JP5221365B2 - 超音波リードスクリューモーターを含む機構 - Google Patents

Description

技術分野
ねじ山付きシャフトおよびそれと係合したナットを含む小型超音波リニアモーターアセンブリを含む撮像素子。

関連特許出願の相互参照
本出願は、2004年9月13日に出願された本出願人の同時係属出願である米国特許出願第10/918,041号（そしてこれは2003年9月8日に出願された米国特許出願第10/657,325号の一部継続出願である）の一部継続出願である、2005年6月14日に出願された米国特許出願第11/152,805号の一部継続出願である。前述の特許出願の各内容は、参照により本明細書に組み入れられる。

背景技術
圧電・電歪、静電または電磁技術を使用する変換器は、ナノメートルスケールでの精密な位置決めに非常に有用である。圧電素子の場合、セラミックスがコンデンサに形成され、このコンデンサが、充電され、放電するとき、形を変えて力変換器または位置アクチュエータを形成する。位置アクチュエータとして使用される場合、圧電セラミックスの形状変化は概ね印加電圧に比例する。圧電アクチュエータは、数十マイクロメートルの一般的なストローク長に相当する、セラミックスの長さの約0.1％までの範囲に限定される。高剛性およびナノメートル精度の圧電アクチュエータは非常に有用であるが、多くの用途にはより大きなストロークが求められる。

小さなセラミックス形状変化を「修正」し、より長いストロークを生み出すために、数多くの圧電モーター設計が開発されている。

PZTステッピングモーターが米国特許第3,902,084号（特許文献1）に記載されている。この米国特許の開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。このモーターは、掴み・伸び・掴み・縮みの作動シーケンスを使用して多くの短いPZTアクチュエータサイクルを統合する。このステッピングリニアアクチュエータは、DCから数キロヘルツまでの振動数で作動し、それが大きな騒音および振動を生じさせる。電源オフ時には位置は維持されない。1ナノメートルよりも優れた分解能が200ミリメートルの動程で達成される。

PZT慣性スティックスリップモーターが米国特許第5,410,206号（特許文献2）に記載されている。この米国特許の開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。このモーターは、シャフトをその両側で把持する「ジョー（"jaws"）」を形成する割りナットを使用して、細目ねじ山付きシャフトを回転させる。PZTアクチュエータは、非対称交流駆動信号によってジョーを両方向に高速で動かす。高速ジョー運動が掴み摩擦に打ち勝ち、滑りを作り出す。より低速のジョー運動はシャフトを滑らせず、回転させない。このスティックスリップモーターは、上記ステッピングモーターと同様な騒音および振動を引き起こすが、100倍の低速さで動き、電源がオフにされたときでも位置を保持する。50ナノメートルよりも優れた分解能が25ミリメートルの動程で達成される。

超音波モーターは、圧電発生振動を使用して高速、高トルク、小型かつ静穏な作動の連続運動を作り出す。

もっとも初期の超音波圧電モーターの一つが米国特許第3,176,167号（特許文献3）に記載されている。この米国特許の開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。この一方向回転モーターは、クロック機構を駆動する目的で、水晶発振子を使用して細いロッドを動かし、ラチェットホイールを駆動する。

定在波超音波モーターの一例が米国特許第5,453,653号（特許文献4）に記載されている。この米国特許の開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。このモーターは、長方形のPZTプレートを使用して、移動面に対してプレロードされる接触点の超音波揺動を発生させる。PZTプレート上の電極パターンが交流信号に接続され、合わせ面に対する正味の力を発生させるのに必要な振幅および位相で接触端の二次元揺動を発生させる。この超音波モーターは静穏であり、ステッピングモーターの100倍の高速さでありながらも約1/3の力を生じさせる。一般に、超音波モーターは停止および始動が困難であり、それが精度を制限する。マイクロメートル未満の分解能を達成するためには、閉ループ制御のエンコーダが一般に必要である。

超音波振動を使用してねじ山付きロッドを駆動するための装置がたとえばKatsuyuki Fujimuraの米国特許第6,147,435号（特許文献5）に記載されている。この特許の開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。この特許は、以下のように開示し、特許請求している。「超音波振動によってスクリューロッドを駆動するための機構であって、それ自体の軸方向に沿ってらせん状に形成された溝部を備えたスクリューロッドと、該スクリューロッドの両端を回転自在に保持する1対のスタンドと、該スクリューロッドを部分的に包囲し、該スクリューロッドの軸方向に摺動自在のワークラックと、該ワークラックの片側に固着され、該ワークラックから該スクリューロッドまで延びる少なくとも一つの第一のスクリューロッド回転装置であって、該スクリューロッドの該溝部と第一の指定角度で接触する第一の振動子、該第一の振動子を該スクリューロッドの該溝部に向けて指定の圧力で付勢する第一のばねおよび電気的に活性化されると該第一の振動子を振動させて該スクリューロッドを第一の回転方向に回転させるための第一の圧電アクチュエータを含む、少なくとも一つの第一のスクリューロッド回転装置と、該ワークラックのもう一方の側に固着され、該ワークラックから該スクリューロッドまで延びる少なくとも一つの第二のスクリューロッド回転装置であって、該スクリューロッドの該溝部と該第一の指定角度とは反対の第二の指定角度で接触する第二の振動子、該第二の振動子を該スクリューロッドの該溝部に向けて指定の圧力で付勢する第二のばねおよび電気的に活性化されると該第二の振動子を振動させて該スクリューロッドを第二の回転方向に回転させるための第二の圧電アクチュエータを含む、少なくとも一つの第二のスクリューロッド回転装置とを含む、機構」。

米国特許第6,147,435号（特許文献5）の装置は、「第一のスクリューロッド回転装置」および「第二のスクリューロッド回転装置」を要する。これらは、図3で、たとえば要素16a'および16d'（そのような第一のスクリューロッド回転装置を含む）ならびに要素16b'および16c'（そのような第二のスクリューロッド回転装置を含む）として示されている。さらに米国特許第6,147,435号（特許文献5）を参照すると、要素16a'および16d'が超音波振動によって活性化されると、スクリューロッド2は一つの方向に回転させられ、要素16b'および16c'が超音波振動によって活性化されると、スクリューロッド2は反対方向に回転させられる。

要素16a'/16d'および16b'/16c'は同時に活性化されることは決してない。同時に活性化されるならば、エネルギーを浪費するうえ、スクリューロッド2を静止したままにするであろう。

しかし、そのような要素16a'/16d'および16b'/16c'が同時に活性化されない場合でも、エネルギーの浪費はある。非活性化対の要素もなおスクリューロッド2のねじと接触しており、それにより、摩擦抵抗を起こさせるからである。

この摩擦抵抗が米国特許第6,147,435号（特許文献5）の装置の問題点である。この特許の請求項2に記載されているように、この特許の装置によってこの問題をいくらか解消するため、「該第一および第二の圧電アクチュエータの一方が電気的に活性化されているとき、非常に小さな量の電流が該第一および第二の圧電アクチュエータの他方に供給される」。米国特許第6,147,435号（特許文献5）の装置の効率はそれほど高くはない。

本発明の目的は、米国特許第6,147,435号（特許文献5）の効率よりも実質的に高い効率を有しながらも同様なサイズの他の超音波モーターによって一般に達成されるよりも高い精度、力および速度を提供する、超音波振動によってねじ山付きシャフトを駆動するための機構を提供することである。

本発明のもう一つの目的は、ねじ山付きシャフトを駆動するための前述の機構を含む撮像素子を提供することである。

米国特許第3,902,084号 米国特許第5,410,206号 米国特許第3,176,167号 米国特許第5,453,653号 米国特許第6,147,435号

発明の開示
本発明にしたがって、ねじ山付きシャフトアセンブリを駆動するための少なくとも1つの装置に接続された、焦点調節およびズームのための光学要素を含み、ねじ山付きシャフトアセンブリを駆動するための少なくとも1つの装置が、ねじ山付きシャフトおよびそれと係合したナットを含む、光学アセンブリが提供される。アセンブリは、該ナットを超音波振動に供し、それによって該シャフトを回転させて軸方向に平行移動させるための手段を含む。アセンブリはまた、該シャフトに軸力を加えるための手段を含む。

発明を実施するための最良の形態
本明細書の最初の部分では、本出願人は、小型超音波リニアモーターを記載する。本明細書の第二の部分では、本出願人は、そのようなモーターに接続された光学素子を含む光学アセンブリを記載する。

本発明の一つの態様では、小型超音波リニアモーターがリードスクリューを回転させて直線運動を生じさせる。円筒が、超音波範囲の第一の曲げモード共振振動数でねじ山付きナットを支持する。円筒およびナットは、円筒の端部でナットを周回させる変換器により、この共振振動数で励起される。変換器は、圧電変換器、電歪変換器、静電変換器、電磁変換器または共振振動を刺激することができる他の装置であることができる。円筒の直交曲げモードをプラスまたはマイナス90°の位相ずれで励起すると同時に円軌道を作り出すためには、少なくとも2個の変換器が必要である。締り嵌めねじ山付きシャフトがナット内に設置される。弾性の軸方向荷重が低摩擦継手を介してシャフトに加えられる。ナットはその共振振動数で周回し、シャフトの慣性がそれをセンタリング状態に維持する。ナットの軌道が、シャフトを回転させ、直線運動を作り出すトルクを発生させる。少なくとも二つの交流駆動信号が変換器に必要である。駆動振動数は、機械的振動数を励起し、位相を制御してナットの円軌道を達成しなければならない。駆動信号振幅の変調および周期が速度を制御する。駆動信号間の位相ずれはプラスでもマイナスでもよく、それがナット軌道およびシャフト回転／平行移動の方向を逆転させる。この態様および他の好ましい態様を本明細書の残り部分でさらに詳細に説明する。

