JP2003106886A - 熱式流量計 - Google Patents
熱式流量計Info
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Abstract
種別に応じた流量計測を可能とする熱式流量計を提供す
る。 【解決手段】 ヒータ素子と、このヒータ素子を間にし
て流体の通流方向にそれぞれ設けられた第1および第2
の温度センサとを備え、ヒータ素子を所定の発熱温度で
駆動した際の該ヒータ素子における駆動電力に基づい
て、前記流体の種類を特定する流体種別判定手段を備え
る。更に流体の種別毎に流体の流量とセンサ出力との関
係を示す複数の流量変換テーブルを備え、流体種別判定
手段により特定された流体の種別に応じて選択される流
量変換テーブルを参照して前記センサ出力から前記流体
の流量を求める。
Description
てその流体の流量を最適に計測可能な熱式流量計に関す
る。
ローセンサは、例えば図5に示すようにシリコン基台B
上に設けた発熱抵抗体からなるヒータ素子Rhを間にし
て、流体の通流方向Fに測温抵抗体からなる一対の温度
センサRu,Rdを設けた素子構造を有する。そして熱
式流量計は、上記ヒータ素子Rhから発せられる熱の拡
散度合い(温度分布)が前記流体の通流によって変化す
ることを利用し、前記温度センサRu,Rdの熱による
抵抗値変化から前記流体の流量Qを検出する如く構成さ
れる。
熱が流体の流量Qに応じて下流側の温度センサRdに加
わることで、該温度センサRdの熱による抵抗値の変化
が上流側の温度センサRuよりも大きいこと利用して上
記流量Qを計測するものとなっている。尚、図中Rr
は、前記ヒータ素子Rhから離れた位置に設けられた測
温抵抗体からなる温度センサであって、周囲温度の計測
に用いられる。
いた熱式流量計の概略構成を示している。即ち、ヒータ
素子Rhの駆動回路は、該ヒータ素子Rhと周囲温度計
測用の温度センサRr、および一対の固定抵抗R1,R
2を用いてブリッジ回路1を形成し、所定の電源から供
給される電圧VccをトランジスタQを介して前記ブリッ
ジ回路1に印加すると共に、該ブリッジ回路1のブリッ
ジ出力電圧を差動増幅器2にて求め、そのブリッジ出力
電圧がゼロ(0)となるように前記トランジスタQを帰
還制御して前記ブリッジ回路1に加えるヒータ駆動電圧
を調整するように構成される。このように構成されたヒ
ータ駆動回路により、前記ヒータ素子Rhの発熱温度
が、その周囲温度よりも常に一定温度差だけ高くなるよ
うに制御される。
熱による抵抗値変化から前記マイクロフローセンサに沿
って通流する流体の流量Qを検出する流量検出回路は、
上記一対の温度センサRu,Rdと一対の固定抵抗Rx,
Ryを用いて流量計測用のブリッジ回路3を形成し、温
度センサRu,Rdの抵抗値の変化に応じたブリッジ出
力電圧を差動増幅器4を介して検出するように構成され
る。そして前記ヒータ駆動回路によりヒータ素子Rhの
発熱量を一定化した条件下において、差動増幅器4を介
して検出されるブリッジ出力電圧から前記マイクロフロ
ーセンサに沿って通流する流体の流量Qを求めるものと
なっている。
出力電圧(センサ出力)を演算処理装置(CPU)に取
り込むことによって行われる。この際、温度センサR
u,Rdや固定抵抗Rx,Ryの抵抗値精度のバラツキに
起因する誤差を打ち消すべく、前記流体の流量Qがゼロ
(0)のときに前記ブリッジ出力電圧(センサ出力)が
ゼロ(0)となるように該ブリッジ出力電圧に所定のゼ
ロ点補正基準量を加えてCPUに取り込むセンサ出力信
号をオフセットすることも行われる。
流量計を用いて計測される流体の種別が異なる場合、流
体の熱伝導率の違いに起因して、その流量が同じであっ
てもセンサ出力が大きく異なることが否めない。そこで
従来においては、例えば計測対象とする流体の種別に応
じて温度センサRu,Rdによる検出感度を調整するよ
うにしている。しかしながら流体の種別が不明なときに
は、検出感度を設定すること自体が困難である。
流量計を通流する流体の種別が途中で変わることもあ
る。例えば熱式流量計に窒素を通流させた後、該熱式流
量計に水素を通流してその流量を計測することがある。
この場合、その検出感度を水素の流量計測用として設定
した熱式流量計においては、窒素の流量に対する計測範
囲が狭いと言う問題がある。
たもので、その目的は、計測対象とする流体の種別を判
定し、流体の種別に応じた流量計測を可能とする熱式流
量計を提供することにある。また本発明は、流体の種別
に応じて、その流量計測を適切に行うことのできる熱式
