JP5265291B2 - Single-sheet application method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ダイコート法による枚葉シートの塗布方法の改良に関する。詳しくは、薄い枚葉シートでも確実に定盤に吸着固定し、塗布液を塗布し、塗膜を形成する枚葉シートの塗布方法に関する。 The present invention relates to an improvement in a method for applying a sheet by a die coating method. Specifically, the present invention relates to a sheet-fed sheet coating method in which even a thin sheet is securely adsorbed and fixed to a surface plate, a coating solution is applied, and a coating film is formed.
樹脂フィルム等の枚葉シートに塗布物および溶媒を含む塗布液を塗布する方法として、定盤上に配置した枚葉シートの表面に対して微小な間隔で対向させたダイヘッドに設けられたスリットから塗布液を押し出して塗布液を塗布するダイコート法が知られている（例えば、特許文献１および特許文献２参照。）
As a method of applying a coating solution containing a coating material and a solvent to a single-wafer sheet such as a resin film, from a slit provided in a die head facing the surface of the single-wafer sheet placed on a surface plate at a minute interval A die coating method is known in which a coating solution is extruded to apply the coating solution (see, for example,
定盤には、通常、塗布時に枚葉シートが動かないように真空吸着させて固定するための吸着穴および／または吸着溝、枚葉シートを定盤上で上下させるためのリフトピンおよびそれを通す穴が設けられており、下記の方法で塗布が行われている。
枚葉シートをロボットアームに載せて搬入し、上昇させたリフトピン上に枚葉シートを置いた後、ロボットアームを引き抜く。次にリフトピンを下降させ、枚葉シートを定盤上に配置し、吸着穴および／または吸着溝を介して枚葉シートを真空吸引し、定盤に吸着固定する。次にダイヘッドを移動してスリットから塗布液を押し出して塗布液を枚葉シートに塗布する。続いて真空破壊し、枚葉シートを定盤との吸着状態を解除し、リフトピンを上昇させて塗膜を形成した枚葉シートを持ち上げ、枚葉シートと定盤の間にロボットアームを挿入して枚葉シートをロボットアームに載せて持ち上げて取り出す。
The surface plate usually passes through suction holes and / or suction grooves for vacuum suction and fixing so that the sheet does not move during application, lift pins for moving the sheet up and down on the surface plate, and through it. A hole is provided and coating is performed by the following method.
A single sheet is loaded on the robot arm, and the sheet is placed on the lift pins that have been lifted, and then the robot arm is pulled out. Next, the lift pin is lowered, the sheet is placed on the surface plate, the sheet is vacuum sucked through the suction holes and / or suction grooves, and is sucked and fixed to the surface plate. Next, the die head is moved to extrude the coating solution from the slit, and the coating solution is applied to the sheet. Next, break the vacuum, release the adsorption state of the sheet with the surface plate, raise the lift pin to lift the sheet with the coating film formed, and insert the robot arm between the sheet and the surface plate. Then put the sheet on the robot arm and lift it out.
このダイコート法は膜厚ムラの少ない被膜を設ける方法とし良い塗布方法であるが、枚葉シートが薄い場合、例えば、約０．８〜０．２ｍｍ厚さの枚葉シートに塗布する場合、枚葉シートに高さが１〜３ｍｍ程度のうねりや反りが生じ、定盤に吸着し難くなり、枚葉シートに皺が発生することがある。
この場合には、上記一連の工程を停止し、枚葉シートを除き再スタートする必要がある。
従って、うねりや反りが生じた薄い枚葉シートでも確実に定盤に吸着できる方法が望まれている。
In this case, it is necessary to stop the above-described series of steps and restart the process after removing the sheet.
Accordingly, there is a demand for a method capable of reliably adsorbing even a thin sheet with undulation or warpage to a surface plate.
本発明は、うねりや反りが生じた薄い枚葉シートでも確実に定盤に吸着固定できる方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a method capable of reliably adsorbing and fixing a thin sheet having swells and warpage to a surface plate.
本発明者は、枚葉シートの塗布方法について鋭意検討した結果、定盤に設けられた吸着穴を介して枚葉シートを真空吸引する際に、配置された枚葉シートの中央部から周辺部方向に順に真空吸引することによって、うねりや反りが生じた薄い枚葉シートでも確実に定盤に吸着固定できることを見出し、本発明に至った。 As a result of earnestly examining the sheet-fed sheet coating method, the present inventor, when vacuum-sucking a sheet-fed sheet through a suction hole provided in a surface plate, from the central part of the arranged sheet to the peripheral part As a result, the inventors have found that even thin sheet sheets with undulation and warpage can be reliably adsorbed and fixed to a surface plate by vacuum suction in the direction.
すなわち本発明は、枚葉シートを定盤上に配置し、定盤に設けられた吸着穴を介して枚葉シートを真空吸引して定盤に吸着固定した後、ダイヘッドを移動してスリットから塗布液を押し出して塗布液を枚葉シートに塗布し、続いて真空破壊し、塗膜を形成した枚葉シートをロボットアームに載せて持ち上げて取り出す枚葉シートの塗布方法において、配置された枚葉シートの中央部から周辺部方向に順に真空吸引することを特徴とする枚葉シートの塗布方法である。 That is, in the present invention, a sheet is placed on a surface plate, the sheet is vacuum-sucked through a suction hole provided in the surface plate, and is sucked and fixed to the surface plate, and then the die head is moved from the slit. In the sheet-sheet coating method, the coating liquid is extruded to apply the coating liquid to the sheet, and then vacuum breaks and lifts and removes the sheet on which the coating film is formed on the robot arm. A sheet-fed sheet coating method, wherein vacuum suction is sequentially performed from a central part of a leaf sheet toward a peripheral part.
