JP5278323B2 - 高輝度発光ダイオードの製造方法 - Google Patents
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Description
前記GaAs基板を除去した面に第二の電流拡散層としてIII−V族化合物半導体をHVPE成長により形成する工程は、供給する原料ガスの形成当初のIII/V比を3以上にし、その後前記III/V比が相対的に低くなるように変化させ、第二の電流拡散層としてIII−V族化合物半導体をHVPE成長により形成する工程とし、該工程において前記形成当初のIII/V比を3以上にして第二の電流拡散層を形成する時の成長温度を、III/V比を相対的に低くして成長する時の温度よりも、低温域である550℃〜700℃、III/V比を5以上にする場合は550℃〜730℃の範囲内の温度として成長を開始し、その後III/V比を相対的に低くして成長する時の温度と同じ温度まで昇温させることを特徴とする高輝度発光ダイオードの製造方法を提供する。
そこで、形成当初のIII/V比を3以上、より好ましくは3より高くし、III族ガスがすべての基板に十分行き渡った状態で、III/V比を相対的に低くすることで、上記問題が解決され、成長膜の破壊を防止することができる。
このように、本発明の当該製造方法により、原料ガスの供給口から離れた位置で製造された基板でも成長膜の破壊を抑えることができ、高品質な高輝度発光ダイオードを製造することができる。
しかし、形成当初のIII/V比を3以上、より好ましくは3以上にした状態で、後のIII/V比を相対的に低くして成長するときの温度(例えば750℃)に昇温する途中の550〜700℃、III/V比を5以上にする場合は550℃〜730℃といった低温域の温度で成長を開始することで、格子のズレ量を小さくし、マイクロ穴欠陥の発生を抑えることができる。また、成長開始温度を下げることにより線膨張率差による反りを軽減することもできる。
その結果、部分的な接合不良を抑えた電流拡散層を形成することができ、チップ工程での基板割れも防止することができる。それは、原料ガスの供給口から離れた位置で製造された基板でも同様の効果が得られる。
本発明者は、高輝度発光ダイオードの製造方法において、GaAs基板を除去した面に第二の電流拡散層を成長する際に、エピタキシャル中の成長膜の破壊を防止し、成長初期段階の界面に発生してしまうマイクロ穴欠陥を抑えることができる高輝度発光ダイオードの製造方法を開発すべく鋭意検討を重ねた。
本発明の高輝度発光ダイオードの製造方法は、少なくとも、GaAs基板の第一主表面側上に4元発光層をエピタキシャル成長により形成する工程と、該4元発光層上に第一の電流拡散層としてIII−V族化合物半導体をHVPE成長により形成する工程と、前記GaAs基板を除去する工程と、前記GaAs基板を除去した面に第二の電流拡散層としてIII−V族化合物半導体をHVPE成長により形成する工程と、得られた基板をチップに加工する工程とを行う、高輝度発光ダイオードを製造する方法において、前記GaAs基板を除去した面に第二の電流拡散層としてIII−V族化合物半導体をHVPE成長により形成する工程は、供給する原料ガスの形成当初のIII/V比を3以上にし、その後前記III/V比が相対的に低くなるように変化させ、第二の電流拡散層としてIII−V族化合物半導体をHVPE成長により形成する工程とし、該工程において前記形成当初のIII/V比を3以上にして第二の電流拡散層を形成する時の成長温度を、III/V比を相対的に低くして成長する時の温度よりも、低温域である550℃〜700℃、III/V比を5以上にする場合は550℃〜730℃の範囲内の温度として成長を開始し、その後III/V比を相対的に低くして成長する時の温度と同じ温度まで昇温させることを特徴とする高輝度発光ダイオードの製造方法である。
図1は、本発明に係る高輝度発光ダイオードの製造方法を工程順に示した概念図である。以下、各工程についてさらに詳しく説明する。
Ga(g)+HCl(g)→GaCl(g)+1/2H2(g)・・・(1)
GaCl(g)+PH3(g)→GaP(s)+HCl(g)+H2(g)・・・(2)