流量計を提供することを目的としている。
べく本発明に係る熱式流量計は、ヒータ素子と、このヒ
ータ素子を間にして流体の通流方向にそれぞれ設けられ
た第1および第2の温度センサとを備えたものであっ
て、前記ヒータ素子を所定の発熱温度で駆動した際の該
ヒータ素子で消費されるヒータ駆動電気量、例えばヒー
タ駆動電力、ヒータ駆動電圧、或いはヒータ駆動電流に
基づいて、前記流体の種類を特定する流体種別判定手段
を備えることを特徴としている。
種別により異なる熱伝導率に起因して、例えばヒータ素
子を、その周囲温度よりも一定温度だけ高くなるように
所定の発熱温度で駆動する際のヒータ駆動電気量(電
力,電圧,電流)が流体の種別によって異なることに着
目したもので、前記ヒータ素子を所定の発熱温度で駆動
した際のヒータ駆動電気量に基づいて流体の種別を特定
することを特徴としている。この際、上記ヒータ駆動電
気量に加えて、そのときに検出されるセンサ出力を判定
して流体の種別を特定する際の補助情報とすることも可
能である。
の種別毎に流体の流量とヒータ駆動電気量との関係を示
す複数の流体種別判定テーブルを備え、前記ヒータ素子
に印加されているヒータ駆動電気量と上記各流体種別判
定テーブルに登録されたヒータ電気量とをそれぞれ比較
して、前記ヒータ素子に印加されているヒータ駆動電気
量に最も近いヒータ電気量を登録している流体種別判定
テーブルから流体の種別を特定するように構成される。
流体種別判定手段により特定された流体の種別に応じ
て、前記第1および第2の温度センサによりそれぞれ検
出される温度の差に相当するセンサ出力から前記流体の
流量を算出する流量算出手段を備えることを特徴として
いる。好ましくは前記流量算出手段は、流体の種別毎に
流体の流量とセンサ出力との関係を示す複数の流量変換
テーブルを備え、前記流体種別判定手段により特定され
た流体の種別に応じて選択される流量変換テーブルを参
照して前記センサ出力から前記流体の流量を求めるよう
に構成される。
ンサ出力との関係を示す流量変換テーブルと、流体の種
別に応じた流量変換係数を登録した流量補正係数テーブ
ルとを備え、前記センサ出力に応じて前記流量変換テー
ブルから求められる流量を、前記流体種別判定手段によ
り特定された流体の種別に応じて選択された流量変換係
数を用いて補正して前記流体の流量を求めるものであっ
ても良い。
した流体の種別に応じて、前記センサ出力の増幅利得を
可変する利得調整手段を備え、センサ出力の増幅利得を
可変設定することで、流体の種別に応じてその計測範囲
(ダイナミックレンジ)を最適に設定することを特徴と
している。
実施形態に係る熱式流量計について詳細に説明する。図
1はこの実施形態に係る熱式流量計の要部概略構成図を
示している。この熱式流量計は、図5に示した素子構造
のマイクロフローセンサを用い、基本的にはヒータ駆動
回路および流量検出回路を図6に示すように構成して実
現される。即ち、ヒータ素子Rhの駆動回路は、該ヒー
タ素子Rhと周囲温度計測用の温度センサRr、および
一対の固定抵抗R1,R2を用いてブリッジ回路1を形
成し、所定の電源電圧VccをトランジスタQを介して前
記ブリッジ回路1に印加すると共に、該ブリッジ回路1
のブリッジ出力電圧を差動増幅器2にて求め、そのブリ
ッジ出力電圧が零となるように前記トランジスタQを帰
還制御するように構成される。
ッチ素子としてのトランジスタSWは、例えば前記ヒー
タ素子Rhに印加されるヒータ駆動電圧Vh(ブリッジ
駆動電圧)が予め設定されている許容最大値(基準電
圧)を越えるときに導通(ON)されて前記ヒータ素子
Rhの通電駆動を停止させる役割を担う。具体的にはス
イッチ素子Rhを短絡し、ヒータ素子Rhへの上記ヒー
タ駆動電圧Vhの印加を停止させることで該ヒータ素子
Rhの異常発熱を防止する役割を担う。
による抵抗値変化を検出する検出回路は、前記一対の温
度センサRu,Rdと一対の固定抵抗Rx,Ryを用いて
流量計測用のブリッジ回路3を形成し、温度センサR
u,Rdの抵抗値の変化に応じたブリッジ出力電圧を差
動増幅器4を介して検出するように構成される。即ち、
この差動増幅器4は前記温度センサRu,Rdによりそ
れぞれ計測される温度の差に相当する温度差信号Vt
を、前記ブリッジ出力電圧として検出するものとなって
いる。そしてこの温度差信号Vtは、センサ出力調整手
段としての減算器5に与えられ、ゼロ点調整量Vadjが
加えられて前記温度差信号Vtをオフセットしたセンサ
出力信号Vout(=Vt+Vadj)として、演算処理部と
してのCPU6に与えられるようになっている。
