JP2006283892A

JP2006283892A - Table device

Info

Publication number: JP2006283892A
Application number: JP2005105526A
Authority: JP
Inventors: Sosuke Kawashima; 壯介河島; Nobuhito Saji; 伸仁佐治; Takeshi Nakamura; 中村　　剛; Takashi Hirano; 敬平野; Toshinori Sato; 俊徳佐藤; Masaaki Watanabe; 公明渡邊
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2005-03-31
Filing date: 2005-03-31
Publication date: 2006-10-19

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a table device capable of holding a movable beam in a fixed shape always without being affected by thermal expansion even when the movable beam causes thermal expansion and manufacturing an object and conducting its inspection accurately and always. <P>SOLUTION: This table device is provided with a pair of linear guides 6, the movable beam 4 moving along the linear guides, and a driving device 13 for moving the movable beam. The linear guide is provided with a guide member 7, a slider 8, a plurality of rolling bodies 9 circulating between raceway grooves 7a and 8a and between raceway grooves 7b and 8b in at least two rows formed by opposing mutually between the guide member and the slider, and rolling body passages 10 in at least two rows for circulating the plurality of rolling bodies. At least two contact lines among a plurality of contact lines for connecting mutual contact points of the rolling bodies, the slider, and the guide member with respective raceway grooves are set to cross mutually on a guide member side. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば、フラットパネルディスプレイの製造や検査などで使用されるテーブル装置に関する。 The present invention relates to a table device used, for example, in the manufacture and inspection of flat panel displays.

従来から、例えば製造用機材や検査用ツールなどを搭載した可動梁を移動させながら、フラットパネルディスプレイの製造や検査を行うための装置が知られている(特許文献１参照)。
このような装置は、例えば図７に示すように、架台２と、架台２の上面に突設され、かつ、架台２の両端にそれぞれ延設された一対のリニアガイド２０と、リニアガイド２０相互間に渡って跨るように配置され、リニアガイド２０に沿って移動可能な可動梁４とを備えている。なお、可動梁４とリニアガイド２０とは連結板２２を介して連結されている。 2. Description of the Related Art Conventionally, an apparatus for manufacturing and inspecting a flat panel display while moving a movable beam carrying, for example, manufacturing equipment or an inspection tool is known (see Patent Document 1).
For example, as shown in FIG. 7, such an apparatus includes a gantry 2, a pair of linear guides 20 protruding from the upper surface of the gantry 2, and extending at both ends of the gantry 2, and the linear guides 20. The movable beam 4 is arranged so as to straddle between and movable along the linear guide 20. The movable beam 4 and the linear guide 20 are connected via a connecting plate 22.

また、例えば図８に示すように、一対のリニアガイド２０の間には、複数の永久磁石２４ａと電機子２４ｂを備えるリニアモータ２４が設けられており、可動梁４は、当該リニアモータ２４によって駆動されて、リニアガイド２０に沿って直線移動する。さらに、可動梁４は、当該可動梁４に沿って移動する梁スライダ１２を備えており、梁スライダ１２上に、測定用光源、カメラ、リペア用アクチュエータなどの各種の図示しない検査機器（以下、エンドエフェクターという）を搭載できるようになっている。
なお、架台２の上面には、対象物取付台１４が設けられ、対象物取付台１４の対象物取付面１４ａ上に対象物１６を取り付けられる(載置できる)ようになっている。例えば、対象物１６としてフラットパネルディスプレイを想定した場合、当該フラットパネルディスプレイの平面性検査では、フラットパネルディスプレイを対象物取付面１４ａ上に載置した上で、エンドエフェクターを搭載した梁スライダ１２を可動梁４に沿って移動させるとともに、可動梁４をリニアガイド２０に沿って移動させながら当該検査を行う。 Further, for example, as shown in FIG. 8, a linear motor 24 including a plurality of permanent magnets 24 a and an armature 24 b is provided between the pair of linear guides 20, and the movable beam 4 is moved by the linear motor 24. When driven, it linearly moves along the linear guide 20. Furthermore, the movable beam 4 includes a beam slider 12 that moves along the movable beam 4, and on the beam slider 12, various inspection apparatuses (not shown) such as a measurement light source, a camera, and a repair actuator (hereinafter, referred to as “light source”). End effector) can be installed.
Note that an object mounting base 14 is provided on the top surface of the gantry 2, and the object 16 can be mounted (can be placed) on the object mounting surface 14 a of the object mounting base 14. For example, when a flat panel display is assumed as the object 16, in the flatness inspection of the flat panel display, the beam slider 12 on which the end effector is mounted is mounted after the flat panel display is placed on the object mounting surface 14 a. The inspection is performed while moving the movable beam 4 along the linear guide 20 while moving the movable beam 4 along the linear guide 20.

