JP5246952B2 - 測定方法 - Google Patents
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Description
被測定面に沿って第1位置X0から第2位置XNまで測定装置を移動させながら、被測定面の変位を測定したときに、前記第1位置X0で前記水準器が検出した傾斜と、前記第2位置XNで前記水準器が検出した傾斜との差に基づいて、前記第1位置X0と前記第2位置XNとの間の被測定面の変位を補正するためのゼロ点誤差を求めることを特徴とする。
m(x)= {f(x−D)+f(x+D)}/2−f(x)+Δz (1)
m(x)= [{f(x+D)−f(x)}−{ f(x)−f(x−D)}+2Δz]/2 (2)
となり、[{f(x+D)−f(x)}−{ f(x)−f(x−D)}+2Δz]は、ちょうど間隔Dで3つのセンサを並べた場合における逐次3点法の差動出力となる。逐次3点法については、特開2006-337112号公報に詳細に開示されている。ここで、2Δzが差動出力にコンスタントに加わるゼロ点誤差になる。
Δf(xk)=2m(xk)+Δf(xk-1)−2Δz ,(k=1,2,…N) (3)
Δf(xk)=2Σk m(xk)+Δf(x0)−2kΔz (4)
(但し、Σkはk=1〜kまでの和を意味する)
Δf(x0)+Δf(x1)=2Δf(x0)+2m(x1)−2Δz (5)
Δf(xN-1)+Δf(xN)=4ΣN m(xk)−2m(xN)+ 2Δf(x0)−2(2N−1)Δz (6)
{Δf(xN-1)+Δf(xN)}/2D−{Δf(x0)+Δf(x1)}/2D={ 4ΣN m(xk)−2m(xN)−2m(x1)−4(N−1) Δz}/2D (7)
(但し、ΣNはk=1〜Nまでの和を意味する)
(N−1)Δz /D=2ΣN m(xk)−{m(xN)+m(x1)}−(1/2)αN0 (8)
AD 変換回路
AMP アンプ
BD 本体
CS 連結軸
DR ドラム
EL 水準器
EN エンコーダ
FT 足部
GR ガイドレール
MM 中間部材
MP プローブ
MPv 溝
MT モータ
Ms 被測定面
PC パソコン
PL 定盤
S 変位センサ
SB センサブラケット
SL スライダ
Se センサ端
T1,T2 接触点
W ワイヤ
Claims (2)
- 被測定面に当接する2個の足部と、前記2個の足部が被測定面と当接する2点を結ぶ直線上に配置され被測定面の変位を測定する変位センサと、前記2点を結ぶ線の傾斜を検出する水準器とを具備した測定装置を用いた測定方法において、
被測定面に沿って第1位置X0から第2位置XNまで測定装置を移動させながら、被測定面の変位を測定したときに、前記第1位置X0で前記水準器が検出した傾斜と、前記第2位置XNで前記水準器が検出した傾斜との差に基づいて、前記第1位置X0と前記第2位置XNとの間の被測定面の変位を補正するためのゼロ点誤差を求めることを特徴とする測定方法。 - 前記測定装置は、水準器の読み取りに要する時間を短縮するために、被測定面に当接する2個の足部と、前記2個の足部が被測定面と当接する2点を結ぶ直線上に配置され被測定面の変位を測定する変位センサと、前記2点を結ぶ線の傾斜を検出する水準器とを具備した測定プローブと、前記測定プローブを所定の軸に沿って移動させる移動手段と、被測定面に沿って第1位置X0から第2位置XNまで前記測定プローブを移動させながら、被測定面の変位を測定したときに、前記第1位置X0で前記水準器が検出した傾斜と、前記第2位置XNで前記水準器が検出した傾斜との差に基づいて、前記第1位置X0と前記第2位置XNとの間の被測定面の変位を補正するためのゼロ点誤差を求める演算部と、を具備することを特徴とする請求項1に記載の測定方法。
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- 2009-06-29 JP JP2009153399A patent/JP5246952B2/ja active Active
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