本発明の方法によって、うねりや反りが生じた薄い枚葉シートでも確実に定盤に吸着固定でき、その結果、工程を停止することなく、また枚葉シートの損傷もなく枚葉シートを塗布することができる。 By the method of the present invention, even a thin sheet with undulation or warpage can be securely fixed to the surface plate, and as a result, the sheet is applied without stopping the process and without damaging the sheet. be able to.
本発明の方法において、枚葉シートおよび塗布液は製造する硬化被膜に応じて適宜選択されるが、枚葉シートとしては、樹脂シートなどが挙げられる。
樹脂としてはポリオレフィン、ポリエステル、ポリカーボネート、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース樹脂などが例示される。また、樹脂シートとして、これら樹脂の積層シートも挙げられる。枚葉シートの厚みとしては、約０．８ｍｍ〜０．２ｍｍのような薄い場合に、本発明は特に有効である。
In the method of the present invention, the sheet material and the coating solution are appropriately selected according to the cured film to be produced, and examples of the sheet material include a resin sheet.
Examples of the resin include polyolefin, polyester, polycarbonate, acrylic resin, triacetyl cellulose resin and the like. Moreover, the resin sheet also includes a laminated sheet of these resins. The present invention is particularly effective when the thickness of the sheet is as thin as about 0.8 mm to 0.2 mm.
塗布液は塗布物および溶媒からなり、塗布物としては、耐候性、耐擦傷性、帯電防止性、反射防止性、アンチグレア性などを付与する組成物が挙げられる。
これらは、通常、活性エネルギー性硬化性塗布物、熱硬化性塗布物であり、活性エネルギー線、または熱エネルギーによって硬化するものである。
塗布液は、活性エネルギー線または熱エネルギーで硬化する有機成分、機能を付与できる無機酸化物微粒子や有機系微粒子、光開始剤または熱開始剤、必要に応じてレベリング剤（平滑剤）、酸化防止剤、紫外線吸収剤などを含有し、さらにこれらの成分を溶解または分散させるための水または各種の有機溶剤を含有する。
塗布液の物性として、粘度が約０．１〜５０ｍPa・ｓ、表面張力は濡れ性の観点から枚葉シートの表面張力より低いものが好ましく、通常、約２０〜４０ｍN／ｍのものが使用される。
The coating solution is composed of a coating material and a solvent, and examples of the coating material include a composition imparting weather resistance, scratch resistance, antistatic property, antireflection property, antiglare property and the like.
These are usually active energy curable coatings and thermosetting coatings, which are cured by active energy rays or thermal energy.
The coating solution is an organic component that can be cured by active energy rays or thermal energy, inorganic oxide fine particles or organic fine particles that can impart functions, a photoinitiator or thermal initiator, a leveling agent (smoothing agent) as necessary, and an antioxidant And water or various organic solvents for dissolving or dispersing these components.
As the physical properties of the coating solution, those having a viscosity of about 0.1 to 50 mPa · s and a surface tension of less than the surface tension of the sheet are preferred from the viewpoint of wettability, and usually about 20 to 40 mN / m. The
例えば、耐擦傷性の硬化被膜を形成するため、硬化性塗布物として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートなどの（メタ）アクリロイルオキシ基を複数有する化合物など、酸化物微粒子として、酸化アンチモンのような金属酸化物、インジウム／スズの複合酸化物（ＩＴＯ）、スズ／アンチモンの複合酸化物（ＡＴＯ）、アンチモン／亜鉛の複合酸化物、リンでドープされた酸化スズなどが好ましく用いられる。また溶剤として、イソプロピルアルコールのようなアルコール類、３−メトキシ−１−プロパノールのようなアルコキシアルコール類など、レベリング剤として、シリコーンオイルなどが好ましく用いられる。 For example, in order to form a scratch-resistant cured film, as a curable coating, a compound having a plurality of (meth) acryloyloxy groups such as dipentaerythritol hexaacrylate, etc., as oxide fine particles, as a metal oxide such as antimony oxide Indium / tin composite oxide (ITO), tin / antimony composite oxide (ATO), antimony / zinc composite oxide, and phosphorus-doped tin oxide are preferably used. As the solvent, alcohols such as isopropyl alcohol, alkoxy alcohols such as 3-methoxy-1-propanol, and the like, silicone oil and the like are preferably used as the leveling agent.
本発明の方法を図１〜図５を用いて説明する。図１は定盤の模式図であり、（Ａ）は平面模式図、（Ｂ）は（Ａ）のＸ-Ｘ線部の断面模式図である。図２は塗布方法を示すための断面模式図である。図３は枚葉シートの配置、取り出しを示すための断面模式図である。図４は区分けの例を示す平面模式図である。図５は真空吸着および真空破壊を説明する断面模式図である。 The method of the present invention will be described with reference to FIGS. 1A and 1B are schematic views of a surface plate, FIG. 1A is a schematic plan view, and FIG. 1B is a schematic cross-sectional view taken along line XX in FIG. FIG. 2 is a schematic sectional view for illustrating a coating method. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view for illustrating the placement and removal of the sheet. FIG. 4 is a schematic plan view showing an example of division. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view illustrating vacuum suction and vacuum break.
