JP5901743B2 - Linear motor device - Google Patents

Description

本発明はリニアモータ装置に関し、より詳細には、移動体側の温度上昇を抑制する放熱構造に関する。   The present invention relates to a linear motor device, and more particularly to a heat dissipation structure that suppresses a temperature rise on a moving body side.

多数の部品が実装された基板を生産する基板用作業機器として、はんだ印刷機、部品実装機、はんだリフロー機、基板検査機などがあり、これらを基板搬送装置で連結して基板生産ラインを構築する場合が多い。これらの基板用作業機器の多くは、基板上を移動して所定の作業を行う移動体を備えており、移動体を駆動する一手段としてリニアモータ装置を用いることができる。この種のリニアモータ装置は、一般的に、移動方向に沿い複数の磁石のＮ極およびＳ極が交互に列設された軌道部材と、コアおよびコイルを有する電機子を含んで構成された移動体とを備える。   There are solder printing machines, component mounters, solder reflow machines, board inspection machines, etc. as board work equipment that produces boards with a large number of parts mounted on them. There are many cases to do. Many of these substrate working devices include a moving body that moves on the substrate and performs a predetermined operation, and a linear motor device can be used as one means for driving the moving body. A linear motor device of this type is generally configured to include a raceway member in which N and S poles of a plurality of magnets are alternately arranged along a moving direction, and an armature having a core and a coil. With body.

部品実装機を例にして考えると、移動体となる部品実装ヘッドは、電機子に加え、軌道部材に係合して摺動する被駆動部を備えている。被駆動部は、電機子に接近して配置されるので、コイルで発生する熱の影響を受けるおそれがある。特に、リニアモータ装置の推進力を大きくする場合には、コイルに流す駆動電流を大きくすることが有効であるものの、それに伴い発熱量が増加してしまう。このため、被駆動部あるいは被駆動部を取り付けるための取付部材が熱膨張したり変形したりして、位置決め精度の低下や摺動部分の摺動摩擦の増加、被駆動部に設けられた各種部材の熱劣化などの弊害が生じ易くなる。このような弊害を抑制するために、特許文献１〜３に例示されるリニアモータ装置の冷却構造が提案されている。   Considering a component mounting machine as an example, a component mounting head as a moving body includes a driven portion that engages and slides on a track member in addition to an armature. Since the driven part is disposed close to the armature, there is a possibility that the driven part may be affected by heat generated by the coil. In particular, when the propulsive force of the linear motor device is increased, it is effective to increase the drive current flowing through the coil, but the amount of heat generation increases accordingly. For this reason, the driven portion or the mounting member for mounting the driven portion is thermally expanded or deformed, resulting in a decrease in positioning accuracy, an increase in sliding friction of the sliding portion, and various members provided in the driven portion. Detrimental effects such as thermal degradation of the ash are likely to occur. In order to suppress such harmful effects, cooling structures for linear motor devices exemplified in Patent Documents 1 to 3 have been proposed.

特許文献１に開示されたリニアモータの冷却装置は、電機子を取り付けるための電機子取付板と、電機子取付板に断熱材を介して取り付けられた負荷を搭載するためのテーブルと、電機子取付板とテーブルとの間に挟み込むように設けられた冷却ユニットとを備えている。負荷とは、所定の処理を行う被駆動部に相当し、部品実装機の例では部品実装ヘッドおよび駆動機構に相当する。この技術例では、電機子の上方に電機子取付板、負荷（テーブル）、および冷却ユニットが配設されている。これにより、電機子で生じた発熱を電機子取付板から冷却ユニット側のみに伝熱でき、負荷（テーブル）への伝熱に伴う熱変形をなくせる、と記載されている。   A linear motor cooling device disclosed in Patent Document 1 includes an armature mounting plate for mounting an armature, a table for mounting a load mounted on the armature mounting plate via a heat insulating material, and an armature. And a cooling unit provided so as to be sandwiched between the mounting plate and the table. The load corresponds to a driven part that performs a predetermined process, and corresponds to a component mounting head and a driving mechanism in the example of the component mounting machine. In this technical example, an armature mounting plate, a load (table), and a cooling unit are disposed above the armature. Accordingly, it is described that heat generated by the armature can be transferred from the armature mounting plate only to the cooling unit side, and thermal deformation accompanying heat transfer to the load (table) can be eliminated.

また、特許文献２の請求項６に開示されたリニアモータ電機子は、エアを下方に向けて噴出する複数のエア噴出口を設けた冷却パイプを電機子の底面に設けている。これにより、噴出されたエアが固定子ベースで上方に反射して電機子を強制風冷できる。さらに、特許文献３に開示された直動装置は、ビームおよびガイドと、スライダと、スライダ上の可動子（電機子）およびビーム上の固定子からなるリニアモータとを備え、スライダと可動子を離間して配置するとともに可動子に放熱フィンを設け、放熱フィンに空気流が当たるように空気流形成手段をさらに備えている。これにより、可動子に発生した熱が放熱フィンから放熱されるので、スライダやビームに発生する熱変形が極力抑制される、と記載されている。   Further, the linear motor armature disclosed in claim 6 of Patent Document 2 is provided with a cooling pipe provided with a plurality of air outlets for ejecting air downwards on the bottom surface of the armature. Thereby, the ejected air is reflected upward by the stator base, and the armature can be forcedly cooled. Further, the linear motion device disclosed in Patent Document 3 includes a beam and a guide, a slider, and a linear motor including a mover (armature) on the slider and a stator on the beam. Further, the movable element is provided with a heat radiating fin, and an air flow forming means is further provided so that the air flow hits the heat radiating fin. Accordingly, it is described that the heat generated in the mover is radiated from the radiation fins, so that the thermal deformation generated in the slider and the beam is suppressed as much as possible.

特許４６３６３５４号公報Japanese Patent No. 4636354 再表２００８／１３３０１７号公報No. 2008/133017 特開２００８−１０８９５０号公報JP 2008-108950 A

ところで、特許文献１の冷却装置では、電機子から電機子取付板を介して冷却ユニットに伝熱するので電機子取付板が高温になり、負荷（テーブル）との間に十分な厚みの断熱材を配置する必要が生じる。それでもなお、高温の電機子取付板に近接して配置された負荷（テーブル）の温度は上昇しがちになり、位置決め精度の低下を始めとする弊害が生じやすい。また、負荷（テーブル）および冷却ユニットは、ともに電機子の上方に配置されるため、大きさや形状の制約が厳しくなっている。   By the way, in the cooling device of patent document 1, since heat is transferred from the armature to the cooling unit via the armature mounting plate, the armature mounting plate becomes high temperature, and a heat insulating material having a sufficient thickness between the armature mounting plate and the load (table). Need to be placed. Nevertheless, the temperature of the load (table) arranged close to the high-temperature armature mounting plate tends to increase, and adverse effects such as a decrease in positioning accuracy are likely to occur. In addition, since the load (table) and the cooling unit are both disposed above the armature, restrictions on size and shape are severe.

また、特許文献２では強制風冷構造を採用しているが、電機子の大きさによっては外部からの送風だけでは十分に冷却できない場合もある。また、電機子側の被駆動部が効率的に冷却されるか不明である。さらに、特許文献３でも強制風冷構造を採用しているが、必ずしも良好な放熱構造とは言えない。つまり、放熱フィンに十分な風を送るためには、放熱フィンを設けた可動子とスライダとの間隔を広くとる必要があるが、装置の小形軽量化と背反してしまう。また、固定側のビームにファンを取り付けて移動する可動子に送風すると、風の一部のみが放熱フィンに当たるので冷却効率が低く、さらには、ファンの設置スペース分だけリニアモータの可動範囲が減少する。   Moreover, although the forced air cooling structure is employ | adopted in patent document 2, depending on the magnitude | size of an armature, it may be unable to fully cool only with the ventilation from the outside. In addition, it is unknown whether the armature-side driven part is efficiently cooled. Furthermore, although the forced air cooling structure is employ | adopted also in patent document 3, it cannot necessarily say that it is a favorable heat dissipation structure. That is, in order to send sufficient air to the radiating fins, it is necessary to widen the distance between the movable element provided with the radiating fins and the slider, but this is contrary to the reduction in size and weight of the apparatus. Also, if a fan is attached to the fixed beam and blown to a moving mover, only part of the wind hits the heat dissipation fins, resulting in low cooling efficiency and a reduction in the linear motor's movable range by the amount of fan installation space. To do.

本発明は、上記背景技術の問題点に鑑みてなされたもので、軌道部材に係合して摺動する被駆動部と電機子を冷却する放熱器とを移動体内部で離隔配置し、被駆動部の温度上昇を抑制して位置決め精度を確保するとともに、摺動部分の摺動摩擦の増加や各種部材の熱劣化などの弊害を抑制し、冷却設計の自由度を高めて良好な冷却性能を具備したリニアモータ装置を提供することを解決すべき課題とする。   The present invention has been made in view of the problems of the background art described above, and a driven part that engages and slides on a raceway member and a radiator that cools the armature are arranged separately in the moving body. Suppresses the temperature rise of the drive unit to ensure positioning accuracy, suppresses adverse effects such as increased sliding friction at the sliding part and thermal deterioration of various members, and increases the degree of freedom in cooling design to achieve good cooling performance It is an object to be solved to provide a linear motor device provided.