ところで、このような検査作業を行っている間に、可動梁４に搭載したエンドエフェクターが発熱し、これに伴って、可動梁４及び架台２の温度もそれぞれ上昇し、可動梁４と架台２がそれぞれ熱膨張を起こす場合がある。例えば、可動梁４がエンドエフェクターから発せられる熱の影響を強く受けて、架台２よりも温度が上昇するとともに、架台２よりも大きく熱膨張する場合がある。この場合、可動梁４は、架台２に対してリニアガイド２０のガイド方向と直交する方向に伸びる。また、可動梁４の熱膨張係数が、架台２の熱膨張係数よりも大きい場合には、可動梁４は架台よりもさらに大きく熱膨張するため、可動梁４は、架台２に対して前記直交方向にさらに伸びる。 By the way, while performing such inspection work, the end effector mounted on the movable beam 4 generates heat, and accordingly, the temperatures of the movable beam 4 and the gantry 2 also rise, and the movable beam 4 and the gantry 2 are increased. May cause thermal expansion. For example, the movable beam 4 is strongly influenced by the heat generated from the end effector, so that the temperature rises more than the gantry 2 and may expand more than the gantry 2. In this case, the movable beam 4 extends in a direction perpendicular to the guide direction of the linear guide 20 with respect to the gantry 2. Further, when the thermal expansion coefficient of the movable beam 4 is larger than the thermal expansion coefficient of the gantry 2, the movable beam 4 is further thermally expanded than the gantry, so that the movable beam 4 is orthogonal to the gantry 2. Extend further in the direction.

このように可動梁４が熱膨張して伸びると、この伸びにより架台２はモーメントを受け逆ハの字状に開き、その力がリニアガイド２０を構成する、例えばリニアガイドレール及びベアリングを介して、可動梁４の両端部にモーメントとして作用し、可動梁４の中央部が大きく湾曲してしまう(図７に示す実線の状態)。この場合、可動梁４に搭載されたエンドエフェクターの対象物１６に対する作業点(例えば、カメラの焦点)が変位してしまう。このため、検査を正確に行うことができなくなってしまう。
特開２００４−１２９３９４号公報 When the movable beam 4 expands due to thermal expansion in this way, the gantry 2 receives a moment and opens in a reverse C shape due to this elongation, and the force constitutes the linear guide 20 via, for example, a linear guide rail and a bearing. Then, it acts on both ends of the movable beam 4 as a moment, and the central portion of the movable beam 4 is greatly curved (the state of the solid line shown in FIG. 7). In this case, the work point (for example, the focal point of the camera) with respect to the target 16 of the end effector mounted on the movable beam 4 is displaced. For this reason, the inspection cannot be performed accurately.
JP 2004-129394 A

本発明は、このような課題を解決するためになされており、その目的は、可動梁が熱膨張を起こした場合であっても、熱膨張による影響を受けることなく、可動梁を常時一定の形状に保持することが可能なテーブル装置を提供することにある。 The present invention has been made in order to solve such a problem, and its purpose is to make the movable beam always constant without being affected by the thermal expansion even when the movable beam undergoes thermal expansion. An object of the present invention is to provide a table device that can be held in a shape.

このような目的を達成するために、請求項１に記載のテーブル装置は、架台に延設された一対のリニアガイドと、これらのリニアガイド間に設けられ、当該リニアガイドに沿って移動する可動梁と、可動梁を移動させる駆動装置とを備えている。このような構成において、リニアガイドは、可動梁の移動方向に延設したガイド部材と、ガイド部材に沿って移動するスライダと、ガイド部材とスライダとの間にそれぞれ対向して形成された少なくとも２列の軌道溝間を循環する複数の転動体と、各スライダに形成され、複数の転動体を循環させる少なくとも２列の転動体通路とを備えている。この場合、転動体とスライダ及びガイド部材のそれぞれの軌道溝との接触点相互を結んだ接触線が、各軌道溝間にそれぞれ１本規定され、これら複数の接触線のうち、少なくとも２本の接触線がガイド部材側で交差するように設定されていることを特徴としている。 In order to achieve such an object, the table device according to claim 1 is provided with a pair of linear guides extending on the gantry, and a movable unit provided between the linear guides and moving along the linear guides. A beam and a drive device for moving the movable beam are provided. In such a configuration, the linear guide includes at least two guide members that extend in the moving direction of the movable beam, a slider that moves along the guide member, and a guide member that is opposed to the slider. A plurality of rolling elements that circulate between the raceway grooves in the row and at least two rows of rolling element passages that are formed in each slider and circulate the plurality of rolling members are provided. In this case, one contact line connecting the contact points between the rolling elements and the respective track grooves of the slider and the guide member is defined between the track grooves, and at least two of the plurality of contact lines are defined. The contact line is set so as to intersect on the guide member side.

