JP5296997B2

JP5296997B2 - Drive guide device

Info

Publication number: JP5296997B2
Application number: JP2007094562A
Authority: JP
Inventors: 旭弘海野
Original assignee: THK Co Ltd
Current assignee: THK Co Ltd
Priority date: 2007-03-30
Filing date: 2007-03-30
Publication date: 2013-09-25
Anticipated expiration: 2027-03-30
Also published as: JP2008253108A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drive guide device in which heat is more efficiently dissipated from heat dissipating fins in the guide device with the heat dissipating fins in order to dissipate the heat generated in a moving member using a linear motor as a drive source. <P>SOLUTION: The drive guide device includes a movable unit 100 which moves by being guided to rails 230 by the liner motor. In the drive guide device, the movable unit 100 includes: a moving member 140 in which a magnet field is generated by current-supply; a table 110 provided on the side opposite to a base 210 for fixing the rails 230 thereon across the moving member 140; and the heat dissipating fins 150 in order to dissipate the heat generated in the moving member 140 which is provided between the table 110 and the movable member 140, the heat dissipating fins 150 includes: first heat dissipating fins 151; and second heat dissipating fins 152 of which the height is lower than that of the first heat dissipating fins 151, and the second heat dissipating fins 152 are each disposed between the first dissipating fins 151. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、リニアモータの通電側で生じた熱を放熱する放熱フィンを備える駆動案内装置に関する。 The present invention relates to a drive guide device including a heat radiation fin that radiates heat generated on the energization side of a linear motor.

従来、案内ガイドが設けられる基台に対して移動する移動ユニットを備える駆動案内装置が知られている。また、このような駆動案内装置であって、移動ユニットの駆動源としてリニアモータを用いるものが知られている。特許文献１は、リニアモータを駆動源として用いる駆動案内装置の構成を開示するものである。 2. Description of the Related Art Conventionally, a drive guide apparatus including a moving unit that moves relative to a base on which a guide guide is provided is known. In addition, such a driving guide device using a linear motor as a driving source of the moving unit is known. Patent Document 1 discloses a configuration of a drive guide apparatus that uses a linear motor as a drive source.

リニアモータを駆動源として用いる駆動案内装置は、通電されることで磁界を生じる可動子を移動ユニットに備え、基台の、可動子と対向する部分に磁石を有する固定子を備え、可動子が通電されて可動子と固定子の間に磁気相互力が生じることで、移動ユニットが案内ガイドに案内されて基台に対して移動する構成である。 A drive guide device using a linear motor as a drive source includes a mover that generates a magnetic field when energized, a moving unit, a stator having a magnet in a portion of the base facing the mover, and the mover By being energized and generating a magnetic mutual force between the mover and the stator, the moving unit is guided by the guide guide and moves relative to the base.

この構成によれば、可動子と固定子が非接触の状態で移動ユニットが移動するので、移動ユニットの移動過程において可動子と固定子が接触することで生じる騒音、振動等がほとんどなく、その結果、駆動案内装置の低騒音化、低振動化を実現することが可能になる。さらに、可動子と固定子との間で摩擦が生じないので、移動ユニットの加速性能を向上させることが可能になる。 According to this configuration, since the moving unit moves in a state where the mover and the stator are not in contact with each other, there is almost no noise, vibration, etc. caused by the contact between the mover and the stator in the moving process of the moving unit. As a result, it is possible to reduce the noise and vibration of the drive guide device. Furthermore, since friction does not occur between the mover and the stator, the acceleration performance of the moving unit can be improved.

図１１は、特許文献１に開示する、リニアモータを駆動源とする従来の駆動案内装置の概略構成を示すものである。図１１に示すように、駆動案内装置には、テーブル１１０、移動ブロック１２０、可動子１４０、から構成される移動ユニット１００を備える。また、基台２１０には、固定子２２０が設けられる。 FIG. 11 shows a schematic configuration of a conventional drive guide apparatus disclosed in Patent Document 1 using a linear motor as a drive source. As shown in FIG. 11, the drive guide apparatus includes a moving unit 100 including a table 110, a moving block 120, and a mover 140. The base 210 is provided with a stator 220.

また、基台２１０には、移動ユニット１００の移動を案内するためのレール２３０（案内ガイド）が固定され、移動ユニット１００に備えられる移動ブロック１２０がレール２３０に取り付けられる。この際、移動ブロック１２０は、一般的にボールやローラなどの転動体を介して、ある程度の予圧がかけられた状態でレール２３０に対して取り付けられる。予圧をかける行為は、移動ブロック１２０とレール２３０の間でガタを生じさせないために行われるものである。 In addition, a rail 230 (guide guide) for guiding the movement of the moving unit 100 is fixed to the base 210, and the moving block 120 provided in the moving unit 100 is attached to the rail 230. At this time, the moving block 120 is generally attached to the rail 230 with a certain amount of preload applied via rolling elements such as balls and rollers. The act of applying the preload is performed so as not to cause play between the moving block 120 and the rail 230.

さらに移動ユニット１００には、図１１に示すように、可動子１４０とテーブル１１０との間にヒートシンク１３０が設けられ、ヒートシンク１３０上には複数の放熱フィン１５０が形成される（図１２）。また、ヒートシンク１３０とテーブル１１０の間には断熱材４００が設けられている。 Further, as shown in FIG. 11, the moving unit 100 is provided with a heat sink 130 between the mover 140 and the table 110, and a plurality of radiating fins 150 are formed on the heat sink 130 (FIG. 12). A heat insulating material 400 is provided between the heat sink 130 and the table 110.

この放熱フィン１５０、及び断熱材４００は、可動子１４０に通電して移動ユニット１００を移動させる際に、可動子１４０から生じる熱をテーブル１１０へ伝達させないために設けられるものである。 The heat dissipating fins 150 and the heat insulating material 400 are provided to prevent heat generated from the mover 140 from being transmitted to the table 110 when the mover 140 is energized to move the moving unit 100.

すなわち、可動子１４０を通電した際に可動子１４０で生じた熱がテーブル１１０へ伝達すると、テーブル１１０が熱膨張を起こして変形する。そして、移動ブロック１２０がレール２３０に取り付けられた状態でテーブル１１０が熱膨張すると、テーブル１１０が湾曲して移動ブロック１２０とレール２３０との取り付け状態に変動をきたす。 That is, when the heat generated in the mover 140 when the mover 140 is energized is transmitted to the table 110, the table 110 undergoes thermal expansion and deforms. When the table 110 is thermally expanded with the moving block 120 attached to the rail 230, the table 110 is bent and the attached state between the moving block 120 and the rail 230 is changed.