上記課題を解決する請求項１に係るリニアモータ装置の発明は、移動方向に沿い複数の磁石のＮ極およびＳ極が交互に列設された軌道部材と、コアおよびコイルをもつ電機子を有して前記軌道部材に移動可能に装架された移動体とを備え、前記コイルに電流を通電したときに前記コアに誘起される磁束と前記軌道部材の前記磁石との間に前記移動方向の推進力を発生するリニアモータ装置であって、前記移動体は、前記電機子の下方または一側方で前記コアに固定され、前記軌道部材に係合して摺動する被駆動部と、前記電機子の内部に延在するとともに一部分が前記電機子の外部へと延在し、前記コイルで発生する熱を前記電機子の外部に移送する熱伝導性の高い熱伝導部材と、前記電機子の上方または他側方で前記コアに固定され前記電機子を隔てて前記被駆動部に相対し、かつ前記熱伝導部材が接続されて移送された熱を放散する放熱器と、前記被駆動部を取り付けた取付部材を前記コイルから離隔して前記コアに固定する熱伝導性の低い断熱固定部材と、をさらに有し、前記熱伝導部材は、前記放熱器に結合されて延在する放熱部と、前記電機子の内部に配設された冷却用溝の全長にわたって延在し、その一端が前記断熱固定部材の内部まで入り込んで前記被駆動部の近傍まで延在するとともに、その他端が前記放熱部に連通する集熱部と、からなる。 An invention of a linear motor device according to a first aspect of the present invention for solving the above-described problem has a raceway member in which N poles and S poles of a plurality of magnets are alternately arranged along a moving direction, and an armature having a core and a coil. And a moving body movably mounted on the track member, and when the coil is energized, the magnetic flux induced in the core and the magnet of the track member are moved in the moving direction. A linear motor device that generates a propulsive force, wherein the movable body is fixed to the core below or on one side of the armature, and is driven to slide by engaging with the track member; A heat conductive member having a high thermal conductivity that extends inside the armature and partially extends outside the armature, and transfers heat generated by the coil to the outside of the armature; and the armature Fixed to the core above or on the other side of the Wherein at a child against phase to the driven part, and a radiator where the heat conduction member to dissipate the transported heat is connected, a mounting member attached to the driven parts while spaced apart from the coil and the core A heat insulating fixing member having a low thermal conductivity fixed to the heat dissipation member, the heat conductive member being coupled to the heat radiator and extending, and a cooling member disposed inside the armature A heat collecting portion that extends over the entire length of the groove, has one end that extends into the heat insulating fixing member and extends to the vicinity of the driven portion, and the other end that communicates with the heat radiating portion.

請求項２に係る発明は、請求項１において、前記移動体は、前記放熱器を前記コアに固定するための熱伝導性の高い伝熱固定部材をさらに有し、あるいは、前記放熱器が前記コアに直接的に固定されている。 The invention according to claim 2 is the invention according to claim 1 , wherein the moving body further includes a heat transfer fixing member having high thermal conductivity for fixing the radiator to the core, or the radiator is the It is fixed directly to the core.

請求項３に係る発明は、請求項１または２において、前記移動体は、前記被駆動部または前記取付部材と、前記電機子の前記コアと、前記放熱器とを一体的に締結する締結部材をさらに有する。 The invention according to claim 3 is the fastening member according to claim 1 or 2 , wherein the movable body integrally fastens the driven portion or the attachment member, the core of the armature, and the radiator. It has further.

請求項４に係る発明は、請求項１〜３のいずれか一項において、前記断熱固定部材は、前記被駆動部を取り付けた取付部材と前記コイルとの間に熱伝導性の低い断熱材を配置するとともに樹脂を充填成形したものである。 The invention according to claim 4 is the heat insulation fixing member according to any one of claims 1 to 3 , wherein the heat insulating fixing member is a heat insulating material having low thermal conductivity between the mounting member to which the driven portion is attached and the coil. it is obtained by filling molding the resin as well as placement.

請求項５に係る発明は、請求項１〜４のいずれか一項において、前記放熱器は、面状に延在する基体および、前記基体の表面から垂直方向に立設された複数の放熱フィンからなり、前記熱伝導部材はヒートパイプであり、前記放熱部は、前記放熱器の前記基体の裏面に結合されて延在するヒートパイプ放熱部であり、前記集熱部は、前記ヒートパイプ放熱部に連通するヒートパイプ集熱部である。 A fifth aspect of the present invention provides the heat sink according to any one of the first to fourth aspects, wherein the radiator includes a base extending in a planar shape and a plurality of heat radiation fins standing vertically from the surface of the base. The heat conducting member is a heat pipe, the heat dissipating part is a heat pipe heat dissipating part connected to and extended from the back surface of the base of the radiator , and the heat collecting part is the heat pipe heat dissipating part. This is a heat pipe heat collecting part communicating with the part .

請求項１に係るリニアモータ装置の発明では、移動体内で電機子を隔てて被駆動部と放熱器とが離隔配置されるため、高温になりがちな放熱器から被駆動部への熱伝導が抑制される。さらに、電機子の内部に配設された熱伝導部材が被駆動部の近傍まで延在しているので、被駆動部およびその付近が効率よく冷却される。これらの総合的な作用で、被駆動部の温度上昇を抑制して熱膨張や変形を低減でき、位置決め精度を確保するとともに、摺動部分の摺動摩擦の増加や各種部材の熱劣化などの弊害を抑制できる。また、放熱器の周辺に被駆動部関連の構造部材を配置する必要が無いので、十分な放熱面積の確保が容易であり、必要に応じて送風ファンを適正な位置に配設することもでき、冷却設計の自由度が高められ、良好な冷却性能を具備できる。   In the invention of the linear motor device according to the first aspect, since the driven part and the radiator are spaced apart from each other with the armature in the moving body, heat conduction from the radiator that tends to be high temperature to the driven part is performed. It is suppressed. Further, since the heat conducting member disposed inside the armature extends to the vicinity of the driven part, the driven part and its vicinity are efficiently cooled. These comprehensive actions can suppress the temperature rise of the driven parts, reduce thermal expansion and deformation, ensure positioning accuracy, and adverse effects such as increased sliding friction of sliding parts and thermal deterioration of various members. Can be suppressed. In addition, since there is no need to arrange the structural members related to the driven parts around the radiator, it is easy to secure a sufficient heat radiation area, and the blower fan can be arranged at an appropriate position if necessary. In addition, the degree of freedom in cooling design can be increased and good cooling performance can be provided.

また、断熱固定部材を用いて、被駆動部および取付部材がコイルから離隔してコアに固定される。したがって、熱源であるコイルから被駆動部への熱伝導が顕著に減少し、被駆動部の温度上昇を一層抑制できる。さらに、熱伝導部材の集熱部の一端が断熱固定部材まで入り込んで冷却を行うので、取付部材および被駆動部の温度上昇が顕著に抑制される。 Further, the driven portion and the attachment member are separated from the coil and fixed to the core by using the heat insulating fixing member. Therefore, the heat conduction from the coil which is a heat source to the driven part is significantly reduced, and the temperature rise of the driven part can be further suppressed. Furthermore, since one end of the heat collecting portion of the heat conducting member enters the heat insulating fixing member and performs cooling, the temperature rise of the mounting member and the driven portion is remarkably suppressed.

請求項２に係る発明では、伝熱固定部材を用いて放熱器がコアに固定され、あるいは、放熱器がコアに直接的に固定される。したがって、熱源であるコイルからコアを経由した放熱器への熱伝導が顕著に増加し、熱伝導部材による熱移送との協働により電機子全体の温度上昇を抑制できる。これにより、最終的に被駆動部の温度上昇を一層抑制できる。 In the invention which concerns on Claim 2 , a heat radiator is fixed to a core using a heat-transfer fixing member, or a heat radiator is directly fixed to a core. Therefore, the heat conduction from the coil as the heat source to the heat radiator via the core is remarkably increased, and the temperature rise of the entire armature can be suppressed by cooperation with the heat transfer by the heat conducting member. Thereby, finally, the temperature rise of the driven part can be further suppressed.

請求項３に係る発明では、被駆動部または取付部材と、電機子のコアと、放熱器とを一体的に締結する締結部材を有している。したがって、構成部品の点数を削減しつつ、簡易でかつ堅牢な構造を実現できる。 In the invention which concerns on Claim 3 , it has a fastening member which fastens a to-be-driven part or an attachment member, the core of an armature, and a heat radiator integrally. Therefore, a simple and robust structure can be realized while reducing the number of components.

請求項４に係る発明では、被駆動部を取り付けた取付部材とコイルとの間に熱伝導性の低い断熱材を配置するとともに樹脂を充填成形している。樹脂成形を行うことでコイルの機械的強度を高めたり、コイルを外気から遮蔽して耐環境性を高めたりすることができるが、反面、樹脂による熱伝導が増加する。したがって、取付部材とコイルとの間に断熱材を配置することで、コイルから樹脂を経由して被駆動部へ至る熱伝導を低減でき、被駆動部の温度上昇を抑制できる。 In the invention according to claim 4 , a heat insulating material having low thermal conductivity is disposed between the mounting member to which the driven portion is attached and the coil, and the resin is filled and molded. By performing resin molding, the mechanical strength of the coil can be increased, or the coil can be shielded from the outside air to improve the environmental resistance. However, on the other hand, the heat conduction by the resin increases. Therefore, by disposing a heat insulating material between the attachment member and the coil, heat conduction from the coil to the driven part via the resin can be reduced, and an increase in temperature of the driven part can be suppressed.

