JP5257066B2 - 光学素子、表示装置、反射防止機能付き光学部品、および原盤 - Google Patents
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Description
電子線露光を用いて作製した構造体としては、微細なテント形状の凹凸構造体(ピッチ約300nm、深さ約400nm)が提案されている(例えば非特許文献2参照)。
基体と、
基体表面に多数配列された構造体と
を備え、
構造体が、錐体形状の凹部または凸部であり、
構造体が、使用環境下の光の波長帯域以下のピッチで配列されるとともに、隣接する構造体の下部同士が接続され、
構造体の深さ方向に対する実効屈折率が、基体へ向けて徐々に増加するとともに、S字状の曲線を描いており、
隣接する構造体の下部同士が、該下部同士を重なり合うようにして接合されている光学素子である。
基体と、
基体表面に多数配列された構造体と
を備え、
構造体が、基体表面にて一方向に延びる柱状形状を有する凹部または凸部であり、
構造体が、使用環境下の光の波長帯域以下のピッチで配列されるとともに、隣接する構造体の下部同士が接続され、
構造体の深さ方向に対する実効屈折率が、基体へ向けて徐々に増加するとともに、S字状の曲線を描いている光学素子である。
光学部品と、
光学部品の表面に多数配列された構造体と
を備え、
構造体が、錐体形状の凹部または凸部であり、
構造体が、使用環境下の光の波長以下のピッチで配列されるとともに、隣接する構造体の下部同士が接続され、
構造体の深さ方向に対する実効屈折率が、基体へ向けて徐々に増加するとともに、S字状の曲線を描いており、
隣接する構造体の下部同士が、該下部同士を重なり合うようにして接合されている反射防止機能付き光学部品である。
基体表面に多数配列された構造体と
を備え、
構造体が、錐体形状の凹部または凸部であり、
構造体が、使用環境下の光の波長以下のピッチで配列されるとともに、隣接する構造体の下部同士が接続され、
構造体によって成形された光学素子の深さ方向に対する実効屈折率の変化が、光学素子の基体へ向けて徐々に増加するとともに、S字状の曲線を描いており、
隣接する構造体の下部同士が、該下部同士を重なり合うようにして接合されている原盤である。
1.第1の実施形態(直線状でかつ六方格子状に構造体を2次元配列した例)
2.第2の実施形態(円弧状でかつ六方格子状に構造体を2次元配列した例)
3.第3の実施形態(直線状でかつ四方格子状に構造体を2次元配列した例)
4.第4の実施形態(主構造体に加え副構造体をさらに配列した例)
5.第5の実施形態(凹形状の構造体を基体表面に形成した例)
6.第6の実施形態(柱状の構造体を1次元配列した例)
7.第7の実施形態(構造体に代えて薄膜を設けた例)
8.第8の実施形態(表示装置に対する第1の適用例)
9.第9の実施形態(表示装置に対する第2の適用例)
[光学素子の構成]
図1Aは、本発明の第1の実施形態に係る光学素子の構成の一例を示す概略平面図である。図1Bは、図1Aに示した光学素子の一部を拡大して表す平面図である。図1Cは、図1BのトラックT1、T3、・・・における断面図である。図1Dは、図1BのトラックT2、T4、・・・における断面図である。
以下、光学素子1を構成する基体2、および構造体3について順次説明する。
基体2は、透明性を有する透明基体である。基体2の材料としては、例えば、ポリカーボネート(PC)やポリエチレンテレフタレート(PET)などの透明性合成樹脂、ガラスなどを主成分とするものが挙げられるが、特にこれらの材料に限定されるものではない。
図3は、図1に示した光学素子の一部を拡大して表す斜視図である。基体2の表面には、凸部である構造体3が多数配列されている。この構造体3は、使用環境下の光の波長帯域以下の短いピッチ、例えば可視光の波長と同程度のピッチで周期的に2次元配置されている。使用環境下の光の波長帯域は、例えば、紫外光の波長帯域、可視光の波長帯域または赤外光の波長帯域である。ここで、紫外光の波長帯域とは10nm〜360nmの波長帯域、可視光の波長帯域とは360nm〜830nmの波長帯域、赤外光の波長帯域とは830nm〜1mmの波長帯域をいう。