その結果、移動ブロック１２０とレール２３０の間でガタを生じて振動、騒音が発生したり、また、駆動案内装置の寿命が短くなるといった問題を生じる。 As a result, there is a problem that the play is generated between the moving block 120 and the rail 230 to generate vibration and noise, and the life of the drive guide device is shortened.

これに対し、従来例に係る駆動案内装置においては、可動子１４０で生じる熱をテーブル１１０へ伝達させない為に、テーブル１１０と可動子１４０の間に断熱材４００を設けた。さらに、可動子１４０とテーブル１１０との間に放熱フィン１５０を設け、放熱フィン１５０によって、可動子１４０において生じた熱を放熱する構成とした。
特開２００４−８８９８１号公報 On the other hand, in the drive guide apparatus according to the conventional example, the heat insulating material 400 is provided between the table 110 and the mover 140 in order not to transfer the heat generated in the mover 140 to the table 110. Furthermore, a heat dissipating fin 150 is provided between the mover 140 and the table 110, and the heat generated in the mover 140 is dissipated by the heat dissipating fin 150.
JP 2004-88981 A

しかしながら、例えば移動ユニット１００の推力を上げることを目的として、より大きな磁界を発生させる可動子１４０を用いる場合には、可動子１４０で生じる熱量が増加してしまい、従来の構成ではそれらの熱を十分に断熱または放熱しきれず、テーブル１１０へ熱が伝達しまう。 However, when the mover 140 that generates a larger magnetic field is used, for example, for the purpose of increasing the thrust of the moving unit 100, the amount of heat generated in the mover 140 increases, and in the conventional configuration, the heat is reduced. The heat cannot be sufficiently insulated or radiated and heat is transferred to the table 110.

上記で説明したように、テーブル１１０に熱が伝達してテーブル１１０が熱膨張すると、移動ブロック１２０とレール２３０の取り付け状態に変動をきたし、移動ブロック１２０とレール２３０の間でガタを生じて振動、騒音が発生したり、駆動案内装置の寿命が短くなる。 As described above, when heat is transferred to the table 110 and the table 110 is thermally expanded, the mounting state of the moving block 120 and the rail 230 changes, and a backlash occurs between the moving block 120 and the rail 230, causing vibration. Noise is generated and the life of the drive guide device is shortened.

この解決策として、放熱フィン１５０の放熱効率を上げることが考えられるが、一般的に放熱フィンの放熱効率を上げるためには、複数の放熱フィンの総表面積を大きくする必要がある。具体的には、隣り合う放熱フィンの間隔を狭め、単位長さあたりに設置される放熱フィンの数を増やしたり、放熱フィンの高さを高くして放熱フィンの１枚あたりの表面積を大きくする、といった方法が考えられる。 As a solution to this, it is conceivable to increase the heat dissipation efficiency of the heat dissipating fins 150. In general, in order to increase the heat dissipating efficiency of the heat dissipating fins, it is necessary to increase the total surface area of the plurality of heat dissipating fins. Specifically, the distance between adjacent radiating fins is narrowed to increase the number of radiating fins installed per unit length, or the height of the radiating fins is increased to increase the surface area per radiating fin. , Etc. can be considered.

しかしながら、放熱フィンの間隔を狭めたり、放熱フィンの高さを高くすると、隣り合うフィンの間で空気対流が起きにくくなる恐れがあり、その結果放熱フィンから十分に放熱がされず、逆に放熱効率が下がってしまう。 However, if the distance between the heat sink fins is reduced or the height of the heat sink fins is increased, air convection may not easily occur between adjacent fins. Efficiency is reduced.

つまり図１２に示すように、従来例における放熱フィン１５０は、放熱フィン１５０の高さを全て同じにする構成であるので、放熱効率を上げるために隣り合う放熱フィン１５０の間隔を狭めたり放熱フィン１５０の高さを高くしても、所望の放熱効果を得られないばかりか、逆に放熱効率が低くなってテーブル１１０の熱膨張を防ぎきれなくなる、といった問題点を生じる。 That is, as shown in FIG. 12, the heat radiation fins 150 in the conventional example have the same height as the heat radiation fins 150. Therefore, in order to increase the heat radiation efficiency, the intervals between the adjacent heat radiation fins 150 are reduced or the heat radiation fins 150 are disposed. Even if the height of 150 is increased, not only the desired heat dissipation effect cannot be obtained, but conversely, the heat dissipation efficiency is lowered and the thermal expansion of the table 110 cannot be prevented.

本発明はこのような実情に鑑みてなされたものであり、リニアモータを駆動源として用い、可動子で生じた熱を放熱するための放熱フィンを備える駆動案内装置において、放熱フィンからの放熱がより効率的に行われる駆動案内装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a situation, and in a drive guide device that uses a linear motor as a drive source and includes a radiation fin for radiating heat generated by the mover, heat radiation from the radiation fin is performed. An object of the present invention is to provide a drive guide device that is more efficiently performed.

上記目的を達成するために本発明にあっては、リニアモータによって、案内ガイドに案内されて移動する移動ユニットを備える駆動案内装置であって、前記移動ユニットは、通電によって磁界を発生する可動子と、前記可動子に対して前記案内ガイドが固定される基台とは反対側に設けられるテーブルと、前記テーブルと前記可動子の間に設けられ、前記可動子で生じる熱を放熱する複数の放熱フィンを有するヒートシンクと、を備える駆動案内装置において、前記ヒートシンクは、前記ヒートシンクに設けられる壁部の上面が前記テーブルの下面に当接して設けられており、前記複数の放熱フィンには、第１の放熱フィンと、第１の放熱フィンよりも高さが低い第２の放熱フィンと、がそれぞれ複数含まれ、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンの間に第２の放熱フィンが配置されることを特徴とする。 In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a drive guide device including a moving unit that is moved by being guided by a guide guide by a linear motor, wherein the moving unit generates a magnetic field when energized. And a table provided on the opposite side of the base on which the guide guide is fixed with respect to the mover, and a plurality of heat dissipating heat generated in the mover, provided between the table and the mover. And a heat sink having a heat radiation fin , wherein the heat sink is provided such that an upper surface of a wall portion provided on the heat sink is in contact with a lower surface of the table . The first radiating fin and the first radiating fin each include a plurality of the first radiating fins and a second radiating fin having a height lower than that of the first radiating fin. Wherein the second heat radiation fins are arranged between the fin.

