図37の液晶パネルでは、容量電極37aは、画素電極17bおよび保持容量配線18pと重なり、容量電極38aは、画素電極17b′および保持容量配線18rと重なっている。このように、結合容量を形成するために設けた容量電極37a・38aを、保持容量を形成するための電極としても機能させることで、開口率を高めることができる。
さらに、容量電極37a・38aを行方向に延伸する形状とし、かつこれらを保持容量配線18p・18rと重なるように配しているため、保持容量配線18p・18rの線幅を小さくすることができる。これにより、開口率を一層高めることができる。
なお、保持容量Chb1・Chb2の容量値は信頼性の観点から大きい方が好ましい。そこで、保持容量Chb1・Chb2は、図38に示す構成により形成されていてもよい。すなわち、図38に示すように、容量電極37aと同層に形成された保持容量電極39bが、コンタクトホール69bを介して画素電極17bに接続されることによって、保持容量電極39bと保持容量配線18pとの間で保持容量Chb1が形成され、容量電極38aと同層に形成された保持容量電極39b′が、コンタクトホール69b′を介して画素電極17b′に接続されることによって、保持容量電極39b′と保持容量配線18rとの間で保持容量Chb2が形成される。この構成の場合には、図37のように画素電極17b・17′と保持容量配線18p・18rとの間で保持容量Chb1・Chb2を形成する場合に比べて、それらの間に介在する絶縁膜を少なく(薄く)できるため、保持容量値を稼ぐことができる。また、保持容量Chb1・Chb2を形成する絶縁膜を薄くできるため、保持容量値の大きさを変えずに保持容量配線18p・18rの幅を狭くすることもでき、信頼性を低下させることなく開口率の向上が図れるという効果も得られる。
ここで、上述した液晶パネルでは、容量電極が、明副画素となる副画素に対応する画素電極に電気的に接続される構成であるが、これに限定されない。本液晶パネルは、容量電極が、暗副画素となる副画素に対応する画素電極に電気的に接続される構成であってもよい。この構成の画素の具体例101を図39に示す。
図39の液晶パネルでは、データ信号線15xおよび走査信号線16xの交差部近傍にトランジスタ12aが配され、両信号線(15x・16x)で画される画素領域に、台形形状をなす画素電極17bと、保持容量配線18pの行方向に対して略315°の位置に、画素電極17bを180°回転した状態の形状と略一致する台形形状をなす画素電極17b′と、これら画素電極17b・17b′を除いた領域において、画素電極17b・17b′の形状に対応する(かみ合う)ように配される画素電極17aとを有する。また、保持容量配線18p・18rは互いに平行に配され、保持容量配線18pが画素電極17a・17bを横切って行方向に延伸し、保持容量配線18rが画素電極17a・17b′を横切って行方向に延伸している。
このような構成により、画素電極17b・17a・17b′は、それぞれ、画素電極17bの一部が走査信号線16xに近接し、画素電極17b′の一部が、走査信号線16yに近接し、画素電極17aの一方の端部が走査信号線16xに近接するとともに、他方の端部が走査信号線16yに近接するように配されている。換言すると、画素電極17b・17b′それぞれの少なくとも一部が、走査信号線16x・16yのそれぞれに近接して配されるとともに、画素電極17aは、走査信号線16x・16y同士を繋ぐように、列方向に延びて配されている。容量電極37bは、保持容量配線18pおよび画素電極17a・17bに重なるように配され、容量電極38bは、保持容量配線18rおよび画素電極17a・17b′に重なるように配されている。より詳細には、容量電極37bは、保持容量配線18pの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18pおよび画素電極17a・17bに重なっている。容量電極38bは、容量電極37bを180°回転した状態の形状と略一致する形状をなして、容量電極37bと平行に配され、保持容量配線18rの延伸方向と同一方向に延伸して、保持容量配線18rおよび画素電極17a・17b′に重なっている。
走査信号線16x上には、トランジスタ12aのソース電極8aおよびドレイン電極9aが形成され、ソース電極8aはデータ信号線15xに接続される。ドレイン電極9aはドレイン引き出し配線27aに接続され、ドレイン引き出し配線27aは、コンタクトホール11aを介して画素電極17aに接続される。また、容量電極37bが、コンタクトホール67bを介して画素電極17bに接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17aと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b間の結合容量Cab1(図36参照)が形成される。また、容量電極38bが、コンタクトホール68bを介して画素電極17b′に接続されるとともに、層間絶縁膜を介して画素電極17aと重なっており、両者の重なり部分に画素電極17a・17b′間の結合容量Cab2(図36参照)が形成される。また、容量電極37bがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18pと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb1(図36参照)の多くが形成され、容量電極38bがゲート絶縁膜を介して保持容量配線18rと重なっており、両者の重なり部分に保持容量Chb2(図36参照)の多くが形成される。また、画素電極17aと保持容量配線18pとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha1(図36照)が形成され、画素電極17aと保持容量配線18rとが、層間絶縁膜およびゲート絶縁膜を介して重なっており、両者の重なり部分に保持容量Cha2(図36参照)が形成される。
図39の液晶パネルではこれにより、画素電極17aを含む副画素は「明」、画素電極17b・17b′を含む副画素は「暗」となる。