サRu,Rdや固定抵抗Rx,Ry等の抵抗値精度のバラ
ツキに起因する計測誤差を補正する為のもので、前記温
度差信号Vtをゼロ点補正し、流体の流量Qがゼロ
(0)のときに前記センサ出力信号Voutがゼロ(0)
となるように補正する役割を担い、通常、流量計の出荷
時に調整される。ちなみにこのゼロ点調整量Vadjは、
流体の流量Qが一定値Voのときの温度差信号がVtとし
て与えられるとき、Vref=Vo−Vtとして設定されて
前記減算器5に与えられる。
抗Rf1,Rf2,〜Rfnが選択的に介挿され、その増幅
利得が多段階に調整されるようになっている。これらの
帰還抵抗Rf1,Rf2,〜Rfnの選択接続による差動増
幅器4の増幅利得の設定は、後述するCPU6が備える
流体種別判定手段6bの制御の下で、流体の種別に応じ
て実行される。
温度を制御しながら、前記第1および第2の温度センサ
Ru,Rdにてそれぞれ検出される温度の差に相当する
センサ出力信号Voutに従って流体の流量Qを求める熱
式流量計において、この実施形態が特徴とするところ
は、CPU6が、前記ヒータ素子Rhの駆動電気量とし
て、例えば該ヒータ素子Rhに印加されるヒータ駆動電
圧Vhを求めるヒータ電力検出部6aと、このヒータ電
力検出部6aにて求められたヒータ駆動電力Phに従っ
て流体の種別を特定(判定)する流体種別判定手段6
b、更にこの流体種別判定手段6bにて求められた流体
の種別に応じて前記センサ出力信号Voutから流体の流
量Qを求める流量算出手段6cを備えている点にある。
に印加される電圧V1と、このヒータ素子Rhを含むブ
リッジ回路1に印加される電圧V2とから上記ヒータ素
子Rhにおける駆動電力を求めるものである。尚、ヒー
タ素子Rhの駆動方式によっては、ヒータ素子Rhに印
加される電圧V1、またはヒータ素子Rhを含むブリッ
ジ回路1に印加される電圧V2を、該ヒータ素子Rhで
の駆動電力(電気量)と看做して検出することも可能で
あり、またヒータ素子Rhに流れる電流から該ヒータ素
子Rhにおける駆動電力(電気量)を求めるようにして
も良い。要はヒータ素子Rhでの発熱量に相当する値
を、該ヒータ素子Rhにおける電力・電圧・電流として
求めるようにすれば良い。
CPU6が備えるEEPROMからなるメモリ7に予め
登録されたテーブルを参照して、前記ヒータ電力検出部
6aにて求められたヒータ駆動電力Phに応じて、流体
の種別を特定(判定)している。即ち、メモリ7には、
流体の種別毎に、例えば図2に示すような流量Qとその
流量計測時のヒータ駆動電力Phとの関係を示す複数の
流体種別判定テーブル8a,8b,〜8nが登録されてい
る。流体種別判定手段6bは前記ヒータ電力検出部6a
にて求められたヒータ駆動電力Phと、上記各流体種別
判定テーブル8a,8b,〜8nに示されるヒータ駆動電
力Pha,Phb,〜Phnとをそれぞれ比較して前記ヒ
ータ電力検出部6aにて求められたヒータ駆動電力Ph
に最も近いヒータ駆動電力Pha,Phb,〜Phnを記
述した流体種別判定テーブル8a,8b,〜8nを選択
し、この流体種別判定テーブル8a,8b,〜8nを得た
流体の種別を、前記マイクロフローセンサを通流してい
る流体として特定している。
流量Qが同じである場合でも、その流体が水素(H2)
である場合と窒素(N2)である場合とで、その熱伝導
率の違いによりヒータ駆動電力Phが大きく異なる。流
体種別判定手段6bは、このような流体の種別によって
異なるヒータ素子Rhの駆動電力Phの違いを利用して
流体の熱伝導率の違いを判定し、その種別を特定してい
る。そして特定した流体の種別の情報を、前記流量算出
手段6cに与えると共に、後述するように必要に応じて
ゲイン調整信号を発生して前記増幅器4によるセンサ出
力信号Voutに対する増幅利得を調整するものとなって
いる。このようにしてセンサ出力信号Voutに対する増
幅利得を調整すれば、流量算出手段6cにて処理可能な
センサ出力信号Voutの入力電圧範囲を有効に活用し
て、流量Qの計測範囲(ダイナミックレンジ)を容易に
拡大することが可能となる。
例えば図3に示すような流量Qとセンサ出力信号Vout
との関係を示す複数の流量変換テーブル9a,9b,〜9
nがそれぞれ登録されている。即ち、図3に流体が水素
(H2)である場合と窒素(N2)である場合とにおける
流量Qとセンサ出力信号Voutとの関係を例示するよう
に、流量Qが同じ場合であっても、そのセンサ出力信号
Voutは流体の種別によって大きく異なる。そこでメモ
リ7は、流体の種別に応じてその流量Qとセンサ出力信
号Voutとの関係をそれぞれ示す複数の流量変換テーブ
ル9a,9b,〜9nを登録し、これらの流量変換テーブ
ル9a,9b,〜9nを前記流量算出手段6cによる流量
算出処理に選択的に供するものとなっている。
前述した如く特定された流体の種別に応じて前記メモリ
7に予め登録されている該当する流体の種別の流量変換
テーブル9a,9b,〜9nを選択的に参照し、前記セン
サ信号出力Voutに応じた流量Qを算出するものとなっ
ている。このようにして算出された流体の流量Qは、前
記CPU6の周辺機器として設けられた表示器10にて
表示される。尚、この表示器10を用いて前述した如く
特定した流体の種別や、後述する各種のメッセージ等を
表示するようにしても勿論良い。
量補正係数を登録した流量補正係数テーブル11を設け
ておき、前述した如く判定された流体の種別に応じて流
量補正係数を求めるようにしても良い。そして流量算出
手段6cにおいては、上記流量補正係数テーブル11か
ら求められた流量補正係数に従って、前記流量変換テー
ブル9から求められる流量を補正して流体の流量Qを算
出するものであっても良い。
素(N2)の場合とでは、図5に示すようにそのセンサ
出力Voutは、同じ流量に対して略5倍の違いがあるに
過ぎない。従って、例えば流量変換テーブル9から求め
られる窒素(N2)の流量を基準として、前記流体種別
判定手段6bにて求められた流体の種別が水素(H2)
である場合には、前記流量補正係数テーブル11から求
められた水素に対する流量補正係数に従って、その流量
を5倍に補正して水素(H2)の流量Qを求めるように
しても良い。このようにすれば、基準となる流体の種別
に応じた流量変換テーブル9を備えるだけでよいので、
その構成の簡素化を図ることが可能となる。
を行うCPU6における処理手順の一例を示している。
この処理手順を簡単に説明すると、先ずヒータ駆動電圧
Voutを検出し[ステップS1]、そのヒータ駆動電圧
Voutが水素が通流しているときの電圧に相当するか否
かを判定する[ステップS2]。即ち、流量計に水素ガ
スまたは窒素ガスが通流する可能性がある場合には、図
2に示すような通流ガスの異なりによるヒータ電力の違
いを利用して、通流ガスが水素であるか、或いは窒素で
あるかを判定する(特定する)。
場合には、水素計測用のゲイン(増幅利得)を設定して
[ステップS3]、そのときのセンサ出力電圧Voutを
検出することで流量測定を行う[ステップS4]。そし
て前記メモリ7から水素ガス用の流量変換テーブル9a
を選択して上記センサ出力電圧Voutに相当する流量Q
を求める[ステップS5]。
合には、窒素計測用のゲイン(増幅利得)を設定して
[ステップS6]、そのときのセンサ出力電圧Voutを
検出することで流量測定を行う[ステップS7]。そし
て前記メモリ7から窒素ガス用の流量変換テーブル9b
を選択して上記センサ出力電圧Voutに相当する流量Q
を求める[ステップS8]。
熱温度で駆動したときのヒータ駆動電力Ph(ヒータ駆
動電圧Vh)が流体の熱伝導率により異なることを利用
して流体流量計測時におけるヒータ駆動電力Ph(ヒー
タ駆動電圧Vh)から流体の種別を判定(特定)し、特
定した流体の種別に応じてそのときのセンサ出力信号V
outからその流量Qを算出するようにした熱式流量計に
よれば、流体の種別に拘わることなく、その流量Qを正
確に計測することができる。特に流体の種別に応じた流
量変換テーブル9a,9b,〜9nを選択的に用いて前記
センサ出力信号Voutから流量Qを算出するので、その
計測精度を十分に高め得る。
センサ出力信号Voutを得る上での増幅利得(検出ゲイ
ン)を可変設定するので、流量Qの変化に応じたセンサ
出力信号Voutの変化幅を、CPU6の検出ダイナミッ
クレンジに容易に適合させることができ、従ってその計
測分解能を十分に高く設定することができる等の利点も
ある。
るものではない。例えばここではヒータ駆動電力Ph
(ヒータ駆動電圧Vh)の違いから流体の種別を検出し
たが、ヒータ駆動電力Ph(ヒータ駆動電圧Vh)の違
いが明確でない流体の種別については、そのときのセン
サ出力信号Voutの異なりを流体種別の判別情報として
利用することも可能である。またヒータ素子Rhの駆動
方式によっては、ヒータ駆動電流を検出して流体の種別
を特定することも勿論可能である。また前述した流体種
別判定テーブル8a,8b,〜8nや流量変換テーブル9
a,9b,〜9nについては、流量計を通流すると想定さ
れる流体の種別に応じて予め設けておけば良いものであ
る。