特定の理論に拘束されることを望まないが、本出願人は、出願人の超音波リニアアクチュエータの一つの作動原理が、円筒管の一端または両端を回転させることなく円筒軸を中心に周回させる円筒管の第一の曲げ共振の励起であると考える。この態様では、管の一端が、同じく嵌合するねじ山付きシャフトを中心に周回し、周回するとき摩擦を介して接線力を付与してねじ山付きシャフトを回転させるねじ山付きナットを収容する。ねじ中の摩擦は、それがねじを直接駆動するため、有用である。これは、ねじ接触摩擦が寄生的であり、ワインドアップ、バックラッシュおよび遅い応答を作り出す従来のリードスクリュー駆動とは非常に対照的である。本態様で使用されるらせんねじのもう一つの有意な利点は、大きな機械的利点のある、回転から平行移動への直接的な変換であり、これが、軸力を拡大し、線速度を落とし、その結果、精度を高める。

この態様では、変換器は、荷重経路の内外いずれでも、好ましくは、第一の曲げモードを励起するために使用される。使用することができる変換器の例は、たとえばいくつか挙げるならば、圧電要素およびスタック、磁気歪材料および静電材料である。このリストはすべての変換器材料を包含するわけではなく、円筒管または同様な形状のブロックの第一の曲げ共振を励起し、一方または両方の管端部の軌道を達成するために使用することができる任意の材料または機構が、この特許で具現化されるということが理解されるべきである。本明細書に記載する態様は圧電材料を使用するが、上記の代替変換器材料を用いても同じく容易に具現化することができる。

図1〜6を参照すると、その中で示されている好ましい態様で、超音波リニアモーター10が示されている。図示する態様では、4枚の長方形の圧電プレートを使用して超音波振動を発生させる。図1には示さないもう一つの態様では、他の手段を使用して超音波振動を発生させてもよい。

本明細書で使用する「超音波」とは、20,000ヘルツを超える動作振動数をいう。一つの態様では、動作振動数は少なくとも約25,000ヘルツである。もう一つの態様では、動作振動数は少なくとも約50,000ヘルツである。さらに別の態様では、動作振動数は少なくとも約100,000ヘルツである。

本明細書で使用する「リニアモーター」とは、力および／または変位を発生させることによって実質的に直線の運動を生じさせるアクチュエータをいう。たとえば、米国特許第5,982,075号（超音波リニアモーター）、第5,134,334号（超音波リニアモーター）、第5,036,245号（超音波リニアモーター）、第4,857,791号（リニアモーター）などを参照することができる。これらの米国特許それぞれの開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。

再び図1〜6を参照すると、その中で示されている好ましい態様で、球状のボールチップ26を有するねじ山付きシャフト12が回転し、軸方向の力および動きを生じさせることが見てとれる。

ねじ山付きシャフト12は、好ましくは、ハウジング14内に可動的に配置される。ねじ山付きシャフト12の長さ15（図5を参照）は、好ましくは、ハウジング14の長さ13を少なくとも約10ミリメートル超える長さである。一つの態様では、長さ15は、長さ13を少なくとも25ミリメートル超える長さである。もう一つの態様では、長さ15は、長さ13を少なくとも50ミリメートル超える長さである。

一つの態様で、ねじ山付きシャフト12は、ハウジング14の第一の固有振動数の約0.2倍未満の大きさである第一の固有振動数を有する。もう一つの態様では、ねじ山付きシャフト12の第一の固有振動数は、ハウジング14の第一の固有振動数の約0.1倍未満の大きさである。

本明細書で使用する「第一の固有振動数」とは、第一の正規モード振動の振動数をいう。たとえば、McGraw-Hill Dictionary of Scientific and Technical Terms, Fourth Edition（McGraw-Hill Book Company, New York, New York, 1989の1253ページを参照すること。また、Eugene A. Avalloneらの「Mark’s Standard Handbook for Mechanical Engineers」（McGraw-Hill Book Company, New York, New York, 1978）の5-59〜5-70ページ（「Natural Frequencies of Simple Systems）を参照してもよい。同じく、米国特許第6,125,701号、第6,591,608号、第6,525,456号、第6,439,282号、第6,170,202号、第6,101,840号などを参照してもよい。これらの米国特許それぞれの開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。

図示する態様では、ナット16の軌道運動は、図18でわかりやすく示すように、軸中心線（図2を参照）に対して平行な面で互いに対して直交方向に作用する二つの正規モード振動の存在によって作り出される。これらの二つの直交正規モード振動は、活性化された変換器（たとえばプレート18、20、22および24）とハウジング14との相互作用によって提供され、そのような相互作用が、ナット16の軌道運動を引き起こし、それが他方でねじ山付きシャフト12の回転および平行移動を引き起こす。

一つの態様で、ナット16の第一の固有共振振動数は、好ましくは、モーターアセンブリ10の動作振動数の少なくとも5倍の大きさである。したがって、ナット16は実質的に剛体であることが好ましい。

一つの態様で、ねじ山付きシャフト12は、実質的にステンレス鋼である金属から製造される。この態様では、ねじ山付きシャフト12は、実質的に黄銅である金属から製造されるねじ山付きナット16と係合する。

明らかであるように、ねじ山付きシャフト12およびねじ山付きナット16には、摩耗およびかじりが最小限になるような材料の組み合わせを使用することが好ましい。そのような摩耗およびかじりを同じく最小限にする他の材料の組み合わせを本発明で使用してもよい。

再び図1を参照すると、ねじ山付きシャフト12が、好ましくはらせん溝の形態にある多数のねじ17を含むことが見てとれる。一つの態様では、ねじ17は、1インチあたり約250本未満、好ましくは1インチあたり約200本未満のピッチを有する。もう一つの態様では、ねじ17は1インチあたり約100本未満のピッチを有する。この態様の一つの局面では、ねじ17は1インチあたり約40〜約80本のピッチを有する。

ねじ17は、好ましくは、図18（図36をも参照）でわかりやすく示すように、ナット16の雌ねじ19と係合する。一つの好ましい態様では、雌ねじ19のピッチは、雄ねじ17のピッチと実質的に等しい。

説明しやすくするため、ねじ17および19は、完全に係合した状態で示すが（図5A、5B、18および36を除く）、好ましくは、ねじ17とねじ19との間には、ねじ17および／またはねじ19のねじ山高さ33/35の約0.5倍未満の直径方向の隙間がある。この直径方向の隙間は図5Aでわかりやすく示されている。この直径方向隙間を測定するための手段は周知である。たとえば、米国特許第6,145,805号、第5,211,101号、第4,781,053号、第4,277,948号、第6,257,845号、第6,142,749号などを参照することができる。これらの米国特許それぞれの開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。同じく、前述の「Marks Standard Handbook for Mechanical Engineers」の8〜9ページ以降（「Machine Elements」）を参照してもよい。

図5Aを参照すると、ねじ17と19との間の一つの好ましい係合形態が示されている。この図から見てとれるように、各ねじ17は先端29を有し、各ねじ19は先端31を有する。さらには、各ねじ17および19はねじ山高さ33および35をそれぞれ有する。

再び図1を参照すると、その中で示されている好ましい態様で、ねじ山付きシャフト12の回転が、振動ハウジング14に接続されたねじ山付きナット16の超音波軌道によって生じることが見てとれる。図示する態様では、ねじ山付きナット16は、好ましくは、ハウジング14に接続されている。これは図2でわかりやすく示されている。

図2を参照すると、その中で示されている好ましい態様で、ナット16がオリフィス11の中に配置されることが見てとれる。ナット16は、通常の手段、たとえばプレス嵌めおよび／または接着手段などによってオリフィス11の中に固着される。

図1および2に示す好ましい態様では、ナット16は円筒形ナットである。図示しないもう一つの態様では、ナット16は、正方形、六角形、八角形などを有することができる多角形ナットである。

再び図1および2を参照すると、その中で示されている好ましい態様で、多数のセラミックスプレート18等がハウジング14の外面37に取り付けられていることが見てとれる。

セラミックスプレート18等は、電圧、特に電圧の変化を受けたときそれぞれの長さを変化させることが好ましい。本明細書で使用し、本明細書の他の部分でも記載される、これらのセラミックスプレートは、「活性セラミックスプレート」と記すこともできる。一つの態様で、活性セラミックスプレート18等は、圧電プレート、電歪プレートおよびそれらの組み合わせからなる群より選択される。説明しやすくするため、少なくとも図1および2の態様は、圧電プレートを参照しながら説明する。

図2に示す態様では、4枚の圧電プレート18、20、22および24がハウジングの外面37に接合され、各圧電プレート上の電極21および23（図4を参照）への交流電気駆動信号によって励起されると、ナット16の軌道振動を発生させる。

一つの態様では、そのような圧電プレートの2枚だけ、すなわちプレート18および20だけが使用される。もう一つの態様では、8枚以上の圧電プレートが使用される。使用される圧電プレートの枚数にかかわらず、直交面39および41（図2を参照）での動きを励起するのに十分な数のプレートが使用される。