このように、エピタキシャル成長当初のIII/V比を3以上、より好ましくは3より高くすることで、III族原料の不足から生じるエピタキシャル膜の破壊を効果的に防止できる。
このとき、工程105aにおける、3以上に設定するIII/V比を、好ましくは5以上とすることができる。該範囲とすることで、より下流に位置する基板においても、エピタキシャル中の成長膜の破壊を効果的に抑えることができる。なお、III/V比は、10000以下であることが望ましい。10000より小さければ、V族元素が不足してエピタキシャル膜品質が低下することを抑制できる。
一方、工程105bにおける、相対的に低く設定するIII/V比を、好ましくは1.0以上、更に好ましくは1.2以上とすることができる。
このように、550℃〜700℃、III/V比を5以上にする場合は550℃〜730℃といった低温域の温度で成長を開始し昇温することで、マイクロ穴欠陥の発生を抑えることができるためである。
前記した本発明の図1の工程に従い、厚さ280μmで外周にオリエンテーションフラット(OF)が形成されたGaAs基板の第一主表面側上に、600〜800℃の環境下、(CH3)3Al、(CH3)3Ga、(CH3)3In、PH3を原料ガスとして、MOCVD法を用い、AlGaInPの4元発光層を8μm形成する。その際表層に、MOCVD法を用い、GaP膜を数μm形成する。その上に、HVPE法を用い、第一の電流拡散層としてp型GaP窓層を150μm形成した後、GaAs基板をエッチング除去した。
次に、第二の電流拡散層を、HVPE法により形成する。形成当初の形成開始温度を614℃とし、所定の成長温度である750℃に昇温する途中の低温域の614℃から成長を開始する。また、炉内に導入するn型GaP窓層の原料ガスである塩化水素とホスフィンのモル比を変えることでIII/V比を6.0として基板に原料ガスを供給し、n型GaP窓層を2.5μm形成する。その後、III/V比を1.2〜3.0に変えて、n型GaP窓層を150μm形成した。
また、図6は、実施例1における、n型GaP窓層の原料ガスの供給口からみて(a)上流、(b)中流、(c)下流でn型GaP膜を形成して得られた高輝度発光ダイオードの基板のカラーレーザー顕微鏡(VK−9710 キーエンス製)で500倍に拡大したn層界面の観察写真である。それぞれのウェーハのセンター(Center)および外周から5mmの位置2点(OF側(OF)およびOF側の反対側(反OF))のn層界面を観察した。どのウェーハにもマイクロ穴欠陥が観察されておらず欠陥の発生を抑えることができた。
前記実施例と同じ方法で、GaAs基板をエッチング除去するまでの工程を行う。
次に、第二の電流拡散層を、HVPE法により形成する。成長温度を750℃で一定に保ち、また、n型GaP窓層の原料ガスの形成当初のIII/V比を6.0として基板に原料ガスを供給し、n型GaP窓層を2.5μm形成する。その後、III/V比を1.2〜3.0に変えて、n型GaP窓層を150μm形成した。
また、図7は、比較例1における、n型GaP窓層の原料ガスの供給口からみて(a)上流、(b)中流、(c)下流でn型GaP膜を形成して得られた高輝度発光ダイオードの基板のカラーレーザー顕微鏡(VK−9710 キーエンス製)で500倍に拡大したn層界面の観察写真である。なお、(a)上流は、ウェーハのセンター(Center)のみ、(b)中流、(c)下流は、それぞれのウェーハのセンター(Center)および外周から5mmの位置2点(OF側(OF)およびOF側の反対側(反OF))のn層界面を観察した。図7のn層界面の観察写真から、比較例1の界面部分にマイクロ穴欠陥が観察された。
前記実施例と同じ方法で、GaAs基板をエッチング除去するまでの工程を行う。
次に、第二の電流拡散層を、気相成長法により形成する。成長温度を750℃で一定に保ち、n型GaP窓層の原料ガスのIII/V比を3.0で一定に保ちながら、n型GaP窓層を150μm形成した。