アスペクト比=H/P・・・(1)
但し、H:構造体3の高さ、P:平均配置ピッチ(平均周期)
ここで、平均配置ピッチPは以下の式(2)により定義される。
平均配置ピッチP=(P1+P2+P2)/3 ・・・(2)
但し、P1:トラックの延在方向の配置ピッチ(トラック延在方向周期)、P2:トラックの延在方向に対して±θ方向(但し、θ=60°−δ、ここで、δは、好ましくは0°<δ≦11°、より好ましくは3°≦δ≦6°)の配置ピッチ(θ方向周期)
図6A、図6Bに示すように、構造体3の頂部3tから下部3bの間の側面が、構造体3の頂部3tから下部3bに向かって、滑らかな複数の曲面を不連続的に接合して形成されている場合には、接合点が変化点となる。この変化点と変曲点は一致することになる。接合点では正確には微分不可能であるが、ここでは、このような極限としての変曲点も変曲点と称する。構造体3が上述のような曲面を有する場合、構造体3の頂部3tから下部3bに向かう傾きが、第1の変化点Paを境にしてより緩やかになった後、第2の変化点Pbを境にしてより急になることが好ましい。
図7は、上述の構成を有する光学素子を作製するためのロールマスタの構成の一例を示す。図7に示すように、ロールマスタ11は、円筒状または円柱状の原盤12の表面に凹部である構造体13が多数配列された構成を有している。この構造体13は、光学素子1の使用環境下の光の波長以下、例えば可視光の波長と同程度のピッチで周期的に2次元配列されている。構造体13は、例えば、円筒状または円柱状の原盤12の表面に同心円状またはスパイラル状に配置されている。構造体13は、例えば、隣接関係にある構造体3の一部または全部の下部と接合されている。なお、図7Bでは、隣接する全ての構造体3を接合したときの接合部の位置が、黒丸印「●」にて示されている。構造体13は、上述の基体2の表面に凸部である構造体3を形成するためのものである。原盤12の材料は、例えばガラスを用いることができるが、この材料に特に限定されるものではない。
次に、図8〜図10を参照しながら、上述の構成を有する光学素子の製造方法の一例について説明する。
まず、図8を参照して、モスアイパターンの露光工程に用いる露光装置の構成について説明する。この露光装置は、光学ディスク記録装置をベースとして構成されている。
(レジスト成膜工程)
まず、図9Aに示すように、円筒状または円柱状などの原盤12を準備する。この原盤12は、例えばガラス原盤である。次に、図9Bに示すように、原盤12の表面にレジスト層14を形成する。レジスト層14の材料としては、例えば、有機系レジスト、および無機系レジストのいずれも用いることができる。有機系レジストとしては、例えば、ノボラック系レジスト、化学増幅型レジストを用いることができる。また、無機系レジストとしては、例えば、タングステンやモリブデンなどの1種または2種以上の遷移金属からなる金属酸化物を用いることができる。
次に、図9Cに示すように、上述した露光装置を用いて、原盤12を回転させると共に、レーザー光(露光ビーム)15をレジスト層14に照射する。このとき、レーザー光15を原盤12の高さ方向に移動させながら、レーザー光15を間欠的に照射することで、レジスト層14を全面にわたって露光する。これにより、レーザー光15の軌跡に応じた潜像16が、例えば、可視光波長と同程度のピッチでレジスト層14の全面にわたって形成される。
次に、例えば、原盤12を回転させながら、レジスト層14上に現像液を滴下して、図9Aに示すように、レジスト層14を現像処理する。レジスト層14をポジ型のレジストにより形成した場合には、レーザー光15で露光した露光部は、非露光部と比較して現像液に対する溶解速度が増すので、図10Aに示すように、潜像(露光部)16に応じたパターンがレジスト層14に形成される。