この構成によると、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンとの間に、これらよりも高さの低い第２の放熱フィンを設けるので、高さの高い第１の放熱フィンによって放熱面の面積を確保しつつ、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンとの間には第２の放熱フィンが設置されることで、第２の放熱フィンによっても放熱しつつ、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンとの間で空気が対流する空間を確保することが可能になる。 According to this configuration, since the second heat radiation fin having a height lower than these is provided between the first heat radiation fin and the first heat radiation fin, the heat radiation surface of the heat radiation surface is increased by the first heat radiation fin having a higher height. While securing the area, the second radiating fin is installed between the first radiating fin and the first radiating fin, so that the first radiating fin is also radiating heat by the second radiating fin. It is possible to ensure a space in which air convects between the first heat dissipating fin and the first heat dissipating fin.

また、第１のフィンと第２のフィンは交互に配置されるとよい。 Further, the first fins and the second fins may be arranged alternately.

また、前記放熱フィンは、前記放熱フィンの放熱面の法線方向が、前記テーブルの移動方向と直交する構成であることも好適である。 Moreover, it is also preferable that the said radiation fin is the structure where the normal line direction of the radiation surface of the said radiation fin is orthogonal to the moving direction of the said table.

この構成によれば、テーブルの移動に伴って放熱フィンの間を空気が通り抜けていき易くなるので、放熱フィンからの放熱がより効果的に行われる。 According to this configuration, air easily passes through the radiation fins as the table moves, so that heat radiation from the radiation fins is performed more effectively.

また、前記テーブルには、前記複数の放熱フィンと対向する部分に孔部が形成されていることも好適である。 Moreover, it is also preferable that the table has holes formed in portions facing the plurality of heat radiating fins.

この構成によると、テーブルの複数の放熱フィンと対向する部分に孔部を形成することで、放熱フィンから放熱される熱が、孔部を通じてテーブルの外側へ逃げやすくなる。 According to this configuration, by forming the hole in the portion of the table that faces the plurality of radiating fins, the heat radiated from the radiating fin can easily escape to the outside of the table through the hole.

また、前記孔部は、前記テーブルの移動方向に直交する方向に長い長孔であることも好適である。 It is also preferable that the hole is a long hole that is long in a direction orthogonal to the moving direction of the table.

この構成によると、孔部の形状を長孔として孔部の面積を大きくすることで、孔部を通じてテーブルの外側へ逃げる熱量をより多くし、かつ長孔の形状をテーブルの移動方向に直交する方向に長い形状とすることで、長孔をテーブルの移動方向に長い形状とする場合よりも剛性を確保することができる。 According to this configuration, by increasing the hole area by using the hole shape as a long hole, the amount of heat escaping to the outside of the table through the hole is increased, and the shape of the long hole is orthogonal to the moving direction of the table. By making the shape long in the direction, it is possible to ensure rigidity compared to the case where the long hole is made long in the moving direction of the table.

以上説明したように、本発明によれば、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンとの間に、これらよりも高さの低い第２の放熱フィンを設けるので、高さの高い第１の放熱フィンによって放熱面の面積を確保しつつ、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンとの間には第２の放熱フィンが設置されることで、第２の放熱フィンによっても放熱しつつ、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンとの間で空気が対流する空間を確保することが可能になる。よって、リニアモータを駆動源として用い、可動子で生じた熱を放熱するための放熱フィンを備える駆動案内装置において、放熱フィンからの放熱がより効率的に行われる駆動案内装置を提供することが可能になる。 As described above, according to the present invention, the second heat radiation fin having a height lower than the first heat radiation fin is provided between the first heat radiation fin and the first heat radiation fin. The heat radiating fins secure the area of the heat radiating surface, and the second heat radiating fin is installed between the first heat radiating fin and the first heat radiating fin, so that heat is also radiated by the second heat radiating fin. However, it is possible to secure a space in which air convects between the first radiating fin and the first radiating fin. Therefore, in a drive guide device that uses a linear motor as a drive source and has a heat radiation fin for radiating heat generated by the mover, it is possible to provide a drive guide device in which heat radiation from the heat radiation fin is performed more efficiently. It becomes possible.

以下に図面を参照して、この発明を実施するための最良の形態を、実施の形態に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。 The best mode for carrying out the present invention will be exemplarily described in detail below based on the embodiments with reference to the drawings. However, the dimensions, materials, shapes, relative arrangements, and the like of the components described in this embodiment are not intended to limit the scope of the present invention only to those unless otherwise specified. Absent.

以下、図１〜図１０を参照して、本発明の実施の形態に係る駆動案内装置について説明する。 Hereinafter, with reference to FIGS. 1-10, the drive guide apparatus which concerns on embodiment of this invention is demonstrated.

［移動ユニットと基台の構成］
図１、図２に、本実施の形態に係る駆動案内装置の概略構成を示す。図１は、本実施の
形態に係る駆動案内装置の概略構成の斜視図である。また、図２は本実施の形態に係る駆動案内装置の断面における概略構成図である。 [Configuration of mobile unit and base]
1 and 2 show a schematic configuration of the drive guide apparatus according to the present embodiment. FIG. 1 is a perspective view of a schematic configuration of the drive guide apparatus according to the present embodiment. FIG. 2 is a schematic configuration diagram in a cross section of the drive guide apparatus according to the present embodiment.

図１、２に示すように、本実施の形態に係る駆動案内装置は、移動ユニット１００と、移動ユニット１００の移動方向を案内する案内ガイドとしてのレール２３０が固定される基台２１０と、を備える。 As shown in FIGS. 1 and 2, the drive guide apparatus according to the present embodiment includes a moving unit 100 and a base 210 to which a rail 230 as a guide guide for guiding the moving direction of the moving unit 100 is fixed. Prepare.

そして、移動ユニット１００には、通電されることで磁界を生じる可動子１４０と、テーブル１１０と、移動ブロック１２０と、が備えられる。 The moving unit 100 includes a mover 140 that generates a magnetic field when energized, a table 110, and a moving block 120.

可動子１４０は、不図示の電磁子コアと電磁子コイルを有する。また、可動子１４０とテーブル１１０との間には、複数の放熱フィン１５０が設けられたヒートシンク１３０が備えられる。なお、放熱フィン付きのヒートシンク１３０の構成については後に説明する。 The mover 140 has an unillustrated electromagnetic core and electromagnetic coil. Further, a heat sink 130 provided with a plurality of heat radiation fins 150 is provided between the mover 140 and the table 110. Note that the configuration of the heat sink 130 with the fins will be described later.