説明しやすくするため、4枚の圧電プレート18、20、22および24を論じる。これらのプレートは、好ましくは、ハウジング14の対応する外面37に対し、そのような外面37と完全に接触するように接合される。

圧電プレート18等は、図4にわかりやすく示すように、電極21および23によって電圧源に接続されている。明らかであるように、説明しやすくするため、電極21および23の接続は、圧電プレート20に対するもののみを示すが、他の圧電プレートに関しても同等な接続が設けられるということが理解されよう。

図4およびその中で示されている好ましい態様を参照すると、4個の内側電極23すべてがアース25に接続されていることが見てとれる。この態様では、圧電材料は、低い誘電損および高い減分極（depoling）電圧を有する一般に利用可能な「硬い」組成物である。したがって、たとえば、Bedsford OhioのMorgan Matroc companyによって「PZT-4」として販売されている圧電材料を使用することができる。この好ましい材料は一般にいくつかの重要な性質を有する。

したがって、好ましい材料は、好ましくは、約20,000ヘルツを超える振動数で約1％未満、好ましくは約0.5％未満の誘電損率を有する。一つの態様では、誘電損率は、約20,000ヘルツを超える振動数で約0.4％である。

したがって、好ましい材料は、少なくとも約250ピコクーロン／ニュートン、好ましくは少なくとも約270ピコクーロン／ニュートンのd33圧電電荷係数（piezoelectric charge coefficient）を有する。一つの態様で、好ましい材料は約285ピコクーロン／ニュートンのd33圧電電荷係数を有する。

したがって、好ましい材料は、少なくとも約-90ピコクーロン／ニュートン、より好ましくは少なくとも約-105ピコクーロン／ニュートンのd31圧電電荷係数を有する。一つの態様で、d31圧電電荷係数は約-115ピコクーロン／ニュートンである。

一つの態様で、好ましい材料は、少なくとも約2500ピコクーロン／ニュートンのd33圧電電荷係数および少なくとも約900ピコクーロン／ニュートンのd31圧電電荷係数を有する単結晶材料である。

適当な材料の説明のため、また、限定ではなく例示のために、たとえば米国特許第3,736,532号および第3,582,540号を参照することができる。これらの米国特許それぞれの開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。

さらなる例示として、当業者には公知であるように、低誘電損圧電材料が当業者に公知である。たとえば、米国特許第5,792,379号（低損失PZTセラミックス組成物）を参照することができる。この米国特許の開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。

一つの態様で、圧電材料は単結晶圧電材料である。これらの材料は当技術分野で公知である。たとえば、米国特許第5,446,330号、第5,739,624号、第5,814,917号、第5,763,983号（単結晶圧電変圧器）、第5,739,626号、第5,127,982号などを参照することができる。これらの米国特許それぞれの開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。

再び図4を参照すると、その中で示されている好ましい態様で、圧電プレート18、20、22および24の軸方向長さは、印加電圧（Vx/86およびVy/88）およびd₃₁圧電電荷係数に比例して変化する。

明らかであるように、圧電プレート18、22および20、24は、それぞれ対になって協働してハウジング14（たとえば図1および2を参照）を曲げ、軌道共振を励起する。交流電気駆動信号86および88が、好ましくは、それぞれプレート20、24および18、22に対し、ポーリング方向（poling direction）43で印加される。当業者には周知であるように、ポーリング方向43とは、製造中に圧電材料中の双極子が整列する方向である。たとえば、米国特許第5,605,659号（セラミックス圧電プレートをポーリングする方法）、第5,663,606号（圧電アクチュエータをポーリングするための装置）、第5,045,747号（圧電セラミックスをポーリングするための装置）などを参照することができる。これらの米国特許それぞれの開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。

各プレート対18、22および20、24に関して、電場は、1枚のプレートのポーリング方向43に関してはプラスであり、反対側のプレートのポーリング方向43に関してはマイナスである。駆動信号Vx86が好ましくはプレート20、24に印加され、1枚のプレートにおける伸びおよび反対側のプレートにおける縮みを同時に生じさせ、それにより、ハウジング14を面39（図2を参照）およびX方向72a/72b（図18を参照）に曲げる。同様なやり方で、駆動信号Vy88がプレート18、22に印加され、ハウジング14を面41（図2を参照）およびY方向74a/74b（図18を参照）に曲げる。

ねじ山付きナット16とは反対側のハウジング端45は、好ましくは、ガイドブッシュ28を、ブッシュ内径とねじ山付きシャフト12（図2を参照）の外径との間に小さな隙間を設けながら支持する。ねじ山付きシャフト12は、低い摩擦を生じさせる硬質の平坦面を使用する球状ボールチップ26を介して加えられる弾性の軸力27（図5および6を参照）を支持する。

モーター10の作動中、好ましくはボール26を介して伝達される軸力27は、約0.1〜約100ニュートンであることが好ましい。明らかであるように、軸力27は、好ましくは、出力される駆動力と類似の大きさである。

球状ボール26（図2を参照）は、ねじ山付きシャフト12をその荷重27（図5を参照）に低摩擦トルクで結合する一つの手段である。当業者には自明であるように、動きを回転するねじ山付きシャフトから動く荷重に結合するための他の手段を使用することもできる。したがって、たとえば、ころ軸受けを使用することもできるし、ねじ山付きシャフト12の平坦面と接触する円弧状の荷重を使用することもできる。たとえば、米国特許第5,769,554号（キネマチック結合法）、第6,325,351号（精密計器のための高減衰キネマチック結合）などを参照することができる。これらの米国特許それぞれの開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。

図1および2を参照すると、ハウジング14の、ねじ山付きナット16とは反対側の端部45は、固定カバー58（図21）のための接続点であるフランジを組み込んでいる。シャフト12およびナット16上のねじピッチが、軌道の接線方向の力および動きを軸方向の力および動きに変換する。ピッチは、力の倍率、減速、分解能増強および電源オフ時保持力を最適化するように選択することができる。

図7〜12を参照すると、その中で示されている好ましい態様で、超音波リニアモーター30は、好ましくは、4個の圧電スタック36、40および42（図7および8をも参照）を使用して超音波振動を発生させる。球状のボールチップ26を有するねじ山付きシャフト12が回転し、軸方向の力および動きを生じさせる。回転は、振動する円筒32に接続されたねじ山付きナット16の超音波軌道によって生じる。4個の圧電スタック36、38、40および42は、円筒の、ねじ山付きナットとは反対側の端部に接合され、ベースリング34に接合されている。4個のスタック36等は、周知のアセンブリおよび電気相互接続法44を使用して、内側スタックリードが好ましくは共通のアース35にいっしょに接続されるように構築されている。スタック36等の軸方向長さは、印加電圧およびd₃₃圧電電荷係数に比例して変化する。圧電材料は、低い誘電損および高い減分極電圧を有する一般に利用可能な「硬い」組成物である。交流電気駆動信号86および88が各圧電スタック44の外側リードに接続され、ナットの軌道振動を励起する。圧電スタック36および40ならびに38および42は、それぞれ対になって協働して管を回転させ、軌道共振を励起する。交流電気駆動信号Vx86およびVy88は、それぞれスタック38、42および36、40に対し、ポーリング方向43で印加される。各スタック対38、42および36、40に関して、電場は、1個のスタックのポーリング方向43に関してはプラスであり、反対側のスタックのポーリング方向に関してはマイナスである。駆動信号Vx86がスタック38、42に印加され、1個のスタックにおける伸びおよび反対側のスタックにおける縮みを同時に生じさせ、それにより、管をX方向72a/72b（図18を参照）に回転させる。同様なやり方で、駆動信号Vy88がスタック36、40に印加され、管の端部をY方向74a/74b（図18を参照）に動かす。ねじ山付きナット16とは反対側のベースリング34は、ガイドブッシュ28を、ブッシュ内径とねじ山付きシャフトの外径との間に小さな隙間を設けながら支持する。ねじ山付きシャフト12は、低い摩擦を生じさせる硬質の平坦面を使用する球状ボールチップ26を介して加えられる順応性の軸力27を支持する。ベースリング34は、固定カバー58（図21）のための接続点である。シャフト12およびナット16上のねじピッチが軌道の接線方向の力および動きを軸方向の力および動きに変換する。ピッチは、力の倍率、減速、分解能増強および電源オフ時保持力を最適化するように選択することができる。

図13〜17を参照すると、超音波リニアモーター50は、象限（quadrant）電極を備えた圧電管54を使用して超音波振動を発生させる。球状のボールチップ26を有するねじ山付きシャフト12が回転し、軸方向の力および動きを生じさせる。回転は、振動する圧電管54に接続されたねじ山付きナット16の超音波軌道によって生じる。管の内径は、63で接地されている連続電極61であり、管の外径は、4個の別個の電極60、62、64および66に分割されている。圧電材料は、低い誘電損および高い減分極電圧を有する一般に利用可能な「硬い」組成物である。圧電管のうち、各電極60、62、64および66の下の部分の軸方向長さは、印加電圧およびd₃₁圧電電荷係数に比例して変化する。圧電区分60、64および62、66は、それぞれ対になって協働して管54を曲げ、軌道共振を励起する。交流電気駆動信号86および88が、それぞれプレート60、64および62、66に対し、ポーリング方向43で印加される。各電極対60、64および62、66に関して、電場は、1個の電極のポーリング方向に関してはプラスであり、反対側の電極のポーリング方向に関してはマイナスである。駆動信号Vx86が電極60、64に印加され、1個の電極の下での伸びおよび反対側の電極の下での縮みを同時に生じさせ、それにより、管をX方向72a/72b（図18を参照）に曲げる。同様なやり方で、駆動信号Vy88がプレート62、66に印加され、管をY方向74a/74b（図18を参照）に曲げる。

ねじ山付きナット16とは反対側の管端部は、ベースフランジ52に接合され、ガイドブッシュ28を、ブッシュ内径とねじ山付きシャフトの外径との間に小さな隙間を設けながら保持する。ねじ山付きシャフト12は、低い摩擦を生じさせる硬質の平坦面を使用する球状ボールチップ26を介して加えられる順応性の軸力27を支持する。ベースフランジは、固定カバー58（図21）のための接続点である。シャフト12およびナット16上のねじピッチが軌道の接線方向の力および動きを軸方向の力および動きに変換する。ピッチは、力の倍率、減速、分解能増強および電源オフ時保持力を最適化するように選択することができる。

図18および19を参照すると、モーター10（図1を参照）の作動ならびにそのような作動を起こさせるために使用される対応する駆動信号86および88が示されている（図36をも参照）。圧電プレート対は、一方が伸長70すると同時に他方が収縮69しながら協働してハウジングを曲げる。交流駆動信号Vx86およびVy88は、好ましくは、同等な振幅90/91および90°の位相ずれ92を有して円軌道を生じさせる正弦波信号である。プラスの位相ずれ92がプラスのナット16の軌道方向およびプラスのシャフト12の回転96／平行移動98を生じさせ、マイナスの位相ずれ92がマイナスの軌道方向およびマイナスのシャフト回転／平行移動を生じさせる。一つの回転方向の場合のモーターの一つの軌道サイクルならびに対応する駆動信号振幅90および91が90°増分76、78、80、82および84で順次に示されている。円筒の曲げおよび軌道運動がX72a/72bおよびY74a/74b方向で示されている。ナットが一つの場所73aでねじ山付きシャフトの側面と接触し、するとその反対側面には隙間73bができ（図5Bを参照）、それによって接触が接線方向の力および動きを付与し、それが、軌道サイクルごとに小さな量だけシャフト12を回転96および平行移動98させる。サイクルごとの回転および平行移動の量は、軌道振幅、シャフトに作用する力27の大きさおよび摩擦係数およびねじの表面仕上げをはじめとする多くの要因に依存する。ナットとシャフトとの接点73aでゼロ滑り条件が達成されるならば、1サイクルあたりの動きは、名目上、ねじ間の直径方向隙間に比例する。一般に、駆動振幅90および91が増大するにつれ、軌道直径が増し、シャフト12とナット16との間の法線接触力が増大し、滑りが減少し、速度が増大し、トルク／力が増大する。

超音波振動数は周期の逆数であり（図19の周期94aおよび94bを参照）、そのような超音波振動数は、好ましくは、両方の信号で同じであり、ハウジング14の第一の曲げ共振振動数に適合する。

図20〜25を参照すると、モーターアセンブリ100は、モーター10をカバー58および刻み付きノブ102と組み合わせるものである。ねじ山付きシャフト112がモーター10内に配置されている。図21でわかりやすく示すように、ねじ山付きシャフト112はねじ山付きシャフト12（図1を参照）に似ているが、一体的に取り付けられた平滑なスピンドル113を有するという点で、それと異なる。スピンドル113は、刻み付きノブ102に取り付けられるように適合している。カバー58がフランジ45でモーター10に取り付けられる。刻み付きノブ102は、カバー58に接触することなく、シャフト112とともに回転し、平行移動する。

図21はモーターアセンブリ100の分解図である。図22はモーターアセンブリ100の断面図である。

図23A、23Bおよび23Cはモーターアセンブリ100を示す。図23Aは、図20とは逆に見たモーターアセンブリ100の斜視図である。図23Bは、ノブ102およびシャフト112が右回り103に回転し、矢印105の方向に平行移動する場合のモーターアセンブリ100の動作を示す。比較のため、図23Cは、ノブ102およびシャフト112が左回り107に回転し、矢印109の方向に平行移動する場合のモーターアセンブリ100の動作を示す。

明らかであるように、説明しやすくするため、モーターアセンブリの種々の構成部品への電気接続のための物理的手段は図面から省かれている。

同じく明らかであるように、刻み付きノブ102の存在は、モーターアセンブリ100を電気的手段によって動かすことに代えてまたはそれに加えて、モーターアセンブリ100を手作業的手段によって動かすことを可能にする。したがって、たとえば、アセンブリ100は、従来の手作業的調節手段およびさらなる電気的に自動化された調節手段の両方をユーザに与えるマイクロメーター駆動代替物として使用することができる。

図示しない一つの態様では、アセンブリの機械的移動のための第二の手段を考慮して、刻み付きノブ102は外部モーターに機械的に接続される。

図24Aおよび24Bは、平行移動リニアステージ104a/104bに動作的に接続されたモーターアセンブリ100を含む調節可能なリニアステージ106を示す。この態様では、モーターアセンブリ100のカバー58が下ステージ部104bに取り付けられ、ボール26が上ステージ部104aと接触する。明らかであるように、刻み付きノブ102が右回り方向103に動くと、矢印105の方向の直線運動が起こる。逆に、刻み付きノブ102が左回り方向107に動くと、矢印109の方向の直線運動が起こる。

図24Aおよび24Bに概略的に示す一つの態様では、ピン115および116を含むばねアセンブリ111（点線の輪郭で示す）が平行移動ステージ104a/104bを矢印109の方向に偏らせる。図示する態様では、ピン115は、アセンブリの上可動部分104aに取り付けられ、ピン116は、アセンブリの下固定部分104bに取り付けられている。明らかであるように、ばねアセンブリ111は、軸力27（図5および6を参照）を生じさせるために使用することができる。

図25は、ステージ106a、106bおよび106cをX、YおよびZ軸方向に動かすことができるマイクロマニピュレータ120の斜視図である。

本発明は、その好ましい形態で、ある程度の特異性をもって説明したが、好ましい形態の開示を構成の詳細に関して変更することができ、本発明の本質および範囲を逸することなく部品の様々な組み合わせおよび配置に頼ることができることが理解されよう。

本明細書の先の部分では、回転軸を有するねじ山付きシャフトおよびそれと係合したねじ山付きナットを含み、該アセンブリが、該ねじ山付きナットを超音波振動に供し、それによって該シャフトを回転させると同時に軸方向に平行移動させるための手段を含む、ねじ山付きシャフトアセンブリを駆動するための装置を記載した。明らかであるように、該ねじ山付きシャフトアセンブリを振動させ、それによって該ねじ山付きナットを回転させると同時に平行移動させるための手段を含む同等な装置を製造することもできる。

図26〜29は本発明のもう一つの好ましいモーター142の略図である。図26〜29を参照すると、超音波リニアモーター142は、象限電極を備えた圧電管144を使用して超音波振動を発生させる。モーター142および管144はモーター50および管54に似ている（図13〜17を参照）。球状のボールチップ26を有するねじ山付きシャフト12が回転し、軸方向の力および動きを生じさせる。回転は、振動する圧電管144に接続されたねじ山付きナット152の超音波軌道によって生じる。管の内径は、63で接地されている連続電極61である。管54と管144との違いは、電極61が管の端部を巻き、各端部の外径に電極リング146を形成することである。管の外径は4個の別個の電極60、62、64および66に分割されている。圧電材料は、低い誘電損および高い減分極電圧を有する一般に利用可能な「硬い」組成物である。圧電管のうち、各電極60、62、64および66の下の部分の軸方向長さは、印加電圧およびd31圧電電荷係数に比例して変化する。電極区分60、64および62、66は、それぞれ対になって協働して管144を曲げ、軌道共振を励起する。モーター50に関して先に論じたように、交流電気駆動信号86および88が、それぞれ電極60、64および62、66に対し、ポーリング方向43で印加される。各電極対60、64および62、66に関して、電場は、1個の電極のポーリング方向に関してはプラスであり、反対側の電極のポーリング方向に関してはマイナスである。駆動信号Vx86が電極60、64に印加され、1個の電極の下での伸びおよび反対側の電極の下での縮みを同時に生じさせ、それにより、管をX方向72a/72b（図18を参照）に曲げる。同様なやり方で、駆動信号Vy88が電極62、66に印加され、管をY方向74a/74b（図18を参照）に曲げる。

再び図26を参照すると、ねじ山付きナット152とは反対側の管端部はガイドブッシュ150に接合され、ブッシュ内径とねじ山付きシャフトの外径との間に小さな隙間ができる。装着フランジ148は結節点で管144の外径に接合されている。結節点は、管が共振するとき最小限の動きを示す、管上の軸方向位置である。シャフト12およびナット152上のねじピッチが軌道の接線方向の力および動きを軸方向の力および動きに変換する。ピッチは、力の倍率、減速、分解能増強および電源オフ時保持力を最適化するように選択することができる。

