JP5291178B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
該洗浄水供給手段は、該チャックテーブルに保持された被加工物に向けて洗浄水を噴出せしめる第1のノズル、第2のノズル及び第3のノズルを備えた洗浄水ノズル手段と、該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルの各々に供給する洗浄水の流量をそれぞれ調整する流量調整手段と、を具備し、該洗浄水ノズル手段は切削時における切削送り方向において該チャックテーブルの上流側に配設されており、割り出し送り方向において、該第1のノズルは中央部に配置され、該第2のノズルは該第1のノズルの一方側に配置され、該第3のノズルは該第1のノズルの他方側に配置され、該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルから噴出する洗浄水の流量は、該切削ブレードにより切削している領域に洗浄水を多く供給するように、該流量調整手段によって調整される、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
図1に示された切削装置は、略直方体状の装置ハウジング1を具備している。この装置ハウジング1内には、図2に示す静止基台2と、該静止基台2に切削送り方向である矢印Xで示す方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブル機構3と、静止基台2に割り出し送り方向である矢印Yで示す方向(切削送り方向である矢印Xで示す方向に直交する方向)に移動可能に配設されたスピンドル支持機構4と、該スピンドル支持機構4に切り込み送り方向である矢印Zで示す方向に移動可能に配設された切削手段としてのスピンドルユニット5が配設されている。
上記スピンドルユニット5を構成するスピンドルハウジング52の先端には、切削ブレード54の外周を覆うブレードカバー57が装着されている。このブレードカバー57に2本の切削水ノズル58、59が配設されている。切削水ノズル58、59は、切削ブレード54の両側に配設されており、図示しない切削水供給源に接続されている。
カセット載置テーブル7上に載置されたカセット8の所定位置に収容されている被加工物10は、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル7が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出手段14が進退作動して搬出位置に位置付けられた被加工物10を仮置きテーブル13上に搬出する。仮置きテーブル13に搬出された被加工物10は、搬送手段15によって上記チャックテーブル34上に搬送される。チャックテーブル34上に被加工物10が載置されたならば、図示しない吸引手段が作動して被加工物10をチャックテーブル34上に吸引保持する。また、被加工物10を保護テープ12を介して支持する環状のフレーム11は、上記4個のクランプ341によって固定される。このようにして被加工物10を保持したチャックテーブル34は、撮像手段18の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル34が撮像手段18の直下に位置付けられると、撮像手段18によって被加工物10に形成されているストリートが検出され、スピンドルユニット5を割り出し方向である矢印Y方向に移動調節してストリートと切削ブレード54との精密位置合わせ作業が行われる。
2:静止基台
3:チャックテーブル機構
34:チャックテーブル
35:チャックテーブルカバー
4:スピンドル支持機構
42:可動支持基台
5:スピンドルユニット
51:ユニットホルダ
52:スピンドルハウジング
53:回転スピンドル
54:切削ブレード
57:ブレードカバー
58、59:切削水ノズル
7:カセット載置テーブル
8:カセット
10:被加工物
11:環状のフレーム
12:保護テープ
13:仮置きテーブル
14:搬出手段
15:搬送手段
16:洗浄手段
17:洗浄搬送手段
18:撮像手段
19:表示手段
20:洗浄水供給手段
21:洗浄水ノズル手段
22:ノズル支持台
23a:第1のノズル
23b:第2のノズル
23c:第3のノズル
24:高さ調整手段
240:調整ネジ
27:洗浄水供給源
28:流量調整手段
28a、28b、28c:比例電磁式流量調整弁
29:電磁切替弁
Claims (4)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを支持するチャックテーブル支持基台と、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードおよび該切削ブレードによる加工領域に切削水を供給する切削水供給手段を備えた切削手段と、該チャックテーブル支持基台と該切削手段とを切削送り方向に相対移動せしめる切削送り手段と、該チャックテーブル支持基台と該切削手段とを該切削送り方向と直交する割り出し送り方向に相対移動せしめる割り出し送り手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物に洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、を具備する切削装置において、
該洗浄水供給手段は、該チャックテーブルに保持された被加工物に向けて洗浄水を噴出せしめる第1のノズル、第2のノズル及び第3のノズルを備えた洗浄水ノズル手段と、該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルの各々に供給する洗浄水の流量をそれぞれ調整する流量調整手段と、を具備し、
該洗浄水ノズル手段は切削時における切削送り方向において該チャックテーブルの上流側に配設されており、
割り出し送り方向において、該第1のノズルは中央部に配置され、該第2のノズルは該第1のノズルの一方側に配置され、該第3のノズルは該第1のノズルの他方側に配置され、
該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルから噴出する洗浄水の流量は、該切削ブレードにより切削している領域に洗浄水を多く供給するように、該流量調整手段によって調整される、
ことを特徴とする切削装置。 - 該洗浄水ノズル手段は、該チャックテーブル支持基台によって支持され該チャックテーブルを囲繞して配設されたチャックテーブルカバーに配設されている、請求項1記載の切削装置。
- 該洗浄水ノズル手段は、該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルを支持するノズル支持台と、該ノズル支持台と該第1のノズル、該第2のノズル及び該第3のノズルの高さ位置を調整する高さ調整手段を具備している、請求項1又は2記載の切削装置。
- 該洗浄水ノズル手段から噴出される洗浄水の噴出方向は、該切削ブレードの回転に起因して切削水が飛散せしめられる方向と同じ方向に設定されている、請求項1から3のいずれかに記載の切削装置。
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