JP5261621B1 - 双方向スイッチのシミュレーション方法、双方向スイッチのシミュレーション装置、及びプログラム - Google Patents
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Abstract
JFET(351)のドレイン電極(471)と、JFET(352)のドレイン電極(472)とが抵抗(36)を介して接続された、対称構造の等価回路(1000)を使用してシミュレーションを行う。
Description
背景技術で説明したように、パワーエレクトロ二クス回路に用いられる双方向スイッチが知られている。
以下、本発明の第1の実施形態を、図面を参照して説明する。
第1の実施形態に係る発明は、双方向スイッチ100の等価回路、及びこれを用いたシミュレーション方法である。図3に、シミュレーションを行う対象である、双方向スイッチの断面構成を示す。
(∵Rg1=Rg2)
第1の実施形態では、III族窒化物半導体からなる双方向スイッチに係る等価回路及びこれを用いたシミュレーション装置について説明した。しかしながら、双方向スイッチの構成、及び等価回路の構成は、第1の実施形態に係るものに限定されない。
双方向スイッチの構成、及び等価回路の構成は、以下のような構成であってもよい。
2 IGBT
3 ダイオード
4 ダイオード
5 MOSFET
6 BJT
7 BJT
8 可変抵抗
9 抵抗
10 基板
11 第1のIII族窒化物半導体層
12 第2のIII族窒化物半導体層
131 第1のコントロール層
132 第2のコントロール層
14 第1のソース電極
15 第2のソース電極
16 第1のゲート電極
17 第2のゲート電極
18 保護膜
19 半絶縁GaAs基板
20 II−VI族化合物半導体(i−GaAs)層
21 II−VI族化合物半導体(i−AlGaAs)層
22 第1のソース電極
23 第2のソース電極
24 第1のゲート電極
25 第2のゲート電極
26 保護膜
27 Si基板
28 p型シリコン層
29 n型シリコン層
30 SiO2層
31 第1のソース電極
32 第2のソース電極
33 第1のゲート電極
34 第2のゲート電極
351、352 JFET
36 抵抗
371、372 ソース抵抗
381、382 ソースインダクタンス
391、392 ゲート抵抗
40 ソース間キャパシタンス
411、412 ゲート・ソース間キャパシタンス
42 ゲート間キャパシタンス
43 第3の電源
44 第1の電源
45 第2の電源
461、462 ソース電極
471、472 ドレイン電極
481、482 ゲート電極
49 第1の入出力電極
50 第2の入出力電極
51 第1の制御電極
52 第2の制御電極
531、532 HFET
711、712 MOSFET
89 入力装置
90 制御装置
91 演算装置
92 記憶装置
93 出力装置
94 計算部
100、200、300 双方向スイッチ
110 シミュレーション装置
1000、2000、3000 等価回路
Claims (8)
- シミュレーション装置が行う、等価回路を用いた双方向スイッチのシミュレーション方法であって、
前記等価回路は、
第1のソース電極、第2のソース電極、第1のゲート電極、及び第2のゲート電極を備え、前記第1のゲート電極及び前記第2のゲート電極に印加される電圧により、前記第1のソース電極と前記第2のソース電極との間に流れる電流を制御する、単一の素子で構成された双方向スイッチを表す双方向スイッチの等価回路であって、
第1のゲート、第1の電極、及び第2の電極を有する第1の電界効果トランジスタと、
一端が前記第1の電極と電気的に接続され、他端が前記第1のソース電極に対応する電極である第1の入出力電極と電気的に接続されている、直列接続された第1の抵抗及び第1のインダクタンスと、
一端が前記第1のゲートと電気的に接続され、他端が前記第1のゲート電極に対応する電極である第1の制御電極と電気的に接続されている第3の抵抗と、
一端が前記第1の入出力電極と電気的に接続され、他端が前記第1の制御電極と電気的に接続されている第1のキャパシタンスと、
第2のゲート、第3の電極、及び第4の電極を有する第2の電界効果トランジスタと、
一端が前記第3の電極と電気的に接続され、他端が前記第2のソース電極に対応する電極である第2の入出力電極と電気的に接続されている、直列接続された第2の抵抗及び第2のインダクタンスと、
一端が前記第2のゲートと電気的に接続され、他端が前記第2のゲート電極に対応する電極である第2の制御電極と電気的に接続されている第4の抵抗と、
一端が前記第2の入出力電極と電気的に接続され、他端が前記第2の制御電極と電気的に接続されている第2のキャパシタンスと、
一端が前記第1の制御電極と電気的に接続され、他端が前記第2の制御電極と電気的に接続されている第3のキャパシタンスと、
一端が前記第1の入出力電極と電気的に接続され、他端が前記第2の入出力電極と電気的に接続されている第4のキャパシタンスと、
一端が前記第2の電極と電気的に接続され、他端が前記第4の電極と電気的に接続されている第5の抵抗とを備え、
前記シミュレーション装置の入力部が、前記第1の制御電極、前記第2の制御電極、前記第1の入出力電極、及び前記第2の入出力電極に印加される電圧の電圧値の入力を受け付ける入力ステップと、
前記シミュレーション装置の計算部が、前記等価回路及び前記電圧値に基づいて前記双方向スイッチの電気的特性を計算する計算ステップとを含む
双方向スイッチのシミュレーション方法。 - 前記第1の電界効果トランジスタと、前記第2の電界効果トランジスタとは、接合型電界効果トランジスタである
請求項1に記載の双方向スイッチのシミュレーション方法。 - 前記第1の電界効果トランジスタと、前記第2の電界効果トランジスタとは、ヘテロ接合型電界効果トランジスタである
請求項1に記載の双方向スイッチのシミュレーション方法。 - 前記第1の電界効果トランジスタと、前記第2の電界効果トランジスタとは、金属−酸化物−半導体型電界効果トランジスタである
請求項1に記載の双方向スイッチのシミュレーション方法。 - 前記計算ステップでは、
前記1の制御電極と前記第1の入出力電極とが短絡され、かつ前記第2の制御電極と前記第2の入出力電極との間に電圧が印加されたとした場合の、前記第1の入出力電極と前記第2の入出力電極との間に流れる電流の電流値を計算し、
前記2の制御電極と前記第2の入出力電極とが短絡され、かつ前記第1の制御電極と前記第1の入出力電極との間に電圧が印加されたとした場合の、前記第1の入出力電極と前記第2の入出力電極との間に流れる電流の電流値を計算する
請求項1に記載の双方向スイッチのシミュレーション方法。 - さらに、前記シミュレーション装置の計算部が、前記双方向スイッチの前記第5の抵抗の抵抗値の回路定数を決定する決定ステップを含み、
前記決定ステップでは、
前記第1のゲート電極及び前記第2のソース電極を開放した状態における、第1のゲート電極及び前記第1のソース電極間に印加される電圧と、前記第1のゲート電極及び前記第1のソース電極間に流れる電流とを用いて第1の抵抗値を計算し、
前記第2のゲート電極及び前記第2のソース電極を開放した状態における、第2のゲート電極及び前記第1のソース電極間に印加される電圧と、前記第2のゲート電極及び前記第1のソース電極間に流れる電流とを用いて第2の抵抗値を計算し、
前記第1の抵抗値と前記第2の抵抗値との差分を前記第5の抵抗の抵抗値として決定する
請求項1に記載の双方向スイッチのシミュレーション方法。 - 等価回路を用いた双方向スイッチのシミュレーション装置であって、
前記等価回路は、
第1のソース電極、第2のソース電極、第1のゲート電極、及び第2のゲート電極を備え、前記第1のゲート電極及び前記第2のゲート電極に印加される電圧により、前記第1のソース電極と前記第2のソース電極との間に流れる電流を制御する、単一の素子で構成された双方向スイッチを表す双方向スイッチの等価回路であって、
第1のゲート、第1の電極、及び第2の電極を有する第1の電界効果トランジスタと、
一端が前記第1の電極と電気的に接続され、他端が前記第1のソース電極に対応する電極である第1の入出力電極と電気的に接続されている、直列接続された第1の抵抗及び第1のインダクタンスと、
一端が前記第1のゲートと電気的に接続され、他端が前記第1のゲート電極に対応する電極である第1の制御電極と電気的に接続されている第3の抵抗と、
一端が前記第1の入出力電極と電気的に接続され、他端が前記第1の制御電極と電気的に接続されている第1のキャパシタンスと、
第2のゲート、第3の電極、及び第4の電極を有する第2の電界効果トランジスタと、
一端が前記第3の電極と電気的に接続され、他端が前記第2のソース電極に対応する電極である第2の入出力電極と電気的に接続されている、直列接続された第2の抵抗及び第2のインダクタンスと、
一端が前記第2のゲートと電気的に接続され、他端が前記第2のゲート電極に対応する電極である第2の制御電極と電気的に接続されている第4の抵抗と、
一端が前記第2の入出力電極と電気的に接続され、他端が前記第2の制御電極と電気的に接続されている第2のキャパシタンスと、
一端が前記第1の制御電極と電気的に接続され、他端が前記第2の制御電極と電気的に接続されている第3のキャパシタンスと、
一端が前記第1の入出力電極と電気的に接続され、他端が前記第2の入出力電極と電気的に接続されている第4のキャパシタンスと、
一端が前記第2の電極と電気的に接続され、他端が前記第4の電極と電気的に接続されている第5の抵抗とを有し、
前記等価回路が回路情報として記憶された記憶部と、
前記第1の制御電極、前記第2の制御電極、前記第1の入出力電極、及び前記第2の入出力電極に印加される電圧の電圧値の入力を受け付ける入力部と、
前記回路情報、及び前記電圧値に基づいて前記双方向スイッチの電気的特性を計算する計算部とを備える
双方向スイッチのシミュレーション装置。 - 等価回路を用いた双方向スイッチのシミュレーション方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記等価回路は、
第1のソース電極、第2のソース電極、第1のゲート電極、及び第2のゲート電極を備え、前記第1のゲート電極及び前記第2のゲート電極に印加される電圧により、前記第1のソース電極と前記第2のソース電極との間に流れる電流を制御する、単一の素子で構成された双方向スイッチを表す双方向スイッチの等価回路であって、
第1のゲート、第1の電極、及び第2の電極を有する第1の電界効果トランジスタと、
一端が前記第1の電極と電気的に接続され、他端が前記第1のソース電極に対応する電極である第1の入出力電極と電気的に接続されている、直列接続された第1の抵抗及び第1のインダクタンスと、
一端が前記第1のゲートと電気的に接続され、他端が前記第1のゲート電極に対応する電極である第1の制御電極と電気的に接続されている第3の抵抗と、
一端が前記第1の入出力電極と電気的に接続され、他端が前記第1の制御電極と電気的に接続されている第1のキャパシタンスと、
第2のゲート、第3の電極、及び第4の電極を有する第2の電界効果トランジスタと、
一端が前記第3の電極と電気的に接続され、他端が前記第2のソース電極に対応する電極である第2の入出力電極と電気的に接続されている、直列接続された第2の抵抗及び第2のインダクタンスと、
一端が前記第2のゲートと電気的に接続され、他端が前記第2のゲート電極に対応する電極である第2の制御電極と電気的に接続されている第4の抵抗と、
一端が前記第2の入出力電極と電気的に接続され、他端が前記第2の制御電極と電気的に接続されている第2のキャパシタンスと、
一端が前記第1の制御電極と電気的に接続され、他端が前記第2の制御電極と電気的に接続されている第3のキャパシタンスと、
一端が前記第1の入出力電極と電気的に接続され、他端が前記第2の入出力電極と電気的に接続されている第4のキャパシタンスと、
一端が前記第2の電極と電気的に接続され、他端が前記第4の電極と電気的に接続されている第5の抵抗とを備え、
前記双方向スイッチのシミュレーション方法は、
前記第1の制御電極、前記第2の制御電極、前記第1の入出力電極、及び前記第2の入出力電極に印加される電圧の電圧値の入力を受け付ける入力ステップと、
前記等価回路及び前記電圧値に基づいて前記双方向スイッチの電気的特性を計算する計算ステップとを含む
プログラム。
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