請求項５に係る発明では、放熱器は基体および放熱フィンからなり、熱伝導部材はヒートパイプ放熱部とヒートパイプ集熱部とからなるヒートパイプとされている。したがって、ヒートパイプ中の冷媒の相変化および対流を利用して格段に効率良く冷却することで、電機子全体の温度上昇を抑制でき、最終的に被駆動部の温度上昇を抑制できる。 In the invention which concerns on Claim 5 , a heat radiator consists of a base | substrate and a radiation fin, and the heat conductive member is made into the heat pipe which consists of a heat pipe thermal radiation part and a heat pipe heat collecting part. Therefore, by using the phase change and convection of the refrigerant in the heat pipe to cool much more efficiently, the temperature rise of the entire armature can be suppressed, and finally the temperature rise of the driven part can be suppressed.

本発明のリニアモータ装置を実施できる部品装着装置の構成例を示した斜視図である。It is the perspective view which showed the structural example of the component mounting apparatus which can implement the linear motor apparatus of this invention. 第１実施形態のリニアモータ装置の全体構成を模式的に示した移動方向と直交する断面図である。It is sectional drawing orthogonal to the moving direction which showed typically the whole structure of the linear motor apparatus of 1st Embodiment. 移動体の詳細構造を模式的に示した図であり、（１）は移動方向と直交する正面断面図、（２）は平面図である。It is the figure which showed the detailed structure of the moving body typically, (1) is front sectional drawing orthogonal to a moving direction, (2) is a top view. 移動方向に沿った軌道部材および移動体の垂直断面図である。It is a vertical sectional view of the track member and the moving body along the moving direction. 第２実施形態のリニアモータ装置の移動体の詳細構造を模式的に示した移動方向と直交する正面断面図である。It is front sectional drawing orthogonal to the moving direction which showed the detailed structure of the moving body of the linear motor apparatus of 2nd Embodiment typically. 第３実施形態のリニアモータ装置の移動体の詳細構造を模式的に示した図であり、（１）は移動方向と直交する正面図、（２）は平面図である。It is the figure which showed typically the detailed structure of the moving body of the linear motor apparatus of 3rd Embodiment, (1) is a front view orthogonal to a moving direction, (2) is a top view.

まず、本発明のリニアモータ装置を実施できる部品実装機９の構成例について、図１を参考にして説明する。図１は、本発明のリニアモータ装置を実施できる部品装着装置９の構成例を示した斜視図である。図１には共通ベース９０上に並設された２台の部品装着装置９が示されており、以降では１台分について説明する。部品実装装置９は、基板搬送装置９１、部品供給装置９２、部品移載装置９３、部品カメラ９４、および図略の制御コンピュータなどが基台９９に組み付けられて構成されている（符号は右手前側の部品装着装置９のみに付してある）。図１の右上のＸＹＺ座標軸に示されるように、部品実装機９の水平幅方向（図１の紙面左上から右下に向かう方向）をＸ軸方向、部品実装機９の水平長手方向（図１の紙面右上から左下に向かう方向）をＹ軸方向、鉛直高さ方向をＺ軸方向とする。   First, a configuration example of a component mounter 9 that can implement the linear motor device of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a component mounting device 9 that can implement the linear motor device of the present invention. FIG. 1 shows two component mounting apparatuses 9 arranged side by side on a common base 90, and one unit will be described below. The component mounting device 9 is configured by assembling a substrate transport device 91, a component supply device 92, a component transfer device 93, a component camera 94, a control computer (not shown), and the like on a base 99 (the symbol is the front right side). This is attached only to the component mounting apparatus 9). As shown by the XYZ coordinate axes in the upper right of FIG. 1, the horizontal width direction of the component mounter 9 (the direction from the upper left to the lower right of FIG. 1) is the X axis direction, and the horizontal longitudinal direction of the component mounter 9 (FIG. 1). The direction from the upper right to the lower left of the drawing) is the Y-axis direction, and the vertical height direction is the Z-axis direction.

基板搬送装置９１は、部品実装機９の長手方向の中間辺りに設けられている。基板搬送装置９１は、第１搬送装置９１１および第２搬送装置９１２が並設された、いわゆるダブルコンベアタイプの装置であり、２枚の基板Ｋを並行操作してＸ軸方向に搬入し位置決めし搬出する。第１および第２搬送装置９１１、９１２はそれぞれ、基台９９上にＸ軸方向に平行に並設された一対のガイドレール（符号略）、およびガイドレールにそれぞれ案内され基板Ｋを載置して搬送する一対のコンベアベルト（図示省略）などにより構成されている。また、第１および第２搬送装置９１１、９１２にはそれぞれ、部品実装位置まで搬送された基板Ｋを基台９９側から押し上げて位置決めするクランプ装置（図示省略）が設けられている。   The board transfer device 91 is provided in the middle of the component mounting machine 9 in the longitudinal direction. The substrate transfer device 91 is a so-called double conveyor type device in which the first transfer device 911 and the second transfer device 912 are arranged in parallel, and the two substrates K are operated in parallel to carry in and position in the X-axis direction. Take it out. Each of the first and second transfer apparatuses 911 and 912 places a pair of guide rails (not shown) parallel to the X-axis direction on the base 99 and a substrate K guided by the guide rails. And a pair of conveyor belts (not shown). Each of the first and second transfer devices 911 and 912 is provided with a clamp device (not shown) that pushes up and positions the board K transferred to the component mounting position from the base 99 side.

部品供給装置９２は、フィーダ方式の装置であり、部品実装機９の長手方向の前部（図１の左前側）に設けられている。部品供給装置９２は、基台９９上に複数のカセット式フィーダ９２１が並設されて構成されている。各カセット式フィーダ９２１は、基台９９に離脱可能に取り付けられた本体９２２と、本体９２２の後部（部品実装機９の前側）に回転可能かつ着脱可能に装着された供給リール９２３と、本体９２２の先端（部品実装機９の中央寄り）に設けられた部品供給部９２４とを備えている。供給リール９２３は部品を供給する媒体であり、所定個数の部品を一定の間隔で保持したキャリアテープ（図示省略）が巻回されている。このキャリアテープの先端が部品供給部９２４まで引き出され、キャリアテープごとに異なる部品が供給される。   The component supply device 92 is a feeder-type device, and is provided at the front portion in the longitudinal direction of the component mounter 9 (the left front side in FIG. 1). The component supply device 92 is configured by arranging a plurality of cassette-type feeders 921 side by side on a base 99. Each cassette type feeder 921 includes a main body 922 that is detachably attached to the base 99, a supply reel 923 that is rotatably and detachably attached to a rear portion of the main body 922 (a front side of the component mounting machine 9), and a main body 922. And a component supply unit 924 provided at the front end (near the center of the component mounter 9). The supply reel 923 is a medium for supplying parts, and is wound with a carrier tape (not shown) holding a predetermined number of parts at regular intervals. The leading end of the carrier tape is pulled out to the component supply unit 924, and different components are supplied for each carrier tape.

部品移載装置９３は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能ないわゆるＸＹロボットタイプの装置であり、部品実装機９の長手方向の後部（図１の右奥側）から前部の部品供給装置９２の上方にかけて配設されている。部品移載装置９３は、Ｘ−Ｙ軸ヘッド駆動機構９３１（図１では大部分が隠れている）、装着ヘッド９３２などにより構成されている。Ｘ−Ｙ軸ヘッド駆動機構９３１は、装着ヘッド９３２をＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動する。Ｘ−Ｙ軸ヘッド駆動機構９３１のうちＸ軸方向への駆動を行う機構として、第１実施形態のリニアモータ装置１を用いることができる。また、Ｙ軸方向への駆動を行う機構として、やはりリニアモータ装置を用いてもよく、あるいは公知のボールねじ送り機構などの別の機構を用いてもよい。   The component transfer device 93 is a so-called XY robot type device that can move in the X-axis direction and the Y-axis direction, and supplies components from the rear part (right rear side in FIG. 1) in the longitudinal direction of the component mounting machine 9 to the front part. It is disposed over the device 92. The component transfer device 93 includes an XY axis head drive mechanism 931 (most of which is hidden in FIG. 1), a mounting head 932, and the like. The XY axis head drive mechanism 931 drives the mounting head 932 in the X axis direction and the Y axis direction. The linear motor device 1 according to the first embodiment can be used as a mechanism for driving in the X-axis direction among the XY-axis head drive mechanism 931. Further, as a mechanism for driving in the Y-axis direction, a linear motor device may be used, or another mechanism such as a known ball screw feeding mechanism may be used.

装着ヘッド９３２の下方には、負圧を利用して部品を吸着採取および装着する吸着ノズルを複数個下向きに保持するノズルホルダ９３３が設けられている。装着ヘッド９３２は、吸着ノズルを垂直Ｚ軸方向に昇降駆動するＺ軸方向駆動機構（図示省略）、およびＺ軸を中心としてノズルホルダ９３３を回転駆動するＲ軸回転駆動機構（図示省略）を有している。また、装着ヘッド９３２は、位置決めされた基板Ｋを撮像する基板カメラ（図示省略）を有している。   Below the mounting head 932, there is provided a nozzle holder 933 that holds a plurality of suction nozzles for picking up and mounting parts by suction using negative pressure. The mounting head 932 has a Z-axis direction drive mechanism (not shown) that drives the suction nozzle to move up and down in the vertical Z-axis direction, and an R-axis rotation drive mechanism (not shown) that rotates the nozzle holder 933 around the Z axis. doing. The mounting head 932 includes a substrate camera (not shown) that images the positioned substrate K.

