JP5252543B2 - 複数点の電圧と温度の計測方法 - Google Patents

複数点の電圧と温度の計測方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5252543B2
JP5252543B2 JP2008105161A JP2008105161A JP5252543B2 JP 5252543 B2 JP5252543 B2 JP 5252543B2 JP 2008105161 A JP2008105161 A JP 2008105161A JP 2008105161 A JP2008105161 A JP 2008105161A JP 5252543 B2 JP5252543 B2 JP 5252543B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
voltage
temperature
measuring
points
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008105161A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009257847A (ja
Inventor
賢朗 池内
賢次 島田
洋一 高崎
芳一 石井
淳 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Ulvac Riko Inc
Original Assignee
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Ulvac Riko Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST, Ulvac Riko Inc filed Critical National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority to JP2008105161A priority Critical patent/JP5252543B2/ja
Publication of JP2009257847A publication Critical patent/JP2009257847A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5252543B2 publication Critical patent/JP5252543B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)

Description

本発明は、プローブ内の複数点の電圧と温度を精度よく計測するに関する。
プローブ内の電圧を計測する手法としては、一般的には4端子法で測定されることが多い。しかしながら、この手法では、プローブと電圧計測線との接触している2点間の電圧差しか計測することができない。
プローブ内の複数点の温度を計測する手法として、熱電対をプローブに直接接触させる方法がある(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、この方法では、プローブの小型化に対応できない。
そこで、小型化したプローブ内の複数点における電圧と温度を測定できる技術の開発が求められている。
特開2008−057144号公報
本発明の課題は、上述の従来技術の問題点を解決するものであり、プローブ内の複数点の電圧と温度を計測する手法を提供することにある。
本発明者らは、プローブ内の複数点の電圧を計測する手法として、プローブと電圧計測線とを接続すれば熱電対として機能でき、接触点の電圧を測定することができることに気がつき、本発明を完成するに至った。
本発明の電圧と温度の同時計測方法は、プローブと電圧計測線の接触点を熱電対の計測点とすることを特徴とする。
本発明の電圧計測方法は、プローブ内の複数点のそれぞれに一端を接触させた、プローブと異なった材質からなる電圧計測線のそれぞれの他端と、プローブに一端を接触させた、プローブと同じ材質からなるプローブ基準線の他端とを計測器で接続させて熱電対として機能させ、プローブと電圧計測線との複数の接触点の電圧を計測することを特徴とする。
プローブ内に複数の電圧計測線を接触させることにより、複数点の電圧計測を精度よく行うことができる。
前記プローブ内の複数点の電圧計測を上記電圧計測方法を用いて行い、プローブ及びプローブ基準線に使われている材料と電圧計測線の材料との間の起電圧差の温度依存性が既知である時に、プローブ基準線と電圧計測線とが接触している計測器の温度を計測することにより、プローブ内の複数点の温度を計測することを特徴とする。
プローブと同じ材質のプローブ基準線と、この材質と異なった材質の電圧計測線とを計測器で接続し、2つの材質の起電圧差の温度依存性と計測器の温度を基準としてプローブ内の温度計測を精度よく行うことができる。
本発明の電圧及び温度の計測方法は、プローブ内の複数点のそれぞれに一端を接触させた、プローブと異なった材質からなる電圧計測線のそれぞれの他端と、プローブに一端を接触させた、プローブと同じ材質からなるプローブ基準線の他端とを計測器で接続させて熱電対として機能させ、プローブと電圧計測線との複数の接触点の電圧を計測し、次いでプローブ及びプローブ基準線に使われている材料と電圧計測線の材料との間の起電圧差の温度依存性が既知である時に、プローブ基準線と電圧計測線とが接触している計測器の温度を計測することにより、プローブ内の複数点の温度を計測することを特徴とする。
かくして、プローブ内の複数点の電圧計測と温度計測とを精度よく同時に行うことができる。
本発明によれば、プローブ内の複数点の電圧及び/又は温度を精度よく計測することができるという効果を奏する。プローブ内複数点の温度からプローブ先端部の温度評価をすることに役立ち、プローブ内の温度測定に基づいた装置の発展に寄与する。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
プローブ内の電圧計測の様子を図1に示す。プローブ(材質A、例:コンスタンタン)1と、複数の電圧計測線(材質B、例:クロメル)Pa、Pb、Pc、Pd・・・Pnの一端とを接触させる。プローブ1と接触させていない電圧計測線Pa〜Pnの他端は、計測器2でプローブ基準線(材質A、例:コンスタンタン)1aと接続させる。プローブ内の複数の接触点P、P、P、P・・・・Pの電圧を、計測器で測定できるように構成されている。
計測器2内の温度Tを計測すると、プローブ内の接触点P〜Pの電圧は、計測器2の温度と接触点の温度との温度差による起電圧に対応する。プローブ基準線(材質A、例:コンスタンタン)1aと電圧計測線(材質B、例:クロメル)Pa〜Pnとの間の起電圧差の温度依存性を用いて接触点の温度に換算する。例の場合、プローブ内の接触点温度は、クロメルーコンスタンタンのE熱電対として計測する。
電圧及び温度の計測装置の模式的構成図。
符号の説明
1 プローブ 2 計測器
1a プローブ基準線 P〜P接触点
Pa〜Pn 電圧計測線