次に、例えば、原盤12の上に形成されたレジスト層14のパターン(レジストパターン)をマスクとして、原盤12の表面をエッチング処理する。具体的には、エッチング処理とアッシング処理を交互に行うようにする。これにより、図10Bに示すように、トラックの延在方向に長軸方向をもつ楕円錐形状または楕円錐台形状の凹部、すなわち構造体13を得ることができる。また、レジスト層14の3倍以上の深さ(選択比3以上)のガラスマスターなどを作製でき、構造体3の高アスペクト比化を図ることができる。また、エッチング処理およびアッシング処理の処理時間を適宜調整することで、構造体13の側面にステップを形成することができる。エッチング方法としては、ドライエッチングを用いることが好ましい。ドライエッチングとしては、例えば、プラズマエッチング、反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching:RIE)などを用いることができる。また、エッチング方法としては、例えば、等方性エッチングおよび異方性エッチングのいずれも用いることができる。
以上により、六方格子パターンまたは準六方格子パターンを有するロールマスタ11が得られる。
次に、ロールマスタ11と、紫外線硬化樹脂を塗布したアクリルシートなどの基体2とを密着させ、紫外線を照射し紫外線硬化樹脂を硬化させた後、ロールマスタ11から基体2を剥離する。これにより、図10Cに示すように、目的とする光学素子1が作製される。
[光学素子の構成]
図11Aは、本発明の第2の実施形態に係る光学素子の構成の一例を示す概略平面図である。図11Bは、図11Aに示した光学素子の一部を拡大して表す平面図である。図11Cは、図11BのトラックT1、T3、・・・における断面図である。図11Dは、図11BのトラックT2、T4、・・・における断面図である。
上述した以外の光学素子1の構成は、第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。
図12は、上述の構成を有する光学素子を作製するためのディスクマスタの構成の一例を示す。図12に示すように、ディスクマスタ41は、円盤状の原盤42の表面に凹部である構造体43が多数配列された構成を有している。この構造体13は、光学素子1の使用環境下の光の波長帯域以下、例えば可視光の波長と同程度のピッチで周期的に2次元配列されている。構造体43は、例えば、同心円状またはスパイラル状のトラック上に配置されている。
上述した以外のディスクマスタ41の構成は、第1の実施形態のロールマスタ11と同様であるので説明を省略する。
まず、図13を参照して、上述した構成を有するディスクマスタ41を作製するための露光装置について説明する。
まず、上述した構成を有する露光装置を用いて、円盤状の原盤上に形成されたレジスト層を露光する以外は、第1の実施形態と同様にしてディスクマスタ41を作製する。次に、このディスクマスタ41と、紫外線硬化樹脂を塗布したアクリルシートなどの基体2とを密着させ、紫外線を照射し紫外線硬化樹脂を硬化させた後、ディスクマスタ41から基体2を剥離する。これにより、円盤状の光学素子が得られる。次に、この円盤状の光学素子から、矩形状などの所定形状の光学素子1を切り出す。これにより、目的とする光学素子1が作製される。
図14Aは、本発明の第3の実施形態に係る光学素子の構成の一例を示す概略平面図である。図14Bは、図14Aに示した光学素子の一部を拡大して表す平面図である。図14Cは、図14BのトラックT1、T3、・・・における断面図である。図14Dは、図14BのトラックT2、T4、・・・における断面図である。
図15Aは、本発明の第4の実施形態に係る光学素子の構成の一例を示す概略平面図である。図15Bは、図15Aに示した光学素子の一部を拡大して表す平面図である。図15Cは、図15BのトラックT1、T3、・・・における断面図である。図15Dは、図15BのトラックT2、T4、・・・における断面図である。図16は、図15に示した光学素子の一部を拡大して表す斜視図である。