図39の液晶パネルでは、画素電極17aと画素電極17b・17b′とを、並列する2つの結合容量(Cab1・Cab2)によって接続(容量結合)しているため、例えば、図39のPで、容量電極37bと画素電極17aとが(製造工程等において)短絡してしまった場合には、容量電極37bを、コンタクトホール67bおよび短絡箇所間でレーザ切断する修正工程を行うことにより、画素電極17b・17a・17b′の容量結合を維持することができる。また、容量電極38bと画素電極17aとが短絡した場合には、容量電極38bを、コンタクトホール68bおよび短絡箇所の間でレーザ切断すればよい。
なお、図39に示したような、暗副画素となる副画素に対応する画素電極に容量電極を電気的に接続する構成は、上述した各液晶パネルにも適用可能であることはいうまでもない。
最後に、本発明の液晶表示ユニットおよび液晶表示装置の構成例について説明する。上記各実施の形態では、以下のようにして、本液晶表示ユニットおよび液晶表示装置を構成する。すなわち、本液晶パネルの両面に、2枚の偏光板A・Bを、偏光板Aの偏光軸と偏光板Bの偏光軸とが互いに直交するように貼り付ける。なお、偏光板には必要に応じて、光学補償シート等を積層してもよい。次に、図40(a)に示すように、ドライバ(ゲートドライバ202、ソースドライバ201)を接続する。ここでは、一例として、ドライバをTCP(Tape Career Package)方式による接続について説明する。まず、液晶パネルの端子部にACF(Anisotropic Conductive Film)を仮圧着する。ついで、ドライバが乗せられたTCPをキャリアテープから打ち抜き、パネル端子電極に位置合わせし、加熱、本圧着を行う。その後、ドライバTCP同士を連結するための回路基板203(PWB:Printed Wiring Board)とTCPの入力端子とをACFで接続する。これにより、液晶表示ユニット200が完成する。その後、図40(b)に示すように、液晶表示ユニットの各ドライバ(201・202)に、回路基板203を介して表示制御回路209を接続し、照明装置(バックライトユニット)204と一体化することで、液晶表示装置210となる。
なお、本願でいう「電位の極性」とは、基準となる電位以上(プラス)あるいは基準となる電位以下(マイナス)を意味する。ここで、基準となる電位は、共通電極(対向電極)の電位であるVcom(コモン電位)であってもその他任意の電位であってもよい。
図41は、本液晶表示装置の構成を示すブロック図である。同図に示されるように、本液晶表示装置は、表示部(液晶パネル)と、ソースドライバ(SD)と、ゲートドライバ(GD)と、表示制御回路とを備えている。ソースドライバはデータ信号線を駆動し、ゲートドライバは走査信号線を駆動し、表示制御回路は、ソースドライバおよびゲートドライバを制御する。
表示制御回路は、外部の信号源(例えばチューナー)から、表示すべき画像を表すデジタルビデオ信号Dvと、当該デジタルビデオ信号Dvに対応する水平同期信号HSYおよび垂直同期信号VSYと、表示動作を制御するための制御信号Dcとを受け取る。また、表示制御回路は、受け取ったこれらの信号Dv,HSY,VSY,Dcに基づき、そのデジタルビデオ信号Dvの表す画像を表示部に表示させるための信号として、データスタートパルス信号SSPと、データクロック信号SCKと、チャージシェア信号shと、表示すべき画像を表すデジタル画像信号DA(ビデオ信号Dvに対応する信号)と、ゲートスタートパルス信号GSPと、ゲートクロック信号GCKと、ゲートドライバ出力制御信号(走査信号出力制御信号)GOEとを生成し、これらを出力する。
より詳しくは、ビデオ信号Dvを内部メモリで必要に応じてタイミング調整等を行った後に、デジタル画像信号DAとして表示制御回路から出力し、そのデジタル画像信号DAの表す画像の各画素に対応するパルスからなる信号としてデータクロック信号SCKを生成し、水平同期信号HSYに基づき1水平走査期間毎に所定期間だけハイレベル(Hレベル)となる信号としてデータスタートパルス信号SSPを生成し、垂直同期信号VSYに基づき1フレーム期間(1垂直走査期間)毎に所定期間だけHレベルとなる信号としてゲートスタートパルス信号GSPを生成し、水平同期信号HSYに基づきゲートクロック信号GCKを生成し、水平同期信号HSYおよび制御信号Dcに基づきチャージシェア信号sh、ならびにゲートドライバ出力制御信号GOEを生成する。
上記のようにして表示制御回路において生成された信号のうち、デジタル画像信号DA、チャージシェア信号sh、信号電位(データ信号電位)の極性を制御する信号POL、データスタートパルス信号SSP、およびデータクロック信号SCKは、ソースドライバに入力され、ゲートスタートパルス信号GSPとゲートクロック信号GCKとゲートドライバ出力制御信号GOEとは、ゲートドライバに入力される。
ソースドライバは、デジタル画像信号DA、データクロック信号SCK、チャージシェア信号sh、データスタートパルス信号SSP、および極性反転信号POLに基づき、デジタル画像信号DAの表す画像の各走査信号線における画素値に相当するアナログ電位(信号電位)を1水平走査期間毎に順次生成し、これらのデータ信号をデータ信号線(例えば、15x・15X)に出力する。
ゲートドライバは、ゲートスタートパルス信号GSPおよびゲートクロック信号GCKと、ゲートドライバ出力制御信号GOEとに基づき、ゲートオンパルス信号を生成し、これらを走査信号線に出力し、これによって走査信号線を選択的に駆動する。
上記のようにソースドライバおよびゲートドライバにより表示部(液晶パネル)のデータ信号線および走査信号線が駆動されることで、選択された走査信号線に接続されたトランジスタ(TFT)を介して、データ信号線から画素電極に信号電位が書き込まれる。これにより各副画素の液晶層に電圧が印加され、これによってバックライトからの光の透過量が制御され、デジタルビデオ信号Dvの示す画像が各副画素に表示される。
