JP5245626B2 - アミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収方法及び装置 - Google Patents
アミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5245626B2 JP5245626B2 JP2008200930A JP2008200930A JP5245626B2 JP 5245626 B2 JP5245626 B2 JP 5245626B2 JP 2008200930 A JP2008200930 A JP 2008200930A JP 2008200930 A JP2008200930 A JP 2008200930A JP 5245626 B2 JP5245626 B2 JP 5245626B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- organic solvent
- reverse osmosis
- soluble organic
- osmosis device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Heat Treatment Of Water, Waste Water Or Sewage (AREA)
Description
アルカリを添加してpH10.5とした表1に示す水質の原水を回収率70%でRO装置3に通水し、透過水のMEA及びDMSO濃度を測定した。結果を表1に示す。
アルカリを添加してpH10.8とした表1に示す水質の原水を回収率70%でRO装置3に通水し、その透過水を回収率75%でRO装置7に通水し、RO装置7の透過水の35%をライン5に返送した。RO装置7の濃縮水は、その全量をライン1に返送した。各RO装置3,7の透過水のMEA及びDMSO濃度を測定した。結果を表1に示す。
酸としてHClを添加してpH7.1とした表1に示す水質の原水を回収率70%でRO装置3に通水し、透過水のMEA及びDMSO濃度を測定した。結果を表1に示す。
Claims (5)
- アミノ基を有する水溶性有機溶媒含有水から該水溶性有機溶媒を回収する方法であって、
逆浸透装置に、該水溶性有機溶媒含有水をpH9以上の条件下で供給して膜分離処理を行い、該水溶性有機溶媒を透過水室側に透過させて回収するにあたり、
逆浸透装置を直列に複数個配置しておき、前記水溶性有機溶媒含有水を各逆浸透装置に順次に通水する方法であって、
pH9以上の前記水溶性有機溶媒含有水を第1の逆浸透装置に供給し、
該第1の逆浸透装置の透過水を第2の逆浸透装置に供給し、
該第2の逆浸透装置の濃縮水を前記第1の逆浸透装置への供給水に返送し、
該第2の逆浸透装置の透過水の一部を該第2の逆浸透装置への供給水に返送することを特徴とするアミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収方法。 - 請求項1において、該逆浸透装置に供給する前記水溶性有機溶媒含有水中の水溶性有機溶媒の濃度が100〜100,000mg/Lであることを特徴とするアミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収方法。
- 請求項1又は2において、前記水溶性有機溶媒含有水はフォトリソグラフィ工程からの排水であり、モノエタノールアミン及びジメチルスルホキシドと、フォトレジスト残渣とを含有することを特徴とするアミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収方法。
- アミノ基を有する水溶性有機溶媒含有水からアミノ基を有する水溶性有機溶媒を回収する装置であって、
該水溶性有機溶媒含有水にpH9以上となるようにアルカリを添加するアルカリ添加手段と、
このpH9以上の水溶性有機溶媒含有水が供給される第1の逆浸透装置と、
該第1の逆浸透装置の透過水が供給される第2の逆浸透装置と、
該第2の逆浸透装置の濃縮水を前記第1の逆浸透装置への供給水に返送する第1の返送手段と、
該第2の逆浸透装置の透過水の一部を該第2の逆浸透装置への供給水に返送する第2の返送手段とを備え、前記水溶性有機溶媒を該逆浸透装置の透過水室側に透過させて回収することを特徴とするアミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収装置。 - 請求項4において、回収した、アミノ基を有する水溶性有機溶媒含有透過水を蒸発濃縮する装置を後段に備えたことを特徴とするアミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008200930A JP5245626B2 (ja) | 2008-08-04 | 2008-08-04 | アミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008200930A JP5245626B2 (ja) | 2008-08-04 | 2008-08-04 | アミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010036094A JP2010036094A (ja) | 2010-02-18 |
JP5245626B2 true JP5245626B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=42009190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008200930A Expired - Fee Related JP5245626B2 (ja) | 2008-08-04 | 2008-08-04 | アミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5245626B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9028654B2 (en) | 2012-02-29 | 2015-05-12 | Alstom Technology Ltd | Method of treatment of amine waste water and a system for accomplishing the same |
KR101484647B1 (ko) * | 2014-07-21 | 2015-01-22 | 주식회사 창원이앤이 | 폐유기용액 재생장치 |
JP6853661B2 (ja) * | 2016-12-15 | 2021-03-31 | オルガノ株式会社 | アミン含有排水の処理方法及び処理装置 |
WO2018074039A1 (ja) * | 2016-10-20 | 2018-04-26 | オルガノ株式会社 | アミン含有排水の処理方法及び処理装置 |
WO2020080008A1 (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | オルガノ株式会社 | 水酸化テトラアルキルアンモニウム含有液の処理システム及び処理方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3622227B2 (ja) * | 1993-05-26 | 2005-02-23 | 住友化学株式会社 | フォトレジスト含有廃液の濃縮方法 |
JPH10244280A (ja) * | 1997-03-03 | 1998-09-14 | Japan Organo Co Ltd | 水中の有機物除去装置 |
JP3480797B2 (ja) * | 1997-07-28 | 2003-12-22 | オルガノ株式会社 | 排水処理方法 |
JP4496795B2 (ja) * | 2003-11-18 | 2010-07-07 | 栗田工業株式会社 | 有機物含有排水の処理方法及び処理装置 |
-
2008
- 2008-08-04 JP JP2008200930A patent/JP5245626B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010036094A (ja) | 2010-02-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5633517B2 (ja) | 透過膜の阻止率向上方法及び透過膜 | |
JP5567468B2 (ja) | 有機性廃水の処理方法及び装置 | |
JP2007130523A (ja) | 水処理システムにおける膜洗浄方法 | |
JP5245626B2 (ja) | アミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収方法及び装置 | |
JP2007253115A (ja) | 有機物含有排水の処理方法及び処理装置 | |
JP4798644B2 (ja) | 逆浸透膜を用いる脱塩方法 | |
KR101932782B1 (ko) | 역침투막의 저지율 향상 방법, 저지율 향상 처리제 및 역침투막 | |
JP2008223115A (ja) | 塩水の処理方法 | |
JP2008132421A (ja) | 水処理装置および水処理方法 | |
JP2005288442A (ja) | 膜モジュールの洗浄方法 | |
JP2011173040A (ja) | 排水処理方法及び装置 | |
JP2017113729A (ja) | 膜洗浄剤、膜洗浄液及び膜の洗浄方法 | |
JP6123840B2 (ja) | 有機性排水の処理方法 | |
JP2012210568A (ja) | 現像廃液の再生装置及び再生方法 | |
JP5135697B2 (ja) | 界面活性剤含有排水の処理方法 | |
JPH05131191A (ja) | 洗浄排水の処理方法 | |
KR101305747B1 (ko) | 역삼투 농축수 무방류형 하이브리드 해수담수화 장치 및 방법 | |
JP2011104504A (ja) | 水処理設備の洗浄方法 | |
JP5106182B2 (ja) | 水処理方法および水処理装置 | |
JP2005324118A (ja) | 水処理方法及び水処理装置 | |
Qin et al. | Effects of pH and antiscalant on fouling of RO membrane for reclamation of spent rinse water from metal plating | |
TWI405050B (zh) | 自含氫氧化四烷銨之廢液回收及純化氫氧化四烷銨之方法 | |
JP2005224671A (ja) | 透過膜の洗浄方法 | |
JP6614175B2 (ja) | 有機性排水の処理方法 | |
TW201803811A (zh) | 有機性廢水的處理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110706 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121225 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160419 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |