JP5235322B2 - 原版データ作成方法及び原版データ作成プログラム - Google Patents
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Description
110 照明装置
130 マスク
117 偏光制御手段
140 投影光学系
174 基板
Claims (20)
- 原版を照明装置で照明し、投影光学系を介して前記原版のパターンの像を基板上に投影し、前記基板に目標パターンを形成する際に使用する前記原版のデータを作成する原版データ作成方法において、
前記照明装置が前記投影光学系の瞳面に形成する光の強度分布を表す関数と、原点を一定量ずらした前記投影光学系の瞳関数との積を、前記瞳関数の複素共役関数をずらした関数と畳み込み積分をして、前記複素共役関数のずれの2次元の関数である2次元相互透過係数を求めるステップと、
前記2次元相互透過係数と前記投影光学系の物体面におけるパターンのデータとに基づいて、前記投影光学系の像面における空中像の複数の成分のうち少なくとも1つの成分を用いて、前記空中像の近似である近似空中像を算出する空中像算出ステップと、
前記近似空中像に基づいて前記原版のパターンのデータを作成する原版データ作成ステップとを備えることを特徴とする原版データ作成方法。 - 前記空中像算出ステップにおいて、前記複数の成分のうち、1つの成分のみを用いて、前記近似空中像を算出することを特徴とする請求項1に記載の原版データ作成方法。
- 前記空中像算出ステップにおいて、前記複数の成分のうち、2つ以上の成分を足し合わせて、前記近似空中像を算出することを特徴とする請求項1に記載の原版データ作成方法。
- 前記原版データ作成ステップにおいて、前記近似空中像を位置で微分した値が零になる位置に補助パターンを配置して、前記原版のパターンのデータを作成することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の原版データ作成方法。
- 前記原版データ作成ステップにおいて、前記近似空中像の閾値に基づいて決定された領域の重心に補助パターンを配置して、前記原版のパターンのデータを作成することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の原版データ作成方法。
- 前記原版データ作成ステップにおいて、前記原版のパターンを構成する主パターンの中心位置を前記目標パターンの中心位置からずらして、前記原版のパターンのデータを作成することを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の原版データ作成方法。
- 前記空中像算出ステップにおいて算出される近似空中像を構成する成分の1つは、前記投影光学系の瞳面に形成される光の強度分布を表す関数と、原点のずれがない前記瞳関数との積を前記瞳関数の複素共役関数をずらした関数と畳み込み積分をして求められる2次元相互透過係数と、前記投影光学系の物体面のパターンによる回折光分布を表す関数の複素共役関数とを掛け合わせてフーリエ変換することによって得られる成分であることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の原版データ作成方法。
- 前記瞳関数が前記投影光学系の収差の情報を含んでいることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の原版データ作成方法。
- 前記照明装置が前記投影光学系の瞳面に形成する光の強度分布を表す関数が偏光の情報を含んでいることを特徴とする請求項1乃至8の何れか1項に記載の原版データ作成方法。
- 前記原版データ作成ステップにおいて、複数の要素を有するパターンのデータを処理対象として、前記近似空中像の閾値に基づいて決定された領域が前記複数の要素の位置に重ならない場合に、前記照明装置が前記投影光学系の瞳面に形成する光の強度分布を表す関数を新たに設定し、新たに設定された前記関数に基づいて前記原版のパターンのデータを作成することを特徴とする請求項1乃至9の何れか1項に記載の原版データ作成方法。
- 前記原版データ作成ステップにおいて、原点から前記近似空中像の閾値に基づいて決定された領域へ至る基準ベクトルを特定する特定ステップと、
複数の要素を有するパターンデータから1つの要素を選択し、選択された要素の中心を始点として前記基準ベクトルを配置したときに前記基準ベクトルの終点と重なる位置にある要素を前記パターンデータから取り除き、前記パターンデータとは異なる第1のパターンデータを作成する第1のデータ作成ステップと、
前記第1のパターンデータを作成するときに取り除かれた要素を有する第2のパターンデータを作成する第2のデータ作成ステップとを備え、