また、反射防止機能が良好で波長依存性が少ない光学素子1を得るには、副構造体4の微小な凸凹部4aは、主構造体3の周期よりも短い、高周波の空間的周波数成分を有するように形成されることが好ましい。例えば、図16に示したように、波打った微小な凹凸部4aであることが好ましい。微小な凹凸部4aは、例えば、光学素子の製造工程におけるRIE(Reactive Ion Etching)などのエッチングの条件や、原盤の材料を適宜選択することにより形成することができる。例えば、原盤の材料としてパイレックス(登録商標)ガラスを用いることにより、凹凸部4aを形成することができる。
図17Aは、本発明の第5の実施形態に係る光学素子の構成の一例を示す概略平面図である。図17Bは、図17Aに示した光学素子の一部を拡大して表す平面図である。図17Cは、図17BのトラックT1、T3、・・・における断面図である。図17Dは、図17BのトラックT2、T4、・・・における断面図である。図18は、図17に示した光学素子の一部を拡大して表す斜視図である。
この第5の実施形態において、上記以外のことは、第1の実施形態と同様である。
また、第5の実施形態では、隣接する構造体3の下部を接合し、隣接する構造体間を下部で貫通させている。このため、第5の実施形態に係る光学素子1では、隣接する構造体間全てに薄い壁が形成されている光学素子に比べて、構造体間の壁を破損する可能性が低い。したがって、耐久性を向上させることができる。
図19は、本発明の第6の実施形態に係る光学素子の構成の一例を示す斜視図である。図19に示すように、第6の実施形態に係る光学素子1は、基体表面にて一方向に延在された柱状の構造体5を有し、この構造体5が基体2上に1次元配列されている点において、第1の実施形態のものとは異なっている。なお、上述の第1の実施形態と同様の部分には同一の符号を付して説明を省略する。
図20は、本発明の第7の実施形態に係る光学素子の構成の一例を示す断面図である。図20に示すように、第7の実施形態に係る光学素子1は、構造体3に代えて、傾斜膜6を基体上に形成している点において、第1の実施形態のものとは異なっている。なお、上述の第1の実施形態と同様の部分には同一の符号を付して説明を省略する。
[液晶表示装置の構成]
図21は、本発明の第8の実施形態に係る液晶表示装置の構成の一例を示す。図21に示すように、この液晶表示装置は、光を出射するバックライト53と、バックライト53から出射された光を時間的空間的に変調して画像を表示する液晶パネル51とを備える。液晶パネル51の両面にはそれぞれ、光学部品である偏光子51a、51bが設けられている。液晶パネル51の表示面側に設けられた偏光子51bには、光学素子1が設けられている。本発明では、光学素子1が一主面に設けられた偏光子51bを反射防止機能付き偏光子52と称する。この反射防止機能付き偏光子52は、反射防止機能付き光学部品の一例である。
以下、液晶表示装置を構成するバックライト53、液晶パネル51、偏光子51a、51b、および光学素子1について順次説明する。
バックライト53としては、例えば直下型バックライト、エッジ型バックライト、平面光源型バックライトを用いることができる。バックライト53は、例えば、光源、反射板、光学フィルムなどを備える。光源としては、例えば、冷陰極蛍光管(Cold Cathode Fluorescent Lamp:CCFL)、熱陰極蛍光管(Hot Cathode Fluorescent Lamp:HCFL)、有機エレクトロルミネッセンス(Organic ElectroLuminescence:OEL)、無機エレクトロルミネッセンス(IEL:Inorganic ElectroLuminescence)および発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)などが用いられる。
