JP5243101B2 - 破断装置 - Google Patents
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Description
そこで、本発明は、前記要望に応える改良技術を提供することを主な目的とする。
2 フレーム保持手段
3 保護テープ拡張手段
5 冷気導入手段
6 冷気吸引手段
10 ウエハ
11 フィルム状接着剤
12 環状フレーム
12a (環状フレーム12の)開口部
13 保護テープ
15 (デバイスを区画する)ストリート
21 (フレーム保持手段2を構成する)保持部材
22 (フレーム保持手段2を構成する)保持部材
A 冷気
P 冷却用プレート
P1,P2 通気性構造を有する冷却用プレート
Claims (1)
- 複数のデバイスがマトリクス状に形成されているウエハの裏面に貼付された、前記ウエハよりも大径のフィルム状接着剤を、環状フレームの開口部に装着された伸縮性を有する保護テープ上に貼着した状態で、前記デバイスを区画するストリートに沿って破断する破断装置であって、
前記環状フレームを所定箇所に保持するフレーム保持手段と、
前記保護テープを拡張する保護テープ拡張手段と、
前記破断を行う空間に冷気を送り込む冷気導入手段と、
前記ウエハが存在する前記フィルム状接着剤領域に、前記保護テープを介して接触可能とされた冷却用プレートと、
を少なくとも備え、
前記冷却用プレートは、該プレートの外周側面又は/及び外周近傍領域から前記冷気を該プレート内部に取り込むことができる多孔構造を備える通気性のプレートであり、
該冷却用プレートの裏面中央部に配置された冷気吸引手段を用いて、前記冷気を該プレート内に導入することを特徴とする破断装置。
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