JP5236330B2 - 貫通孔の検査方法および貫通孔の検査装置 - Google Patents
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貫通孔の透過光を撮像して画像データを入力し、
前記開口の前記2つの対称軸で区切られ、前記2つの対称軸の交点を挟んで対向する四半領域を、それぞれ一方の前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの四半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なうことを特徴とする貫通孔の検査方法である。
貫通孔の透過光を撮像して画像データを入力し、
第1の判定として、
前記開口の一方の対称軸を挟んで隣接する2つの半領域を、それぞれ前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なうとともに、
第2の判定として、
前記開口の前記2つの対称軸で区切られ、前記2つの対称軸の交点を挟んで対向する四半領域を、それぞれ一方の前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの四半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なうことを特徴とする貫通孔の検査方法である。
貫通孔の透過光を撮像して画像データを入力し、
第1の判定として、
前記開口の一方の対称軸を挟んで隣接する2つの半領域を、それぞれ前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行ない、
第2の判定として、
前記開口の前記2つの対称軸で区切られ、前記2つの対称軸の交点を挟んで対向する四半領域を、それぞれ一方の前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの四半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行ない、
第3の判定として、
前記開口形状の外周線を検出し、
検出した外周線を複数の区間に分けて、前記開口内の任意の始点から前記区間のそれぞれの外周線までの線分長さを算出し、
互いに隣接する前記区間の線分長さを比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なうことを特徴とする貫通孔の検査方法である。
貫通孔の透過光を撮像して画像データを入力する撮像手段と、
前記開口の前記2つの対称軸で区切られ、前記2つの対称軸の交点を挟んで対向する四半領域を、それぞれ一方の前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの四半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なう画像処理手段とを備えることを特徴とする貫通孔の検査装置である。
貫通孔の透過光を撮像して画像データを入力する撮像手段と、
第1の判定として、
前記開口の一方の対称軸を挟んで隣接する2つの半領域を、それぞれ前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なうとともに、
第2の判定として、
前記開口の前記2つの対称軸で区切られ、前記2つの対称軸の交点を挟んで対向する四半領域を、それぞれ一方の前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの四半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なう画像処理手段とを備えることを特徴とする貫通孔の検査装置である。
貫通孔の透過光を撮像して画像データを入力する撮像手段と、
第1の判定として、
前記開口の一方の対称軸を挟んで隣接する2つの半領域を、それぞれ前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行ない、
第2の判定として、
前記開口の前記2つの対称軸で区切られ、前記2つの対称軸の交点を挟んで対向する四半領域を、それぞれ一方の前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの四半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行ない、
第3の判定として、
前記開口形状の外周線を検出し、
検出した外周線を複数の区間に分けて、前記開口内の任意の始点から前記区間のそれぞれの外周線までの線分長さを算出し、
互いに隣接する前記区間の線分長さを比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なう画像処理手段とを備えることを特徴とする貫通孔の検査装置である。
図1は、本発明の実施の一形態である検査装置100の構成を示す概略図である。図2〜5は、貫通孔形状の検査アルゴリズムを説明するための図である。
貫通孔2の形状に対して良否の判定を行なうためには、まず貫通孔2を撮像した画像データから、貫通孔2の輪郭を抽出する必要がある。輪郭抽出処理は、公知の画像処理によって可能であり、例えば、以下のように抽出する。
参考形態では判定できないような場合でも、不良と判定されるようにするには、中心または重心を通り、互いに直交する対称軸3a,3bを設定する。2本の対称軸により、貫通孔2の輪郭は4つの領域に分割される。これら4つの領域を紙面右上から時計回りにそれぞれ四分領域6a,6b,6c,6dと呼ぶ。
対称軸は、第1実施形態と同じく2本設定するが、比較する区分領域は、一方の対称軸3aで分割される一方の半円領域2bに含まれる区分領域5aと、他方の対称軸3bで分割される2つの半円領域2c,2dのうち、一方の対称軸3aで分割される一方の半円領域2bを、対称軸3a,3bの交点4を中心に90度回転させた半円領域2dに含まれる区分領域5bである。
異物7が付着していた貫通孔2を撮像した場合には、図8A(a)のような画像データが取得される。これを単純に輪郭線抽出すると、図8A(b)のような輪郭が抽出される。輪郭内で所定の始点Sを設定し、この始点Sを通る直線8からx方向に輪郭を探索する。輪郭が検出された場合は、その位置をx方向の仮の外周線とし、その先は探索しない(図8A(c))。このような探索を、始点Sを通り、直線8に直交する直線9からy方向に輪郭を探索する。輪郭が検出された場合は、その位置をy方向の仮の外周線とし、その先は探索しない(図8B(d))。