また、図8は、比較例2における、n型GaP窓層の原料ガスの供給口からみて上流でn型GaP膜を形成して得られた高輝度発光ダイオードの基板のカラーレーザー顕微鏡(VK−9710 キーエンス製)で500倍に拡大したn層界面の観察写真である。なお、それぞれのウェーハのセンター(Center)および外周から5mmの位置2点(OF側(OF)およびOF側の反対側(反OF))のn層界面を観察した。図8のn層界面の観察写真から、比較例2の界面部分にマイクロ穴欠陥が観察された。
前記実施例と同じ方法で、GaAs基板をエッチング除去するまでの工程を行う。
次に、第二の電流拡散層を、気相成長法により形成する。成長温度を750℃で一定に保ち、n型GaP窓層の原料ガスのIII/V比を1.2で一定に保ちながら、n型GaP窓層を150μm形成した。
また、図9は、比較例3における、n型GaP窓層の原料ガスの供給口からみて上流でn型GaP膜を形成して得られた高輝度発光ダイオードの基板のカラーレーザー顕微鏡(VK−9710 キーエンス製)で500倍に拡大したn層界面の観察写真である。なお、ウェーハのセンター(Center)および外周から5mmの位置2点(OF側(OF)およびOF側の反対側(反OF))のn層界面を観察した。図9のn層界面の観察写真から、比較例3の界面部分にマイクロ穴欠陥が観察された。
前記実施例1と同じ方法で、GaAs基板をエッチング除去するまでの工程を行う。
次に、第二の電流拡散層を、気相成長法により形成する。形成当初の形成開始温度を5水準、n型GaP窓層の原料ガスの形成当初のIII/V比を5水準設定し、それぞれを変化させて第二の電流拡散層を形成した。前記形成開始温度は、それぞれ500℃、550℃、700℃、730℃とし、所定の成長温度である750℃に昇温する途中の低温域の温度から成長を開始させた。また、残りの1水準は750℃で一定とした。前記n型GaP窓層の原料ガスの形成当初のIII/V比はそれぞれ1.2、3、6、20、80として基板に原料ガスを供給し、n型GaP窓層を2.5μm形成した。その後、III/V比を1.2〜3.0に変えて、n型GaP窓層を150μm形成した。
Claims (4)
- 少なくとも、GaAs基板の第一主表面側上に4元発光層をエピタキシャル成長により形成する工程と、該4元発光層上に第一の電流拡散層としてIII−V族化合物半導体をHVPE成長により形成する工程と、前記GaAs基板を除去する工程と、前記GaAs基板を除去した面に第二の電流拡散層としてIII−V族化合物半導体をHVPE成長により形成する工程と、得られた基板をチップに加工する工程、とを行う高輝度発光ダイオードの製造方法において、
前記GaAs基板を除去した面に第二の電流拡散層としてIII−V族化合物半導体をHVPE成長により形成する工程は、供給する原料ガスの形成当初のIII/V比を3以上にし、その後前記III/V比が相対的に低くなるように変化させ、第二の電流拡散層としてIII−V族化合物半導体をHVPE成長により形成する工程とし、該工程において前記形成当初のIII/V比を3以上にして第二の電流拡散層を形成する時の成長温度を、III/V比を相対的に低くして成長する時の温度よりも、低温域である550℃〜700℃、III/V比を5以上にする場合は550℃〜730℃の範囲内の温度として成長を開始し、その後III/V比を相対的に低くして成長する時の温度と同じ温度まで昇温させることを特徴とする高輝度発光ダイオードの製造方法。 - 前記供給する原料ガスの形成当初のIII/V比を、3より高くし、前記第二の電流拡散層を形成する時の成長温度を、550℃〜700℃の範囲内の温度とすることを特徴とする請求項1に記載の高輝度発光ダイオードの製造方法。
- 前記成長させる第一、第二の電流拡散層を、GaPまたはGaAsP窓層とすることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の高輝度発光ダイオードの製造方法。
- 前記形成当初のIII/V比を3以上にする方法を、III/V比を相対的に低くする時よりも、V族原料ガスの供給量を少なくすることにより、III/V比を相対的に高くすることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の高輝度発光ダイオードの製造方法。
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