図30〜36は本発明のモーター154のもう一つの好ましい態様を示す。図30〜36を参照すると、その中で示されている好ましい態様で、超音波リニアモーター154は、好ましくは、平面上90°間隔で半径方向に向けられた4個の圧電スタック162、164、166および168を使用して超音波振動を発生させる。球状のボールチップ26を有するねじ山付きシャフト12が回転し、軸方向の力および動きを生じさせる。回転は、弾性要素160を介して4個の圧電スタック162、164、166および168（ベースフランジ158に接合されている）に接続されたねじ山付きナット156の超音波軌道によって生じる。4個のスタック162等は、圧電プレート172から、定評あるアセンブリおよび電気相互接続法170を使用して、リードが好ましくは共通のアース174にいっしょに接続されるように構築されている。スタック162等の長さは、印加電圧69、70およびd33圧電電荷係数に比例して変化する。圧電材料は、低い誘電損および高い減分極電圧を有する一般に利用可能な「硬い」組成物である。交流電気駆動信号86および88が各圧電スタックのリードに接続され、ナットの軌道振動を励起する。圧電スタック162等は、それぞれ対になって協働してナット156を軌道共振76、78、80、82、84させて動かす。交流電気駆動信号Vx86およびVy88が、それぞれスタック162、166および164、168に対し、ポーリング方向176で印加される。各スタック対162、166および164、168に関して、電場は、1個のスタックのポーリング方向176に関してはプラスであり、反対側のスタックのポーリング方向に関してはマイナスである。駆動信号Vx86がスタック162、166に印加され、1個のスタックにおける伸びおよび反対側のスタックにおける縮みを同時に生じさせ、それにより、ナット156をX方向72a/72bに平行移動させる。同様なやり方で、駆動信号Vy88がスタック164、168に印加され、ナット156をY方向74a/74bに平行移動させる。図示されていないが、圧電スタック162等以外のアクチュエータ構造を使用してナット156の同じ軌道共振を生じさせることもできることが当業者には理解されよう。そのようなアクチュエータとしては、印加電圧およびd31圧電電荷係数に比例して長さを変える圧電プレート、電磁ソレノイドもしくはボイスコイル、静電誘引または超音波振動を生じさせることができる他の変換器がある。シャフト12およびナット156上のねじピッチが軌道の接線方向の力および動きを軸方向の力および動きに変換する。ピッチは、力の倍率、減速、分解能増強および電源オフ時保持力を最適化するように選択することができる。

図37〜39は、本発明のモーター142の一つを含む光学アセンブリ180を示す。これらの図面から明らかであるように、図示する態様では、レンズ184は、ねじ山付き中空シャフト182の回転軸204と一致するその中心線204に関して回転対称である。

図37〜39を参照すると、その中で示されている好ましい態様で、光学アライメント機構180は、中空の中心を有するシャフト182を有するモーター142を、シャフト中心線204に整合され、接合された光学要素184と組み合わせるものである。光学要素184は、透過型、反射型、凹面、凸面または多数の光学要素のアセンブリをはじめとする多くのタイプであることができる。モーター142が、中空のシャフト182および光学要素184を回転させ、平行移動202させて、焦点距離の変更または合焦のような機能のための精密な光学アライメントを達成する。

図37〜39に示す態様では、光学要素184が使用されている。この態様では、光学要素はレンズである。光学要素184は可動光学要素であることが好ましい。当業者に公知の可動光学要素の多くを使用することができる。たとえば、米国特許第3,612,664号（光路補正装置）、第3,958,117号（測距および自動合焦装置）、第4,184,759号（写真撮影装置）、第4,629,308号（拡大率可変コピー機のためのレンズおよびシャッタ位置決め機構）、第5,296,943号（多光路電子カメラアセンブリ）、第5,894,371号（可変焦点レンズのための合焦機構）、第5,969,886号（レンズバレルおよび光学装置）、第6,236,448号（プロジェクション露光システム）、第6,445,514号（微細位置決め光学要素）、第6,606,426号（ビームアライメントシステム）、第6,678,240号などを参照することができる。これらの米国特許出願それぞれの開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。

さらなる例示として、本発明のリニアモーターの一つまたは複数を、従来技術モーターを利用する従来技術カメラで使用することもできる。たとえば、一例として、米国特許第5,091,781号（カメラ移動装置）、第5,157,435号（ビデオカメラのための自動合焦装置）、第5,357,308号（自動ズームカメラおよびその駆動方法）、第5,434,621号（自動ズーミングのための被写体追跡装置）、第5,943,513号（カメラズーム装置）などに記載されているカメラの一つまたは複数における従来技術モーターに代えて用いることができる。これらの米国特許それぞれの開示全体は参照により本明細書に組み入れられる。

図40〜42はもう一つの好ましい光学アセンブリ186を示す。図40〜42を参照すると、その中で示されている好ましい態様で、光学アライメント機構186は、中空の中心を有するシャフト182を有するモーター154を、シャフト中心線に整合され、接合された光学要素184と組み合わせるものである。光学要素184は、透過型、反射型、凹面、凸面または多数の光学要素のアセンブリをはじめとする多くのタイプであることができる。モーター154が、中空のシャフト182および光学要素184を回転させ、中心線204上で平行移動202させて、焦点距離の変更または合焦のような機能のための精密な光学アライメントを達成する。

図43〜45はさらに別の好ましい光学アセンブリ188を示す。図43〜45を参照すると、その中で示されている好ましい態様で、カメラ自動焦点および自動ズームアセンブリ188は、機構186に似た2個の光学アライメント機構194および196を、CCDアレイのような焦点面撮像素子192およびハウジング190と組み合わせるものである。機構196は、撮像素子192の非常に近くにあり、レンズ198を素子192およびレンズ200に対して平行移動させることによってカメラズームを変化させる透過レンズを組み込んでいる。この態様では、ズームレンズ198の直径は撮像素子192および焦点レンズ200よりも大きく、そのため、機構196は、妨害を受けずに平行移動することができる。機構194は、素子192の反対側で機構196に隣接し、レンズ200をレンズ198および素子192に対して平行移動させることによってカメラ焦点を変化させる透過レンズを組み込んでいる。この態様では、機構194を平行移動させるときの妨害を除くため、焦点レンズ200の直径はズームレンズ198よりも小さい。光学要素198および200の中心線は、中心線204と一致し、素子192の画面に対して垂直である。要素198および200は同時に平行移動し、回転202する。この態様では、要素198および200は中心線204を中心に回転対称である。

図46〜48はさらに別の好ましい光学アセンブリ206を示す。図46〜48を参照すると、その中で示されている好ましい態様で、非回転光学素子が求められる状況の場合で、平行移動208するが回転はしない光学レンズ198および200を備えたカメラ自動焦点および自動ズームアセンブリ206が記載されている。該アセンブリ206は、平行移動し、回転202する光学レンズ198および200を有するアセンブリ188に似ているが、ボール軸受けのような低摩擦回転軸受け212を介してねじ山付きモーターシャフト182に接続されているレンズ装着シャフト210を組み込んでいる。ピン214が各装着シャフト210の端部に接続され、中心線204に対して垂直に向けられている。該ピン214はハウジング190中の固定スロット216と係合し、それが、ピン214、装着シャフト210ならびにレンズ198および200の回転を阻止するが、ピン214、装着シャフト210ならびにレンズ198および200の、中心線204に対して平行な軸方向208への平行移動を可能にする。

当業者には明らかであるように、図26〜48に示す光学アセンブリは、本出願人のリニアモーターを利用することができる数多くの可動光学要素の単なる例示である。

図49〜52およびその中で示されている態様を参照すると、モーター230は、図1〜5および18に示されているモーター10と同様であり、装着フランジ231が付着しているモーター本体235を含む。フランジ231は薄く、好ましくは0.25ミリメートル〜0.50ミリメートルの厚さであり、振動振幅が最小化されるモーター230の第一の曲げ共振の節点にできるだけ接近して位置することが好ましい。モーター本体235は、対応するねじを有するねじ山付きシャフト232が、シャフト232上の円形回転フェース233がねじ穴235aから突き出すように通過する、長さ全体を横断する縦方向のねじ穴235aを含む。この態様では、本体235の長さ全体がねじ穴235aである。しかし、他の態様が本体の長さの一部のみを貫き、残りの長さをスクリュー232との平滑な隙間適合にすることもできることが理解される。モーター本体235上に、長方形圧電プレート18、20、22および24が接着過程を介して固定的に取り付けられる。

図50を参照すると、長方形圧電プレート18、20、22および24が、モーター本体235の平坦な装着表面235bに接着していることが見てとれる。

図49〜52に示す態様では、装着フランジ231は、長方形圧電プレート18、20、22および24を妨害しないようなサイズであるが、図54でわかりやすく示すように様々な装着オプションを提供し、種々の圧電プレート外形に対応するような任意の輪郭（profile）であり得る外側放射状輪郭231aおよびくぼみ231bを有する。モーター230は、モーター10と同一の様式で電気的および機械的に作動する（図1〜5、18および19を参照）。長方形圧電プレート18、20、22および24の励起によって引き起こされる動きは、モーター10について説明されたのと同一であり、その後のモーター本体235の曲げは、ねじ山付きシャフト233を回転260aさせ、効果的に直線的に平行移動260bさせる。

図53〜59Bを参照すると、モーター230は、光学アセンブリ236と組み合わせるものである。光学アセンブリ236は、カメラおよび携帯電話のような市販のデジタル撮像製品で見られるような自動焦点モジュールの類であることができる。図53を参照すると、モーター230は、ハウジング237およびカバー238によって包まれ、開口部240を通して光を受容するレンズアセンブリ239を作動する。ハウジング237およびカバー238は、射出成形プラスチックで構成され得る。