参考形態を用いた場合には、対称軸をY軸とし、左右の各区分領域の画素数の比較をした。ここでは、差分値の総和を用いて判定した、差分値の総和が10以上であれば不良(NG)と判断される。総和が10より小さければ良品(OK)と判断される。参考形態を用いた場合には、左右対称となるような孔詰まりがあれば、本来不良となるはずが差分値は小さくなるので良品と判断される可能性がある。したがって、対称軸をX軸とした場合の判定も行ない、少なくともいずれかの判定結果が不良であれば、総合判定は不良とし、どちらの判定結果も良品であれば、総合判定は良品とした。
2 貫通孔
3 対称軸
4 交点
5 区分領域
10 ステージ
11 照明
12 撮像装置
13 画像処理装置
100 検査装置
Claims (8)
- 被検査物に形成された、互いに直交する2つの対称軸に対して対称な貫通孔の開口形状を検査する検査方法であって、
貫通孔の透過光を撮像して画像データを入力し、
前記開口の前記2つの対称軸で区切られ、前記2つの対称軸の交点を挟んで対向する四半領域を、それぞれ一方の前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの四半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なうことを特徴とする貫通孔の検査方法。 - 被検査物に形成された、互いに直交する2つの対称軸に対して対称な貫通孔の開口形状を検査する検査方法であって、
貫通孔の透過光を撮像して画像データを入力し、
第1の判定として、
前記開口の一方の対称軸を挟んで隣接する2つの半領域を、それぞれ前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なうとともに、
第2の判定として、
前記開口の前記2つの対称軸で区切られ、前記2つの対称軸の交点を挟んで対向する四半領域を、それぞれ一方の前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの四半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なうことを特徴とする貫通孔の検査方法。 - 前記貫通孔の開口形状が、90度回転させたときに対称な形状であり、
前記第1の判定における前記開口の前記2つの対称軸の内の一方の前記対称軸を挟んで隣接する前記半領域の内の一方を、前記2つの対称軸の他方の対称軸で区切られた半領域とすることを特徴とする請求項2記載の貫通孔の検査方法。 - 被検査物に形成された、互いに直交する2つの対称軸に対して対称な貫通孔の開口形状を検査する検査方法であって、
貫通孔の透過光を撮像して画像データを入力し、
第1の判定として、
前記開口の一方の対称軸を挟んで隣接する2つの半領域を、それぞれ前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行ない、
第2の判定として、
前記開口の前記2つの対称軸で区切られ、前記2つの対称軸の交点を挟んで対向する四半領域を、それぞれ一方の前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの四半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行ない、
第3の判定として、
前記開口形状の外周線を検出し、
検出した外周線を複数の区間に分けて、前記開口内の任意の始点から前記区間のそれぞれの外周線までの線分長さを算出し、
互いに隣接する前記区間の線分長さを比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なうことを特徴とする貫通孔の検査方法。 - 前記第1の判定における前記開口の前記2つの対称軸の内の一方の前記対称軸を挟んで隣接する前記半領域の内の一方を、前記2つの対称軸の他方の対称軸で区切られた半領域とすることを特徴とする請求項4記載の貫通孔の検査方法。
- 被検査物に形成された、互いに直交する2つの対称軸に対して対称な貫通孔の開口形状を検査する検査装置であって、
貫通孔の透過光を撮像して画像データを入力する撮像手段と、
前記開口の前記2つの対称軸で区切られ、前記2つの対称軸の交点を挟んで対向する四半領域を、それぞれ一方の前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの四半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なう画像処理手段とを備えることを特徴とする貫通孔の検査装置。 - 被検査物に形成された、互いに直交する2つの対称軸に対して対称な貫通孔の開口形状を検査する検査装置であって、
貫通孔の透過光を撮像して画像データを入力する撮像手段と、
第1の判定として、
前記開口の一方の対称軸を挟んで隣接する2つの半領域を、それぞれ前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なうとともに、
第2の判定として、
前記開口の前記2つの対称軸で区切られ、前記2つの対称軸の交点を挟んで対向する四半領域を、それぞれ一方の前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの四半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なう画像処理手段とを備えることを特徴とする貫通孔の検査装置。 - 被検査物に形成された、互いに直交する2つの対称軸に対して対称な貫通孔の開口形状を検査する検査装置であって、
貫通孔の透過光を撮像して画像データを入力する撮像手段と、
第1の判定として、
前記開口の一方の対称軸を挟んで隣接する2つの半領域を、それぞれ前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行ない、
第2の判定として、
前記開口の前記2つの対称軸で区切られ、前記2つの対称軸の交点を挟んで対向する四半領域を、それぞれ一方の前記対称軸に直交する方向に、前記対称軸から開口の輪郭まで延びる複数の区分領域に区分し、
2つの四半領域にそれぞれ含まれ、対応する2つの区分領域の画素数を比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行ない、
第3の判定として、
前記開口形状の外周線を検出し、
検出した外周線を複数の区間に分けて、前記開口内の任意の始点から前記区間のそれぞれの外周線までの線分長さを算出し、
互いに隣接する前記区間の線分長さを比較し、
その比較結果に応じて開口形状の良否判定を行なう画像処理手段とを備えることを特徴とする貫通孔の検査装置。
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