JP5259669B2 - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
まず、図8のSTEP1において、直線移動機構610を被検査基板1に近い方向(矢印640の方向)に移動させ、ミラー600を回転させる。これによって、ミラー600の傾斜角が大きくなり、線状照明の仰角も大きくなる。ここで、仰角を大きくすると、線状照明の照射位置が被検査基板1面の水平方向について変わり、焦点面も被検査基板1面の垂直方向について変わる。さらに、線状照明が被検査基板1面上で回転してしまう。
次に、STEP3において、照射光101の焦点面の垂直方向の変化を調整するために、すなわち被検査基板1面に焦点面を合わせるために、移動機構526を上方向(被検査基板1に対して離れる方向)に移動させる。これによって、被検査基板1面に焦点面を合わせることが可能となる。
Claims (10)
- 被検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置において、
レーザを発生するレーザ光源と、
上記レーザ光源からのレーザを透過する平行平面基板及びこの平行平面基板を透過したレーザを整形するシリンドリカルレンズを有し線状ビームを形成するビーム整形部と、このビーム整形部を透過したビームを反射して、被検査対象上に線状ビームスポットとして照射し、上記反射したビームの上記被検査対象物に対する仰角を変更可能なビーム位置合わせ部とを有するビームスポット整形部と、
上記被検査対象物を支持するステージ部と、
上記ステージ部に支持された被検査対象物から反射された散乱光を検出する検出光学系と、
上記ビームスポット整形部、上記ステージ部及び上記検出光学系の動作を制御するとともに、上記検出光学系により検出された散乱光に基づいて被検査対象物の欠陥を検出する制御系と、
を備え、上記平行平面基板は、上記レーザ光源からのレーザの光軸に垂直な面に対して、上記被検査対象物に照射される線状ビームの方位角と同一の角度だけ傾斜して配置され、上記シリンドリカルレンズは、上記レーザの光軸に垂直の面を間にして、上記平行平面基板と対称となる位置に配置されていることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1に記載の欠陥検査装置において、
上記ビーム整形部は、
上記平行平面基板及び上記シリンドリカルレンズを、上記レーザ光源からのレーザの光軸方向に沿って移動する上下方向移動機構と、
上記平行平面基板及び上記シリンドリカルレンズを、上記レーザ光源からのレーザの光軸を中心軸として回転させる回転機構と、
を備え、上記制御系は、上記ビームの上記被検査対象物に対する仰角に応じて、上記上下方向移動機構を動作させて、上記ビームスポットの焦点位置を調整し、上記回転機構を動作させて上記被検査対象物上の線状ビームスポットの回転位置を調整することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項2に記載の欠陥検査装置において、
上記ビーム位置合わせ部は、
回動軸を中心に回動可能に支持され、上記ビーム整形部を透過したビームを反射するミラー部と、
上記ミラー部を回動させる回動機構と、
上記ミラー部及び上記回動機構を直線方向に移動する直線移動機構と、
を備え、上記制御系は、上記回動機構を動作させて上記ビームの上記被検査対象物に対する仰角を調整し、上記直線移動機構を動作させて、上記ビームスポットの照射位置を調整することを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項3に記載の欠陥検査装置において、
上記回動機構は、上記ミラー部を直線方向に押圧し、上記回動軸を中心に回動させることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項4に記載の欠陥検査装置において、
上記制御系は、データ記憶部を有し、このデータ記憶部は、上記ビームの上記被検査対象物に対する複数の仰角毎に、上記ミラー部を押圧する回動機構の位置と、上記上下方向移動機構の上下方向位置と、上記回転機構の回転位置と、上記直線移動機構の位置を上記データ記憶部に記憶し、このデータ記憶部に記憶されたデータに従って、上記制御系が、上記ビームスポット整形部の動作を制御することを特徴とする欠陥検査装置。 - 被検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査方法において、
レーザ光源からレーザを発生し、
上記レーザ光源からのレーザを、平行平面基板を透過させた後に、レーザを整形するシリンドリカルレンズを透過させて線状ビームを形成し、
上記シリンドリカルレンズを透過した線状ビームを反射して、被検査対象上に線状ビームスポットとして照射し、
被検査対象物から反射された散乱光を検出し、検出した散乱光に基づいて被検査対象物の欠陥を検出する欠陥検査方法であり、
上記平行平面基板は、上記レーザ光源からのレーザの光軸に垂直な面に対して、上記被検査対象物に照射される線状ビームの方位角と同一の角度だけ傾斜して配置され、上記シリンドリカルレンズは、上記レーザの光軸に垂直の面を間にして、上記平行平面基板と対称となる位置に配置されていることを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項6に記載の欠陥検査方法において、
上記ビームの上記被検査対象物に対する仰角に応じて、上記平行平面基板及び上記シリンドリカルレンズを上記レーザ光源からのレーザの光軸方向に沿って移動させて、上記ビームスポットの焦点位置を調整し、
上記平行平面基板及び上記シリンドリカルレンズを、上記レーザ光源からのレーザの光軸を中心軸として回転させて、上記被検査対象物上の線状ビームスポットの回転位置を調整することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項7に記載の欠陥検査方法において、
回動軸を中心に回動可能に支持されたミラー部により、上記シリンドリカルレンズを透過した線状ビームを反射し、上記ミラー部を回動させことにより、上記ビームの上記被検査対象物に対する仰角を調整し、
上記ミラー部を直線方向に移動動作させて、上記ビームスポットの照射位置を調整することを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項8に記載の欠陥検査方法において、
上記ミラー部を直線方向に押圧して、上記回動軸を中心に回動させることを特徴とする欠陥検査方法。 - 請求項9に記載の欠陥検査方法において、
上記ビームの上記被検査対象物に対する複数の仰角毎に、上記ミラー部の回動位置と、上記平行平面基板及び上記シリンドリカルレンズの上記レーザ光源からのレーザの光軸方向に沿った上下方向位置と、上記平行平面基板及び上記シリンドリカルレンズの回転位置とをデータ記憶部に記憶し、このデータ記憶部に記憶されたデータに従って、上記ミラー部の回動位置、上記平行平面基板及び上記シリンドリカルレンズの上記上下方向位置及び上記回転位置を調整することを特徴とする欠陥検査方法。
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