増幅器4)の増幅利得を、その帰還抵抗の切り替えによ
りハードウェア的に可変してその検出感度を調整した
が、CPU6においてソフトウェア的にその検出感度を
可変設定することも勿論可能である。その他、本発明は
その要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施すること
ができる。
ータ素子を所定の発熱温度で駆動した際の該ヒータ素子
における駆動電力に基づいて流体の種類を特定し、その
上でセンサ出力から流体の種別に応じた流量を求めるの
で、流体の種別に拘わることなしに流体の流量を正確に
求めることができる。しかも流量計を通流する流体の種
別が途中で変わるような場合であっても、そのときの流
体の種別に応じてその流量を正確に計測することができ
る等の実用上多大なる効果が奏せられる。
略構成図。
力との関係を示す図。
号との関係を示す図。
手順の例を示す図。
の構成例を示す図。
Claims (6)
- 【請求項1】 ヒータ素子と、このヒータ素子を間にし
て流体の通流方向にそれぞれ設けられた第1および第2
の温度センサとを備えた熱式流量計であって、 前記ヒータ素子を所定の発熱温度で駆動した際の該ヒー
タ素子における駆動電気量に基づいて、前記流体の種類
を特定する流体種別判定手段を備えることを特徴とする
熱式流量計。 - 【請求項2】 前記流体種別判定手段は、流体の種別毎
に流体の流量とヒータ駆動電気量との関係を示す複数の
流体種別判定テーブルを備え、 前記ヒータ素子における駆動電気量と上記各流体種別判
定テーブルに登録されたヒータ電気量とをそれぞれ比較
して、前記ヒータ素子に印加されているヒータ駆動電気
量に最も近いヒータ電気量を登録している流体種別判定
テーブルから流体の種別を特定するものである請求項1
に記載の熱式流量計。 - 【請求項3】 請求項1に記載の熱式流量計において、 更に前記流体種別判定手段により特定された流体の種別
に応じて、前記第1および第2の温度センサによりそれ
ぞれ検出される温度の差に相当するセンサ出力から前記
流体の流量を算出する流量算出手段を備えることを特徴
とする熱式流量計。 - 【請求項4】 前記流量算出手段は、流体の種別毎に流
体の流量とセンサ出力との関係を示す複数の流量変換テ
ーブルを備え、 前記流体種別判定手段により特定された流体の種別に応
じて選択される流量変換テーブルを参照して前記センサ
出力から前記流体の流量を求めるものである請求項3に
記載の熱式流量計。 - 【請求項5】 前記流量算出手段は、基準となる流体の
流量とセンサ出力との関係を示す流量変換テーブルと、
流体の種別に応じた流量変換係数を登録した流量補正係
数テーブルとを備え、 前記センサ出力に応じて前記流量変換テーブルから求め
られる流量を、前記流体種別判定手段により特定された
流体の種別に応じて選択された流量変換係数を用いて補
正して前記流体の流量を求めるものである請求項3に記
載の熱式流量計。 - 【請求項6】 請求項1または3に記載の熱式流量計に
おいて、 更に特定した流体の種別に応じて、前記センサ出力の増
幅利得を可変する利得調整手段を備えることを特徴とす
る熱式流量計。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004085489A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Yamatake Corp | 熱式流量計 |
JP2008026245A (ja) * | 2006-07-25 | 2008-02-07 | High Pressure Gas Safety Institute Of Japan | マイコンメータ |
WO2015029890A1 (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-05 | 株式会社堀場エステック | 流体分析装置、熱式流量計、マスフローコントローラ、流体性質特定装置、及び、流体分析装置用プログラム |
WO2015034081A1 (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-12 | 株式会社堀場エステック | 熱式流量計、温度測定装置、及び、熱式流量計用プログラム |
KR20180048026A (ko) * | 2016-11-02 | 2018-05-10 | 성낙원 | 열식 질량 유량계 |
CN109282867A (zh) * | 2017-07-19 | 2019-01-29 | 阿自倍尔株式会社 | 热式流量计及流量修正方法 |