図54は、光学アセンブリ236の構成部品の部分断面図を示す。開口部240に入り、レンズ239を通して進行する光は、センサー241上に投影される。そのようなセンサー241は、CCDまたはCMOS技術を用いたデジタル画像センサーを含むことができる。モーター230は、装着フランジ231を介してハウジング237に固定的に取り付けられる。装着フランジ231は、成形の特徴によってハウジング237中に位置することができ、熱スタンピングのような通常の工業用過程を介して固着され得る。ねじ山付きシャフト232は、隙間穴237aを通して回転260aし、その後平行移動260bすることが許容される。図では不明瞭であるスクリュー232の円形チップ233は、上部レンズ屈曲部242に接しており、センサー241と関連してレンズ239の位置を変化させる手段を提供する。レンズ239は、小さな振幅について実質的に直線運動である円弧状直線運動260cでレンズ239の動きを導く四棒連鎖を形成するために、一つの面で上部レンズ屈曲部242に、および反対面で下部レンズ屈曲部243に固定的に取り付けられる。上部レンズ屈曲部242および下部レンズ屈曲部243は、写真化学エッチングまたはワイヤー放電加工のような工業用過程を介して製造されるスプリングスチールのような弾性材料で構成されている。部材は、プレロード力260dが常にシャフトチップ233上に作用するように予め曲がっている。上部レンズ屈曲部242および下部レンズ屈曲部243は、スペーサー244によって離れて保持され、レンズ239の装着と関連して、動作は、ねじ山付きシャフト232の平行移動が、図56、57および58でわかりやすく示される動き260cを生じさせるようである。

図55を参照すると、光学アセンブリ236は、すべての構成部品が一つの方向から連続して装着され得る様式で組み立てられている。センサー241は、ハウジング237のセンサーレセプタクル237b中に設置される。モーター230は、ハウジング237中のモーターポスト237dに固定的に取り付けられる。スペーサー244を有する上部レンズ屈曲部242および下部レンズ屈曲部243は、接着剤またはプレス嵌めのような機械的手段を介してレンズ239に取り付けられる。スペーサー244は、ハウジング237中のスペーサーシャフト237cをおおって周囲に適合される。レンズ239の向きは、上部レンズ屈曲部242上の位置決めフラット245およびスペーサーシャフト237c上の対応する特徴を介して維持され得る。カバー238は、ハウジング237中のカバーレッジ（ledge）237e上に設置される。

図56〜58を参照すると、その中で態様の作動が詳述されている。図56は、隙間穴237a内に完全に格納されたねじ山付きシャフト232を示す部分断面図であり、示されていないが、予め曲がった屈曲部242および243が、プレロード力260dを円形回転フェース233上へ作用させている。レンズ239は動き260cを有し、センサー241に最も接近した位置へと動いた。図57は、こうむったいくらかの回転運動260aおよび結果として生じた平行移動260bを有し、効果的に屈曲部242および243を持ち上げ、レンズ239をセンサー241からさらに遠い位置へと動かす動き260cを生じさせるねじ山付きシャフト232を示す部分断面図である。図58は、こうむった追加的な回転運動260aおよび結果として生じた平行移動260bを有し、動き260cを生じさせ、レンズ239をセンサー241から最大距離へ動かすねじ山付きシャフト232を示す部分断面図である。

図59A〜59Bを参照すると、光学アセンブリ236が携帯電話248に適合されることが明らかである。説明しやすくするため、光学アセンブリ236および携帯電話248の種々の構成部品への電気接続のための物理的手段は図面から省かれている。

図60〜66を参照すると、モーター142は、シリンジアセンブリ249と組み合わせるものである。シリンジアセンブリ249は、商業的な医療用有効性の一つであることができ、着用可能な液体ポンプのような製品の類似物で使用され得る。図60は、図61でわかりやすく示すように、シリンジアセンブリ249および具現化されたモーター142の斜視図を示す。モーター142は、シリンジ本体250と係合したシリンジプランジャー251中に収容される。ねじ山付きシャフト12は、回転軸受け254によって周囲を収容され、ベース252中に固定的に収納される。図61は、作動するモーター142がねじ山付きシャフト12を低摩擦軸受け254内に回転260aさせるように、モーター142がシリンジプランジャー251と係合している該態様の部分断面図である。軸受け254は、シャフトの回転を可能にするが、シャフト12がモーターハウジング142の平行移動260bをもたらす平行移動260bするのを防ぐ。ハウジング142は、シリンジプランジャー251に取り付けられ、したがって、モーター142およびハウジング251はともに平行移動260bするが、回転しない。

ホール効果回転位置センサー256は、ハウジング252に組み合わせるものであり、シャフト12の回転を測定する。この態様では、市販のセンサーがAustria Microsystems Model AS5040 Magnetic Rotary Encoderより示される。キャパシタンス、インダクタンス、光学および干渉分光法をはじめとする方法を検知する他のものを使用する多くの他のタイプの位置センサーが組み入れられてもよいことが理解される。永久磁石255が、向かい合う半円上のNおよびS極でシャフト12の末端に接着する。シャフト12が回転するとき、変化する磁界がセンサー256によって測定され、回転の量が、エンコーダ回路基板253によって伝達されるデジタルエレクトロニクス信号に変換される。

図62を参照すると、分解図が示されている。エンコーダ回路基板253およびその装着されたエンコーダ256は、回転軸受け254がともに装着されているベース252内で組み立てられている。磁石255は、センサー256からの固定された隙間を有してねじ山付きシャフト12とともに永久的に設置される。シリンジプランジャー251は、シリンジ本体250で周囲が保持される。

図63および64を参照すると、該態様の作動が詳述される。図63は、図61でわかりやすく示すように、完全に格納されたモーター142および、多量の液体が占有し得るシリンジ本体250内の空の領域257を可能にするシリンジプランジャー251を示す。図64は、図61でわかりやすく示すように、完全に伸長されたモーター142ならびに、シリンジ本体250内の図63の空の領域257の存在、および、その後のシリンジ本体250内の任意の液体の放出を引き起こす、シリンジプランジャー251を示す。

図65および66を参照すると、シリンジアセンブリ249が液体ポンプのような商業的医療用製品に適合されることが明らかである。説明しやすくするため、エンコーダ回路基板253およびモーター142の種々の構成部品への電気接続のための物理的手段は図面から省かれている。特に図65を参照すると、シリンジプランジャーは、モーター142動作中にシリンジプランジャー251の回転を防ぐために、回転防止タブ251aがタブレスト258aと係合するように液体ポンプ258内に収まる。

図67A〜71Dを参照すると、接線運動を限定する特徴261が、すべての態様においてねじをロックすることなく順および逆移動を機械的に限定する好ましい方法として説明される。図67Aは、接線運動を限定する特徴261の斜視図である。ねじ山付きシャフト12が伸長し、末端キャップ264とサムノブ265とが分離されている。固定タブ262と回転タブ263とは係合していない。図67Bは、接線運動を限定する特徴261（図67Aの259）の拡大スケール図である。図68Aは、接線運動を限定する特徴261の斜視図である。ねじ山付きシャフト12が格納され、末端キャップ264とサムノブ265とがお互いに近く接近している。固定タブ262と回転タブ263とが係合している。図68Bは、接線運動を限定する特徴261（図67Aの266）の拡大スケール図である。

図69A〜70Bを参照すると、接線運動を限定する特徴261の構成部品が示されている。図69Aは、末端キャップ264および固定タブ262の斜視図である。図69Bは、末端キャップ264および固定タブ262の側面図である。図70Aは、サムノブ265および回転タブ263の斜視図である。図70Bは、サムノブ265および回転タブ263の側面図である。

図71A〜71Dを参照すると、接線運動を限定する特徴261の作動が詳述されている。図71Aは、伸長したねじ山付きシャフト12を示す側面図である；末端キャップ264とサムノブ265とが分離されている。固定タブ262と回転タブ263とは係合していない。図71Bおよび71Cは、連続的に進行して、末端キャップ264およびサムノブ265がお互いに近づき始めるように、ねじ山付きシャフト12が回転260aし、平行移動260bし始める側面図である。固定タブ262と回転タブ263とは係合していない。図71Dは、末端キャップ264とサムタブ265とが出合うように、ねじ山付きシャフト12が回転260aし、平行移動260bした側面図である。固定タブ262と回転タブ263とは係合し、シャフト12の動きは、ねじ上に高い軸荷重を作り出し、その後のモーター動作を妨げるロッキングを起こすことなく、停止する。

図72〜74C、およびその中に示された態様を参照すると、モーター300はモーター本体301を含んでおり、ならびにフランジ231が除去され、かつプリント回路基板302がはんだ303を介して長方形圧電プレート18、20、22、および24に取り付けられて、電気接続Vx86、Vy88、およびアース25を作り、ならびに振動振幅が最小化するモーター300の第1の曲げ共振の節点でモーター本体301を機械的に支えていることを除いて、図49のモーター230と同じである。プリント回路基板302は薄いことが好ましく、好ましくは厚さ約0.25 mm〜約0.50 mmである。