定盤（１）は御影石などの石製またはステンレスなどの金属製であり、定盤には、塗布時に枚葉シートが動かないように真空吸引して固定させるための吸着穴（２）および吸着溝（３）が設けられている。また、枚葉シートを定盤上に配置および／または取り出す際に、枚葉シートを持ち上げるためのリフトピンおよびそれを通す穴（４）が設けられている（図１）。吸着穴の大きさは、通常、約０．５〜５ｍｍφであるが、これに限定されるものではない。吸着溝はこれら吸着穴を連結するように設けられている。また、リフトピンを通す穴の大きさは、通常、約２〜３０ｍｍφであるが、これに限定されるものではない。 The surface plate (1) is made of stone such as granite or metal such as stainless steel, and the surface plate is equipped with suction holes (2) and suction for fixing the vacuum sheet so that the sheet does not move during application. A groove (3) is provided. Further, when placing and / or taking out the sheet from the surface plate, a lift pin for lifting the sheet and a hole (4) through which the lift pin is passed are provided (FIG. 1). The size of the suction hole is usually about 0.5 to 5 mmφ, but is not limited thereto. The suction groove is provided so as to connect these suction holes. Further, the size of the hole through which the lift pin is passed is usually about 2 to 30 mmφ, but is not limited thereto.
定盤（１）上に配置した枚葉シート（５）の表面に対して微小な間隔で対向させたダイヘッド（６）を移動させて、枚葉シートに塗布液を塗布し、塗布液の塗膜（７）を形成する（図２）。 The die head (6) opposed to the surface of the single wafer sheet (5) placed on the surface plate (1) is moved at a minute interval to apply the coating liquid to the single sheet and apply the coating liquid. A film (7) is formed (FIG. 2).
枚葉シート内に部分的に温度差があると膜厚差を生じるので、枚葉シートを塗布設備の環境温度と同様の温度に調節しておくのが良い。また、定盤上に多孔質シートを敷設し、多孔質シート上に枚葉シートを配置して行っても良い。
多孔質シートとしては、連続気泡を有する多孔質の樹脂製、金属製またはセラミックス製のものが挙げられるが、熱伝導率の小さい樹脂製、すなわち樹脂粉末の焼結多孔質成形体からなるシートが好ましく用いられる。樹脂としてはポリエチレン、ポリプロピレンが好ましい。
また、多孔質シートの厚みは、特に限定されるものではないが、約０．１〜５．０ｍｍ、好ましくは０．３〜２．０ｍｍである。
多孔質シートの気孔率は、約５〜５０容積％、好ましくは約１５〜３５容積％である。
If there is a partial temperature difference in the sheet, a difference in film thickness occurs. Therefore, it is preferable to adjust the sheet to a temperature similar to the environmental temperature of the coating equipment. Further, a porous sheet may be laid on a surface plate, and a single wafer sheet may be arranged on the porous sheet.
Examples of the porous sheet include those made of porous resin, metal, or ceramics having open cells, but a sheet made of a resin having a low thermal conductivity, that is, a sintered porous molded body of resin powder. Preferably used. As the resin, polyethylene and polypropylene are preferable.
The thickness of the porous sheet is not particularly limited, but is about 0.1 to 5.0 mm, preferably 0.3 to 2.0 mm.
The porosity of the porous sheet is about 5 to 50% by volume, preferably about 15 to 35% by volume.
多孔質シートには、定盤のリフトピンを通す穴の部分には穴を開けておく。一方、吸着穴および／または吸着溝の部分は、多孔質シートを介して枚葉シートを吸引することができるので、穴を開ける必要はない。
多孔質シートの大きさは、塗布する枚葉シートと同じ大きさかそれ以上にする。
また、多孔質シートの端面および塗布する枚葉シートより外側になる部分を、吸引漏れが発生し、吸着力が低下するのを防止するために、テープ等で塞ぐことが好ましい。
In the porous sheet, a hole is made in a hole portion through which the lift pin of the surface plate is passed. On the other hand, the suction hole and / or the suction groove portion can suck the single sheet through the porous sheet, so that it is not necessary to make a hole.
The size of the porous sheet is the same as or larger than that of the sheet to be applied.
In addition, it is preferable to close the end face of the porous sheet and the portion outside the sheet to be coated with a tape or the like in order to prevent suction leakage from occurring and decrease in adsorption power.
枚葉シート（５）をロボットアーム（９）に載せて搬入し、モータ駆動によって上昇させたリフトピン（８）上に枚葉シートを置いた後、ロボットアームを引き抜く（図３）。次にリフトピンを下降させ、枚葉シートを定盤上に配置し、吸着穴および／または吸着溝を介して枚葉シートを真空吸引し、定盤に吸着固定する。 The single sheet (5) is carried on the robot arm (9), and after placing the single sheet on the lift pins (8) raised by driving the motor, the robot arm is pulled out (FIG. 3). Next, the lift pin is lowered, the sheet is placed on the surface plate, the sheet is vacuum sucked through the suction holes and / or suction grooves, and is sucked and fixed to the surface plate.