次に、本液晶表示装置をテレビジョン受信機に適用するときの一構成例について説明する。図42は、テレビジョン受信機用の液晶表示装置800の構成を示すブロック図である。液晶表示装置800は、液晶表示ユニット84と、Y/C分離回路80と、ビデオクロマ回路81と、A/Dコンバータ82と、液晶コントローラ83と、バックライト駆動回路85と、バックライト86と、マイコン(マイクロコンピュータ)87と、階調回路88とを備えている。なお、液晶表示ユニット84は、液晶パネルと、これを駆動するためのソースドライバおよびゲートドライバとで構成される。
上記構成の液晶表示装置800では、まず、テレビジョン信号としての複合カラー映像信号Scvが外部からY/C分離回路80に入力され、そこで輝度信号と色信号に分離される。これらの輝度信号と色信号は、ビデオクロマ回路81にて光の3原色に対応するアナログRGB信号に変換され、さらに、このアナログRGB信号はA/Dコンバータ82により、デジタルRGB信号に変換される。このデジタルRGB信号は液晶コントローラ83に入力される。また、Y/C分離回路80では、外部から入力された複合カラー映像信号Scvから水平および垂直同期信号も取り出され、これらの同期信号もマイコン87を介して液晶コントローラ83に入力される。
液晶表示ユニット84には、液晶コントローラ83からデジタルRGB信号が、上記同期信号に基づくタイミング信号と共に所定のタイミングで入力される。また、階調回路88では、カラー表示の3原色R,G,Bそれぞれの階調電位が生成され、それらの階調電位も液晶表示ユニット84に供給される。液晶表示ユニット84では、これらのRGB信号、タイミング信号および階調電位に基づき内部のソースドライバやゲートドライバ等により駆動用信号(データ信号=信号電位、走査信号等)が生成され、それらの駆動用信号に基づき、内部の液晶パネルにカラー画像が表示される。なお、この液晶表示ユニット84によって画像を表示するには、液晶表示ユニット内の液晶パネルの後方から光を照射する必要があり、この液晶表示装置800では、マイコン87の制御の下にバックライト駆動回路85がバックライト86を駆動することにより、液晶パネルの裏面に光が照射される。上記の処理を含め、システム全体の制御はマイコン87が行う。なお、外部から入力される映像信号(複合カラー映像信号)としては、テレビジョン放送に基づく映像信号のみならず、カメラにより撮像された映像信号や、インターネット回線を介して供給される映像信号なども使用可能であり、この液晶表示装置800では、様々な映像信号に基づいた画像表示が可能である。
液晶表示装置800でテレビジョン放送に基づく画像を表示する場合には、図43に示すように、液晶表示装置800にチューナー部90が接続され、これによって本テレビジョン受像機601が構成される。このチューナー部90は、アンテナ(不図示)で受信した受信波(高周波信号)の中から受信すべきチャンネルの信号を抜き出して中間周波信号に変換し、この中間周波数信号を検波することによってテレビジョン信号としての複合カラー映像信号Scvを取り出す。この複合カラー映像信号Scvは、既述のように液晶表示装置800に入力され、この複合カラー映像信号Scvに基づく画像が該液晶表示装置800によって表示される。
図44は、本テレビジョン受像機の一構成例を示す分解斜視図である。同図に示すように、本テレビジョン受像機601は、その構成要素として、液晶表示装置800の他に第1筐体801および第2筐体806を有しており、液晶表示装置800を第1筐体801と第2筐体806とで包み込むようにして挟持した構成となっている。第1筐体801には、液晶表示装置800で表示される画像を透過させる開口部801aが形成されている。また、第2筐体806は、液晶表示装置800の背面側を覆うものであり、当該表示装置800を操作するための操作用回路805が設けられると共に、下方に支持用部材808が取り付けられている。
本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、上記実施の形態を技術常識に基づいて適宜変更したものやそれらを組み合わせて得られるものも本発明の実施の形態に含まれる。
本発明のアクティブマトリクス基板およびこれを備えた液晶パネルは、例えば液晶テレビに好適である。
101〜104 画素
12a・12c・12A・12C トランジスタ
15x・15y・15z データ信号線
16x・16y 走査信号線
17a・17b・17c・17d 画素電極
17A・17B・17C・17D 画素電極
17a′・17b′・17c′・17d′ 画素電極
17A′・17B′・17C′・17D′ 画素電極
18p・18q・18r・18s 保持容量配線
21 有機ゲート絶縁膜
22 無機ゲート絶縁膜
24 半導体層
25 無機層間絶縁膜
26 有機層間絶縁膜
27a ドレイン引き出し配線
37a・37b・38a・38b 容量電極
39b・39b′ 保持容量電極
51a 薄膜部
84 液晶表示ユニット
601 テレビジョン受像機
800 液晶表示装置

Claims (32)

  1. 走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1および第2画素電極が設けられたアクティブマトリクス基板であって、
    上記第1画素電極は、上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続され、
    上記第1および第2画素電極のうちの一方の画素電極に電気的に接続された第1および第2容量電極を備え、
    上記第1および第2画素電極のうちの他方の画素電極と上記第1容量電極との間で容量が形成され、該他方の画素電極と上記第2容量電極との間で容量が形成されていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
  2. 上記トランジスタの一方の導通電極と、上記第1容量電極と、上記第2容量電極とが同層に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のアクティブマトリクス基板。