適した様々なプリント回路基板は、当業者に公知である。参考文献は米国特許第6,949,836号、同第6,954,985号、同第6,927,344号、同第6,483,713号、同第5,917,158号、同第5,398,163号などであり、これらの各特許の内容は参照により本明細書に組み入れられる。1つの態様において、プリント回路基板は実質的に硬質である。1つの態様において、プリント回路基板は実質的にフレキシブルである。1つの態様において、プリント回路基板は実質的にセミフレキシブルである。1つの態様において、プリント回路基板は多層回路基板であり、絶縁材料の層を含む。1つの態様において、そのような絶縁材料は、ガラス-エポキシ、セラミック、ポリテトラフルオロエチレン、およびそれらの組み合わせからなる群より選択される。

モーター本体301は、アース線335を用いてプリント回路基板302と電気接続される。線335は、スポット溶接または他の手段でモーター本体301に取り付けられている。モーター本体301は、長方形圧電プレート18、20、22、および24に対する共通のアース25である。モーター300に対する電気接続アース25、Vx86、およびVy88は、プリント回路基板302を介して、そこに備わっているそれぞれの取り付け箇所に作られる。モーター本体301に対する移動中心は、対応するねじを有するねじ山付きシャフト232が通過する、軸方向のねじ穴304（変形物を図74Bおよび74Cに最適に示す）である（図49〜52および76〜79Cに図示する）。

図73を参照すると、図72のモーター300の分解斜視図は該態様のアセンブリを図示している。長方形圧電プレート18、20、22、および24は、図1および2におけるモーター10および平らな外表面37を有するモーター本体14について記載されているのと同じ方法で、モーター本体301の平らな外表面301bに結合している。

図74aは、図72のモーター300の上面図である。プリント回路基板302、以下の接続を有するはんだ箇所302e、302f、および302gに対する電気トレース（electrical trace）302b、302c、および302dによって作られた電気接続が見て分かるようになっている：モーター本体301に対するアース線335に対するはんだ箇所302eに対するトレース302dを介したアース25；長方形圧電プレート20および24に対するはんだ箇所302fに対するトレース302bを介したVx86；プレート18および22に対するはんだ箇所302gに対するトレース302cを介したVy88。

図74bを参照すると、図74aの線F-F（333）から見たモーター300の断面図が図示される。モーター本体301は、はんだ303を介してプリント回路基板302に固定して取り付けられている。この態様に特別に、ねじ穴301aはモーター本体301を介して完全に配置される。

図74cは、モーター300の代替的な態様を図示し、断面図は図74aの線F-F（333）から見たものである。モーター本体301は、はんだ303を介してプリント回路基板302に固定して取り付けられている。開示された態様に特別に、軸方向のねじ穴301aはモーター本体301を介して部分的に配置される。ねじ山付きシャフト232と接触していないモーター本体301の内部部分は、ねじ山付きシャフト232と接触しないように過大穴301cを構成する。明確にするために、ねじ山付きシャフト232は図72〜74cには示されていないが、図49〜51において参照することができる。図72〜74Bに示されるモーター300を含めて参照すると、その作動は図1〜4に示されたモーター10と同一であり、作動図を図18および19に示し、モーター230を図49〜52に示す。

図75を参照すると、図72のモーター300の斜視図は、自動焦点および光学ズーム性能を有するカメラ319が組み込まれている。カメラ本体306はそこに含まれ、自動焦点レンズアセンブリ310および光学ズームレンズアセンブリ311の光軸309の軸上に配置されたモダン307および口径308は、図76に最適に図示される。図示された態様において、焦点調節アセンブリ310は焦点調節口径を有し、ズームアセンブリ311はズーム口径を有する。これらのそれぞれの口径は、光軸309が両方の口径を通過するように構成される。そのような焦点調節レンズは当業者に周知である。米国特許第6,311,020号、同第5,654,757号、同第5,408,332号、同第4,354,203号、同第4,236,794号などを参照することができる。そのような光学ズームレンズは望遠レンズとも呼ばれ、同様に周知である。米国特許第6,430,369号、同第5,774,282号、同第5,528,429号、同第5,461,442号、同第4,871,240号などを参照することができる。前述の特許の各内容は、参照により本明細書に組み入れられる。

図76を参照すると、カメラ319の部分断面図が示される。簡潔に図示するため、種々の電気構成部品への電気接続のための物理的手段は図面から省かれている。それぞれレンズ本体321および光学部品322からなる自動焦点レンズアセンブリ310および光学ズームレンズアセンブリ311がそこに含まれ、接着剤、または適応したスロット321へのレンズ本体321の圧入を介して、向かい合ったモーター300およびそれぞれのプリント回路基板302に固定されて取り付けられており、図76aに最適に明示されている。モーター300は、絶縁体313によって各モーター300から絶縁され、各モーター300に同心円状に取り付けられた単一ばね312によって矢印334で明示された反対方向にプレロードされ（図76A参照）、そこで、反対にプリント回路基板302を置き、加えてプリント回路基板302に力を適用し、これは図76aに最適に示される。ねじ山付きシャフト232は、ばねの内側に配置されている。各モーター300は、その各々の同心円状に取り付けられたねじ山付きシャフト232上を平行移動し、光軸309に関する自動焦点レンズアセンブリ310および光学ズームレンズアセンブリ311の矢印315によって示された直線運動を含んでいる。この態様において、ねじ山付きシャフト232は回転するが、平行移動しない。モーター300は平行移動し、光学アセンブリを移動させる。ねじ山付きシャフト232は独立して回転する。図示した態様において、焦点レンズアセンブリ310のねじ山付きシャフト232は、光学ズームレンズアセンブリ311のねじ山付きシャフト232を整列（すなわちこれらを一直線上に）させる。特定された態様に関して、パナソニックEVA-W7LR04B34直動電位差計などのような市販の直動位置センサー316が、閉ループのフィードバックおよび最終的には自動焦点レンズアセンブリ310および光学ズームレンズアセンブリ311についての完全な位置情報を提供するような様式で組み込まれうる。位置センサー316は、接着剤、摩擦力、または他の半永久的もしくは永久的な組み付け方法、または位置センサー316を取り付けるのに適した他の手段によって自動焦点レンズアセンブリ310および光学ズームレンズアセンブリ311に取り付けられうる。

図76aは、部分的に分解されたカメラ319の斜視図であり、モーター300のプリント回路基板302の、自動焦点レンズアセンブリ310および光学ズームレンズアセンブリ311のレンズ本体321への組み付けを説明している。

図77は、明確にするためにカメラ本体306の一部分を示した、カメラ319の分解斜視図である。くぼみ306a内に、カメラ本体306は、OmniVision OV03610-C00Aなどのような市販のカラーCMOS （相補的な金属酸化物半導体）画像センサーでありうる、固定して取り付けられた画像センサー320を収容している。位置センサー316は内部の背面306bに取り付けられてもよい。位置センサー316の可動部分はレンズ本体321のアーム317に取り付けられており、自動焦点レンズアセンブリ310および光学ズームレンズアセンブリ311の位置を測定する。アーム317における溝318は共有のレール306e上に係合し、光軸309と平行なリニアガイドをもたらす。回転性のレストパッド323は、カメラ319のハウジング306のポケット306dに備え付けられており、レストパッド323の上で、周囲に配置されたリミットストップ324を有するねじ山付きシャフト232のシャフト末端233を支え、それは図61〜71Dに示したノブ265と同様の機能である。モーター300のプリント回路基板302は、接着剤または他の同様の永久的な組み付け方法によってレンズ本体321のスロット321aへと取り付けられる。レンズ本体321の溝318は、カメラ19の光軸309に平行なレンズ本体321の直線運動を提供する、向かい合うカメラ本体306のレール306e上への、レンズ本体321の挿入および位置決めを可能とする。カメラ本体306、およびそこに含まれるモーター300のモーター本体301に関して、ねじ山付きシャフト232はねじ穴301a内を通過し、かつ内部に係合する。内径313aが、モーター300によって係合されるねじ山付きシャフト232と同心円状に置かれるように、絶縁体313はモーター300に全面に組み付けられ、胴付き313bはプリント回路基板302と一致する。リミットストップ324は、ねじ山付きシャフト232の円形シャフト末端233の反対の末端の周囲に組み付けられる。レッジ313b上のばね312を置く絶縁体313と軸が一致している。反対の様式において、レッジ313cがばね312の露出した末端を載せるように、追加の絶縁体313は軸が一致するように置く。ねじ山付きシャフト232の円形シャフト末端233と反対の末端近傍に配置され、周囲に取り付けられたリミットストップ324を有する追加のねじ山付きシャフト232は、モーター300のモーター本体301のねじ穴301a内に軸が係合される。プリント回路基板302をスロット321aに接着する、または同様の他の永久的な組み付け方法で結合することによって、別のモーター300は、自動焦点レンズ310を含むレンズ本体321に取り付けられる。レンズ本体321の溝318は、カメラ本体306の向かい合うレール306e上のレンズ本体321の挿入および位置決めを可能にし、光軸309に平行なレンズ本体321の直線運動を提供する。前述のカメラ本体306に関して、モーター300、ねじ山付きシャフト232、および自動焦点レンズアセンブリ310を含むレンズ本体321のアセンブリは、モーター300のプリント回路基板302が絶縁体313の胴付き313bにしっかりと設置されるように組み付けられる。リミットストップ324はねじ山付きシャフト232の円形シャフト末端233の周囲に取り付けられる。回転性のレストパッド323はモダン307のポケット307a（破線で示す）に永久的に備え付けられており、その上にねじ山付きシャフト232の円形シャフト末端233を置き、カメラ319のモダン307のカメラ本体306への取り付けによるアセンブリがもたらされる。モダン307は、接着剤、機械的圧入などを用いて、カメラ本体306に永久に取り付けられてもよい。