液晶パネル51としては、例えば、ツイステッドネマチック(Twisted Nematic:TN)モード、スーパーツイステッドネマチック(Super Twisted Nematic:STN)モード、垂直配向(Vertically Aligned:VA)モード、水平配列(In-Plane Switching:IPS)モード、光学補償ベンド配向(Optically Compensated Birefringence:OCB)モード、強誘電性(Ferroelectric Liquid Crystal:FLC)モード、高分子分散型液晶(Polymer Dispersed Liquid Crystal:PDLC)モード、相転移型ゲスト・ホスト(Phase Change Guest Host:PCGH)モードなどの表示モードのものを用いることができる。
液晶パネル51の両面には、例えば偏光子51a、51bがその透過軸が互いに直交するようにして設けられる。偏光子51a、51bは、入射する光のうち直交する偏光成分の一方のみを通過させ、他方を吸収により遮へいするものである。偏光子51a、51bとしては、例えば、ポリビニルアルコール系フィルム、部分ホルマール化ポリビニルアルコール系フィルム、エチレン・酢酸ビニル共重合体系部分ケン化フィルムなどの親水性高分子フィルムに、ヨウ素や二色性染料などの二色性物質を吸着させて一軸延伸させたものを用いることができる。偏光子51a、51bの両面には、トリアセチルセルロース(TAC)フィルムなどの保護層を設けることが好ましい。このように保護層を設ける場合、光学素子1の基体2が保護層を兼ねる構成とすることが好ましい。このような構成とすることで、反射防止機能付き偏光子52を薄型化できるからである。
光学素子1は、上述の第1〜第7の実施形態のいずれかのものと同様であるので説明を省略する。
[液晶表示装置の構成]
図22は、本発明の第9の実施形態に係る液晶表示装置の構成の一例を示す。この液晶表示装置は、液晶パネル51の前面側に前面部材54を備え、液晶パネル51の前面、前面部材54の前面および裏面の少なくとも1つの面に、光学素子1を備える点において、第8の実施形態のものとは異なっている。図22では、液晶パネル51の前面、ならびに前面部材54の前面および裏面のすべての面に、光学素子1を備える例が示されている。液晶パネル51と前面部材54との間には、例えば空気層が形成されている。上述の第8の実施形態と同様の部分には同一の符号を付して説明を省略する。なお、本発明において、前面とは表示面となる側の面、すなわち観察者側となる面を示し、裏面とは表示面と反対となる側の面を示す。
1.屈折率プロファイおよび構造体の形状についての検討
2.構造体の他の形状についての検討
3.屈折率プロファイルのステップの個数についての検討
S字形状を有する屈折率プロファイルを想定し、この屈折率プロファイルを実現する構造体の形状をシミュレーションにより求めた。また、上記屈折率プロファイルと反射率との関係をシミュレーションにより検討を行った。
<実施例1>
図23に示すように、実効屈折率がS字状の曲線を描く屈折率プロファイルを想定した。次に、上記屈折率プロファイルを実現する構造体の形状を求めた。その結果を図24Aに示す。
図23に示すように、実効屈折率がS字状を描くと共に、実施例1に比して先端が急峻に変化する屈折率プロファイルを想定した。次に、上記屈折率プロファイルを実現する構造体の形状を求めた。その結果を図24Bに示す。
図23に示すように、実効屈折率がS字状を描くと共に、実施例1に比して先端が大きく急峻に変化する屈折率プロファイルを想定した。次に、上記屈折率プロファイルを実現する構造体の形状を求めた。その結果を図24Cに示す。
図23に示すように、直線形状の屈折率プロファイルを想定した。次に、上記屈折率プロファイルを実現する構造体の形状を求めた。その結果、釣鐘型の構造体(図示省略)が得られた。