定盤に設けられた吸着穴を介して枚葉シートを真空吸引する際に、配置された枚葉シートの中央部から周辺部方向に順に真空吸引する。このことによって、高さが１〜３ｍｍ程度のうねりや反りが生じた薄い枚葉シートでも、定盤に確実に吸着固定し、枚葉シートに皺が発生することを防ぐことができる。
中央部から周辺部方向への真空吸引は、連続的に行っても良いが、そのための設備が複雑になるので、通常、区分けした区分毎に順に行う。その区分に対応する位置にある吸着穴を介して真空吸引する。
区分けは、枚葉シートの大きさによって異なるが、中央部および周辺部の２区分、中央部、中間部および周辺部の３区分などである。図４、図５は中央部（１３）、中間部（１４）および周辺部（１５）の３区分の例を示す。中央部と中間部、または中間部と周辺部を同時に真空吸引して２区分とすることもある。
電磁弁１１を順に開いてそれぞれの区分を真空吸引する。
When vacuum-feeding the single-sheet through the suction holes provided in the surface plate, vacuum suction is sequentially performed from the central portion to the peripheral portion of the arranged single-sheet. As a result, even a thin sheet having a swell or warp of about 1 to 3 mm in height can be reliably adsorbed and fixed to the surface plate to prevent wrinkles from occurring on the sheet.
The vacuum suction from the central portion toward the peripheral portion may be performed continuously, but the equipment for that purpose is complicated, and therefore, the vacuum suction is generally performed in order for each divided section. Vacuum suction is performed through a suction hole at a position corresponding to the section.
The division varies depending on the size of the sheet, but includes two divisions of the central portion and the peripheral portion, three divisions of the central portion, the intermediate portion, and the peripheral portion. 4 and 5 show an example of three sections, that is, a central portion (13), an intermediate portion (14), and a peripheral portion (15). The central portion and the intermediate portion, or the intermediate portion and the peripheral portion may be simultaneously vacuumed to be divided into two sections.
The
具体的には、中央部、中間部の大きさおよび形状は、例えば、中央部と中間部の境界が、幅が約３００ｍｍ〜７００ｍｍで長さが約５００ｍｍ〜９００ｍｍで示される矩形、中間部と周辺部の境界が、幅が約５００ｍｍ〜９００ｍｍで長さが約１０００〜１４００ｍｍで示される矩形が採用される。なお、中央部の中心を枚葉シートの中心から塗布開始方向に１００ｍｍ〜２００ｍｍの位置としても良い。
区分の形状は矩形に限られるものではなく、楕円状などでも良い。
Specifically, the size and shape of the central part and the intermediate part are, for example, a rectangle having a boundary between the central part and the intermediate part of about 300 mm to 700 mm in width and about 500 mm to 900 mm in length. As the boundary of the peripheral portion, a rectangle having a width of about 500 mm to 900 mm and a length of about 1000 to 1400 mm is adopted. In addition, it is good also considering the center of a center part as a position of 100 mm-200 mm in the application start direction from the center of a sheet | seat sheet.
The shape of the section is not limited to a rectangle, and may be an ellipse.
真空吸引は−１００〜−９０ｋＰａの真空度で行われる。うねりや反りが大きすぎたり、数が多すぎたりして枚葉シートが吸着固定されずに、皺が発生するのを防ぐために、真空度が−８０〜−６０ｋＰａに達しない場合には真空吸引する操作を停止する。
なお、真空度はそれぞれの区分の真空ラインの数か所に真空度計を設置して測定する。
Vacuum suction is performed at a vacuum degree of -100 to -90 kPa. Vacuum suction when the degree of vacuum does not reach -80 to -60 kPa in order to prevent wrinkles from occurring due to excessive waviness or warpage or too many sheets and the sheet is not adsorbed and fixed. Stop the operation.
In addition, the degree of vacuum is measured by installing a vacuum gauge at several places on the vacuum line of each section.
枚葉シートを定盤に吸着固定した後、ダイヘッドを移動してスリットから塗布液を押し出して塗布液を枚葉シートに塗布する。塗布速度は、塗布液の性状などによって変わるが、通常、約５０〜３００ｍｍ／秒である。 After adhering and fixing the sheet to the surface plate, the die head is moved and the coating solution is pushed out from the slit to apply the coating solution to the sheet. The coating speed varies depending on the properties of the coating solution, but is usually about 50 to 300 mm / second.
続いて真空破壊し、枚葉シートを定盤との吸着状態を解除し、リフトピンを上昇させて塗膜を形成した枚葉シートを持ち上げ、枚葉シートと定盤の間にロボットアームを挿入して枚葉シートをロボットアームに載せて持ち上げて取り出す。
真空破壊する際に枚葉シートの外周部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量よりも少なくして行い、真空破壊した後、時間を置かずに塗膜を形成した枚葉シートをロボットアーム上に載せて持ち上げることが好ましい。このことによって、薄い枚葉シートの場合でも、塗膜を形成した枚葉シートをリフトピンで持ち上げる際に、枚葉シートが撓み、ロボットアーム挿入時にロボットアームが枚葉シートの撓みと接触することを防止することができる。
接触すると枚葉シートの配置方向がずれ、ずれを修正するためにラインを停止する必要が生じて生産性が低下することがあり、また時には枚葉シートが破損することがある。
なお、真空破壊した後、時間をおかずにとは、真空破壊直後〜約２０秒以内を意図するもので、２０秒以内であれば効果の発現に問題はない。
Next, break the vacuum, release the adsorption state of the sheet with the surface plate, raise the lift pin to lift the sheet with the coating film formed, and insert the robot arm between the sheet and the surface plate. Then put the sheet on the robot arm and lift it out.