請求項２に記載のテーブル装置は、請求項１に記載のテーブル装置において、架台が、対象物取付面を備えており、リニアガイドにモーメント荷重が作用した場合において、当該リニアガイドが変形する際の回転中心を可動梁の梁上面と対象物取付面との間の高さに設定したことを特徴としている。 The table device according to claim 2 is the table device according to claim 1, wherein the gantry includes an object mounting surface, and when the momentary load is applied to the linear guide, the linear guide is deformed. The rotation center is set to the height between the beam upper surface of the movable beam and the object mounting surface.

請求項３に記載のテーブル装置は、請求項１又は２に記載のテーブル装置において、駆動装置が、ステータを対向して配置することにより吸引力を相殺する構造を有するリニアモータ又は、吸引力が作用しないコアレス構造を有するリニアモータであることを特徴としている。 The table device according to claim 3 is the table device according to claim 1 or 2, wherein the driving device has a linear motor having a structure that cancels the suction force by arranging the stators to face each other, or the suction device has a suction force. It is a linear motor having a coreless structure that does not act.

本発明によれば、可動梁が熱膨張を起こした場合であっても、熱膨張による影響を受けることなく、可動梁を常時一定の形状に保持することができる。この結果、常に対象物の製造や検査を正確に行うことが可能となる。 According to the present invention, even when the movable beam undergoes thermal expansion, the movable beam can always be held in a constant shape without being affected by thermal expansion. As a result, it is always possible to accurately manufacture and inspect the object.

以下、本発明の一実施形態に係るテーブル装置について、添付図面を参照しながら説明する。
この場合、その基本構成は、上述した従来の装置(図７)と同様であるため、以下では、本発明の特徴部分の説明に止める。また、本実施形態の説明に際し、図７の装置と同一の構成には図面上で同一符号を付して、その説明を省略する。 Hereinafter, a table device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
In this case, the basic configuration is the same as that of the above-described conventional apparatus (FIG. 7), and hence the following description is limited to the characteristic part of the present invention. Further, in the description of the present embodiment, the same components as those in the apparatus of FIG.

図１(b)に示すように、本実施形態のテーブル装置では、架台２の両端に可動梁４の移動方向に沿ってガイドレールベース１８が延設されており、各ガイドレールベース１８上にそれぞれ１つのリニアガイド６が設けられている。なお、図１(a)に示すように、架台２は、基礎フレーム２ａ上に支持されており、当該基礎フレーム２aは、除振機構２ｂを介して図示しないベースに固定又は載置されている。
図２に示すように、各リニアガイド６は、可動梁４の移動方向に延設したガイドレール(ガイド部材)７と、ガイドレール７に沿って移動するスライダ８と、ガイドレール７とスライダ８との間にそれぞれ対向して形成された軌道溝7a,8a間及び7b,8b間を循環する複数の転動体９と、スライダ８に形成され、複数の転動体９を循環させる転動体通路10a,10bとを備えている。なお、ガイドレール７に設けるスライダ８の数は、ここでは特に限定せず、１つに限らず複数であってもよく、その数は、ガイドレール７毎に異なっていてもよい。 As shown in FIG. 1B, in the table device of this embodiment, guide rail bases 18 are extended along the moving direction of the movable beam 4 at both ends of the gantry 2, and on each guide rail base 18. One linear guide 6 is provided for each. As shown in FIG. 1 (a), the gantry 2 is supported on a base frame 2a, and the base frame 2a is fixed or placed on a base (not shown) via a vibration isolation mechanism 2b. .
As shown in FIG. 2, each linear guide 6 includes a guide rail (guide member) 7 extending in the moving direction of the movable beam 4, a slider 8 that moves along the guide rail 7, and the guide rail 7 and the slider 8. Between the raceway grooves 7a, 8a and 7b, 8b formed opposite to each other, and a rolling element passage 10a formed in the slider 8 for circulating the plurality of rolling elements 9. 10b. The number of sliders 8 provided on the guide rail 7 is not particularly limited here, and is not limited to one, and may be plural, and the number may be different for each guide rail 7.