CN109323732A (zh) * | 2017-07-31 | 2019-02-12 | 阿自倍尔株式会社 | 热式流量计以及流量校正方法 |
JP2020008339A (ja) * | 2018-07-04 | 2020-01-16 | アズビル株式会社 | 熱式流量計 |
JP2020143904A (ja) * | 2019-03-04 | 2020-09-10 | アズビル株式会社 | 熱式流量計および流量補正方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008058153A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Tokiko Techno Kk | 地下タンクの漏洩検査装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0447225A (ja) * | 1990-06-14 | 1992-02-17 | Tokyo Gas Co Ltd | 熱式流速センサ及びこのセンサを用いたフルイディック流量計 |
JPH07243877A (ja) * | 1994-03-04 | 1995-09-19 | Tokyo Gas Co Ltd | 気体用流量計 |
JPH085432A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-12 | Tokyo Gas Co Ltd | ガスメータ用熱式流速センサのゲイン補正装置 |
JPH11183231A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-09 | Tokyo Gas Co Ltd | 積算流量計及びそれを利用したガスメータ |
WO2000025096A1 (en) * | 1998-10-26 | 2000-05-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of setting flow coefficient and flow meter |
JP2001012988A (ja) * | 1999-04-27 | 2001-01-19 | Yazaki Corp | 熱式流体センサ、流体判別装置及びその方法、フローセンサ、並びに、流量計測装置及びその方法 |
JP2001165731A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-06-22 | Yazaki Corp | フローセンサおよびこれを用いた流量計 |
-
2001
- 2001-09-28 JP JP2001303503A patent/JP3726261B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0447225A (ja) * | 1990-06-14 | 1992-02-17 | Tokyo Gas Co Ltd | 熱式流速センサ及びこのセンサを用いたフルイディック流量計 |
JPH07243877A (ja) * | 1994-03-04 | 1995-09-19 | Tokyo Gas Co Ltd | 気体用流量計 |
JPH085432A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-12 | Tokyo Gas Co Ltd | ガスメータ用熱式流速センサのゲイン補正装置 |
JPH11183231A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-09 | Tokyo Gas Co Ltd | 積算流量計及びそれを利用したガスメータ |
WO2000025096A1 (en) * | 1998-10-26 | 2000-05-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of setting flow coefficient and flow meter |
JP2001012988A (ja) * | 1999-04-27 | 2001-01-19 | Yazaki Corp | 熱式流体センサ、流体判別装置及びその方法、フローセンサ、並びに、流量計測装置及びその方法 |