When breaking the vacuum, the amount of air flowing into the suction holes located on the outer periphery of the single wafer sheet is made smaller than the amount of air flowing into the suction holes located elsewhere, and there is no time after breaking the vacuum. It is preferable that the sheet with the coating film formed thereon is placed on the robot arm and lifted. As a result, even in the case of a thin sheet, the sheet is bent when the sheet is formed with a lift pin, and the robot arm is in contact with the bending of the sheet when the robot arm is inserted. Can be prevented.
If the contact is made, the arrangement direction of the sheet is shifted, and it is necessary to stop the line in order to correct the shift, which may reduce the productivity, and sometimes the sheet is damaged.
Note that, after breaking the vacuum, without taking time, it is intended to be within about 20 seconds immediately after the vacuum break, and there is no problem in the manifestation of the effect within 20 seconds.
真空破壊は電磁弁１１を開放して真空ライン１０から吸引時とは逆に空気を流して行う（図５）。枚葉シートの全体に位置する各吸着穴へ一気に略同量の空気を流入させて真空破壊する方法では、枚葉シートをリフトピンで持ち上げた時に枚葉シートが中央部で下方に撓む傾向にある。特に、薄い枚葉シートの場合にその傾向が顕著になる。
一方、枚葉シートの外周部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ外に位置する吸着穴への空気流入量よりも少なくして真空破壊する方法では、むしろ上方へ撓む傾向を示す。このことによって、ロボットアーム挿入時にロボットアームが枚葉シートの撓みと接触することを防止することができる。尚、電磁弁１１を介しての真空吸引や真空破壊は、特に限定されないが、例えば真空ライン１０により接続された真空ポンプ及び空気圧縮機（何れも図示せず）の切り替え稼動により実施すればよい。
The vacuum break is performed by opening the
On the other hand, in the method of breaking the vacuum by reducing the air inflow amount to the suction hole located on the outer peripheral portion of the single wafer sheet to be smaller than the air inflow amount to the suction hole located outside thereof, the tendency to bend upward is rather shown. . This can prevent the robot arm from coming into contact with the bending of the sheet when the robot arm is inserted. The vacuum suction or vacuum break through the
吸着穴は構造上の理由から必ずしも均一に配置されていないこと、使用する枚葉シートの大きさが変わることなどから、枚葉シートの外周部の範囲は変わるが、通常、端からの幅が約１５〜２００ｍｍ、好ましくは約５０〜１５０ｍｍの領域である。 The suction holes are not necessarily arranged uniformly for structural reasons, and the size of the sheet to be used changes. The region is about 15 to 200 mm, preferably about 50 to 150 mm.
真空破壊する際の枚葉シートの外周部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量の８０〜１０％とする。枚葉シートの外周部に位置する吸着穴とそれ以外に位置する吸着穴へのラインで流量を制御するのが簡単であるが、上記したとおり、吸着穴は必ずしも均一に配置されていないこと、使用する枚葉シートの大きさが変わることから、外周部とそれ以外の区分毎に流量を制御するだけでは不十分なことが多く、通常、上方へ撓む傾向を示すように吸着穴毎に流量を制御するのが好ましい。
上方へ撓む傾向を示すようにテストを繰り返し、外周部の範囲、流量制御弁１２の開閉度を決定する。
なお、空気流入量は、ラインに空気を流し、流速計で吸着穴の流速を測定して外周部に位置する吸着穴とそれ以外に位置する吸着穴の流量割合とする。
The amount of air flowing into the suction holes located on the outer peripheral portion of the single-wafer sheet at the time of vacuum break is 80 to 10% of the amount of air flowing into the suction holes located elsewhere. It is easy to control the flow rate with the suction holes located on the outer peripheral part of the sheet and the suction holes located elsewhere, but as described above, the suction holes are not necessarily arranged uniformly, Since the size of the sheet to be used changes, it is often insufficient to control the flow rate for each outer peripheral part and other sections, and usually, for each suction hole to show a tendency to bend upward. It is preferable to control the flow rate.
The test is repeated so as to show a tendency to bend upward, and the range of the outer peripheral portion and the opening / closing degree of the
Note that the air inflow amount is the flow rate ratio of the suction holes located on the outer peripheral portion and the suction holes located on the outer periphery by measuring the flow velocity of the suction holes with an anemometer.
真空破壊してそのまま時間が経過すると、枚葉シートが中央部で下方に撓むようになるので、真空破壊した後、時間をおかずに連続してリフトピンを上昇させ、枚葉シートと定盤の間にロボットアームを挿入し、枚葉シートをロボットアーム上に載せて持ち上げて取り出す。取り出した塗膜を形成した枚葉シートを次の乾燥設備、硬化設備に搬送する。 If the vacuum breaks and the time elapses, the sheet will bend downward at the center, so after breaking the vacuum, lift the lift pin continuously without taking time, and between the sheet and the platen. Insert the robot arm and place the sheet on the robot arm and lift it out. The single sheet on which the removed coating film is formed is conveyed to the next drying equipment and curing equipment.
塗膜を形成した枚葉シートは、通常、常温で約１０秒〜３００秒間、好ましくは３０秒〜１００秒間乾燥し、次いで熱風乾燥炉などを用いて約３５℃〜１００℃、好ましくは約４０℃〜７０℃で約１０秒〜６００秒間、好ましくは約１００秒〜３００秒間加熱乾燥する。 The sheet having the coating film is usually dried at room temperature for about 10 seconds to 300 seconds, preferably 30 seconds to 100 seconds, and then about 35 ° C. to 100 ° C., preferably about 40 using a hot air drying furnace or the like. C. to 70.degree. C. for about 10 seconds to 600 seconds, preferably about 100 seconds to 300 seconds.