また、ガイドレール７の両側面７ｃには、それぞれ可動梁４の移動方向に沿って２列の軌道溝7a,7bが上下に整列して形成され、スライダ８の内側面８ｃ(ガイドレール７の両側面に対向する面)には、それぞれ２列の軌道溝8a,8bが前記軌道溝7a,7bに対向して形成されている。なお、図面上では、ガイドレール７の一方の側面７ｃの軌道溝7a,7bと、これに対向するスライダ８の軌道溝8a,8bのみを示し、他方の側面７ｃについては、これらの参照符号は省略する。
さらに、転動体通路10a,10bは、２列の軌道溝7a,8a及び7b,8bとそれぞれ平行に延出してスライダ８の両端(スライダ８の移動方向両端)で貫通している。また、スライダ８の両端には、それぞれエンドキャップ(図示しない)が取り付けられており、各エンドキャップには、軌道溝7a,8a及び7b,8bと転動体通路10a,10bとを相互に連通させる循環路(図示しない)が設けられている。具体的には、上列の軌道溝7a,8aは転動体通路１０ａに連通し、下列の軌道溝7b,8bは転動体通路１０ｂに連通している。 Two rows of track grooves 7a and 7b are formed on both side surfaces 7c of the guide rail 7 along the moving direction of the movable beam 4 so as to be aligned vertically, and the inner surface 8c of the slider 8 (the guide rail 7 of the guide rail 7). Two rows of raceway grooves 8a and 8b are formed on the opposite sides of the raceway grooves 7a and 7b, respectively. In the drawing, only the raceway grooves 7a and 7b on one side surface 7c of the guide rail 7 and the raceway grooves 8a and 8b of the slider 8 opposite to this are shown, and these reference numerals are used for the other side surface 7c. Omitted.
Further, the rolling element passages 10a and 10b extend in parallel with the two rows of raceway grooves 7a, 8a and 7b, 8b, respectively, and penetrate at both ends of the slider 8 (both ends in the moving direction of the slider 8). Further, end caps (not shown) are attached to both ends of the slider 8, and the raceway grooves 7a, 8a and 7b, 8b and the rolling element passages 10a, 10b communicate with each end cap. A circulation path (not shown) is provided. Specifically, the upper row raceway grooves 7a and 8a communicate with the rolling element passage 10a, and the lower row raceway grooves 7b and 8b communicate with the rolling element passage 10b.

この場合、スライダ８をガイドレール７に沿って移動させると、上下２列の軌道溝7a,8a間及び軌道溝7b,8b間の転動体９は、スライダ８の移動方向とは逆方向に転動した後、エンドキャップの循環路を経由して転動体通路10a,10bにそれぞれ送り込まれる。そして、当該転動体通路10a,10bをスライダ８の移動方向に進んだ後、エンドキャップの循環路を経由して再び上下２列の軌道溝7a,8a間及び軌道溝7b,8b間に送り込まれ、ここを転動する。このように各転動体９が循環することにより、スライダ８はガイドレール７に沿って滑らかに移動する。 In this case, when the slider 8 is moved along the guide rail 7, the rolling elements 9 between the two upper and lower raceway grooves 7 a and 8 a and between the raceway grooves 7 b and 8 b roll in the direction opposite to the movement direction of the slider 8. After moving, it is fed into the rolling element passages 10a and 10b via the circulation path of the end cap. Then, after traveling in the moving direction of the slider 8 through the rolling element passages 10a and 10b, they are fed again between the upper and lower rows of raceway grooves 7a and 8a and between the raceway grooves 7b and 8b via the circulation path of the end cap. Roll here. As the rolling elements 9 circulate in this manner, the slider 8 moves smoothly along the guide rail 7.