第1のパターンデータ及び第2のパターンデータに基づいて前記原版のパターンのデータを作成することを特徴とする請求項1乃至10の何れか1項に記載の原版データ作成方法。 - 前記2次元相互透過係数は、前記投影光学系の瞳面における2次元の座標を(f、g)とすると、前記照明装置が前記投影光学系の瞳面に形成する光の強度分布を表す関数をS(f、g)と、前記瞳関数をP(f、g)を定数(f´、g´)だけずらした関数P(f+f´、g+g´)との積を、前記瞳関数の複素共役関数P*(f、g)を変数(f´´、g´´)だけずらした関数と畳み込み積分した2次元の関数であることを特徴とする請求項1乃至11の何れか1項に記載の原版データ作成方法。
- 前記空中像算出ステップにおいて、前記瞳関数のずれ量を少なくとも1つ定めることにより求められる前記2次元相互透過係数と前記投影光学系の物体面におけるパターンのデータとに基づいて、前記投影光学系の像面における空中像の複数の成分のうち少なくとも1つの成分を用いて前記近似空中像を算出することを特徴とする請求項1乃至12の何れか1項に記載の原版データ作成方法。
- 請求項1乃至13の何れか1項に記載された原版データ作成方法により作成された原版のデータを用いて原版を作成することを特徴とする原版作成方法。
- 請求項14に記載された原版作成方法により作成された原版を照明装置で照明し、投影光学系を介して前記原版のパターンの像を基板上に投影することを特徴とする露光方法。
- 請求項15に記載された露光方法を用いて基板上のレジストを露光する露光ステップと、
前記露光ステップで露光されたレジストを現像するステップとを備えることを特徴とするデバイス製造方法。 - 原版を照明装置で照明し、投影光学系を介して前記原版のパターンの像を基板上に投影し、前記基板に目標パターンを形成する際に使用する前記原版のデータをコンピュータに作成させる原版データ作成プログラムにおいて、
前記照明装置が前記投影光学系の瞳面に形成する光の強度分布を表す関数と、原点を一定量ずらした前記投影光学系の瞳関数との積を、前記瞳関数の複素共役関数をずらした関数と畳み込み積分をして、前記複素共役関数のずれの2次元の関数である2次元相互透過係数を求めるステップと、
前記2次元相互透過係数と前記投影光学系の物体面におけるパターンのデータとに基づいて、前記投影光学系の像面における空中像の複数の成分のうち少なくとも1つの成分を用いて、前記空中像の近似である近似空中像を算出する空中像算出ステップと、
前記近似空中像に基づいて前記原版のパターンのデータを作成する原版データ作成ステップとを備えることを特徴とする原版データ作成プログラム。 - 原版を照明装置で照明し、投影光学系を介して前記原版のパターンの像を基板上に投影し、前記基板に目標パターンを形成する際の、前記照明装置が前記投影光学系の瞳面に形成する光強度分布を決定する方法において、
前記光強度分布を表す関数を設定する設定ステップと、
前記設定ステップにおいて設定された前記光強度分布を表す関数と、原点を一定量ずらした前記投影光学系の瞳関数の積を、前記瞳関数の複素共役関数をずらした関数と畳み込み積分をして、前記複素共役関数のずれの2次元の関数である2次元相互透過係数を求めるステップと、
前記投影光学系の物体面におけるパターンのうち1つの要素のデータと前記2次元相互透過係数とに基づいて、前記投影光学系の像面における空中像の複数の成分のうち少なくとも1つの成分を用いて、前記空中像の近似である近似空中像を算出する空中像算出ステップと、
前記近似空中像の閾値に基づいて決定された領域が前記パターンが有する複数の要素の位置に重ならない場合に、前記光強度分布を表す関数を更新して、前記光強度分布を決定するステップとを有することを特徴とする方法。 - 原版を照明装置で照明し、投影光学系を介して前記原版のパターンの像を基板上に投影し、前記基板に目標パターンを形成する際に使用する前記原版のデータを作成する原版データ作成方法において、
前記照明装置が前記投影光学系の瞳面に形成する光の強度分布を表す関数と前記投影光学系の瞳関数との畳み込み積分をしてフーリエ変換をすることで得られる関数と、前記投影光学系の物体面におけるパターンを表す関数との畳み込み積分をして、前記像面における空中像の近似である近似空中像を求める空中像算出ステップと、
前記近似空中像に基づいて前記原版のパターンのデータを作成する原版データ作成ステップとを備えることを特徴とする原版データ作成方法。 - 原版を照明装置で照明し、投影光学系を介して前記原版のパターンの像を基板上に投影し、前記基板に目標パターンを形成する際に使用する前記原版のデータをコンピュータに作成させる原版データ作成プログラムにおいて、
前記照明装置が前記投影光学系の瞳面に形成する光の強度分布を表す関数と前記投影光学系の瞳関数との畳み込み積分をしてフーリエ変換をすることで得られる関数と、前記投影光学系の物体面におけるパターンを表す関数との畳み込み積分をして、前記像面における空中像の近似である近似空中像を求める空中像算出ステップと、
前記近似空中像に基づいて前記原版のパターンのデータを作成する原版データ作成ステップとを備えることを特徴とする原版データ作成プログラム。
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