JP2001165731A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-06-22 | Yazaki Corp | フローセンサおよびこれを用いた流量計 |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004085489A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Yamatake Corp | 熱式流量計 |
JP2008026245A (ja) * | 2006-07-25 | 2008-02-07 | High Pressure Gas Safety Institute Of Japan | マイコンメータ |
JPWO2015029890A1 (ja) * | 2013-08-28 | 2017-03-02 | 株式会社堀場エステック | 流体分析装置、熱式流量計、マスフローコントローラ、流体性質特定装置、及び、流体分析装置用プログラム |
WO2015029890A1 (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-05 | 株式会社堀場エステック | 流体分析装置、熱式流量計、マスフローコントローラ、流体性質特定装置、及び、流体分析装置用プログラム |
US10024700B2 (en) | 2013-08-28 | 2018-07-17 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Fluid analysis device |
CN105264341A (zh) * | 2013-09-09 | 2016-01-20 | 株式会社堀场Stec | 热式流量计、温度测量装置和热式流量计用程序 |
JPWO2015034081A1 (ja) * | 2013-09-09 | 2017-03-02 | 株式会社堀場エステック | 熱式流量計、温度測定装置、及び、熱式流量計用プログラム |
US10337900B2 (en) | 2013-09-09 | 2019-07-02 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Thermal flow meter, temperature measurement device, and thermal flow meter program |
WO2015034081A1 (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-12 | 株式会社堀場エステック | 熱式流量計、温度測定装置、及び、熱式流量計用プログラム |
KR101889161B1 (ko) * | 2016-11-02 | 2018-08-20 | 성낙원 | 열식 질량 유량계 |
KR20180048026A (ko) * | 2016-11-02 | 2018-05-10 | 성낙원 | 열식 질량 유량계 |
CN109282867A (zh) * | 2017-07-19 | 2019-01-29 | 阿自倍尔株式会社 | 热式流量计及流量修正方法 |
CN109323732A (zh) * | 2017-07-31 | 2019-02-12 | 阿自倍尔株式会社 | 热式流量计以及流量校正方法 |
US10816376B2 (en) | 2017-07-31 | 2020-10-27 | Azbil Corporation | Thermal flowmeter and flow rate compensation method |
CN109323732B (zh) * | 2017-07-31 | 2020-11-03 | 阿自倍尔株式会社 | 热式流量计以及流量校正方法 |
JP2020008339A (ja) * | 2018-07-04 | 2020-01-16 | アズビル株式会社 | 熱式流量計 |
JP7034852B2 (ja) | 2018-07-04 | 2022-03-14 | アズビル株式会社 | 熱式流量計 |
JP2020143904A (ja) * | 2019-03-04 | 2020-09-10 | アズビル株式会社 | 熱式流量計および流量補正方法 |
JP7248455B2 (ja) | 2019-03-04 | 2023-03-29 | アズビル株式会社 | 熱式流量計および流量補正方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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