また、本実施形態において、リニアガイド６は、自動調心設計(ＤＦ)されている。具体的に説明すると、図２に示すように、ガイドレール７に形成された上下２列の軌道溝７ａと７ｂの溝ピッチＡと、スライダ８に形成された上下２列の軌道溝８ａと８ｂの溝ピッチＢがＡ＞Ｂとなるように、軌道溝7a,8a及び7b,8bが形成されている。このような設計とすることで、転動体９と軌道溝7a,8aとの接触点をそれぞれ結ぶ接触線Ｌ１と、転動体９と軌道溝7b,8bとの接触点をそれぞれ結ぶ接触線Ｌ２が、ガイドレール７側の交点Ｑで交差する。
さらに、各リニアガイド６は、対象物取付面１４ａと可動梁４の梁上面４ａとの間に位置決め設定されているため、当該リニアガイド６にモーメント荷重Ｍが作用した際におけるモーメント方向への回転中心が可動梁４の梁上面４ａと対象物取付面１４ａとの間の高さに設定される。
このような構成によれば、リニアガイド６のモーメント方向への弾性変位(ローリング変形ともいう)を大きくすることができる。これは、転動体９が玉であっても、ころであっても同様の設計上の効果となる。 In the present embodiment, the linear guide 6 is self-aligning designed (DF). More specifically, as shown in FIG. 2, the groove pitch A of the upper and lower two rows of raceway grooves 7 a and 7 b formed on the guide rail 7, and the upper and lower rows of the raceway grooves 8 a and 8 b formed on the slider 8. The track grooves 7a, 8a and 7b, 8b are formed so that the groove pitch B of A> B. With such a design, the contact line L1 that connects the contact points between the rolling element 9 and the raceway grooves 7a and 8a, and the contact line L2 that connects the contact points between the rolling element 9 and the raceway grooves 7b and 8b, respectively. Cross at the intersection Q on the guide rail 7 side.
Furthermore, since each linear guide 6 is positioned and set between the object mounting surface 14a and the beam upper surface 4a of the movable beam 4, rotation in the moment direction when a moment load M acts on the linear guide 6 is performed. The center is set to the height between the beam upper surface 4a of the movable beam 4 and the object mounting surface 14a.
According to such a configuration, the elastic displacement (also referred to as rolling deformation) of the linear guide 6 in the moment direction can be increased. This is the same design effect regardless of whether the rolling elements 9 are balls or rollers.

したがって、例えばエンドエフェクターの発熱などにより、可動梁４が架台２よりも大きく熱膨張した結果、架台２が逆ハの字状に開いても、その傾きの大半はリニアガイド６のローリング変形によって吸収されるため、可動梁４は変形することなく常時一定の形状に保持される(図１に示す状態)。このため、可動梁４に搭載されたエンドエフェクターの対象物１６に対する作業点(例えば、カメラの焦点)は変位せず、可動梁４が熱膨張した状態においても、検査を正確に行うことが可能となる。 Therefore, even if the movable beam 4 expands larger than the frame 2 due to, for example, heat generated by the end effector, even if the frame 2 opens in a reverse C shape, most of the inclination is absorbed by the rolling deformation of the linear guide 6. Therefore, the movable beam 4 is always held in a constant shape without being deformed (state shown in FIG. 1). For this reason, the work point (for example, the focal point of the camera) for the object 16 of the end effector mounted on the movable beam 4 is not displaced, and the inspection can be accurately performed even when the movable beam 4 is thermally expanded. It becomes.

なお、本発明は、上述した実施例に限定されることなく、以下のように変更することができる。図６には、本発明の変形例に係るテーブル装置が示されており、この変形例において、リニアガイド６は、可動梁４の梁上面４ａと梁下面４ｂとの間の高さに位置するように配置されている。本変形例では、可動梁４の梁下面４ｂの両端を削って、梁上面４ａと梁下面４ｂとの間の高さに位置する凹状部４ｃを形成し、当該凹状部４ｃにリニアガイド６をそれぞれ位置付けるとともに、可動梁４と接続している。リニアガイド６をこのように配置することにより、リニアガイド６のモーメント荷重に対する回転中心は、可動梁４の梁上面４ａと梁下面４ｂとの間の高さに設定される。これにより、図１に示すテーブル装置のようにリニアガイド６が可動梁４の梁下面４ｂよりも下側に位置するよう配置されている場合と比較して、前記回転中心を高くすることができる。 In addition, this invention can be changed as follows, without being limited to the Example mentioned above. FIG. 6 shows a table device according to a modification of the present invention. In this modification, the linear guide 6 is positioned at a height between the beam upper surface 4a and the beam lower surface 4b of the movable beam 4. Are arranged as follows. In this modification, both ends of the beam lower surface 4b of the movable beam 4 are cut to form a concave portion 4c located at a height between the beam upper surface 4a and the beam lower surface 4b, and the linear guide 6 is provided in the concave portion 4c. Each is positioned and connected to the movable beam 4. By arranging the linear guide 6 in this way, the rotation center with respect to the moment load of the linear guide 6 is set to a height between the beam upper surface 4a and the beam lower surface 4b of the movable beam 4. Thereby, compared with the case where the linear guide 6 is arrange | positioned so that it may be located below the beam lower surface 4b of the movable beam 4 like the table apparatus shown in FIG. 1, the said rotation center can be made high. .