続いて乾燥した塗膜を硬化して硬化被膜とする。塗膜を形成するために用いた塗布物が、活性エネルギー性硬化性塗布物、熱硬化性塗布物によって、紫外線などの活性エネルギー線、または熱エネルギーを照射して硬化させる。 Subsequently, the dried coating film is cured to obtain a cured coating film. The coated material used for forming the coating film is cured by irradiating active energy rays such as ultraviolet rays or thermal energy with an active energy curable coated material or a thermosetting coated material.
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
なお、得られた硬化被膜の厚さは、膜厚測定装置〔Ｆｉｌｍｅｔｒｉｃｓ社のＦ−２０〕を用いて測定した。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited by these Examples.
In addition, the thickness of the obtained cured film was measured using the film thickness measuring apparatus [F-20 of Filmmetrics].
参考例１
（枚葉シートの作製）
ポリカーボネート（住友ダウ（株）製 カリバー ３０１−１０、屈折率１．５８５）を、４０ｍｍφ一軸押出機を用いて溶融混練し、またアクリル樹脂（住友化学（株）製
スミペックス ＭＨ）を、２０ｍｍφ一軸押出機を用いて溶融混練し、両者をフィードブロックを介して一方の表層がアクリル樹脂となるように２層化し、次いでＴ型ダイを介して押し出し、ポリシングロールに両面が完全に接するようにして冷却して、厚さ０．５ｍｍの２層の樹脂シートを得た。この際、アクリル樹脂層の厚さは７０μｍとした。この樹脂シートを１１４０ｍｍ×１６５０ｍｍの大きさに切断し、枚葉シートを得た。
Reference example 1
(Fabric sheet production)
Polycarbonate (Caliber 301-10, manufactured by Sumitomo Dow Co., Ltd., refractive index: 1.585) was melt-kneaded using a 40 mmφ single screw extruder, and acrylic resin (Sumitex MH manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) was also used for 20 mmφ single screw extrusion. Melt and knead using a machine, make two layers so that one surface layer becomes an acrylic resin through a feed block, then extrude through a T-die and cool so that both sides are completely in contact with the polishing roll Thus, a two-layer resin sheet having a thickness of 0.5 mm was obtained. At this time, the thickness of the acrylic resin layer was 70 μm. This resin sheet was cut into a size of 1140 mm × 1650 mm to obtain a sheet.
参考例２
（塗布液の作製）
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〔新中村化学工業（株）の“ＮＫエステルＡ−ＤＰＨ”〕２８部、光重合開始剤〔チバスペシャリティーケミカルズ（株）のＩＲＧＡＣＵＲＥ １８４〕１部、５酸化アンチモン微粒子ゾル〔触媒化成工業（株）のＥＬＣＯＭ Ｖ−４５１４；固形分濃度２０％〕８部、１−メトキシ−２−プロパノール３２部、イソブチルアルコール３２部及び、及びシリコーンオイル〔東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）の“ＳＨ２８ＰＡ”〕０．０４５部を混合して塗布液を作製した。
Reference example 2
(Preparation of coating solution)
28 parts of dipentaerythritol hexaacrylate [“NK Ester A-DPH” from Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.], 1 part of photopolymerization initiator [IRGACURE 184 from Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.] Antimony pentoxide fine particle sol [ ELCOM V-4514 of Catalytic Chemical Industry Co., Ltd. 8 parts solid concentration 20%], 32 parts of 1-methoxy-2-propanol, 32 parts of isobutyl alcohol, and silicone oil [Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.] Of “SH28PA”] was mixed to prepare a coating solution.
実施例１
参考例１で作製した枚葉シートを搬送コンベア上にアクリル樹脂層を上面にして配置し、コンベアで搬送しながら、上面および下面側共に搬送方向に約１５０ｍｍ間隔で６列に洗浄ノズルを配置し（上面側４列には２流体ノズル(（株）いけうち製、打力２×１０−１Ｎ)を合計８０個、２列にはスプレーノズル（（株）いけうち製）を合計１４個、下面側は６列共にスプレーノズルを合計４２個）、約３０℃の純水によって洗浄を行った。その後、さらに上面および下面側共に６列目の洗浄ノズルから３００ｍｍの位置に合計７個のスプレーノズル（（株）いけうち製）を１列配置し、純水によってリンス洗浄を行った。その後、上下にエアーナイフ(（株）竹綱製作所製)にて、水切りした。その後、除電装置(（株）キーエンス製)によって除電を行った。
Example 1
The single-sheet produced in Reference Example 1 is placed on the transport conveyor with the acrylic resin layer on the top, and while being transported by the conveyor, the cleaning nozzles are placed in six rows at intervals of about 150 mm in the transport direction on both the top and bottom surfaces. (Upper four rows of 2 fluid nozzles (Ikeuchi Co., Ltd., striking
その後、コンベアで温調装置に搬送し、約３０℃に上昇した枚葉シートを、約３℃の冷風で枚葉シートを冷却して塗布設備の環境温度（２１〜２５℃）に調整した。
この枚葉シートには高さが１〜３ｍｍのうねりが３個あった。
Then, it conveyed to the temperature control apparatus with the conveyor, the sheet | seat sheet which rose to about 30 degreeC was adjusted to the environmental temperature (21-25 degreeC) of a coating equipment by cooling a sheet | seat sheet with the cold wind of about 3 degreeC.