まず、上述のそれぞれの屈折率プロファイルについて、構造体高さを300nmとした場合の反射率を求めた。その結果を図25に示す。なお、図23では、光学厚さを構造体の底面を基準としてものとしているため、図2とは屈折率プロファイルの増減の関係が反対になっている。
直線形状の屈折率プロファイル(比較例1)では、可視域400nm〜700nmのほぼ全範囲において、反射率がR>0.1%となっている。これに対して、S字形状の屈折率プロファイル(実施例1〜3)では、可視域400nm〜700nmのほぼ全範囲において、反射率がR<0.1%となっている。特に、基体側および空気側の端において、S字形状の屈折率プロファイルが、急に変化しているもの(実施例2、3)が、可視域における反射率の防止効果が良好である。
次に、実施例1〜3のうちで特性の良かった屈折率プロファイル(実施例3)と、直線状の屈折率プロファイル(比較例1)とで、構造体高さを変化させたときの反射特性を求めた。その結果を図26に示す。
構造体高さが200nmであると、S字形状の屈折率プロファイル(実施例3)では、直線状の屈折率プロファイル(比較例1)に比べて反射率が高くなり反射特性が悪化する。
図24A〜図24Cおよび図25から以下のことがわかる。
図23に示す屈折率プロファイルを実現する構造体の形状は、S字形状の屈折率プロファイルの平方根をとった断面形状で、基体側へ向けて徐々に広がる形状の構造体を形成となる。また、図24A〜図24Cに示す構造体のうちでも、頂上部がフラットな円錐台形状のものは(実施例2:図24B、実施例3:図24C)、特に良好な反射防止特性を得ることができる。
図24A〜図24Cに示した以外の構造体形状を計算により求めた。
実施例3の構造体3をY軸方向に1.5倍引き伸ばした構造体を求めた。その結果を図27Aに示す。
実施例3の構造体3をX軸方向に1.5倍引き伸ばした構造体を求めた。その結果を図27Bに示す。
実施例2の構造体3の凹凸を反転させた形状を求めた。その結果を図27Cに示す。
X軸方向およびY軸方向に伸ばした構造体形状や、凹凸を反転させた構造体形状でも、実施例2、3とほぼ同様な屈折率プロファイルが得られる。したがって、図27A〜27Cに示した構造体形状(実施例4〜6)でも、優れた反射防止特性が得られる。
また、実施例4〜5のように、X軸方向およびY軸方向に伸ばした構造体形状にすることで、製造しやすく、かつ、充填率を上げることができる。
2つ以上の変曲点を有する屈折率プロファイルと、1つの変曲点を有する屈折率プロファイル(S字形状の屈折率プロファイル)との反射スペクトルを求め、その結果を比較する検討を行った。
S字形状を有する、実施例3と同様の屈折率プロファイル、すなわち1個の変曲点を有する屈折率プロファイルを想定した。
図28に示すように、比較例1と同様の屈折率プロファイル、すなわち直線形状の屈折率プロファイルを想定した。
図28に示すように、3個の変曲点を有する屈折率プロファイルを想定した。
図28に示すように、5個の変曲点を有する屈折率プロファイルを想定した。
上述のそれぞれの屈折率プロファイルについて、構造体高さを500nmとした場合の反射率を求めた。その結果を図29に示す。なお、図28では、光学厚さを構造体の底面を基準としてものとしているため、図2とは屈折率プロファイルの増減の関係が反対になっている。
構造体の高さが500nmである場合には、S字形状の屈折率プロファイル(実施例7)では、2以上の変曲点を有する屈折率プロファイル(比較例3、比較例4)、および直線形状の屈折率プロファイル(比較例2)に比べて、優れた反射防止効果が得られる。
なお、構造体の高さが500nm以上である場合には、S字形状の屈折率プロファイル(実施例7)では、2以上の変曲点を有する屈折率プロファイル(比較例3、比較例4)、および直線形状の屈折率プロファイル(比較例2)に比べて、優れた反射防止効果が得られる傾向がある。
2 基体
2a 空隙部
3 構造体、主構造体
3t 頂部
3b 底部
3c 裾部
4 副構造体
4a 凹凸部
5 構造体
6 傾斜膜
11 ロールマスタ
12 原盤
13 構造体
12a 空隙部