このような構成によれば、リニアガイド６のモーメント荷重に対する回転中心が可動梁４の梁上面４ａと梁下面４ｂとの間の高さに位置することにより、架台２の開きによる変形だけでなく、可動梁４がリニアガイド６から受ける反力も可動梁４を湾曲させるモーメントとして作用しない。
このため、可動梁４を変形することなく常時一定の形状に保持することが可能となり(図６に示す状態)、可動梁４に搭載されたエンドエフェクターの対象物１６に対する作業点(例えば、カメラの焦点)は変位せず、可動梁４が熱膨張した状態においても、検査を正確に行うことが可能となる。 According to such a configuration, the rotation center with respect to the moment load of the linear guide 6 is located at the height between the beam upper surface 4a and the beam lower surface 4b of the movable beam 4, so that not only the deformation due to the opening of the gantry 2 is caused. The reaction force received by the movable beam 4 from the linear guide 6 does not act as a moment for bending the movable beam 4.
For this reason, it becomes possible to always hold the movable beam 4 in a constant shape without being deformed (the state shown in FIG. 6), and a work point (for example, a camera) for the object 16 of the end effector mounted on the movable beam 4 Thus, even when the movable beam 4 is thermally expanded, the inspection can be performed accurately.

なお、上述した図１及び図６では、リニアガイド６に沿って可動梁４を駆動させる駆動装置を省略したテーブル装置の原理図を示したが、図３には、各リニアガイド６の外側にそれぞれ駆動装置としてリニアモータ１３を適用した場合の実際のテーブル装置の構成例が示されている。
この場合、ステータを対向して配置することにより吸引力を相殺する構造を有するリニアモータ１３や吸引力が作用しないコアレス構造を有するリニアモータ１３などのように、磁気による吸引力が、リニアガイド６のローリング変形を妨げないような構造を有するリニアモータ１３を適用することが好ましい。なお、図４及び図５には、このようなリニアモータ１３を適用した駆動装置の構成例が示されている。 In FIGS. 1 and 6 described above, the principle diagram of the table device in which the driving device for driving the movable beam 4 along the linear guide 6 is omitted is shown. However, FIG. A configuration example of an actual table device when a linear motor 13 is applied as a driving device is shown.
In this case, the magnetic attraction force is applied to the linear guide 6 such as the linear motor 13 having a structure that cancels the attraction force by arranging the stators opposite to each other, or the linear motor 13 having a coreless structure to which no attraction force acts. It is preferable to apply the linear motor 13 having a structure that does not prevent the rolling deformation. 4 and 5 show a configuration example of a driving device to which such a linear motor 13 is applied.