This sheet has three undulations having a height of 1 to 3 mm.
次に温度調節したシートをロボットアームで保持し、２１〜２５℃、４５〜６５％RH制御された塗布設備内の御影石製の定盤に設けたリフトピン上に置いた。次いでリフトピンを下げ、シートを定盤に載置した。
定盤は、幅２０９０ｍｍ、長さ３１２０ｍｍ、厚さ２５０ｍｍであり、幅１３００ｍｍで長さ１６５０ｍｍの領域に、１ｍｍ幅の吸着溝が約８０ｍｍ間隔で格子状に配置され、その交点などに左右、上下対称に７０個所の吸着穴が配置されている。また、１４ｍｍφのリフトピンを通す穴が３６個（幅方向に６個×長さ方向に６個）配置されている。
なお、１１４０ｍｍ×１６５０ｍｍの枚葉シートが配置される部分の外側はテープでシールした。
Next, the temperature-controlled sheet was held by a robot arm and placed on a lift pin provided on a granite surface plate in a coating facility controlled at 21 to 25 ° C. and 45 to 65% RH. Subsequently, the lift pin was lowered and the sheet was placed on the surface plate.
The surface plate has a width of 2090 mm, a length of 3120 mm, and a thickness of 250 mm. In the region of 1300 mm in width and 1650 mm in length, 1 mm wide suction grooves are arranged in a grid pattern at intervals of about 80 mm. 70 suction holes are arranged symmetrically. Further, 36 holes (6 in the width direction × 6 in the length direction) through which the lift pins of 14 mmφ are passed are arranged.
In addition, the outside of the portion where the 1140 mm × 1650 mm sheet was disposed was sealed with tape.
枚葉シートに図４に示すような中央部、中間部および周辺部を設定した。中央部と中間部の境界は、幅が５００ｍｍで長さが７００ｍｍの矩形、中間部と周辺部の境界は、幅が７５０ｍｍで長さが１２５０ｍｍの矩形とした。なお、中央部の中心を枚葉シートの中心から塗布開始方向に１５０ｍｍの位置とした。
なお、５秒間真空吸引して真空度が−７０ｋＰａに達しない場合は吸着固定されていないと判断し、真空吸引を停止するように設定した。
A central part, an intermediate part, and a peripheral part as shown in FIG. 4 were set on the sheet. The boundary between the central part and the intermediate part was a rectangle having a width of 500 mm and a length of 700 mm, and the boundary between the intermediate part and the peripheral part was a rectangle having a width of 750 mm and a length of 1250 mm. In addition, the center of the central portion was set to a position of 150 mm from the center of the sheet to the coating start direction.
When vacuum suction was not performed for 5 seconds and the degree of vacuum did not reach -70 kPa, it was determined that the suction was not fixed, and the vacuum suction was set to be stopped.
中央部に対応する位置にある吸着穴を介して真空吸引し、２秒後に中間部に対応する位置にある吸着穴を介して真空吸引し、更に３秒後に周辺部に対応する位置にある吸着穴を介して真空吸引し、枚葉シートを定盤に吸着固定した。
吸着固定時の真空度は−９５ｋＰａであった。
Vacuum suction through the suction hole at the position corresponding to the central part, vacuum suction through the suction hole at the position corresponding to the middle part after 2 seconds, and suction at the position corresponding to the peripheral part after 3 seconds. Vacuum suction was performed through the hole, and the sheet was fixed to the surface plate by suction.
The degree of vacuum at the time of adsorption fixation was -95 kPa.
次にダイヘッドを移動させながら上記の参考例２で作製した塗布液を下記条件で塗布し、塗膜を形成した。
塗膜幅：１１２０ｍｍ、ダイリップクリアランス：１００μｍ、塗布ギャップ(シートとダイリップ先端との距離)：７０μｍ、塗布速度１９０ｍｍ／ｓ、目標塗膜厚さ：約２６μｍ
Next, the coating liquid prepared in Reference Example 2 was applied under the following conditions while moving the die head to form a coating film.
Coating width: 1120 mm, die lip clearance: 100 μm, coating gap (distance between sheet and die lip tip): 70 μm, coating speed 190 mm / s, target coating thickness: about 26 μm
塗布後、真空吸引を停止し、真空破壊し、時間を置かずに（約１０秒以内）リフトピンを上昇させて枚葉シートを持ち上げ、枚葉シートと定盤との間にロボットアームを差し込み、枚葉シートを持ち上げ、ロボットアームの接触によって枚葉シートの配置方向がずれることなく塗布設備から取り出した。なお、定盤の吸着穴の内、枚葉シートの端から幅が１００ｍｍの外周部に位置する吸着穴については、吸着穴ごとに調節して外周部以外に位置する吸着穴に比べて空気流入量を少なくして枚葉シートが下方に撓まないように予めテストを繰り返して設定しておいた。なお、枚葉シートの外周部に位置する吸着穴への空気流入量は、個々の吸着穴で異なるが、それ以外に位置する吸着穴への空気流入量の約５０〜３０％になる。 After application, stop vacuum suction, break the vacuum, raise the lift pin without raising time (within about 10 seconds), lift the sheet, insert the robot arm between the sheet and the surface plate, The single sheet was lifted and taken out from the coating equipment without the arrangement direction of the single sheet being shifted by the contact of the robot arm. Of the suction holes on the surface plate, the suction holes located at the outer peripheral part with a width of 100 mm from the edge of the sheet are adjusted for each suction hole and air is introduced compared to the suction holes located outside the outer peripheral part. The test was repeated in advance so as to reduce the amount and prevent the sheet from bending downward. In addition, although the air inflow amount to the suction hole located in the outer peripheral part of a sheet | seat sheet differs in each suction hole, it becomes about 50 to 30% of the air inflow amount to the suction hole located in other than that.
