JP5291983B2 - テラヘルツ波周波数分解イメージング装置 - Google Patents
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- パルス光を出力する光源と、
前記光源から出力されたパルス光を2分岐して、その2分岐したパルス光のうち一方をポンプ光とし他方をプローブ光として出力する分岐部と、
前記分岐部から出力されたポンプ光を入力することでテラヘルツ波を発生し出力するテラヘルツ波発生部と、
前記テラヘルツ波発生部から出力され測定対象物で透過または反射したテラヘルツ波と、前記分岐部から出力されて到達したプローブ光とを入力し、これらテラヘルツ波およびプローブ光を互いに同軸となるように合波して出力する合波部と、
前記合波部から出力されたテラヘルツ波およびプローブ光を入力し、テラヘルツ波の伝搬に伴い複屈折が誘起され、その複屈折によりプローブ光の偏光状態を変化させて、そのプローブ光を出力する電気光学結晶と、
前記分岐部から前記合波部に到るまでのポンプ光およびテラヘルツ波の光路と、前記分岐部から前記合波部に到るまでのプローブ光の光路と、の間の光路長差を調整する光路長差調整部と、
前記電気光学結晶から出力されたプローブ光のビーム断面における偏光状態変化の分布を検出することにより、前記測定対象物で透過または反射したテラヘルツ波の像を撮像する撮像部と、
前記光路長差調整部に対して前記光路長差を一定間隔の各値に設定するよう指示するとともに、前記撮像部に対して前記光路長差の各値においてテラヘルツ波像を撮像するよう指示する制御部と、
前記光路長差調整部により前記光路長差が各値に設定されているときに前記撮像部により撮像されたテラヘルツ波像を順次に入力し、これら入力したテラヘルツ波像の画素毎に当該画素データに特定周波数に応じた係数を乗じた値を加算して、各画素の当該加算値に基づいて前記特定周波数のテラヘルツ波像を求める演算部と、
を備えることを特徴とするテラヘルツ波周波数分解イメージング装置。 - 前記演算部が、前記周波数および前記係数それぞれの値を互いに対応付けて記憶する記憶部を有し、前記特定周波数に対応する前記係数を前記記憶部から読み出して、その読み出した係数を前記画素データに乗じる、
ことを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ波周波数分解イメージング装置。 - 前記演算部が、前記光路長差調整部による光路長差の調整の期間または前記撮像部によるテラヘルツ波像の撮像の期間に乗算処理または加算処理を行う、
ことを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ波周波数分解イメージング装置。 - 前記分岐部から前記合波部に到るまでのポンプ光およびテラヘルツ波の光路上においてポンプ光またはテラヘルツ波の通過および遮断を交互に行う光変調部を更に備え、
前記制御部が、前記光路長差調整部により前記光路長差が各値に設定されている期間に、前記光変調部によりポンプ光またはテラヘルツ波の通過および遮断を行わせ、前記光変調部によりポンプ光またはテラヘルツ波が通過している期間に前記撮像部によりテラヘルツ波像を撮像させ、前記光変調部によりポンプ光またはテラヘルツ波が遮断している期間に前記撮像部によりバックグラウンド像を撮像させ、
前記演算部が、前記光路長差調整部により前記光路長差が各値に設定されているときに前記撮像部により撮像されたテラヘルツ波像およびバックグラウンド像を順次に入力し、この入力したテラヘルツ波像からバックグラウンド像を差し引いたテラヘルツ波像を求め、この求めたテラヘルツ波像の画素毎に当該画素データに前記特定周波数に応じた係数を乗じた値を加算して、各画素の当該加算値に基づいて特定周波数のテラヘルツ波像を求める、
ことを特徴とする請求項1に記載のテラヘルツ波周波数分解イメージング装置。
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