  3. 上記第1容量電極の少なくとも一部が、上記トランジスタのチャネルを覆う層間絶縁膜を介して上記他方の画素電極と重なり、上記第2容量電極の少なくとも一部が、上記層間絶縁膜を介して上記他方の画素電極と重なっていることを特徴とする請求項1または2に記載のアクティブマトリクス基板。
  4. 上記第1および第2画素電極の外周は複数の辺からなるとともに、上記第1画素電極の一辺と上記第2画素電極の一辺とが隣接しており、上記第1および第2容量電極それぞれが、この隣接する2辺の間隙と上記第1画素電極と上記第2画素電極とに重なるように配されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のアクティブマトリクス基板。
  5. 上記トランジスタの一方の導通電極がコンタクトホールを介して上記第1画素電極に接続されるとともに、該導通電極が、これから引き出された引き出し配線を介して上記第1容量電極に接続され、
    上記第1画素電極と上記第2容量電極とがコンタクトホールを介して接続されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のアクティブマトリクス基板。
  6. 上記トランジスタの一方の導通電極と上記第1画素電極とがコンタクトホールを介して接続されるとともに、上記第1画素電極と上記第1容量電極とがコンタクトホールを介して接続され、
    上記第1画素電極と上記第2容量電極とがコンタクトホールを介して接続されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のアクティブマトリクス基板。
  7. 上記トランジスタの一方の導通電極がコンタクトホールを介して上記第1画素電極に接続され、
    上記第2画素電極と上記第1容量電極とがコンタクトホールを介して接続されるとともに、上記第2画素電極と上記第2容量電極とがコンタクトホールを介して接続されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のアクティブマトリクス基板。
  8. 走査信号線の延伸方向を行方向として、上記第1および第2画素電極が列方向に並べられていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のアクティブマトリクス基板。
  9. 行方向に隣り合う2つの画素領域について、その一方の画素領域における上記第1画素電極と、他方の画素領域における上記第2画素電極とが行方向に隣接していることを特徴とする請求項8に記載のアクティブマトリクス基板。
  10. 上記第1画素電極が上記第2画素電極を取り囲んでいることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のアクティブマトリクス基板。
  11. 上記第2画素電極が上記第1画素電極を取り囲んでいることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のアクティブマトリクス基板。
  12. 上記第1画素電極あるいはこれに電気的に接続された導電体と容量を形成するとともに、上記第2画素電極あるいはこれに電気的に接続された導電体と容量を形成する保持容量配線をさらに備えることを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載のアクティブマトリクス基板。
  13. 上記保持容量配線は、上記画素領域の中央を横切るように上記走査信号線と同方向に延伸していることを特徴とする請求項12に記載のアクティブマトリクス基板。
  14. 上記第1容量電極および上記第2容量電極それぞれが、上記保持容量配線と容量を形成していることを特徴とする請求項12に記載のアクティブマトリクス基板。
  15. 上記層間絶縁膜は無機絶縁膜とこれよりも厚い有機絶縁膜とからなるが、上記第1容量電極と重畳する部分の少なくとも一部と、上記第2容量電極と重畳する部分の少なくとも一部とについては、有機絶縁膜が除去されていることを特徴とする請求項3に記載のアクティブマトリクス基板。
  16. 上記層間絶縁膜は、上記第1容量電極の一部および上記第2容量電極の一部と重なる領域を含む、上記有機絶縁膜が除去されてなる薄膜部を有し、
    上記第1および第2容量電極は、走査信号線の延伸方向に並んで配されるとともに、
    上記第1容量電極は上記薄膜部の1辺を跨ぎ、上記第2容量電極は該1辺に対向する辺を跨いでいることを特徴とする請求項15に記載のアクティブマトリクス基板。
  17. 上記薄膜部は、上記第1および第2画素電極のいずれか一方と重なっていることを特徴とする請求項16に記載のアクティブマトリクス基板。
  18. 上記第1および第2画素電極の間隙が配向規制構造物として機能することを特徴とする請求項1〜17のいずれか1項に記載のアクティブマトリクス基板。
  19. 上記第1画素電極が上記第2画素電極を取り囲んでおり、
    上記第2画素電極の外周には互いに平行な2つの辺が含まれるとともに、上記第1画素電極の外周には上記2つの辺の一方と第1間隙を介して対向する辺と、他方と第2間隙を介して対向する辺とが含まれ、
    上記第1容量電極が、上記第1画素電極と上記第1間隙と上記第2画素電極とに重なるように配されるとともに、上記第2容量電極が、上記第2画素電極と上記第2間隙と上記第1画素電極とに重なるように配されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のアクティブマトリクス基板。
  20. 走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1、第2および第3画素電極が設けられたアクティブマトリクス基板であって、
    上記第1画素電極は、上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続され、
    上記第3画素電極は、上記第1画素電極に電気的に接続され、