部品カメラ９４は、部品移載装置９３の吸着ノズルが部品を吸着したときの状態を撮像する装置であり、部品供給装置９２の部品供給部９２４付近の基台９９上に配設されている。図略の制御コンピュータは、基板搬送装置９１、部品供給装置９２、部品移載装置９３、および部品カメラ９４と通信ケーブルによって接続されており、必要な情報を入手して演算および判定を行い、適宜指令を発して各部の動作を制御する。オペレータが制御コンピュータからの情報を確認し、さらには必要な操作や設定を行うために、上部のカバー９５の前側上部に表示操作装置９６が配設されている。   The component camera 94 is a device that images the state when the suction nozzle of the component transfer device 93 sucks the component, and is disposed on the base 99 near the component supply unit 924 of the component supply device 92. The control computer (not shown) is connected to the substrate transfer device 91, the component supply device 92, the component transfer device 93, and the component camera 94 by a communication cable, obtains necessary information, performs calculation and determination, and appropriately A command is issued to control the operation of each part. A display operation device 96 is arranged on the upper front side of the upper cover 95 so that the operator can confirm information from the control computer and perform necessary operations and settings.

次に、第１実施形態のリニアモータ装置１について詳述する。図２は第１実施形態のリニアモータ装置１の全体構成を模式的に示した移動方向と直交する断面図である。リニアモータ装置１は、軌道部材２および移動体３を備え、移動体３が移動方向となるＸ軸方向（図２の紙面表裏方向）に移動するようになっている。   Next, the linear motor device 1 according to the first embodiment will be described in detail. FIG. 2 is a cross-sectional view orthogonal to the moving direction schematically showing the overall configuration of the linear motor device 1 of the first embodiment. The linear motor device 1 includes a track member 2 and a moving body 3, and the moving body 3 moves in the X-axis direction (the front and back direction in FIG. 2) as the moving direction.

軌道部材２は、上下に分かれた上側軌道部材２１および下側軌道部材２２が移動方向に平行に延在して構成されている、上側および下側軌道部材２１、２２の間には移動体３の移動経路が形成され、上側および下側軌道部材２１、２２のＸ軸方向の両端が結合されて移動体３の移動経路が閉じられている。上側軌道部材２１および下側軌道部材２２の図中の左側の側面２１１、２２１にそれぞれ、上側案内レール２３および下側案内レール２４が移動方向に延在するように設けられている。上側および下側案内レール２３、２４の移動方向と直交する断面形状は、中間がくびれた凹凸形状になっている。   The track member 2 is configured such that an upper track member 21 and a lower track member 22 which are divided into upper and lower parts extend in parallel to the moving direction, and the moving body 3 is between the upper and lower track members 21 and 22. The movement path of the moving body 3 is closed by connecting both ends of the upper and lower track members 21 and 22 in the X-axis direction. An upper guide rail 23 and a lower guide rail 24 are provided on the left side surfaces 211 and 221 of the upper track member 21 and the lower track member 22 in the drawing so as to extend in the movement direction, respectively. The cross-sectional shape orthogonal to the moving direction of the upper and lower guide rails 23, 24 is an uneven shape with a narrowed middle.

上側軌道部材２１の底面２１２には、上側磁石固定部材２５が移動方向に延在するように設けられている。上側磁石固定部材２５の底面の移動方向に複数の磁石２５１が列設されている。同様に、下側軌道部材２２の上面２２２には、下側磁石固定部材２６が移動方向に延在するように設けられている。下側磁石固定部材２６の上面の移動方向に複数の磁石２６１が列設されている。   The upper magnet fixing member 25 is provided on the bottom surface 212 of the upper track member 21 so as to extend in the movement direction. A plurality of magnets 251 are arranged in the moving direction of the bottom surface of the upper magnet fixing member 25. Similarly, the lower magnet fixing member 26 is provided on the upper surface 222 of the lower track member 22 so as to extend in the moving direction. A plurality of magnets 261 are arranged in the moving direction of the upper surface of the lower magnet fixing member 26.

移動体３は、電機子４、被駆動部５、および放熱器６などが一体となって構成され、軌道部材２に移動可能に装架されている。電機子４は、上下に略対称な構造を有しており、上側および下側軌道部材２１、２２の間に配置され、上下の磁石２５１、２６１に対してわずかな間隙を有している。   The moving body 3 includes an armature 4, a driven part 5, a radiator 6, and the like that are integrally formed, and is movably mounted on the track member 2. The armature 4 has a substantially symmetrical structure in the vertical direction, is disposed between the upper and lower track members 21 and 22, and has a slight gap with respect to the upper and lower magnets 251 and 261.

電機子４の一側方（図中の左側の側方）には、取付部材５１を介して被駆動部５が取り付けられている。被駆動部５は、図１の装着ヘッド９３２に相当する部位であり、上下方向に延びている。被駆動部５の図中の右側の側面５０１の上端寄りおよび下端寄りに、上側係合部材５２および下側係合部材５３が固設されている。上側および下側係合部材５２、５３は、それぞれ係合凹部５２１、５３１を有している。各係合凹部５２１、５３１は、軌道部材２の上側および下側案内レール２３、２４の凹凸形状に嵌合して移動可能であり、これにより移動体３全体が装架されている。被駆動部５の図中の左側の側面５０２には、装着ヘッド９３２を構成する図略の各種部材が取り付けられている。   A driven portion 5 is attached to one side of the armature 4 (left side in the figure) via an attachment member 51. The driven portion 5 is a portion corresponding to the mounting head 932 in FIG. 1 and extends in the vertical direction. An upper engaging member 52 and a lower engaging member 53 are fixedly provided near the upper end and the lower end of the right side surface 501 in the drawing of the driven portion 5. The upper and lower engagement members 52 and 53 have engagement recesses 521 and 531, respectively. The respective engagement recesses 521 and 531 are movable by being fitted to the concavo-convex shapes of the upper and lower guide rails 23 and 24 of the track member 2, whereby the entire moving body 3 is mounted. Various members (not shown) constituting the mounting head 932 are attached to the left side surface 502 of the driven unit 5 in the drawing.

一方、電機子４の他側方（図中の右側の側方）には、取付部材６１を介して放熱器６が取り付けられている。放熱器６は、電機子４を隔て被駆動部５に相対して配置されている。放熱器６は、後で詳述するように電機子４から移送された熱を放散する。上述した「他側方」および前述の「一側方」は、電機子４の向かい合う２つの側面を意味し、隣接して交差する２つの側面を含まない。   On the other hand, a radiator 6 is attached to the other side of the armature 4 (the right side in the drawing) via an attachment member 61. The radiator 6 is disposed so as to be opposed to the driven portion 5 with the armature 4 interposed therebetween. The radiator 6 dissipates heat transferred from the armature 4 as will be described in detail later. The above-mentioned “other side” and the above-mentioned “one side” mean two opposite side surfaces of the armature 4 and do not include two adjacent side surfaces that intersect.

軌道部材２および移動体３の構成について、さらに詳述する。図３は移動体３の詳細構造を模式的に示した図であり、（１）は移動方向と直交する正面断面図、（２）は平面図である。また、図４は、移動方向に沿った軌道部材２および移動体３の垂直断面図である。移動体３の電機子４は、コア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗおよびコイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗなどで構成されている。また、移動体３は、熱伝導部材に相当するヒートパイプ７１、７２、および締結部材に相当する締結ロッド８をさらに有している。   The configurations of the track member 2 and the moving body 3 will be described in further detail. FIG. 3 is a diagram schematically showing the detailed structure of the moving body 3, where (1) is a front sectional view orthogonal to the moving direction, and (2) is a plan view. FIG. 4 is a vertical sectional view of the track member 2 and the moving body 3 along the moving direction. The armature 4 of the moving body 3 includes cores 41U, 41V, 41W, coils 43U, 43V, 43W, and the like. In addition, the moving body 3 further includes heat pipes 71 and 72 corresponding to the heat conducting member, and a fastening rod 8 corresponding to the fastening member.

図４に示されるように、移動体３を挟んで上下に配置された軌道部材２の磁石２５１、２６１は、移動方向（図では左右方向）沿い複数のＮ極およびＳ極が交互に列設されている。移動体３を挟んで向かい合う上下の磁石２５１、２６１同士は、互いに異なる極性とされている。   As shown in FIG. 4, the magnets 251 and 261 of the track member 2 arranged above and below the moving body 3 are alternately arranged with a plurality of N poles and S poles along the moving direction (left and right in the figure). Has been. The upper and lower magnets 251 and 261 facing each other across the moving body 3 have different polarities.

また、図３の（２）および図４に示されるように、移動体３の電機子４は、相ごとのコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗおよびコイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗを有し、三相が移動方向に並べて配置されている。移動体３は、三相の電機子４を少なくとも１組備え、複数組の電機子４を移動方向に並べて備えてもよい。   Also, as shown in FIG. 3 (2) and FIG. 4, the armature 4 of the moving body 3 has cores 41U, 41V, 41W and coils 43U, 43V, 43W for each phase, and three phases move. They are arranged side by side. The moving body 3 may include at least one set of three-phase armatures 4 and may include a plurality of sets of armatures 4 arranged in the movement direction.

コア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗは、プレス機により打ち抜き加工された電磁鋼板が多数枚積層されて形成されている。図４に示されるように、コア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗの平面形状は概ね十文字形であり、移動方向に直角な幅方向（図４では上下方向）にヨーク部４１１が延在して磁束Ｈを通すようになっている。ヨーク部４１１の両端にはそれぞれ、鉤の手状に拡げられた磁極形成部４１２が形成されている。コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗに電流が通電されると、磁極形成部４１２の一方にＮ極、他方にＳ極が誘起され、軌道部材２の磁石２５１、２６１との間に推進力が発生する。   The cores 41U, 41V, 41W are formed by laminating a large number of electromagnetic steel sheets punched by a press. As shown in FIG. 4, the planar shape of the cores 41U, 41V, and 41W is generally a cross shape, and the yoke portion 411 extends in the width direction (vertical direction in FIG. 4) perpendicular to the moving direction to generate the magnetic flux H. It has come to pass. At both ends of the yoke portion 411, magnetic pole forming portions 412 that are widened like a scissors are formed. When a current is passed through the coils 43U, 43V, and 43W, an N pole is induced in one of the magnetic pole forming portions 412, and an S pole is induced in the other, and a propulsive force is generated between the magnets 251 and 261 of the raceway member 2.