リニアモータ１３には、連結板２２に接続された可動子３０と、可動子３０の移動方向に延設されたステータ３２とが備えられている。ステータ３２には内側面３２ａが対向して形成されており、当該内側面３２ａには、複数の永久磁石３６がＮ極又はＳ極を対向させて、可動子３０の移動方向に沿って所定の間隔を空けて設けられている(図５)。これにより、内側面３２ａに設けられた一方側の永久磁石３６の吸引力は、他方側の永久磁石３６の吸引力により相殺される。なお、永久磁石３６は、Ｎ極とＳ極とが交互に並ぶようにステータ３２の内側面３２ａにそれぞれ設けられている。
また、可動子３０の両側面３０ａ(ステータ３２の内側面３２ａと対向する面)には、例えば３相のコイルから成る電機子３４が複数の永久磁石３６と対向して設けられている(図５)。なお、各電機子３４は、コアを設けずにコイルのみで構成されているため、コアによる吸引力が作用することはない。 The linear motor 13 includes a mover 30 connected to the connecting plate 22 and a stator 32 extending in the moving direction of the mover 30. An inner side surface 32a is formed opposite to the stator 32, and a plurality of permanent magnets 36 are opposed to the north or south pole on the inner side surface 32a, and a predetermined length is set along the moving direction of the mover 30. They are provided at intervals (FIG. 5). Thereby, the attractive force of the one-side permanent magnet 36 provided on the inner side surface 32 a is offset by the attractive force of the other-side permanent magnet 36. The permanent magnets 36 are respectively provided on the inner surface 32a of the stator 32 so that N poles and S poles are alternately arranged.
On both side surfaces 30a of the mover 30 (surfaces facing the inner surface 32a of the stator 32), armatures 34 made of, for example, three-phase coils are provided facing the plurality of permanent magnets 36 (see FIG. 5). In addition, since each armature 34 is comprised only with the coil, without providing a core, the attraction force by a core does not act.

このような構成において、各電機子３４に順次電流を流すことで、電機子３４にフレミングの左手の法則に基づいて磁力が発生し、対向する永久磁石３６との間に吸引力又は反発力が生じることにより、可動子３０は連結板２２とともに、ステータ３２に沿って滑らかに水平移動する。これにより、可動梁４をリニアガイド６に沿って移動させることができる。 In such a configuration, by sequentially applying current to each armature 34, a magnetic force is generated in the armature 34 based on Fleming's left-hand rule, and an attractive force or a repulsive force is generated between the opposing permanent magnets 36. As a result, the mover 30 moves smoothly and horizontally along the stator 32 together with the connecting plate 22. Thereby, the movable beam 4 can be moved along the linear guide 6.

なお、本実施形態及び変形例に係るテーブル装置においては、図７に示すような従来のテーブル装置と比較して、可動梁４の両端におけるモーメント荷重に対する曲げ剛性が低いため、可動梁４の上下方向のたわみが増大することも考えられる。しかし、このような上下方向のたわみは、下記に述べる理由により実用上問題とはならない。
かかるテーブル装置の可動梁４にはエンドエフェクターが搭載されているが、検査を行う際に可動梁４による死角が生じないように、エンドエフェクターの搭載位置を考慮する必要がある。上記を考慮し、エンドエフェクターは、可動梁４のねじり中心から離れた位置に搭載され、この結果、可動梁４の重心は、可動梁４のねじり中心とは一致せず、乖離するため、可動梁４はねじりモーメントを受ける。これにより、特に可動梁４の梁スライダ１２の中央付近で、可動梁４のねじれによるエンドエフェクターの角度変位が生じ、これに伴う対象物１６に対する作業点のガイド方向への変位が問題となる場合がある。この場合、可動梁４の断面２次極モーメントを大きくとることで、これに伴う可動梁４の断面２次モーメントも大きくすることができ、上記問題を回避することができる。
これにより、可動梁４の両端におけるモーメント荷重に対する曲げ剛性が低い構成であっても、可動梁４のたわみを許容範囲内に収めることができる。 In the table apparatus according to the present embodiment and the modification, the bending rigidity with respect to the moment load at both ends of the movable beam 4 is lower than the conventional table apparatus as shown in FIG. It is also conceivable that the direction deflection increases. However, such vertical deflection is not a practical problem for the reasons described below.
An end effector is mounted on the movable beam 4 of such a table apparatus, but it is necessary to consider the mounting position of the end effector so that a blind spot due to the movable beam 4 does not occur when performing an inspection. In consideration of the above, the end effector is mounted at a position away from the torsion center of the movable beam 4, and as a result, the center of gravity of the movable beam 4 does not coincide with the torsion center of the movable beam 4, and thus is movable. The beam 4 receives a torsional moment. As a result, the angular displacement of the end effector due to the torsion of the movable beam 4 occurs particularly near the center of the beam slider 12 of the movable beam 4, and the displacement of the work point in the guide direction with respect to the object 16 becomes a problem. There is. In this case, by increasing the cross-sectional secondary moment of the movable beam 4, it is possible to increase the cross-sectional secondary moment of the movable beam 4, thereby avoiding the above problem.
Thereby, even if it is the structure where the bending rigidity with respect to the moment load in the both ends of the movable beam 4 is low, the deflection | deviation of the movable beam 4 can be stored in an allowable range.