    上記第1画素電極に電気的に接続された第1容量電極と、上記第3画素電極に電気的に接続された第2容量電極とを備え、
    上記第1容量電極と上記第2画素電極との間で容量が形成され、上記第2容量電極と上記第2画素電極との間で容量が形成されていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
  21. 走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1、第2および第3画素電極が設けられたアクティブマトリクス基板であって、
    上記第1画素電極は、上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続され、
    上記第3画素電極は、上記第1画素電極に電気的に接続され、
    上記第2画素電極に電気的に接続された第1および第2容量電極を備え、
    上記第1容量電極と上記第1画素電極との間で容量が形成され、上記第2容量電極と上記第3画素電極との間で容量が形成されていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
  22. 走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1、第2および第3画素電極が設けられたアクティブマトリクス基板であって、
    上記第2画素電極は、上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続され、
    上記第2画素電極に電気的に接続された第1および第2容量電極を備え、
    上記第1容量電極と上記第1画素電極との間で容量が形成され、上記第2容量電極と上記第3画素電極との間で容量が形成されていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
  23. 走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1、第2および第3画素電極が設けられたアクティブマトリクス基板であって、
    上記第2画素電極は、上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続され、
    上記第1画素電極に電気的に接続された第1容量電極と、上記第3画素電極に電気的に接続された第2容量電極とを備え、
    上記第1容量電極と上記第2画素電極との間で容量が形成され、上記第2容量電極と上記第2画素電極との間で容量が形成されていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
  24. 上記画素領域に第1および第2保持容量配線をさらに備え、
    上記第1容量電極が上記第1保持容量配線と容量を形成し、上記第2容量電極が上記第2保持容量配線と容量を形成していることを特徴とする請求項20〜23のいずれか1項に記載のアクティブマトリクス基板。
  25. 走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1および第2画素電極が設けられ、上記第1画素電極が上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続されたアクティブマトリクス基板の製造方法であって、
    上記第1および第2画素電極のうちの一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、他方の画素電極と容量を形成する第1容量電極と、上記一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、上記他方の画素電極と容量を形成する第2容量電極とを形成する工程と、
    上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡、および上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡の少なくとも一方を検出する工程と、
    上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡が検出された場合には、上記第1容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断し、上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡が検出された場合には、上記第2容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断する工程とを含むことを特徴とするアクティブマトリクス基板の製造方法。
  26. 走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素領域に、第1および第2画素電極が設けられ、上記第1画素電極が上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続されたアクティブマトリクス基板の製造方法であって、
    上記第1および第2画素電極のうちの一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、他方の画素電極および保持容量配線と容量を形成する第1容量電極と、上記一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、上記他方の画素電極および上記保持容量配線と容量を形成する第2容量電極とを形成する工程と、
    上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡、上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡、上記第1容量電極と上記保持容量配線との短絡、上記第2容量電極と上記保持容量配線との短絡の少なくともいずれか一つを検出する工程と、