ヨーク部４１１の移動方向前後の側面中央からそれぞれ、突き当て凸部４１３が前方および後方に突設されている。突き当て凸部４１３は、磁束Ｈが通る断面積を部分的に拡げている。隣り合う前側のコア４１Ｕと中央のコア４１Ｖとの間、ならびに中央のコア４１Ｖと後側のコア４１Ｗとの間で、突き当て凸部４１３は先端の突き当て面４１４で相互に突き当たって位置関係を規定する。また、前側のコア４１Ｕの前側ならびに後側のコア４１Ｗの後側で、突き当て凸部４１３の突き当て面４１４は外方を向いている。   Abutment convex portions 413 are projected forward and rearward from the center of the side surfaces of the yoke portion 411 before and after the moving direction, respectively. The abutting convex portion 413 partially enlarges the cross-sectional area through which the magnetic flux H passes. Between the adjacent front core 41U and the central core 41V, and between the central core 41V and the rear core 41W, the abutment protrusions 413 abut against each other at the abutment surface 414 at the tip. Is specified. Further, the abutting surface 414 of the abutting convex portion 413 faces outward on the front side of the front core 41U and the rear side of the rear core 41W.

各コア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗの中心には、幅方向に貫通する締結孔４１５が穿設されている。図３に示されるように、締結孔４１５には締結ロッド８が挿通されている。締結ロッド８の両端は、駆動部５の取付部材５１および放熱器６の取付部材６１に締結されている。これにより、被駆動部５、電機子４のコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗ、および放熱器６が一体的に締結される。また、コア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗの各突き当て凸部４１３の突き当て面４１４に、断面半円状で幅方向に延在する冷却用溝４１６が形成されている。締結孔４１５および冷却用溝４１６は、プレス機の打ち抜き型を従来から変更することで、工程数を増やすことなく形成できる。   A fastening hole 415 penetrating in the width direction is formed in the center of each core 41U, 41V, 41W. As shown in FIG. 3, the fastening rod 8 is inserted into the fastening hole 415. Both ends of the fastening rod 8 are fastened to the attachment member 51 of the drive unit 5 and the attachment member 61 of the radiator 6. Thereby, the driven part 5, the cores 41U, 41V, 41W of the armature 4 and the radiator 6 are integrally fastened. In addition, a cooling groove 416 having a semicircular cross section and extending in the width direction is formed on the abutting surface 414 of each abutting convex portion 413 of the cores 41U, 41V, 41W. The fastening hole 415 and the cooling groove 416 can be formed without increasing the number of steps by changing the punching die of the press machine from the conventional one.

一方、コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗは、コア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗの突き当て凸部４１３により分離されたヨーク部４１１の両側に分かれて巻回形成されており、両側で巻回数は等しくなっている。三相のコイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗは、Ｙ結線またはΔ結線に接続されており、移動体３上に搭載された図略の電源部から電流の大きさおよび流れる方向が調整されて通電されるようになっている。   On the other hand, the coils 43U, 43V, 43W are separately formed on both sides of the yoke part 411 separated by the abutment convex part 413 of the cores 41U, 41V, 41W, and the number of turns is equal on both sides. . The three-phase coils 43U, 43V, and 43W are connected to the Y connection or the Δ connection, and are energized by adjusting the magnitude and direction of current flow from a power supply unit (not shown) mounted on the moving body 3. It is like that.

図３に示されるように、被駆動部５を取り付けた板状の取付部材５１をコイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗから離隔してコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗに固定するために、熱伝導性の低い断熱固定部材４５が用いられる。断熱固定部材４５は三相に共通な角棒状の部材であり、取付部材５１と三相のコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗの端面との間に介挿され、移動方向に延在している。断熱固定部材４５には、三相の合計３本の締結ロッド８が挿通されている。断熱固定部材４５により、取付部材５１とコイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗとの間が離隔支持されている。断熱固定部材４５の構成材質には、締結の圧縮力に強くかつ熱伝導性の低い材質が適しており、ガラスエポキシ積層板を例示できる。   As shown in FIG. 3, in order to fix the plate-like attachment member 51 to which the driven portion 5 is attached to the cores 41U, 41V, and 41W while being separated from the coils 43U, 43V, and 43W, heat insulation having low thermal conductivity is provided. A fixing member 45 is used. The heat insulating fixing member 45 is a rectangular bar-shaped member common to the three phases, and is interposed between the attachment member 51 and the end faces of the three-phase cores 41U, 41V, 41W, and extends in the moving direction. A total of three fastening rods 8 of three phases are inserted through the heat insulating fixing member 45. The heat insulating fixing member 45 supports the mounting member 51 and the coils 43U, 43V, and 43W at a distance. As a constituent material of the heat insulating fixing member 45, a material that is strong in compression force of fastening and low in thermal conductivity is suitable, and a glass epoxy laminated board can be exemplified.

一方、放熱器６を取り付けた板状の取付部材６１をコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗに固定するために、熱伝導性の高い伝熱固定部材４７が用いられる。伝熱固定部材４７は、三相に個別な部材であり、取付部材６１と各相コア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗの端面との間にそれぞれ介挿されている。各伝熱固定部材４７には、各相の締結ロッド８がそれぞれ挿通されている。伝熱固定部材４７により、取付部材６１とコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗとの間が熱伝導良好に支持されている。伝熱固定部材４７の構成材質には、締結の圧縮力に強くかつ熱伝導性の高い材質が適しており、鉄などの金属材料を例示できる。   On the other hand, in order to fix the plate-like attachment member 61 to which the radiator 6 is attached to the cores 41U, 41V, 41W, a heat transfer fixing member 47 having high thermal conductivity is used. The heat transfer fixing member 47 is an individual member for three phases, and is interposed between the attachment member 61 and the end faces of the phase cores 41U, 41V, 41W, respectively. A fastening rod 8 for each phase is inserted through each heat transfer fixing member 47. The heat transfer fixing member 47 supports the mounting member 61 and the cores 41U, 41V, 41W with good heat conduction. As the constituent material of the heat transfer fixing member 47, a material that is strong against the compressive force of fastening and has high thermal conductivity is suitable, and a metal material such as iron can be exemplified.

なお、成形加工された取付部材を用い、伝熱固定部材４７を介さずに、放熱器６をコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗに直接的に固定するようにしてもよい。この態様によれば、電機子４から放熱器６への熱伝導がさらに良好になる。   In addition, you may make it fix the heat radiator 6 directly to the cores 41U, 41V, and 41W without using the heat-transfer fixing member 47 using the shaping | molding attachment member. According to this aspect, the heat conduction from the armature 4 to the radiator 6 is further improved.

電機子４を冷却するために、放熱器６および熱伝導部材に相当する２本のヒートパイプ７１、７２が設けられている。詳述すると、前側のコア４１Ｕの後側の突き当て凸部４１３と中央のコア４１Ｖの前側の突き当て凸部４１３との間には、２つの冷却用溝４１６により断面円形の空間が形成される。この空間にヒートパイプ７１のヒートパイプ集熱部７１１が配設されている（図４参照）。同様に、中央のコア４１Ｖの後側の突き当て凸部４１３と後側のコア４１Ｗの前側の突き当て凸部４１３との間にも、２つの冷却用溝４１６により断面円形の空間が形成され、ヒートパイプ７２のヒートパイプ集熱部７２１が配設されている（図４参照）。   In order to cool the armature 4, two heat pipes 71 and 72 corresponding to the radiator 6 and the heat conducting member are provided. More specifically, a space having a circular cross section is formed by the two cooling grooves 416 between the rear abutting convex portion 413 of the front core 41U and the front abutting convex portion 413 of the central core 41V. The The heat pipe heat collecting part 711 of the heat pipe 71 is disposed in this space (see FIG. 4). Similarly, a space having a circular cross section is formed by the two cooling grooves 416 between the rear abutting convex portion 413 of the central core 41V and the front abutting convex portion 413 of the rear core 41W. A heat pipe heat collecting part 721 of the heat pipe 72 is disposed (see FIG. 4).

各ヒートパイプ集熱部７１１、７２１は冷却用溝４１６の全長にわたって延在し、さらに、その一端７１２、７２２が断熱固定部材４５の内部まで入り込んで被駆動部５の近傍まで延在している（図３参照）。各ヒートパイプ集熱部７１１、７２１の他端７１３、７２３はそれぞれ、電機子４の外部へ引き出されて延在し、ヒートパイプ放熱部７１５、７２５に連通している。２つのヒートパイプ放熱部７１５、７２５は、放熱器６の取付部材６１の裏面に互い違いに結合されて延在している。

Each heat pipe heat collecting part 711, 721 extends over the entire length of the cooling groove 416, and its one end 712, 722 enters the inside of the heat insulating fixing member 45 and extends to the vicinity of the driven part 5. (See FIG. 3). The other ends 713 and 723 of the heat pipe heat collecting portions 711 and 721 extend to the outside of the armature 4 and extend to the heat pipe heat radiating portions 715 and 725, respectively. The two heat pipe heat radiating portions 715 and 725 are alternately connected to the back surface of the attachment member 61 of the radiator 6 and extend.