(a)は、本発明の一実施形態に係るテーブル装置を示す斜視図、(b)は、(a)のテーブル装置の主要な構成をＸ−Ｘ線に沿った断面で示す原理図。(a) is a perspective view showing a table device according to an embodiment of the present invention, (b) is a principle diagram showing the main configuration of the table device of (a) in a cross section along line XX. 図１におけるテーブル装置のリニアガイドの構成を拡大して示す断面図。Sectional drawing which expands and shows the structure of the linear guide of the table apparatus in FIG. 駆動装置としてリニアモータを適用したテーブル装置の構成例を示す断面図。Sectional drawing which shows the structural example of the table apparatus to which the linear motor is applied as a drive device. 駆動装置としてリニアモータを適用したテーブル装置におけるリニアモータの構成を拡大して示す断面図。Sectional drawing which expands and shows the structure of the linear motor in the table apparatus which applied the linear motor as a drive device. 駆動装置としてリニアモータを適用したテーブル装置におけるリニアモータの構成を部分的に拡大して示す断面図。Sectional drawing which expands partially and shows the structure of the linear motor in the table apparatus which applied the linear motor as a drive device. 本発明の変形例に係るテーブル装置の主要な構成を示す原理図。The principle figure which shows the main structures of the table apparatus which concerns on the modification of this invention. 従来のテーブル装置の構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the conventional table apparatus. 従来のテーブル装置の両端に設けられたリニアガイドの構成を拡大して示す断面図。Sectional drawing which expands and shows the structure of the linear guide provided in the both ends of the conventional table apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

２架台
４可動梁
６リニアガイド
７ガイドレール(ガイド部材)
８スライダ
９転動体
１０ａ，１０ｂ転動体通路
１３リニアモータ
2 Base 4 Movable beam 6 Linear guide 7 Guide rail (guide member)
8 Slider 9 Rolling elements 10a, 10b Rolling element passage 13 Linear motor

Claims

架台に延設された一対のリニアガイドと、
これらのリニアガイド間に設けられ、当該リニアガイドに沿って移動する可動梁と、
可動梁を移動させる駆動装置とを備えたテーブル装置において、
リニアガイドは、可動梁の移動方向に延設したガイド部材と、ガイド部材に沿って移動するスライダと、ガイド部材とスライダとの間にそれぞれ対向して形成された少なくとも２列の軌道溝間を循環する複数の転動体と、各スライダに形成され、複数の転動体を循環させる少なくとも２列の転動体通路とを備えており、
転動体とスライダ及びガイド部材のそれぞれの軌道溝との接触点相互を結んだ接触線が、各軌道溝間にそれぞれ１本規定され、これら複数の接触線のうち、少なくとも２本の接触線がガイド部材側で交差するように設定されていることを特徴とするテーブル装置。 A pair of linear guides extending on the gantry;
A movable beam provided between the linear guides and moving along the linear guides;
In a table device provided with a drive device for moving a movable beam,
The linear guide is formed between a guide member extending in the moving direction of the movable beam, a slider moving along the guide member, and at least two rows of raceway grooves formed to face each other between the guide member and the slider. A plurality of rolling elements that circulate, and at least two rows of rolling element passages that are formed in each slider and circulate the plurality of rolling elements;
One contact line connecting the contact points of the rolling elements and the respective track grooves of the slider and the guide member is defined between the track grooves, and at least two of the contact lines are at least two contact lines. A table device characterized by being set so as to intersect on the guide member side.

架台は、対象物取付面を備えており、リニアガイドにモーメント荷重が作用した場合において、当該リニアガイドが変形する際の回転中心を可動梁の梁上面と対象物取付面との間の高さに設定したことを特徴とする請求項１に記載のテーブル装置。 The gantry has an object mounting surface, and when a moment load is applied to the linear guide, the height between the beam upper surface of the movable beam and the object mounting surface is the center of rotation when the linear guide is deformed. The table device according to claim 1, wherein the table device is set as follows.

駆動装置は、ステータを対向して配置することにより吸引力を相殺する構造を有するリニアモータ又は、吸引力が作用しないコアレス構造を有するリニアモータであることを特徴とする請求項１又は２に記載のテーブル装置。
3. The drive device according to claim 1, wherein the drive device is a linear motor having a structure that cancels the attractive force by arranging the stators to face each other, or a linear motor having a coreless structure in which the attractive force does not act. Table equipment.