    上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡あるいは上記第1容量電極と上記保持容量配線との短絡が検出された場合には、上記第1容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断し、上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡あるいは上記第2容量電極と上記保持容量配線との短絡が検出された場合には、上記第2容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断する工程とを含むことを特徴とするアクティブマトリクス基板の製造方法。
  27. 走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素に、第1および第2画素電極が設けられ、上記第1画素電極が上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続された液晶パネルの製造方法であって、
    上記第1および第2画素電極のうちの一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、他方の画素電極と容量を形成する第1容量電極と、上記一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、上記他方の画素電極と容量を形成する第2容量電極とを形成する工程と、
    上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡、および上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡の少なくとも一方を検出する工程と、
    上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡が検出された場合には、上記第1容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断し、上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡が検出された場合には、上記第2容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断する工程とを含むことを特徴とする液晶パネルの製造方法。
  28. 走査信号線と、データ信号線と、走査信号線およびデータ信号線に接続されたトランジスタとを備え、1つの画素に、第1および第2画素電極が設けられ、上記第1画素電極が上記トランジスタを介して上記データ信号線に接続された液晶パネルの製造方法であって、
    上記第1および第2画素電極のうちの一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、他方の画素電極および保持容量配線と容量を形成する第1容量電極と、上記一方の画素電極に電気的に接続されるとともに、上記他方の画素電極および上記保持容量配線と容量を形成する第2容量電極とを形成する工程と、
    上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡、上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡、上記第1容量電極と上記保持容量配線との短絡、上記第2容量電極と上記保持容量配線との短絡の少なくともいずれか一つを検出する工程と、
    上記第1容量電極と上記他方の画素電極との短絡あるいは上記第1容量電極と上記保持容量配線との短絡が検出された場合には、上記第1容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断し、上記第2容量電極と上記他方の画素電極との短絡あるいは上記第2容量電極と上記保持容量配線との短絡が検出された場合には、上記第2容量電極を、上記一方の画素電極との接続箇所および短絡箇所の間で切断する工程とを含むことを特徴とする液晶パネルの製造方法。
  29. 請求項1〜24のいずれか1項に記載のアクティブマトリクス基板を備えた液晶パネル。
  30. 請求項29に記載の液晶パネルとドライバとを備えることを特徴とする液晶表示ユニット。
  31. 請求項30に記載の液晶表示ユニットと光源装置とを備えることを特徴とする液晶表示装置。
  32. 請求項31に記載の液晶表示装置と、テレビジョン放送を受信するチューナー部とを備えることを特徴とするテレビジョン受像機。
JP2010542044A 2008-12-10 2009-07-23 アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機 Expired - Fee Related JP5301567B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010542044A JP5301567B2 (ja) 2008-12-10 2009-07-23 アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008314685 2008-12-10
JP2008314685 2008-12-10
JP2010542044A JP5301567B2 (ja) 2008-12-10 2009-07-23 アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機
PCT/JP2009/063207 WO2010067639A1 (ja) 2008-12-10 2009-07-23 アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2010067639A1 JPWO2010067639A1 (ja) 2012-05-17