ヒートパイプ７１、７２の内部に封入する冷媒としては、例えば水を用いることができ、これに限定されず他の冷媒を用いても良い。また、第１実施形態において、熱伝導部材は必ずしも冷媒の相変化を伴うヒートパイプ７１、７２である必要は無く、例えば、冷却管路にクーリングオイルを封入して循環対流させる方式の冷却管であってもよい。   For example, water can be used as the refrigerant sealed in the heat pipes 71 and 72, and the refrigerant is not limited to this, and other refrigerants may be used. In the first embodiment, the heat conducting member does not necessarily need to be the heat pipes 71 and 72 accompanied with the phase change of the refrigerant. For example, the heat conducting member is a cooling pipe that circulates and circulates cooling oil in the cooling pipe. There may be.

放熱器６は、電機子４に匹敵する大きさで面状に延在する基体６２と、基体６２の表面から垂直方向に立設された複数の薄板状の放熱フィン６３からなる。図３の（１）に示される構成例では、８枚の放熱フィン６３が移動方向に平行に立設されている。これにより、移動体３が移動するのに伴い放熱フィン６３の間を空気が通り抜け、効率的に冷却されるようになっている。基体６２は、取付部材６１に密着して設けられ、ヒートパイプ放熱部７１５、７２５から取付部材６１を介して放熱器６へと良好に熱伝導されるようになっている。放熱器６は、熱伝導率が高く熱放散の良好な金属製とするのが好ましく、かつ移動体３の重量増加を抑えるために軽量であることが好ましく、例えばアルミニウムを用いた鋳造によって製造することができる。   The radiator 6 is composed of a base body 62 having a size comparable to that of the armature 4 and extending in a planar shape, and a plurality of thin plate-like heat radiation fins 63 erected in a vertical direction from the surface of the base body 62. In the configuration example shown in (1) of FIG. 3, eight radiating fins 63 are erected in parallel with the moving direction. Thereby, as the moving body 3 moves, air passes between the heat radiating fins 63 and is efficiently cooled. The base 62 is provided in close contact with the mounting member 61, so that heat conduction from the heat pipe heat radiation portions 715 and 725 to the radiator 6 through the mounting member 61 is favorably conducted. The radiator 6 is preferably made of a metal having high thermal conductivity and good heat dissipation, and is preferably lightweight in order to suppress an increase in the weight of the moving body 3, and is manufactured by casting using, for example, aluminum. be able to.

次に、上述のように構成された第１実施形態のリニアモータ装置１におけるコイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗの冷却作用について説明する。移動体３を移動させるためにコイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗに通電すると銅損による熱が発生する。ここで、コア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗの熱伝導が良好であるので、コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗで発生した熱はコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗを経由してヒートパイプ集熱部７１１、７２１に伝わる。すると、ヒートパイプ集熱部７１１、７２１の内部で水が蒸発して水蒸気に相変化し、蒸発潜熱分の冷却作用が生じる。一方、水蒸気は、対流してヒートパイプ放熱部７１５、７２５に移動し、放熱器６で冷却されて液相の水に戻り、ヒートパイプ集熱部７１１、７２１に戻る。   Next, the cooling effect | action of the coils 43U, 43V, and 43W in the linear motor apparatus 1 of 1st Embodiment comprised as mentioned above is demonstrated. When the coils 43U, 43V, and 43W are energized to move the moving body 3, heat due to copper loss is generated. Here, since the heat conduction of the cores 41U, 41V, and 41W is good, the heat generated in the coils 43U, 43V, and 43W is transmitted to the heat pipe heat collecting units 711 and 721 via the cores 41U, 41V, and 41W. Then, water evaporates inside the heat pipe heat collecting parts 711 and 721 and changes into water vapor, and a cooling action for the latent heat of evaporation occurs. On the other hand, the water vapor convects and moves to the heat pipe heat radiation units 715 and 725, is cooled by the heat radiator 6, returns to liquid phase water, and returns to the heat pipe heat collection units 711 and 721.

ここで、ヒートパイプ７１、７２と並行して、伝熱固定部材４７を介しコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗから放熱器６へと効率的に熱が伝わる。なお、ヒートパイプ７１、７２および伝熱固定部材４７による熱移送は、コア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗで発生する鉄損の熱に対しても同様に作用する。加えて、コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗおよびコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗの外面では自然冷却が行われる。これらの冷却作用が継続することで、電機子４の温度上昇が許容値以下に保たれる。   Here, in parallel with the heat pipes 71 and 72, heat is efficiently transmitted from the cores 41 </ b> U, 41 </ b> V, 41 </ b> W to the radiator 6 through the heat transfer fixing member 47. The heat transfer by the heat pipes 71 and 72 and the heat transfer fixing member 47 similarly acts on the heat of iron loss generated in the cores 41U, 41V, and 41W. In addition, natural cooling is performed on the outer surfaces of the coils 43U, 43V, 43W and the cores 41U, 41V, 41W. By continuing these cooling actions, the temperature rise of the armature 4 is kept below an allowable value.

一方、被駆動部５側では、断熱固定部材４５の作用により、コア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗから被駆動部５の取付部材５１への熱伝導が抑制される。加えて、ヒートパイプ集熱部７１１、７２１の一端７１２、７２２が断熱固定部材４５まで入り込んで冷却を行うので、取付部材５１および被駆動部５の温度上昇が顕著に抑制される。   On the other hand, on the driven portion 5 side, heat conduction from the cores 41U, 41V, 41W to the mounting member 51 of the driven portion 5 is suppressed by the action of the heat insulating fixing member 45. In addition, since the one ends 712 and 722 of the heat pipe heat collecting portions 711 and 721 enter the heat insulating fixing member 45 and perform cooling, the temperature rise of the mounting member 51 and the driven portion 5 is remarkably suppressed.

第１実施形態のリニアモータ装置１によれば、特許文献１と異なり、移動体３内で電機子４を隔てて被駆動部５と放熱器６とが離隔配置されるため、高温になりがちな放熱器６から被駆動部５への熱伝導が抑制される。また、ヒートパイプ７１、７２の冷媒の相変化および対流を利用して格段に効率良く冷却することができ、ヒートパイプ７１、７２が被駆動部５の近傍まで延在しているので、取付部材５１および被駆動部５を効率よく冷却できる。   According to the linear motor device 1 of the first embodiment, unlike the Patent Document 1, the driven part 5 and the radiator 6 are spaced apart from each other with the armature 4 in the moving body 3, so that the temperature becomes high. The heat conduction from the radiator 6 to the driven part 5 is suppressed. In addition, it is possible to remarkably efficiently cool the refrigerant by using the phase change and convection of the refrigerant in the heat pipes 71 and 72, and the heat pipes 71 and 72 extend to the vicinity of the driven part 5, so that the mounting member 51 and the driven part 5 can be efficiently cooled.

加えて、断熱固定部材４５を用いて被駆動部５および取付部材５１をコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗに固定しているので、コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗから被駆動部５への熱伝導が顕著に減少する。また、伝熱固定部材４７を用いて放熱器６をコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗに固定しているので、コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗからコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗを経由した放熱器６への熱伝導が顕著に増加して、ヒートパイプ７１、７２による熱移送と協働する。さらに、放熱器６の周辺に被駆動部５関連の構造部材を配置する必要が無いので、十分な放熱面積の確保が容易であり、例えば電機子４に匹敵する大きさの放熱器６を採用できる   In addition, since the driven part 5 and the mounting member 51 are fixed to the cores 41U, 41V, 41W using the heat insulating fixing member 45, the heat conduction from the coils 43U, 43V, 43W to the driven part 5 is remarkable. Decrease. Further, since the heat radiator 6 is fixed to the cores 41U, 41V, 41W using the heat transfer fixing member 47, heat conduction from the coils 43U, 43V, 43W to the heat radiator 6 via the cores 41U, 41V, 41W. Significantly increases and cooperates with heat transfer by the heat pipes 71, 72. Furthermore, since it is not necessary to arrange the structural member related to the driven unit 5 around the radiator 6, it is easy to secure a sufficient heat radiation area. For example, the radiator 6 having a size comparable to the armature 4 is adopted. it can

これらの総合的な作用で、被駆動部５の温度上昇を抑制して熱膨張や変形を低減できる。これにより、被駆動部５の上側および下側係合部材５２、５３と軌道部材２の上側および下側案内レール２３、２４との位置関係が安定し、位置決め精度を確保できるとともに、この間の摺動摩擦の増加を抑制できる。さらに、装着ヘッド９３２を構成するために被駆動部５に取り付けられた各種部材、例えば樹脂製部材の熱劣化などの弊害を抑制できる。   With these comprehensive actions, the temperature rise of the driven part 5 can be suppressed and thermal expansion and deformation can be reduced. As a result, the positional relationship between the upper and lower engaging members 52, 53 of the driven portion 5 and the upper and lower guide rails 23, 24 of the track member 2 is stabilized, positioning accuracy can be ensured, and the sliding between them can be ensured. Increase in dynamic friction can be suppressed. Furthermore, it is possible to suppress adverse effects such as thermal deterioration of various members attached to the driven portion 5 to form the mounting head 932, for example, resin members.

また、締結ロッド８は、被駆動部５、電機子４のコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗ、および放熱器６を一体的に締結しており、構成部品の点数を削減しつつ、簡易でかつ堅牢な構造を実現できる。   Further, the fastening rod 8 integrally fastens the driven part 5, the cores 41U, 41V, 41W of the armature 4 and the radiator 6, and is simple and robust while reducing the number of components. The structure can be realized.