Claims (3)

  1. プローブ内の複数点のそれぞれに一端を接触させた、該プローブと異なった材質からなる電圧計測線のそれぞれの他端と、該プローブに一端を接触させた、該プローブと同じ材質からなるプローブ基準線の他端とを計測器で接続させて熱電対として機能させ、該プローブと電圧計測線との複数の接触点の電圧を計測することを特徴とする電圧計測方法。
  2. 前記プローブ内の複数点の電圧計測を請求項1記載の電圧計測方法を用いて行い、プローブ及びプローブ基準線に使われている材料と電圧計測線の材料との間の起電圧差の温度依存性が既知である時に、プローブ基準線と電圧計測線とが接触している計測器の温度を計測することにより、プローブ内の複数点の温度を計測することを特徴とする温度計測方法。
  3. プローブ内の複数点のそれぞれに一端を接触させた、該プローブと異なった材質からなる電圧計測線のそれぞれの他端と、該プローブに一端を接触させた、該プローブと同じ材質からなるプローブ基準線の他端とを計測器で接続させて熱電対として機能させ、該プローブと電圧計測線との複数の接触点の電圧を計測し、次いで該プローブ及びプローブ基準線に使われている材料と該電圧計測線の材料との間の起電圧差の温度依存性が既知である時に、該プローブ基準線と電圧計測線とが接触している計測器の温度を計測することにより、プローブ内の複数点の温度を計測することを特徴とする電圧及び温度の計測方法。

JP2008105161A 2008-04-14 2008-04-14 複数点の電圧と温度の計測方法 Active JP5252543B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008105161A JP5252543B2 (ja) 2008-04-14 2008-04-14 複数点の電圧と温度の計測方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008105161A JP5252543B2 (ja) 2008-04-14 2008-04-14 複数点の電圧と温度の計測方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009257847A JP2009257847A (ja) 2009-11-05
JP5252543B2 true JP5252543B2 (ja) 2013-07-31

Family

ID=41385462

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008105161A Active JP5252543B2 (ja) 2008-04-14 2008-04-14 複数点の電圧と温度の計測方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5252543B2 (ja)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61147126A (ja) * 1984-12-20 1986-07-04 Kawasaki Steel Corp 電磁誘導による鋼材の温度測定方法
JPH04105053A (ja) * 1990-08-24 1992-04-07 Shimadzu Corp 溶融樹脂の熱伝導率測定方法
JP3925610B2 (ja) * 2001-02-13 2007-06-06 喜萬 中山 発熱プローブ及び発熱プローブ装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009257847A (ja) 2009-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102369422B (zh) 具有连接检测电路的热电偶温度传感器
JP5465355B2 (ja) サーモカップルの極性検知機能を備えたプロセス変数送信機
EP3070446B1 (en) Thermo wire testing circuit and method
CN107209064B (zh) 温度探针
RU2577389C1 (ru) Способ калибровки термоэлектрических датчиков тепловых потоков
JP4847907B2 (ja) 半導体検査装置
JP5252543B2 (ja) 複数点の電圧と温度の計測方法
JP5018373B2 (ja) 抵抗測定装置および抵抗測定方法
JP2007040917A (ja) 温度測定方法及びその装置
JP3177887U (ja) シース型測温装置
JP4209429B2 (ja) ひずみ・温度測定方法
CN109564139A (zh) 传感器装置
JP2010145373A (ja) 抵抗測定装置
KR101338756B1 (ko) 측온저항체를 이용한 온도 측정 장치
JP2008191131A (ja) 測温抵抗体測定回路
JP2007178257A (ja) 計測装置
JP2006300637A (ja) ひずみ及び温度の測定装置
JP2011185641A (ja) 温度センサおよびその温度センサを用いた温度測定装置
CN218524257U (zh) 针式测温探针
US11243124B2 (en) Heat flux measurement system
EP1962070A3 (de) Hochtemperatursensor und Verfahren zu dessen Überprüfung
RU2603939C1 (ru) Способ определения скорости роста трещины в образце и устройство для этого
CN104458061A (zh) 一种组合式热电偶检定炉
CN104215349A (zh) 快速响应双丝热电阻测温装置
JP2009115702A (ja) 温度測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110413

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20110413

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130403

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130411

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5252543

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160426

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250