JP5301567B2 true JP5301567B2 (ja) 2013-09-25

Family

ID=42242632

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010542044A Expired - Fee Related JP5301567B2 (ja) 2008-12-10 2009-07-23 アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8659712B2 (ja)
EP (1) EP2357520A4 (ja)
JP (1) JP5301567B2 (ja)
KR (1) KR101247092B1 (ja)
CN (1) CN102209930B (ja)
BR (1) BRPI0922157A2 (ja)
RU (1) RU2478224C2 (ja)
WO (1) WO2010067639A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102566157B (zh) * 2010-12-16 2014-10-08 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板和液晶显示器
US9213208B2 (en) * 2012-02-27 2015-12-15 Kyocera Corporation Liquid crystal display device comprising voltage fluctuations
US8981374B2 (en) * 2013-01-30 2015-03-17 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device
JP6335112B2 (ja) * 2014-03-24 2018-05-30 株式会社ジャパンディスプレイ センサ付き表示装置及びセンサ装置
CN106233366A (zh) * 2014-04-22 2016-12-14 夏普株式会社 有源矩阵基板和具备其的显示装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH117046A (ja) * 1997-06-16 1999-01-12 Sharp Corp 液晶表示装置
JP2006039290A (ja) * 2004-07-28 2006-02-09 Fujitsu Display Technologies Corp 液晶表示装置及びその焼き付き防止方法
JP2006330634A (ja) * 2005-05-30 2006-12-07 Sharp Corp 液晶表示装置
WO2007091365A1 (ja) * 2006-02-06 2007-08-16 Sharp Kabushiki Kaisha 表示装置、アクティブマトリクス基板、液晶表示装置、テレビジョン受像機

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02165125A (ja) * 1988-12-20 1990-06-26 Seiko Epson Corp 表示装置
US5343216A (en) * 1989-01-31 1994-08-30 Sharp Kabushiki Kaisha Active matrix substrate and active matrix display apparatus
KR940005124B1 (ko) * 1989-10-04 1994-06-11 호시덴 가부시기가이샤 액정표시소자
EP0438138B1 (en) * 1990-01-17 1995-03-15 Kabushiki Kaisha Toshiba Liquid-crystal display device of active matrix type
JPH0566415A (ja) * 1991-09-06 1993-03-19 Toshiba Corp アクテイブマトリクス型液晶表示装置
JPH06102537A (ja) * 1992-09-22 1994-04-15 Toshiba Corp アクティブマトリクス型液晶表示素子
US5726720A (en) * 1995-03-06 1998-03-10 Canon Kabushiki Kaisha Liquid crystal display apparatus in which an insulating layer between the source and substrate is thicker than the insulating layer between the drain and substrate
US5953088A (en) * 1997-12-25 1999-09-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Liquid crystal display with shield electrodes arranged to alternately overlap adjacent pixel electrodes
JP3980156B2 (ja) * 1998-02-26 2007-09-26 株式会社半導体エネルギー研究所 アクティブマトリクス型表示装置
KR100654159B1 (ko) * 2000-02-10 2006-12-05 엘지.필립스 엘시디 주식회사 반사형 액정 표시장치 및 그 제조방법
JP3645184B2 (ja) * 2000-05-31 2005-05-11 シャープ株式会社 液晶表示装置及びその欠陥修正方法
KR100380141B1 (ko) * 2000-09-25 2003-04-11 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법