また、可動子１４０はヒートシンク１３０の下面に設けられ、ヒートシンク１３０の上面には複数の放熱フィン１５０が設けられる。さらにヒートシンク１３０は、テーブル１１０にボルト等によって固定される。また、テーブル１１０の幅方向の両端には、それぞれ移動ブロック１２０が設けられる。 The mover 140 is provided on the lower surface of the heat sink 130, and a plurality of heat radiation fins 150 are provided on the upper surface of the heat sink 130. Furthermore, the heat sink 130 is fixed to the table 110 with bolts or the like. In addition, moving blocks 120 are provided at both ends of the table 110 in the width direction.

一方、基台２１０には、移動ブロック１２０の移動を案内する案内ガイドとして、一対のレール２３０が互いに平行に固定される。また、基台２１０には、可動子１４０と対向する部分に磁石等を有する固定子２２０が設けられる。なお、固定子２２０と可動子１４０との間には隙間が設けられる。 On the other hand, a pair of rails 230 are fixed to the base 210 in parallel to each other as a guide for guiding the movement of the moving block 120. In addition, the base 210 is provided with a stator 220 having a magnet or the like at a portion facing the mover 140. A gap is provided between the stator 220 and the mover 140.

そして、移動ブロック１２０がレール２３０に取り付けられることで、移動ユニット１００はレール２３０に沿って移動自在に構成される。なお、移動ブロック１２０とレール２３０の取り付け部分の構成等に関しては、後に説明する。 The moving unit 100 is configured to be movable along the rail 230 by attaching the moving block 120 to the rail 230. The configuration of the attachment part of the moving block 120 and the rail 230 will be described later.

このように構成される駆動案内装置において、不図示の電源から可動子１４０が通電されると、可動子１４０が磁界を生じる。そして、固定子２２０が形成する磁界との磁気相互作用によって、可動子１４０が設けられる移動ユニット１００がレール２３０に沿って移動する。 In the drive guide apparatus configured as described above, when the mover 140 is energized from a power source (not shown), the mover 140 generates a magnetic field. Then, the moving unit 100 provided with the mover 140 moves along the rail 230 by the magnetic interaction with the magnetic field formed by the stator 220.

すなわち、本実施の形態における駆動案内装置においては、可動子１４０と固定子２２０とによって構成されるリニアモータによって、移動ユニット１００が基台２１０に対して移動する構成である。 That is, in the drive guide apparatus in the present embodiment, the moving unit 100 is moved with respect to the base 210 by the linear motor configured by the mover 140 and the stator 220.

［移動ブロックとレールの取り付け部分の構成］
本実施の形態においては、移動ブロック１２０とレール２３０との間に、転動体（ボール、ローラ等）を介在させることで、移動ブロック１２０がレール２３０に案内されて移動することが可能な転がり案内を有する構成とした。以下、図３〜図５を参照して、移動ブロック１２０と、レール２３０の取り付け部分の構成について説明する。ここでは、転動体の一例としてボールを用いる場合について説明を行う。 [Configuration of moving block and rail mounting part]
In the present embodiment, a rolling guide that allows the moving block 120 to move while being guided by the rail 230 by interposing rolling elements (balls, rollers, etc.) between the moving block 120 and the rail 230. It was set as the structure which has. Hereinafter, with reference to FIGS. 3-5, the structure of the attachment part of the moving block 120 and the rail 230 is demonstrated. Here, a case where a ball is used as an example of a rolling element will be described.

図４に示すように、レール２３０には、その長手方向に沿って転動体転走面としてのボール転走溝２３１が左右側面に２条ずつ形成される。一方、移動ブロック１２０には、ボール転走溝２３１に対向する負荷転動体転走路をなす負荷転走溝１２１を含む、無限循環路が形成される。 As shown in FIG. 4, two rail rolling grooves 231 are formed on the left and right side surfaces of the rail 230 along the longitudinal direction as rolling element rolling surfaces. On the other hand, the moving block 120 is formed with an infinite circulation path including a load rolling groove 121 that forms a load rolling element rolling path facing the ball rolling groove 231.

そして無限循環路には、レール２３０に対する移動ブロック１２０の相対移動に伴って、ボール転走溝２３１と負荷転走溝１２１との間で転動して循環する複数のボール２３２が配列、収容されている。 A plurality of balls 232 that roll and circulate between the ball rolling groove 231 and the load rolling groove 121 as the moving block 120 moves relative to the rail 230 are arranged and accommodated in the infinite circulation path. ing.

また、図３に示すように、移動ブロック１２０は、負荷転走溝１２１及び、これに平行なボール戻し路を備える移動ブロック本体１２０ａと、この移動ブロック本体１２０ａの両端にそれぞれ結合される一対のエンドキャップ１２０ｂと、を備える。なお、エンドキャップ１２０ｂは、負荷転走溝１２１とボール戻し路を連結するものである。 As shown in FIG. 3, the moving block 120 includes a load rolling groove 121 and a moving block main body 120a having a ball return path parallel to the load rolling groove 121, and a pair of ends coupled to both ends of the moving block main body 120a. An end cap 120b. The end cap 120b connects the load rolling groove 121 and the ball return path.

上記移動ブロック１２０に形成された負荷転走溝１２１は、レール２３０に形成された各ボール転走溝２３１に対向して形成されており、負荷転走溝１２１とボール転走溝２３１との間には複数のボール２３２が介在する。 The load rolling groove 121 formed on the moving block 120 is formed to face each ball rolling groove 231 formed on the rail 230, and between the load rolling groove 121 and the ball rolling groove 231. There are a plurality of balls 232 interposed therebetween.

そして、これら複数のボール２３２は、移動ブロック１２０の移動に伴い、エンドキャップ１２０ｂに形成された方向転換路を介してボール戻し路へと送り込まれ、再び負荷転走溝１２１に導かれ、無限循環路を循環する。 Then, the plurality of balls 232 are sent to the ball return path through the direction changing path formed in the end cap 120b as the moving block 120 moves, and are led to the load rolling groove 121 again, and are infinitely circulated. Circulate the road.