取り出した塗膜を形成した枚葉シートを常温乾燥設備の支持ピン上において、２１〜２５℃、４５〜６５％RHの環境下に約３０秒放置し、乾燥した。
次いで枚葉シートをロボットアームで保持し、熱風乾燥炉内の支持ピン上に搬送し、温度が約４５℃、風速が約１〜２ｍ／ｓで、約１８０秒間乾燥した。乾燥した塗膜を形成した枚葉シートをロボットアームにて乾燥炉の支持ピン上から搬出し、コンベアに移載し硬化設備に搬送した。
The single sheet on which the removed coating film was formed was left to stand in an environment of 21 to 25 ° C. and 45 to 65% RH for about 30 seconds on a support pin of a room temperature drying equipment and dried.
Next, the sheet was held by a robot arm, conveyed onto a support pin in a hot air drying furnace, and dried at a temperature of about 45 ° C. and a wind speed of about 1 to 2 m / s for about 180 seconds. The single-wafer sheet on which the dried coating film was formed was unloaded from the support pins of the drying furnace with a robot arm, transferred to a conveyor, and conveyed to a curing facility.
乾燥した塗膜を形成した枚葉シートをコンベアで紫外線照射装置に搬入し、高圧水銀ランプ(セン特殊光源（株）製)で、ピーク照度：約３００ｍＷ／ｃｍ２、積算エネルギー：約５００ｍJ／ｃｍ２を照射し、塗膜を硬化し、硬化被膜を形成した枚葉シートを得た。 The dried sheet-formed sheet is carried into an ultraviolet irradiation device by a conveyor, and with a high-pressure mercury lamp (manufactured by Sen Special Light Source Co., Ltd.), the peak illuminance is about 300 mW / cm2, the accumulated energy is about 500 mJ / cm2. Irradiation was performed to cure the coating film to obtain a single wafer sheet on which a cured coating film was formed.
得られた硬化被膜の膜厚は以下のとおりであった。
平均３.５μｍ、最大４．０μｍ、最小２．９μｍ
なお、膜厚は、周端部を除き、幅方向に１０９０ｍｍの間について２６列、塗布方向に１６００ｍｍの間について３６列、合計９３６個所について測定した結果である。
膜厚ムラが少なく、外観も良好であり、品質の優れた塗膜が形成されている。
The film thickness of the obtained cured film was as follows.
Average 3.5μm, maximum 4.0μm, minimum 2.9μm
The film thickness is the result of measurement for a total of 936 locations, excluding the peripheral edge portion, 26 rows for 1090 mm in the width direction and 36 rows for 1600 mm in the coating direction.
There is little film thickness unevenness, the appearance is good, and a coating film with excellent quality is formed.
比較例１
中央部、中間部、周辺部を順に真空吸引する代わりに、中央部、中間部および周辺部を同時に真空吸引した以外は実施例１と同様に行ったが、真空度が−７０ｋＰａに達せず、真空吸引が停止し、塗布液の塗布ができなかった。
Comparative Example 1
Instead of vacuuming the central part, the intermediate part, and the peripheral part in order, it was performed in the same manner as in Example 1 except that the central part, the intermediate part, and the peripheral part were simultaneously vacuumed, but the degree of vacuum did not reach -70 kPa, Vacuum suction stopped and the coating solution could not be applied.
１ 定盤
２ 吸着穴
３ 吸引溝
４ リフトピンの穴
５ 枚葉シート
６ ダイヘッド
７ 塗布液の膜
８ リフトピン
９ ロボットアーム
１０ 真空ライン
１１ 電磁弁
１２ 流量調節弁
１３ 中央部
１４ 中間部
１５ 周辺部
1 Surface plate
2
Claims (3)
配置された枚葉シートの中央部から周辺部方向に順に真空吸引すると共に、
前記真空破壊は、塗膜を形成した枚葉シートの外周部に位置する吸着穴への空気流入量をそれ以外に位置する吸着穴への空気流入量よりも少なくして行うことを特徴とする枚葉シートの塗布方法。 A sheet of 0.2 to 0.8 mm thick made of a resin sheet was placed on the surface plate, and the sheet was vacuum-sucked through the suction holes provided in the surface plate and fixed to the surface plate by suction. After that, the die head is moved to extrude the coating liquid from the slit to apply the coating liquid onto the sheet, and then vacuum breaks, and the single-wafer sheet on which the coating film is formed is placed on the robot arm and lifted to take out the sheet. In the application method of
While vacuum-sucking in order from the central part of the placed sheet to the peripheral part ,
The vacuum break is performed by reducing the amount of air flowing into the suction holes located on the outer peripheral portion of the sheet on which the coating film is formed to be smaller than the amount of air flowing into the suction holes located elsewhere. Application method of single sheet.
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