WO2002065203A1 (fr) * 2001-02-15 2002-08-22 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Affichage a cristaux liquides et procede de reparation de celui-ci
KR100917766B1 (ko) * 2002-12-31 2009-09-15 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치 및 그 제조방법
KR100961945B1 (ko) * 2003-03-26 2010-06-08 삼성전자주식회사 액정 표시 장치 및 그에 사용되는 표시판
JP4108078B2 (ja) * 2004-01-28 2008-06-25 シャープ株式会社 アクティブマトリクス基板及び表示装置
EP2166405A3 (en) * 2008-09-18 2010-08-25 Hitachi, Ltd. Liquid crystal display unit

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH117046A (ja) * 1997-06-16 1999-01-12 Sharp Corp 液晶表示装置
JP2006039290A (ja) * 2004-07-28 2006-02-09 Fujitsu Display Technologies Corp 液晶表示装置及びその焼き付き防止方法
JP2006330634A (ja) * 2005-05-30 2006-12-07 Sharp Corp 液晶表示装置
WO2007091365A1 (ja) * 2006-02-06 2007-08-16 Sharp Kabushiki Kaisha 表示装置、アクティブマトリクス基板、液晶表示装置、テレビジョン受像機

Also Published As

Publication number Publication date
EP2357520A4 (en) 2012-05-30
JPWO2010067639A1 (ja) 2012-05-17
KR20110073571A (ko) 2011-06-29
WO2010067639A1 (ja) 2010-06-17
US8659712B2 (en) 2014-02-25
RU2478224C2 (ru) 2013-03-27
KR101247092B1 (ko) 2013-03-25
EP2357520A1 (en) 2011-08-17
RU2011115222A (ru) 2013-01-20
BRPI0922157A2 (pt) 2015-12-29
US20110194031A1 (en) 2011-08-11
CN102209930A (zh) 2011-10-05
CN102209930B (zh) 2014-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5431335B2 (ja) アクティブマトリクス基板、液晶パネル、液晶表示ユニット、液晶表示装置、テレビジョン受像機、アクティブマトリクス基板の製造方法
JP5220863B2 (ja) アクティブマトリクス基板、液晶パネル、液晶表示ユニット、液晶表示装置、テレビジョン受像機
JP5107439B2 (ja) アクティブマトリクス基板、液晶パネル、液晶表示ユニット、液晶表示装置、テレビジョン受像機
WO2010100788A1 (ja) アクティブマトリクス基板、液晶パネル、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機
WO2010100789A1 (ja) アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機
JP5179670B2 (ja) 液晶表示装置
WO2010089820A1 (ja) アクティブマトリクス基板、液晶パネル、液晶表示ユニット、液晶表示装置、テレビジョン受像機
WO2010100790A1 (ja) アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機
JP5323856B2 (ja) アクティブマトリクス基板、液晶パネル、液晶表示ユニット、液晶表示装置、テレビジョン受像機
JP5107437B2 (ja) アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機
JP5301567B2 (ja) アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機
JP5143905B2 (ja) アクティブマトリクス基板、液晶パネル、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機
JP5318888B2 (ja) 液晶パネル、液晶表示ユニット、液晶表示装置、テレビジョン受像機
WO2010089922A1 (ja) アクティブマトリクス基板、液晶パネル、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機
WO2009144966A1 (ja) アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130416

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130425

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130521

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130619

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5301567

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees