JP5260436B2 - 診断機能付き熱式流量計 - Google Patents
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Description
2 上流側温度検出手段
3 発熱体
4 下流側温度検出手段
5 発熱体温度検出手段
6 発熱体駆動手段
7,9 引算器
8 外乱発生器
10 積分器
11 故障判定手段
12 流量検出手段
13 切り換え回路
15 ダイアフラム
16,17,20,21 温度検出抵抗体
18 発熱体温度検出抵抗体
19 発熱抵抗体
22,23,24,25,26,27,28,29,30,31,33,42,43 接続端子
34,38 ブリッジ回路
35,36,37 抵抗素子
39,40 増幅回路
41 副発熱抵抗体
44 引算器
Claims (14)
- 流体中に配置され電流を流すことによって発熱する発熱体と、前記発熱体の温度を検出する発熱体温度検出手段と、前記発熱体温度検出手段の出力に基づいて発熱体に電流を流す発熱体駆動手段と、前記発熱体の上流側と下流側にそれぞれ設けられた上流側および下流側温度検出手段と、前記上流側および下流側温度検出手段の出力に基づいて流体の流量信号を出力する流量検出手段とを有する熱式流量計において、
前記発熱体と前記発熱体温度検出手段と前記発熱体駆動手段とによって構成される発熱体温度制御系に外乱を重畳する外乱重畳手段と、前記外乱重畳手段が前記発熱体温度制御系に重畳する外乱信号と前記発熱体温度制御系の内部信号とを比較することで故障を判定する故障判定手段とを有することを特徴とする診断機能付き熱式流量計。 - 請求項1に記載の診断機能付き熱式流量計において、
前記故障判定手段の出力に応じて前記流量検出手段の出力をグランド電位あるいは電源電圧に固定する手段を有することを特徴とする診断機能付き熱式流量計。 - 請求項1又は2に記載の診断機能付き熱式流量計において、
前記外乱重畳手段は前記発熱体駆動手段の入力に外乱を重畳することを特徴とする診断機能付き熱式流量計。 - 請求項1又は2に記載の診断機能付き熱式流量計において、
前記発熱体に隣接して配置され電流を流すことで発熱する副発熱体を有し、
前記外乱重畳手段は前記副発熱体に外乱を重畳することを特徴とする診断機能付き熱式流量計。 - 請求項1又は2に記載の診断機能付き熱式流量計において、
前記発熱体温度検出手段は前記発熱体に隣接して配置される抵抗ブリッジで構成され、 前記外乱重畳手段は前記発熱体温度検出手段の抵抗ブリッジの電源端子に外乱を重畳することを特徴とする診断機能付き熱式流量計。 - 請求項1又は2に記載の診断機能付き熱式流量計において、
前記上流側および下流側温度検出手段は前記発熱体に隣接して配置される抵抗ブリッジで構成され、
前記外乱重畳手段は前記上流側および下流側温度検出手段の抵抗ブリッジの電源端子に外乱を重畳することを特徴とする診断機能付き熱式流量計。 - 請求項1又は2に記載の診断機能付き熱式流量計において、
前記外乱重畳手段は前記発熱体温度検出手段の出力に外乱を重畳することを特徴とする診断機能付き熱式流量計。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の診断機能付き熱式流量計において、
前記故障判定手段は前記外乱重畳手段が重畳する外乱信号と前記発熱体駆動手段への入力信号とを比較することで故障を判定することを特徴とする診断機能付き熱式流量計。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の診断機能付き熱式流量計において、
前記故障判定手段は前記外乱重畳手段が重畳する外乱信号と前記発熱体温度検出手段の出力に応じた信号とを比較することで故障を判定することを特徴とする診断機能付き熱式流量計。 - 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の診断機能付き熱式流量計において、
前記外乱重畳手段が重畳する外乱信号が繰り返し信号であることを特徴とする診断機能付き熱式流量計。 - 請求項10に記載の熱式流量計において、
前記外乱重畳手段が重畳する外乱信号が台形波,方形波,三角波,正弦波のいずれかであることを特徴とする診断機能付き熱式流量計。 - 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の熱式流量計において、
前記外乱重畳手段が重畳する外乱信号の周波数が前記発熱体温度制御系の応答周波数よりも低いことを特徴とする診断機能付き熱式流量計。 - 請求項1乃至12のいずれか1項に記載の熱式流量計において、
前記外乱重畳手段が重畳する外乱信号の周波数が前記流量検出手段の応答周波数よりも高いことを特徴とする診断機能付き熱式流量計。 - 請求項1乃至13のいずれか1項に記載の熱式流量計において、
前記外乱重畳手段が重畳する外乱信号の周波数を除去するように前記流量検出手段の出力にローパスフィルタを有することを特徴とする診断機能付き熱式流量計。
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