図５に示すように、複数のボール２３２は、保持部材２３５によって回転自在に保持される。この保持部材２３５は、ボール２３２と交互に配置された間座１２２と、間座１２２を接続する薄板状の可撓性を有するベルト２３４とで構成される。 As shown in FIG. 5, the plurality of balls 232 are rotatably held by the holding member 235. The holding member 235 includes spacers 122 arranged alternately with balls 232 and a thin plate-like flexible belt 234 connecting the spacers 122.

また、図４に示すように、レール２３０の上面と移動ブロック１２０との間、並びにレール２３０の側面と移動ブロック１２０との間には、シール部材１２５，１２６が配設される。 As shown in FIG. 4, seal members 125 and 126 are disposed between the upper surface of the rail 230 and the moving block 120 and between the side surface of the rail 230 and the moving block 120.

シール部材１２５，１２６は、ボール転走溝２３１と負荷転走溝１２１との間に充填される潤滑剤の外部への漏れ、または外部からの塵埃の侵入を防ぐために設けられるものである。 The seal members 125 and 126 are provided to prevent leakage of the lubricant filled between the ball rolling groove 231 and the load rolling groove 121 to the outside or entry of dust from the outside.

ところで、上記では、レール２３０と移動ブロック１２０とがボールなどの転動体（ボール又はローラ）を介して相対移動自在である、転がり案内の構成について説明したが、本実施の形態における駆動案内装置の構成はこれに限らず、すべり案内の構成を採用してもよい。 In the above description, the configuration of the rolling guide in which the rail 230 and the moving block 120 are relatively movable via a rolling element such as a ball (ball or roller) has been described. The configuration is not limited to this, and a sliding guide configuration may be employed.

図８は、すべり方式の案内機構を備えた駆動案内装置の概略構成例を示す図である。 FIG. 8 is a diagram illustrating a schematic configuration example of a drive guide apparatus including a sliding type guide mechanism.

図８に示すように、すべり方式の案内機構は、断面矩形状のレール２３０と、レール２３０に跨架状態にして相対運動自在に組み付けられ、上面にテーブル１１０が装着される移動ブロック１２０を有しており、基台２１０上に左右一対設けられている。 As shown in FIG. 8, the sliding-type guide mechanism has a rail 230 having a rectangular cross section, and a movable block 120 that is mounted on the upper surface of the rail 230 so as to be able to move relative to the rail 230. A pair of left and right is provided on the base 210.

レール２３０及び移動ブロック１２０は、すべり案内、つまり、互いの間に転動体は介装されず、直接当接して摺動自在に組み込まれている。 The rail 230 and the moving block 120 are incorporated in a sliding guide, that is, slidably in contact with each other without a rolling element interposed therebetween.

［放熱フィンの構成］
図１、図２に示す本実施の形態に係る駆動案内装置における放熱フィン１５０の取り付け部分を拡大して、図６，図７に示す。 [Configuration of heat dissipation fins]
6 and 7 are enlarged views of the attachment portion of the radiation fin 150 in the drive guide apparatus according to the present embodiment shown in FIGS.

図６、図７に示すように、上記のように構成される駆動案内装置においては、可動子１４０が通電されて発熱した場合に、生じた熱を放熱するための放熱フィン１５０を設ける構成とした。 As shown in FIGS. 6 and 7, in the drive guide device configured as described above, when the mover 140 is energized and generates heat, the heat dissipating fins 150 are provided for radiating the generated heat. did.

具体的には、ヒートシンク１３０の上面に放熱フィン１５０を複数設ける構成とした。また、本実施の形態においては、放熱フィン１５０が高さの異なる第１の放熱フィン１５１と第２の放熱フィン１５２を含むものとした。 Specifically, a plurality of heat radiation fins 150 are provided on the upper surface of the heat sink 130. Moreover, in this Embodiment, the radiation fin 150 shall include the 1st radiation fin 151 and the 2nd radiation fin 152 from which height differs.

そして、第１の放熱フィン（高いほうのフィン）１５１と第２の放熱フィン（低いほうのフィン）１５２を交互に設ける構成とした。また、放熱フィン１５０は、移動ユニット１００の移動方向と平行になるように並べた。そうすることによって、放熱フィン１５０の放熱面の法線方向が、テーブル１１０の移動方向と直交するように構成される。 The first radiating fin (higher fin) 151 and the second radiating fin (lower fin) 152 are alternately provided. Further, the heat radiating fins 150 are arranged in parallel with the moving direction of the moving unit 100. By doing so, the normal line direction of the heat radiating surface of the heat radiating fin 150 is configured to be orthogonal to the moving direction of the table 110.

また、第１の放熱フィン１５１は、その表面積が大きくなるように、高さをできる限り大きくした。一方で、寸法公差等を考慮して、その上面がテーブル１１０の下面に当接しない高さに設定した。 Further, the height of the first radiating fin 151 is increased as much as possible so that the surface area thereof is increased. On the other hand, in consideration of dimensional tolerances and the like, the upper surface is set to a height that does not contact the lower surface of the table 110.

次に放熱のメカニズムについて説明する。まず、リニアモータの駆動と共に可動子１４０で発生した熱は、上記で説明した放熱フィン付きヒートシンク１３０に伝わる。なお、放熱フィン付きヒートシンク１３０には、例えば内部にヒートパイプが配設された既知の構成のものを用いるものとする。 Next, the heat dissipation mechanism will be described. First, the heat generated in the mover 140 along with the driving of the linear motor is transmitted to the heat sink 130 with fins described above. For example, a heat sink with a radiation fin having a known configuration in which a heat pipe is disposed is used.

そして、ヒートシンク１３０に伝わった熱は、ヒートシンク１３０上に備えられる放熱フィン１５０から放熱される。図６、図７に示すように、本実施の形態においては、放熱フィン１５０として、高さの異なる第１の放熱フィン１５１と第２の放熱フィン１５２を用いるものとし、第１のフィン（高いほうのフィン）の間に第２のフィン（低いほうのフィン）が設けられる構成とした。 The heat transmitted to the heat sink 130 is radiated from the heat radiation fins 150 provided on the heat sink 130. As shown in FIGS. 6 and 7, in the present embodiment, as the heat radiation fins 150, the first heat radiation fins 151 and the second heat radiation fins 152 having different heights are used. The second fin (lower fin) is provided between the two fins.

一般的に放熱フィンの放熱効率を上げるための手法としては、放熱フィンの表面積を増やすことが考えられる。特に複数の放熱フィンがそれぞれ平行に配列されるような場合では、放熱フィン全体の総表面積を増やすことで、放熱効率を上げることが可能となる。具体的には、１枚１枚の放熱フィンを大きくして表面積を増やす、または並べられる放熱フィンの間隔を狭めて、単位長さあたりの放熱フィンの数を増やす、などが考えられる。 In general, as a technique for increasing the heat radiation efficiency of the heat radiation fins, it is conceivable to increase the surface area of the heat radiation fins. In particular, in the case where a plurality of radiating fins are arranged in parallel, it is possible to increase the radiating efficiency by increasing the total surface area of the entire radiating fins. Specifically, it is conceivable to increase the surface area by increasing the size of each radiating fin, or to increase the number of radiating fins per unit length by narrowing the interval between the radiating fins arranged.

しかしながら、１枚１枚の放熱フィンの高さを出来る限り大きくして放熱フィンの表面積を増やす、または放熱フィンの間隔を狭めて単位長さあたりの放熱フィンの数を増やすと、放熱フィンの間のスペースで空気が対流しにくくなってしまう。 However, if the surface area of the radiating fins is increased by increasing the height of each radiating fin as much as possible, or the distance between the radiating fins is decreased to increase the number of radiating fins per unit length, Air becomes difficult to convect in the space.

そこで本実施の形態においては、第１の放熱フィン１５１と第１の放熱フィン１５１との間に、これらよりも高さの低い第２の放熱フィン１５２を設け、高さの高い第１の放熱フィン１５１によって放熱面の面積を確保しつつ、第１の放熱フィン１５１と第１の放熱フィン１５１との間には第２の放熱フィン１５２が設置されることで、第２の放熱フィン１５２によっても放熱しつつ、第１の放熱フィン１５１と第１の放熱フィン１５１との間で空気が対流する空間を確保する構成とした。 Therefore, in the present embodiment, a second heat radiation fin 152 having a height lower than these is provided between the first heat radiation fin 151 and the first heat radiation fin 151, and the first heat radiation having a higher height. While securing the area of the heat radiation surface by the fin 151, the second heat radiation fin 152 is installed between the first heat radiation fin 151 and the first heat radiation fin 151. In addition, a space in which air convects between the first radiating fins 151 and the first radiating fins 151 is secured while radiating heat.

その結果、放熱フィン同士の間隔を狭めて単位長さ辺りの放熱フィンの数を増やしつつ、放熱フィン間で空気が対流できるスペースを確保することができ、放熱効率を上げることが可能になる。 As a result, it is possible to secure a space in which air can be convected between the radiation fins while increasing the number of radiation fins per unit length by narrowing the interval between the radiation fins, and it is possible to increase the radiation efficiency.

また、放熱フィン付きヒートシンク１３０は、テーブル１１０の下面に対して、ヒートシンク１３０に設けられる壁部１７０の上面が当接することで固定される。図６に示すように、本実施の形態においては、壁部１７０が３箇所設けられ、それぞれの壁部１７０の上面がテーブル１１０の下面に固定される。 Further, the heat sink 130 with the fins is fixed by the upper surface of the wall portion 170 provided on the heat sink 130 coming into contact with the lower surface of the table 110. As shown in FIG. 6, in the present embodiment, three wall portions 170 are provided, and the upper surface of each wall portion 170 is fixed to the lower surface of the table 110.

また、第１の放熱フィン１５１、及び第２の放熱フィン１５２ともに壁部１７０の上面よりも高さを低くすることで、第１の放熱フィン１５１、及び第２の放熱フィン１５２ともに、その上面がテーブル１１０の下面に当接しない構成とした。なお、壁部１７０の上面はテーブル１１０下面に対してボルト等で固定される。 In addition, both the first and second heat dissipating fins 151 and 152 are lower than the upper surface of the wall 170 so that both the first and second heat dissipating fins 151 and 152 have their upper surfaces. Is configured not to contact the lower surface of the table 110. The upper surface of the wall 170 is fixed to the lower surface of the table 110 with a bolt or the like.

また、本実施の形態では、壁部１７０を介してヒートシンク１３０からテーブル１１０に熱を伝え、テーブル１１０において放熱可能に構成される。そのような構成とすることで、放熱フィン１５０で熱を放熱しきれなかった場合に、放熱しきれなかった熱をテーブル１１０に伝え、テーブル１１０において放熱をすることが可能になるので、放熱量を増加させることができる。また、本実施の形態では、ヒートシンク１３０の熱をより効果的に放熱するために、ヒートシンク１３０の表面に黒色表面処理を施す構成とした。 Further, in the present embodiment, heat is transmitted from the heat sink 130 to the table 110 through the wall portion 170 so that the table 110 can dissipate heat. With such a configuration, when heat cannot be radiated by the radiating fins 150, the heat that could not be radiated can be transmitted to the table 110 and radiated at the table 110. Can be increased. In the present embodiment, the surface of the heat sink 130 is subjected to black surface treatment in order to dissipate the heat of the heat sink 130 more effectively.

[テーブルの構成]
また、図９に示すように、本実施の形態においては、放熱フィン１５０の放熱効率をさらに向上させるために、テーブル１１０の放熱フィン１５０と対向する部分に孔部１１１を形成する構成とした。 [Table structure]
As shown in FIG. 9, in the present embodiment, in order to further improve the heat radiation efficiency of the heat radiating fin 150, the hole 111 is formed in a portion of the table 110 facing the heat radiating fin 150.

この構成によると、テーブル１１０の放熱フィン１５０と対向する部分に孔部１１１を形成することで、放熱フィン１５０から放熱される熱が孔部１１１を通じてテーブル１１０の外側へ逃げやすくなる。その結果、放熱フィン１５０からの放熱量が増加する。また、テーブル１１０に孔部１１１を形成するのでテーブル１１０を軽量化することも可能になる。 According to this configuration, by forming the hole 111 in the portion of the table 110 that faces the heat radiating fin 150, the heat radiated from the heat radiating fin 150 can easily escape to the outside of the table 110 through the hole 111. As a result, the amount of heat released from the heat radiating fins 150 increases. Further, since the hole 111 is formed in the table 110, the table 110 can be reduced in weight.

また、孔部１１１の形状を長孔とすることで、テーブル１１０の幅方向の熱分布の偏りを抑制できる。 In addition, by making the shape of the hole 111 a long hole, it is possible to suppress the uneven heat distribution in the width direction of the table 110.

ここで駆動案内装置において、移動ユニットの推力を高めるためには磁界を大きくしなければならず、そのためには、コイルの数を増やしたり、コイルを大きくする必要がある。 Here, in the drive guide device, in order to increase the thrust of the moving unit, the magnetic field must be increased. For this purpose, it is necessary to increase the number of coils or to increase the size of the coils.

そのため、高さ寸法、長さ寸法、幅寸法のうち少なくともいずれかを大きくしなければならない。しかしながら、高さ寸法を高くすることは、移動ユニット１００の高さが高くなってしまうことから、その高さを制限されることがある。 Therefore, at least one of the height dimension, the length dimension, and the width dimension must be increased. However, increasing the height dimension may limit the height of the moving unit 100 because it increases.

また、長さ寸法を長くすることは、移動ユニット１００の移動方向の長さが増えるために、その分移動ユニット１００の移動範囲が狭まってしまう。 Further, increasing the length dimension increases the length of the moving unit 100 in the moving direction, and thus the moving range of the moving unit 100 is narrowed accordingly.

このように、高さ寸法と長さ寸法に制限がある場合は、移動ユニット１００の推力を高めるためには、テーブル１１０の幅寸法を大きくせざるを得ない。 As described above, when the height dimension and the length dimension are limited, in order to increase the thrust of the moving unit 100, the width dimension of the table 110 must be increased.

その結果、可動子１４０、及びテーブル１１０の幅方向の寸法が大きくなる。そして、可動子１４０、及びテーブル１１０の幅方向の寸法が大きくなると、可動子１４０及び固定子２２０の磁気吸引力等により、テーブル１１０の移動ブロック１２０を支点とする下方への撓み量が増大する傾向となる。 As a result, the dimension in the width direction of the mover 140 and the table 110 is increased. When the dimension in the width direction of the mover 140 and the table 110 increases, the amount of downward deflection with the moving block 120 of the table 110 as a fulcrum increases due to the magnetic attraction force of the mover 140 and the stator 220. It becomes a trend.

特に、テーブル１１０に長孔を設ける場合、長孔の形状をテーブル１１０の移動方向に長い形状とする場合は、テーブル１１０の撓み量は大きくなってしまう。 In particular, when a long hole is provided in the table 110, if the shape of the long hole is made long in the moving direction of the table 110, the amount of bending of the table 110 becomes large.

しかし、本実施の形態のように長孔の形状をテーブル１１０の移動方向に直交する方向
に長い形状とすることで、長孔の形状をテーブル１１０の移動方向に長い形状とする場合よりも、テーブル１１０の撓み量を低減させることが可能になる。 However, by making the shape of the long hole long in the direction orthogonal to the moving direction of the table 110 as in the present embodiment, the shape of the long hole is made long in the moving direction of the table 110. The amount of bending of the table 110 can be reduced.

ただし、放熱フィン１５０からの放熱で足りる場合は、図１０に示すように、テーブル１１０に孔部１１１を設けない構成であってもよい。孔部１１１を設けないことによって、テーブル１１０の剛性を上げることが可能になる。 However, when the heat radiation from the heat radiation fins 150 is sufficient, as shown in FIG. 10, the table 110 may not be provided with the hole 111. By not providing the hole 111, the rigidity of the table 110 can be increased.

また、本実施の形態においては、テーブル１１０に伝わった熱をより効果的に放熱するために、テーブル１１０の表面に黒色表面処理を施す構成とした。 In the present embodiment, the surface of the table 110 is subjected to a black surface treatment in order to dissipate the heat transmitted to the table 110 more effectively.

また、テーブル１１０に、従来のアルミニウム合金（熱膨張係数１９〜２３×（１０^−６／Ｋ））や鉄（熱膨張係数１１〜１２×（１０^−６／Ｋ））に対して、株式会社榎本鋳工製ノビナイト（登録商標）ＣＤ−５（熱膨張係数１１〜１２×（１０^−６／Ｋ））を用いた。この構成によれば、放熱フィン１５０で放熱しきれなかった熱がテーブル１１０に伝わる場合に、テーブル１１０の熱膨張量を抑えることができる。 In addition, for the conventional aluminum alloy (thermal expansion coefficient 19 to 23 × (10 ⁻⁶ / K)) and iron (thermal expansion coefficient 11 to 12 × (10 ⁻⁶ / K)) on the table 110, Nobinite (registered trademark) CD-5 (thermal expansion coefficient 11 to 12 × (10 ⁻⁶ / K)) manufactured by Enomoto Casting Co., Ltd. was used. According to this configuration, when the heat that cannot be radiated by the radiating fins 150 is transmitted to the table 110, the thermal expansion amount of the table 110 can be suppressed.

しかしながら、上記で説明したテーブル１１０の表面に黒色表面処理を施す方法は、放熱フィン１５０で放熱しきれない熱がテーブル１１０に伝わった場合に、テーブル１１０で効果的に放熱するための方法であるので、放熱フィン１５０からの放熱で十分に品質を満たすような場合は、この方法を用いなくともよい。 However, the method of performing the black surface treatment on the surface of the table 110 described above is a method for effectively radiating heat at the table 110 when heat that cannot be radiated by the radiating fins 150 is transmitted to the table 110. Therefore, this method may not be used when the quality is sufficiently satisfied by the heat radiation from the heat radiation fins 150.

以上より、本実施の形態によれば、放熱フィン１５０の放熱効率を上げることが可能になるので、放熱フィン１５０からの放熱がより効率的に行われる駆動案内装置を提供することが可能になる。また、従来のように可動子１４０とテーブル１１０の間に断熱材を挟むと、一般的に断熱材の剛性は低いので、装置本体の強度が不足してしまう。しかし、本実施の形態においては、可動子１４０とテーブル１１０の間に断熱材を設ける構成ではないので、装置本体の強度を向上させることが可能になる。 As described above, according to the present embodiment, it is possible to increase the heat radiation efficiency of the heat radiating fins 150, and thus it is possible to provide a drive guide device in which heat radiation from the heat radiating fins 150 is performed more efficiently. . Further, when a heat insulating material is sandwiched between the mover 140 and the table 110 as in the prior art, the rigidity of the heat insulating material is generally low, so that the strength of the apparatus main body is insufficient. However, in this embodiment, since the heat insulating material is not provided between the mover 140 and the table 110, the strength of the apparatus main body can be improved.

（その他の実施の形態）
上記では第１の放熱フィン１５１と第２の放熱フィン１５２を交互に配列するものとしたが、第１の放熱フィン１５１と第１の放熱フィン１５１との間に第２の放熱フィンを複数設ける構成であってもよい。具体的には、第１の放熱フィン１５１と第１の放熱フィン１５１の間に第２の放熱フィン１５２を２枚設ける構成などが挙げられる。 (Other embodiments)
In the above description, the first heat radiation fins 151 and the second heat radiation fins 152 are alternately arranged. However, a plurality of second heat radiation fins are provided between the first heat radiation fins 151 and the first heat radiation fins 151. It may be a configuration. Specifically, a configuration in which two second heat radiation fins 152 are provided between the first heat radiation fins 151 and the first heat radiation fins 151 is exemplified.

また、上記では放熱フィン１５０は、高さの異なる２種類の放熱フィン（第１の放熱フィン１５１と第２の放熱フィン１５２）を含む構成としたが、放熱フィン１５０の構成はこれに限られるものではなく、例えば第１の放熱フィン１５１、第２の放熱フィン１５２の他に、第１、第２の放熱フィンと高さが異なる放熱フィンを有する構成であってもよい。 In the above description, the heat radiation fin 150 includes two types of heat radiation fins (the first heat radiation fin 151 and the second heat radiation fin 152) having different heights, but the structure of the heat radiation fin 150 is limited to this. For example, in addition to the first radiating fin 151 and the second radiating fin 152, a configuration having a radiating fin having a height different from that of the first and second radiating fins may be used.

本実施の形態に係る駆動案内装置の斜視図The perspective view of the drive guide apparatus which concerns on this Embodiment 本実施の形態に係る駆動案内装置の正面図Front view of drive guide apparatus according to the present embodiment 本実施の形態における案内ガイドと移動ブロックの取り付け構成図Mounting configuration diagram of guide guide and moving block in the present embodiment 本実施の形態における案内ガイドと移動ブロックの取り付け構成図Mounting configuration diagram of guide guide and moving block in the present embodiment 本実施の形態における移動ブロックの概略構成図Schematic configuration diagram of a moving block in the present embodiment 本実施の形態における放熱フィンの正面図Front view of radiating fin in the present embodiment 本実施の形態における放熱フィンの斜視図The perspective view of the radiation fin in this Embodiment すべり案内の案内機構を備える駆動案内装置の概略構成図Schematic configuration diagram of a driving guide device provided with a sliding guide mechanism 本実施の形態におけるテーブルの斜視図The perspective view of the table in this Embodiment 本実施の形態に係る駆動案内装置の斜視図The perspective view of the drive guide apparatus which concerns on this Embodiment 従来例に係る駆動案内装置の概略構成図Schematic configuration diagram of a driving guide device according to a conventional example 従来例に係る放熱フィンの概略構成図Schematic configuration diagram of radiating fin according to conventional example

符号の説明Explanation of symbols

１００移動ユニット
１１０テーブル
１１１孔部
１２０移動ブロック
１２０ａ移動ブロック本体
１２０ｂエンドキャップ
１２１負荷転走溝
１２２間座
１２５シール部材
１２６シール部材
１３０ヒートシンク
１３５隙間
１３６ネジ穴
１４０可動子
１５０放熱フィン
１５１第１の放熱フィン
１５２第２の放熱フィン
１７０壁部
２１０基台
２２０固定子
２３０レール（案内ガイド）
２３１ボール転走溝
２３２ボール
２３４ベルト
２３５保持部材
４００断熱材 100 moving unit 110 table 111 hole 120 moving block 120a moving block main body 120b end cap 121 load rolling groove 122 spacer 125 seal member 126 seal member 130 heat sink 135 gap 136 screw hole 140 mover 150 heat radiation fin 151 first heat radiation Fin 152 Second radiation fin 170 Wall 210 Base 220 Stator 230 Rail (Guide guide)
231 Ball rolling groove 232 Ball 234 Belt 235 Holding member 400 Heat insulating material

Claims

リニアモータによって、案内ガイドに案内されて移動する移動ユニットを備える駆動案内装置であって、
前記移動ユニットは、
通電によって磁界を発生する可動子と、
前記可動子に対して前記案内ガイドが固定される基台とは反対側に設けられるテーブルと、
前記テーブルと前記可動子の間に設けられ、前記可動子で生じる熱を放熱する複数の放熱フィンを有するヒートシンクと、
を備える駆動案内装置において、
前記ヒートシンクは、前記ヒートシンクに設けられる壁部の上面が前記テーブルの下面に当接して設けられており、
前記複数の放熱フィンには、
第１の放熱フィンと、
第１の放熱フィンよりも高さが低い第２の放熱フィンと、
がそれぞれ複数含まれ、
第１の放熱フィンと第１の放熱フィンの間に第２の放熱フィンが配置されることを特徴とする駆動案内装置。 A drive guide device including a moving unit that is moved by being guided by a guide guide by a linear motor,
The mobile unit is
A mover that generates a magnetic field when energized;
A table provided on the opposite side of the base on which the guide guide is fixed with respect to the mover;
A heat sink having a plurality of heat dissipating fins provided between the table and the mover to dissipate heat generated by the mover;
In a drive guide device comprising:
The heat sink is provided such that the upper surface of the wall portion provided in the heat sink is in contact with the lower surface of the table,
In the plurality of heat radiation fins,
A first heat dissipating fin;
A second radiating fin having a lower height than the first radiating fin;
Is included multiple times,
A drive guide device, wherein a second radiation fin is disposed between the first radiation fin and the first radiation fin.

第１の放熱フィンと第２の放熱フィンは交互に配置されることを特徴とする請求項１に記載の駆動案内装置。 The drive guide apparatus according to claim 1, wherein the first heat radiation fins and the second heat radiation fins are alternately arranged.

前記放熱フィンは、
前記放熱フィンの放熱面の法線方向が、前記テーブルの移動方向と直交する構成であることを特徴とする請求項１または２に記載の駆動案内装置。 The radiating fin is
3. The drive guide device according to claim 1, wherein a normal direction of a heat radiating surface of the heat radiating fin is orthogonal to a moving direction of the table.

前記テーブルには、
前記複数の放熱フィンと対向する部分に孔部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の駆動案内装置。 In the table,
The drive guide apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein a hole is formed in a portion facing the plurality of radiation fins.

前記孔部は、
前記テーブルの移動方向に直交する方向に長い長孔であることを特徴とする請求項４に記載の駆動案内装置。 The hole is
The drive guide apparatus according to claim 4, wherein the drive guide device is a long hole that is long in a direction orthogonal to a moving direction of the table.