51 液晶パネル
51a 偏光子
51b 偏光子
52 反射防止機能付き偏光子
53 バックライト
54 前面部材
Pa 第1の変化点
Pb 第2の変化点
N 変曲点
St ステップ
Claims (18)
- 基体と、
上記基体表面に多数配列された構造体と
を備え、
上記構造体が、錐体形状の凹部または凸部であり、
上記構造体が、使用環境下の光の波長帯域以下のピッチで配列されるとともに、隣接する上記構造体の下部同士が接続され、
上記構造体の深さ方向に対する実効屈折率が、上記基体へ向けて徐々に増加するとともに、S字状の曲線を描いており、
隣接する上記構造体の下部同士が、該下部同士を重なり合うようにして接合されている光学素子。 - 上記構造体の深さ方向に対する実効屈折率が、1つの変曲点を有し、
上記変曲点は、上記構造体の側面の形状に対応するものである請求項1記載の光学素子。 - 上記構造体は、該構造体の側面に1つのステップを有する請求項1記載の光学素子。
- 上記構造体の側面が、上記基体へ向けて徐々に拡大するとともに、上記S字状曲線の平方根の形状を描くように変化する請求項1記載の光学素子。
- 上記使用環境下の光の波長帯域が、可視光の波長帯域である請求項1記載の光学素子。
- 上記構造体の高さが、使用環境下の光の波長帯域の最大値の5/14以上である請求項1記載の光学素子。
- 上記構造体の高さが、使用環境下の光の波長帯域の最大値の2/5以上である請求項1記載の光学素子。
- 上記構造体の深さ方向に対する実効屈折率の変化が、上記構造体の入射側および基体側の少なくとも一方において、上記実効屈折率の傾きの平均値よりも急峻である請求項1記載の光学素子。
- 隣接する上記構造体間に配置された副構造体をさらに備え、
上記副構造体は、上記構造体よりも小さい凹部または凸部であり、
上記構造体の下部同士が、上記副構造体により接続されている請求項1記載の光学素子。 - 上記構造体のうち、最隣接する構造体が、トラック方向に配置されている請求項1記載の光学素子。
- 上記構造体が、隣接する上記構造体に接続されている上記下部を除いて軸対称な錐体形状、または上記錐体形状をトラック方向に延伸または収縮させた錐体形状を有する請求項1記載の光学素子。
- 上記構造体が、四方格子状または準四方格子状に周期的に配置されている請求項1記載の光学素子。
- 上記構造体が、六方格子状または準六方格子状に周期的に配置されている請求項1記載の光学素子。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載の光学素子を備える表示装置。
- 光学部品と、
上記光学部品の表面に多数配列された構造体と
を備え、
上記構造体が、錐体形状の凹部または凸部であり、
上記構造体が、使用環境下の光の波長以下のピッチで配列されるとともに、隣接する上記構造体の下部同士が接続され、
上記構造体の深さ方向に対する実効屈折率が、上記基体へ向けて徐々に増加するとともに、S字状の曲線を描いており、
隣接する上記構造体の下部同士が、該下部同士を重なり合うようにして接合されている反射防止機能付き光学部品。 - 上記光学部品が、偏光素子、レンズ、導光板、窓材、および表示素子のいずれか1種である請求項15記載の反射防止機能付き光学部品。
- 基体と、
上記基体表面に多数配列された構造体と
を備え、
上記構造体が、錐体形状の凹部または凸部であり、
上記構造体が、使用環境下の光の波長以下のピッチで配列されるとともに、隣接する上記構造体の下部同士が接続され、
上記構造体によって成形された光学素子の深さ方向に対する実効屈折率が、上記光学素子の基体へ向けて徐々に増加するとともに、S字状の曲線を描いており、
隣接する上記構造体の下部同士が、該下部同士を重なり合うようにして接合されている原盤。 - 上記基体が、円盤状、円筒状または円柱状を有する請求項17記載の原盤。
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