JP5235329B2 - Xyテーブルアクチュエータ - Google Patents
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- 固定プレートと、この固定プレートに積み重ねられると共に該固定プレートに対してX方向へ移動自在な中間プレートと、この中間プレートに積み重ねられると共に該中間プレートに対してY方向へ移動自在な可動プレートと、前記固定プレートに対して中間プレートをX方向へ推進するX方向リニアモータと、前記可動プレートを前記中間プレートに対してY方向へ推進するY方向リニアモータと、前記X方向モータ及びY方向モータに動力ケーブルを介して駆動電流を供給するドライバとから構成され、
前記Y方向リニアモータは、前記中間プレートに搭載される固定子マグネットと、前記可動プレートに搭載されるコイル部材とから構成され、
前記ドライバから前記Y方向リニアモータのコイル部材に対して駆動電流を供給する動力ケーブルは特定方向へ自在に湾曲可能な平帯状のフレキシブルプリント基板からなり、
前記動力ケーブルは、L字状に成形され、前記中間プレートに固定される中間部と、この中間部に対して90°屈曲すると共に当該中間部と前記コイル部材を接続し前記中間プレートに対する可動プレートのY方向の動きを許容するY方向余裕部と、前記中間部に対して90°屈曲して当該中間部から連続すると共に湾曲可能方向をX方向に合致させた状態で前記コントローラに接続されるX方向余裕部と、から構成されることを特徴とするXYテーブルアクチュエータ。
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