次に、第２実施形態のリニアモータ装置について、第１実施形態と異なる点を主に説明する。図５は、第２実施形態のリニアモータ装置の移動体３Ａの詳細構造を模式的に示した移動方向と直交する正面断面図である。第２実施形態において、電機子４Ａ以外の部位は、第１実施形態と同一の構成になっている。第２実施形態の電機子４Ａでは、コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗに樹脂４９を充填成形し、機械的強度を高めている。これとともに、コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗを外気から遮蔽して耐環境性を高め、異物の混入や被水などを防止している。   Next, the linear motor device of the second embodiment will be described mainly with respect to differences from the first embodiment. FIG. 5 is a front cross-sectional view orthogonal to the moving direction schematically showing the detailed structure of the moving body 3A of the linear motor device of the second embodiment. In the second embodiment, the parts other than the armature 4A have the same configuration as in the first embodiment. In the armature 4A of the second embodiment, the resin 43 is filled and molded in the coils 43U, 43V, and 43W to increase the mechanical strength. At the same time, the coils 43U, 43V, and 43W are shielded from the outside air to enhance the environmental resistance, thereby preventing foreign matters from being mixed in and getting wet.

図５に示されるように、第２実施形態では、電機子４Ａと被駆動部５の取付部材５１との間に、断熱固定部材４５に代えて断熱固定介挿部材４８が用いられる。断熱固定介挿部材４８は、断熱固定部材４５に相当する断熱固定部４８１および、取付部材５１とコイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗとの間に配置される断熱介挿部４８２が一体となって形成されている。断熱固定部４８１は、第１実施形態と同様に、取付部材５１をコイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗから離隔してコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗに固定している。断熱介挿部４８２は面状に拡がって取付部材５１の概ね全面に密着し、コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗからは離隔している。断熱固定介挿部材４８の構成材質には、第１実施形態と同じガラスエポキシ積層板を例示できる。なお、ヒートパイプ７１の一端７１１は、断熱固定部４８１の取付部材５１の近傍まで達している。   As shown in FIG. 5, in the second embodiment, a heat insulating fixing insertion member 48 is used instead of the heat insulating fixing member 45 between the armature 4 </ b> A and the mounting member 51 of the driven part 5. The heat insulation fixing insertion member 48 is formed integrally with a heat insulation fixing portion 481 corresponding to the heat insulation fixing member 45 and a heat insulation insertion portion 482 arranged between the mounting member 51 and the coils 43U, 43V, 43W. ing. As in the first embodiment, the heat insulating fixing portion 481 separates the attachment member 51 from the coils 43U, 43V, and 43W and fixes it to the cores 41U, 41V, and 41W. The heat insulating insertion part 482 extends in a planar shape and is in close contact with the substantially entire surface of the mounting member 51, and is separated from the coils 43 U, 43 V, and 43 W. The constituent material of the heat insulation fixing insertion member 48 can be exemplified by the same glass epoxy laminate as in the first embodiment. Note that one end 711 of the heat pipe 71 reaches the vicinity of the attachment member 51 of the heat insulating fixing portion 481.

断熱固定介挿部材４８とコイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗとの間の離隔空間には、樹脂４９が注入されて充填成形されている。樹脂４９は、断熱固定介挿部材４８およびコイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗの外側面にも注型されており、これらを一体的に成形している。   Resin 49 is injected and filled into the space between the heat insulating fixed insertion member 48 and the coils 43U, 43V, 43W. The resin 49 is also cast on the heat insulation fixing insertion member 48 and the outer surfaces of the coils 43U, 43V, and 43W, and these are integrally molded.

一方、電機子４Ａと放熱器６の取付部材６１との間の離隔空間にも、樹脂４９が注入されて充填成形されている。樹脂４９は、コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗの外側面にも注型されており、コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗに加えて伝熱固定部材４７およびヒートパイプ７１、７２をも一体的に成形している。樹脂４９の材質は、熱伝導特性や電気的特性および機械的強度などを勘案して適宜選定する。   On the other hand, the resin 49 is also injected and filled into a separation space between the armature 4A and the attachment member 61 of the radiator 6. The resin 49 is also cast on the outer surfaces of the coils 43U, 43V, and 43W, and the heat transfer fixing member 47 and the heat pipes 71 and 72 are integrally formed in addition to the coils 43U, 43V, and 43W. . The material of the resin 49 is appropriately selected in consideration of heat conduction characteristics, electrical characteristics, mechanical strength, and the like.

第２実施形態のリニアモータ装置によれば、被駆動部５を取り付けた取付部材５１とコイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗとの間に熱伝導性の低い断熱介挿部４８２を配置するとともに樹脂４９を充填成形している。したがって、コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗから樹脂４９を経由して被駆動部５へ至る熱伝導を断熱介挿部４８２で低減でき、被駆動部５の温度上昇を抑制できる。   According to the linear motor device of the second embodiment, the heat insulating insertion portion 482 with low thermal conductivity is disposed between the mounting member 51 to which the driven portion 5 is attached and the coils 43U, 43V, 43W, and the resin 49 is disposed. Filled and molded. Therefore, the heat conduction from the coils 43U, 43V, 43W to the driven part 5 via the resin 49 can be reduced by the heat insulating insertion part 482, and the temperature rise of the driven part 5 can be suppressed.

次に、第３実施形態のリニアモータ装置について、第１実施形態と異なる点を主に説明する。図６は、第３実施形態のリニアモータ装置の移動体３Ｂの詳細構造を模式的に示した図であり、（１）は移動方向と直交する正面図、（２）は平面図である。第３実施形態では、軌道部材は第１および第２実施形態と同様の構成であるが、移動体３Ｂの電機子４Ｂの設計諸元が第１実施形態と異なり、コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗの発熱量が相対的に大きくなっている。このため、送風ファン６４を用いた強制風冷を採用している。   Next, the linear motor device according to the third embodiment will be described mainly with respect to differences from the first embodiment. FIG. 6 is a diagram schematically illustrating a detailed structure of the moving body 3B of the linear motor device according to the third embodiment, in which (1) is a front view orthogonal to the moving direction, and (2) is a plan view. In the third embodiment, the track member has the same configuration as in the first and second embodiments, but the design specifications of the armature 4B of the moving body 3B are different from those in the first embodiment, and the coils 43U, 43V, 43W are different. The calorific value is relatively large. For this reason, the forced air cooling using the ventilation fan 64 is employ | adopted.

図６に示されるように、被駆動部５Ｂは、取付部材を使用することなく断熱固定部材４５によりコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗの端面に固定されている。また、放熱器６Ｂも、取付部材を使用することなくスペーサ部材４７Ｂによりコア４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗの端面に固定されている。スペーサ部材４７Ｂは、第１実施形態の伝熱固定部材４７に相当し、金属材料で形成されている。   As shown in FIG. 6, the driven portion 5B is fixed to the end surfaces of the cores 41U, 41V, and 41W by the heat insulating fixing member 45 without using an attachment member. The radiator 6B is also fixed to the end surfaces of the cores 41U, 41V, and 41W by the spacer member 47B without using an attachment member. The spacer member 47B corresponds to the heat transfer fixing member 47 of the first embodiment, and is formed of a metal material.

電機子４Ｂの内部には、４本のヒートパイプ７３〜７６が設けられている。各ヒートパイプ７３〜７６の一端は、断熱固定部材４５の内部まで入り込んで被駆動部５Ｂの近傍まで延在している。各ヒートパイプ７３〜７６の他端は、電機子４Ｂの外部へ引き出され、放熱器６Ｂの基部６２の裏面に沿って結合されている。   Four heat pipes 73 to 76 are provided inside the armature 4B. One end of each of the heat pipes 73 to 76 enters the inside of the heat insulating fixing member 45 and extends to the vicinity of the driven part 5B. The other ends of the heat pipes 73 to 76 are pulled out to the outside of the armature 4B and are coupled along the back surface of the base 62 of the radiator 6B.

放熱器６Ｂは、電機子４Ｂに匹敵する大きさで面状に延在する基体６２、基体６２の表面から垂直方向に立設された複数の薄板状の放熱フィン６３、および送風ファン６４で構成されている。図示される例では、１２枚の放熱フィン６３が移動方向に平行に立設されて第１実施形態よりも冷却性能が強化されており、さらに、２個の送風ファン６４による強制風冷が行われる。２個の送風ファン６４は、図中の破線矢印Ｆ１に示されるように、放熱フィン６３の概ね全体に立設方向の正面から風を送るようになっている。放熱フィン６３に当たった風は、図中の破線矢印Ｆ２に示されるように移動方向の前方および後方に吹き抜ける。   The radiator 6B includes a base 62 extending in a planar shape with a size comparable to that of the armature 4B, a plurality of thin plate-like heat dissipation fins 63 erected vertically from the surface of the base 62, and a blower fan 64. Has been. In the illustrated example, twelve heat dissipating fins 63 are erected in parallel with the moving direction to enhance the cooling performance as compared with the first embodiment, and further, forced air cooling is performed by two blower fans 64. Is called. The two blower fans 64 are configured to send air from the front in the standing direction to almost the entire radiating fin 63 as indicated by a broken arrow F1 in the drawing. The wind that hits the radiating fins 63 blows forward and backward in the movement direction as indicated by the broken arrow F2 in the figure.

第３実施形態のリニアモータ装置によれば、特許文献３と異なり、送風ファン６４からの風の大部分が放熱フィン６３全体にまんべんなく行き渡るので、冷却効率がすこぶる良好になる。なお、送風ファン６４は移動体３の移動を妨げないので、移動範囲が減少するなどの弊害は生じない。このように、放熱器６Ｂの周辺に被駆動部関連の構造部材を配置する必要が無いので、十分な放熱面積の確保が容易であり、また、送風ファン６４を適正な位置に配設することができる。つまり、冷却設計の自由度が高められており、コイル４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗの発熱量に対応して良好な冷却性能の確保が容易になる。   According to the linear motor device of the third embodiment, unlike Patent Document 3, most of the wind from the blower fan 64 is distributed evenly over the entire heat radiation fins 63, so that the cooling efficiency is extremely good. Since the blower fan 64 does not hinder the movement of the moving body 3, there is no adverse effect such as a reduction in the movement range. Thus, since it is not necessary to arrange the structural member related to the driven part around the radiator 6B, it is easy to secure a sufficient heat radiation area, and the blower fan 64 is disposed at an appropriate position. Can do. That is, the degree of freedom in cooling design is increased, and it becomes easy to ensure good cooling performance corresponding to the heat generation amount of the coils 43U, 43V, and 43W.

なお、各実施形態で、被駆動部５、５Ｂおよび放熱器６、６Ｂは、電機子４、４Ａ、４Ｂの向かい合う側面に固定され、電機子４、４Ａ、４Ｂを挟んで相対するものとしたが、これに限定されない。換言すれば、電機子の下方に被駆動部を固定し、上方に放熱器を固定して、上下に相対するようにしてもよい。また、電機子４、４Ａ、４Ｂの構造も実施形態に限定されず、例えば、三相コアを用いた電機子であってもよい。さらに、リニアモータ装置１は部品移載装置９３の装着ヘッド９３２をＸ軸方向へ駆動するものとしたが、Ｙ軸方向への駆動を行う機構としても実施できる。本発明は、その他にも様々な応用や変形が可能である。   In each embodiment, the driven parts 5 and 5B and the radiators 6 and 6B are fixed to opposite side surfaces of the armatures 4, 4A, and 4B, and are opposed to each other with the armatures 4, 4A, and 4B interposed therebetween. However, it is not limited to this. In other words, the driven part may be fixed below the armature, and the radiator may be fixed above, so as to face each other up and down. Further, the structure of the armatures 4, 4A, 4B is not limited to the embodiment, and for example, an armature using a three-phase core may be used. Further, although the linear motor device 1 drives the mounting head 932 of the component transfer device 93 in the X-axis direction, the linear motor device 1 can also be implemented as a mechanism that drives in the Y-axis direction. Various other applications and modifications are possible for the present invention.

本発明は、部品実装機９以外の基板用作業機器にも利用することができ、さらには、他種の産業用組立機械や産業用工作機械に利用することも可能である。   The present invention can be used for work equipment for substrates other than the component mounter 9, and can also be used for other types of industrial assembly machines and industrial machine tools.

１：リニアモータ装置
２：軌道部材
２１：上側軌道部材 ２２：下側軌道部材
２３：上側案内レール ２４：下側案内レール
２５１、２６１：磁石
３、３Ａ、３Ｂ：移動体
４、４Ａ、４Ｂ：電機子
４１Ｕ、４１Ｖ、４１Ｗ：コア ４１１：ヨーク部
４１５：締結孔 ４１３：突き当て凸部 ４１６：冷却用溝
４３Ｕ、４３Ｖ、４３Ｗ：コイル
４５：断熱固定部材 ４７：伝熱固定部材 ４７Ｂ：スペーサ部材
４８：断熱固定介挿部材 ４９：樹脂
５：被駆動部
５１：取付部材 ５２：上側係合部材 ５３：下側係合部材
６：放熱器
６１：取付部材 ６２：基体 ６３：放熱フィン
６４：送風ファン
７１〜７６：ヒートパイプ
７１１、７２１：ヒートパイプ集熱部
７１５、７２５：ヒートパイプ放熱部
８：締結ロッド
９：部品装着装置
９０：共通ベース ９１：基板搬送装置 ９２：部品供給装置
９３：部品移載装置 ９３２：装着ヘッド ９４：部品カメラ
９５：カバー ９６：表示操作装置 ９９：基台1: Linear motor device 2: Track member
21: Upper race member 22: Lower race member
23: Upper guide rail 24: Lower guide rail
251,261: Magnet 3, 3A, 3B: moving body 4, 4A, 4B: armature
41U, 41V, 41W: Core 411: Yoke part
415: Fastening hole 413: Abutting projection 416: Cooling groove
43U, 43V, 43W: Coil
45: Heat insulation fixing member 47: Heat transfer fixing member 47B: Spacer member
48: Heat insulation fixing insertion member 49: Resin 5: Driven part
51: Mounting member 52: Upper engaging member 53: Lower engaging member 6: Radiator
61: Mounting member 62: Base body 63: Radiation fin
64: Blower fan 71-76: Heat pipe
711, 721: Heat pipe heat collecting part
715, 725: Heat pipe heat radiation part 8: Fastening rod 9: Component mounting device
90: Common base 91: Substrate transfer device 92: Component supply device
93: Component transfer device 932: Mounting head 94: Component camera
95: Cover 96: Display operation device 99: Base

Claims (5)

移動方向に沿い複数の磁石のＮ極およびＳ極が交互に列設された軌道部材と、コアおよびコイルをもつ電機子を有して前記軌道部材に移動可能に装架された移動体とを備え、前記コイルに電流を通電したときに前記コアに誘起される磁束と前記軌道部材の前記磁石との間に前記移動方向の推進力を発生するリニアモータ装置であって、
前記移動体は、
前記電機子の下方または一側方で前記コアに固定され、前記軌道部材に係合して摺動する被駆動部と、
前記電機子の内部に延在するとともに一部分が前記電機子の外部へと延在し、前記コイルで発生する熱を前記電機子の外部に移送する熱伝導性の高い熱伝導部材と、
前記電機子の上方または他側方で前記コアに固定され前記電機子を隔てて前記被駆動部に相対し、かつ前記熱伝導部材が接続されて移送された熱を放散する放熱器と、
前記被駆動部を取り付けた取付部材を前記コイルから離隔して前記コアに固定する熱伝導性の低い断熱固定部材と、をさらに有し、
前記熱伝導部材は、
前記放熱器に結合されて延在する放熱部と、
前記電機子の内部に配設された冷却用溝の全長にわたって延在し、その一端が前記断熱固定部材の内部まで入り込んで前記被駆動部の近傍まで延在するとともに、その他端が前記放熱部に連通する集熱部と、からなるリニアモータ装置。 A track member in which N poles and S poles of a plurality of magnets are alternately arranged along a moving direction, and a moving body that has an armature having a core and a coil and is movably mounted on the track member. A linear motor device that generates a propulsive force in the moving direction between the magnetic flux induced in the core and the magnet of the track member when a current is passed through the coil,
The moving body is
A driven part that is fixed to the core below or on one side of the armature and that engages and slides on the track member;
A heat conducting member having a high thermal conductivity that extends to the outside of the armature and partially extends to the outside of the armature, and transfers heat generated by the coil to the outside of the armature;
A radiator that is fixed to the core above or on the other side of the armature, is opposed to the driven part across the armature, and is connected to the heat conducting member to dissipate the transferred heat;
A heat insulating fixing member having low thermal conductivity for fixing the mounting member to which the driven portion is attached to the core while being spaced apart from the coil; and
The heat conducting member is
A heat dissipating part coupled to the heat radiator and extending;
The cooling groove disposed inside the armature extends over the entire length, and one end of the cooling groove extends to the inside of the heat insulating fixing member and extends to the vicinity of the driven portion, and the other end is the heat dissipation portion. A linear motor device comprising: a heat collecting portion communicating with the heat collecting portion . 請求項１において、
前記移動体は、前記放熱器を前記コアに固定するための熱伝導性の高い伝熱固定部材をさらに有し、
あるいは、前記放熱器が前記コアに直接的に固定されているリニアモータ装置。 In claim 1 ,
The moving body further includes a heat transfer fixing member having high thermal conductivity for fixing the radiator to the core,
Alternatively, a linear motor device in which the radiator is directly fixed to the core. 請求項１または２において、前記移動体は、前記被駆動部または前記取付部材と、前記電機子の前記コアと、前記放熱器とを一体的に締結する締結部材をさらに有するリニアモータ装置。 3. The linear motor device according to claim 1 , wherein the movable body further includes a fastening member that integrally fastens the driven portion or the attachment member, the core of the armature, and the radiator. 請求項１〜３のいずれか一項において、前記断熱固定部材は、前記被駆動部を取り付けた取付部材と前記コイルとの間に熱伝導性の低い断熱材を配置するとともに樹脂を充填成形したものであるリニアモータ装置。 The heat insulation fixing member according to any one of claims 1 to 3 , wherein a heat insulating material having low thermal conductivity is disposed between the mounting member to which the driven portion is attached and the coil, and the resin is filled and molded. A linear motor device. 請求項１〜４のいずれか一項において、
前記放熱器は、面状に延在する基体および、前記基体の表面から垂直方向に立設された複数の放熱フィンからなり、
前記熱伝導部材はヒートパイプであり、前記放熱部は、前記放熱器の前記基体の裏面に結合されて延在するヒートパイプ放熱部であり、前記集熱部は、前記ヒートパイプ放熱部に連通するヒートパイプ集熱部であるリニアモータ装置。 In any one of Claims 1-4 ,
The radiator is composed of a substrate extending in a planar shape and a plurality of heat radiation fins standing vertically from the surface of the substrate,
The heat conducting member is a heat pipe, the heat dissipating part is a heat pipe heat dissipating part connected to and extended from the back surface of the base of the radiator , and the heat collecting part communicates with the heat pipe heat dissipating part. A linear motor device that is a heat pipe heat collecting part.

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