図78a〜78cを参照すると、部分断面斜視図は、直線矢印325によって記載された運動によって特定される、光学ズームレンズアセンブリ311の直線運動を図示する。図78aは、完全に後退した光学ズームレンズアセンブリ311を示し、カメラ319の口径308から最も遠い。参照のために自動焦点レンズアセンブリ310を静止して示す。モーター300（図では隠れている）が活性化すると、この場合、回転矢印326によって明示される時計方向にねじ山付きシャフト232が回転し、図78Bに示す直線矢印325によって示される光学ズームレンズアセンブリ311上の垂直直線運動を誘導する。図78Cは、モーター300の活性化により誘導される、光学ズームレンズアセンブリ311の直線矢印325により説明される連続した直線平行移動、およびねじ山付きシャフト232の回転矢印326によって示される、それに続く時計方向の回転を図示する。

図79a〜79cを参照すると、部分断面斜視図は、直線矢印327で記載された運動によって示す自動焦点レンズアセンブリ310の直線運動を図示する。図79aは、完全に後退した自動焦点レンズアセンブリ310を示し、カメラ319の口径308から最も遠い。参照のために、静止した光学ズームレンズ311を示す。モーター300（図では一部不明瞭）が活性化すると、この場合、回転矢印328によって明示される時計方向にねじ山付きシャフト232が回転し、図79Bに示す直線矢印327によって示される自動焦点レンズアセンブリ310上の垂直直線運動を誘導する。図79Cは、モーター300の活性化により誘導される、自動焦点レンズアセンブリ310の直線矢印327によって説明される連続した直線平行移動、および、それに続く、ねじ山付きシャフト232の回転矢印328によって示される時計方向の回転を図示する。

図80aおよび80bを参照すると、携帯電話329内部で使用される典型的な用途におけるカメラ319が示される。簡潔に図示するために、カメラ319および携帯電話329の様々な構成要素に対する電気接続の物理的手段は、図面から省略している。図80aは、携帯電話329におけるカメラ319（破線で示す）の記載された態様の典型的な配置の斜視図を示す。図80bは、図80a（図80aの330）の拡大された部分断面図であり、ライト331がミラー332のカメラ口径308、または他の同様のプリズム状の装置に向けられる特定の態様を示している。

図81および82を参照すると、インダクター501、コンデンサ502、および抵抗器503からなる直列共振回路500は、入力電圧が共振周波数（ω_r）で振動する正弦波である場合、コンデンサ502中の電圧増加が発生することが当業者に容易に理解されるであろう。この回路での増加（線質係数またはQとしても公知）は、十分に確立された共振回路の式から、および入力周波数ω_r、インダクタンスL、キャパシタンスC、および抵抗Rに基づいて導き出される。X_Lは、リアクタンスを持つ回路のインダクタンスであり、X_Cは、リアクタンスを持つ回路のコンデンサであることに留意されたい。これらの関係は共振周波数での以下の式に示される。
ω_r = 1/SQRT(LC)
X_L = Lω_r; X_C = 1/(Cω_r)
Q = X_L/R = X_C/R

圧電および電歪アクチュエータ（例えばプレート18、20、22、および24）は、実質的な電力損失をもたらす損失、またはアクチュエータの加熱を伴うコンデンサ502である。硬質で誘電性の低い損失圧電材料を使用することにより、高いQ回路がもたらされ、比較的小さな入力電圧および電流を有する圧電プレート502中に高電圧が生成される。

共振回路500が、（正弦波の代わりに）方形波504のVinを有する場合、フーリエ変換を用いてVinの周波数量を評価することができる。共振周波数ω_rでの方形波504は、基本項、および以下の等式で示す連続的な調和関数を含む。
振幅 = 4/π[sin(ω_rt)+1/3sin(3ω_rt)+1/5sin(5ω_rt)+1/7sin(7ω_rt).....]

高Q共振回路500について、基本項は十分である。基本項は、以下の等式に示すように、正弦波入力と比較する場合、ピーク振幅において4/πの増加を有し、ここでVinはピーク〜ピーク間の入力方形波504の振幅であり、sin(ω_rt)は1に等しい。
Vout = V_IN Q 4/π

効果は、増加Qを有する共振周波数ω_rでのノッチフィルターとして考えられる。これは、共振回路500のデジタルパルス幅変調（PWM）制御の使用を可能にする。

図82および83を参照すると、方形波504のデューティ・サイクル513の持続時間511は、信号が大きい方形波504の期間512内の時間間隔である。デューティ・サイクル513は511を512で割った値である。共振周波数ω_rでの方形波（またはPWM）入力のデューティ・サイクル513を変化させることにより、ピーク〜ピーク間の振幅Vout86、88が調整される。Vout86、88と、デューティ・サイクル513との関係515は、以下の式によって、デューティ・サイクルの範囲が0〜全期間のように近似され、図83に示される。
Vout = Vin Q 4/π sin（デューティ・サイクル π）

図84を参照すると、ハーフブリッジ駆動回路520の態様が図示される。そのような回路520は、IXYS Corporationから部品番号IXDN404などが市販されている。低電圧PWM入力521は、ハーフブリッジ回路520によって増幅され、入力電圧Vinが生成する。回路520は共振回路500を駆動するために使用され、高電力レベルで高電圧正弦波86、88を効率的に生成する。

図85を参照すると、2つのハーフブリッジ回路520を使用するフルブリッジ回路の代替的な態様が示される。第1のハーフブリッジ回路523は、図84と同じ方法で共振回路500と接続される。第2のハーフブリッジ回路524は点526に接続され、もはや共通のアース25ではない。両方のハーフブリッジ回路523、524は同じPWM入力521を使用するが、入力信号は524中で逆になり、180°の位相変化を生じる。フルブリッジ駆動525は、供給電圧522に対してVout86、88を2倍にする。

図86、87、および88を参照すると、モーター10、30、50、142、154、230、および300に対する完全な駆動回路が図示される。モーターおよび典型的には毎秒40,000〜200,000サイクルの範囲である回路共振周波数ω_rでの正または負の90°位相変化92（図19参照）には、2つの駆動電圧86および88が必要である。

結合回路534および531は、90°の位相変化を有する2つのPWM入力信号521aおよび521bを生成する。順方向および逆方向は、どちらの信号を導くかを変化させることにより制御される。速度は、2つの入力PWMの波形521aおよび521bのデューティ・サイクル513を、0〜0.5に変化させることによって制御される。この好ましい態様において、両信号521aおよび521bは同じデューティ・サイクル513に設定されるべきである。

Microchip社などにより製造されるdsPIC30F3010のようなマイクロコントローラ534はPWM波形を生成する。この実施例において、マイクロコントローラ534は、1つのPWM信号を他の信号に対して位相変化させることができない。この限界を克服するために、回路531はPWM信号539aと539bを結合させる。回路531の詳細は図87に示されている。

図87および回路531を参照すると、3つのPWM回路538、539a、および539bは位相が合っている。PWM信号539aおよび539bは、排他的Or（XOR）ゲート535を用いて結合される。入力539aまたは539bが大きいが、両方は大きくない場合に、XORゲート535の出力561は大きい。そうでない場合、535の出力562は小さい。

PWM入力539aのデューティ・サイクルは、要求デューティ・サイクルに0.25を加えたもの（これは90°の位相変化に相当）に等しい。PWM入力539bのデューティ・サイクルは0.25に固定される。XORゲート535は信号539aと539bを結合し、位相変化したPWM信号561を生成する。

マルチプレクサー536aおよび536bは、方向信号537に依存して、2つの入力信号の1つを通過する。この開示において、「順向き」および「逆向き」の方向についての記載は任意である。

回路530が順方向に作動している場合、方向論理信号537および実行論理信号562は大きい。PWM入力538はマルチプレクサー536aを通過して信号521aとなり、ならびにPWM入力561はマルチプレクサー536bを通過して信号521bとなる。図88のグラフ540aは、最大デューティ・サイクル513に対する順方向のPWM信号521aおよび521bを説明している。

回路530が逆方向に作動している場合、方向論理信号537は小さく、実行論理信号562は大きい。PWM入力538はマルチプレクサー536bを通過して信号521bとなり、ならびにPWM入力561はマルチプレクサー536aを通過して信号521aとなる。図88のグラフ540bは、最大デューティ・サイクル513に対する逆方向のPWM信号521aおよび521bを説明している。

信号521aおよび521bは、実行論理信号562が小さい場合は常に小さい。

図86に示したさらなる回路の態様では、モーターの圧電アクチュエータと平行に設置されたパディングコンデンサ533が追加されている（例えば図4に示した圧電プレート18、20、22、および24を参照されたい）。パディングコンデンサ533aおよび533bは、共振回路500aおよび500bの全キャパシタンスを増加させる。パディングコンデンサは、好ましくは、2％未満の損失因子を有する高品質の構成要素であり、広範な温度および電圧範囲にわたって安定なキャパシタンスを維持する。好ましい態様において、パディングキャパシタンス533aおよび533bの圧電キャパシタンス560との比率はおよそ2：1である。パディングコンデンサ533は、共振周波数ω_rおよび共振回路500のQをより広範な作動温度および電力レベルで安定化させる全キャパシタンス502を安定化させる。モーターアセンブリとともにパディングキャパシタンス533aおよび533bを使用することのさらなる特徴は、パディングキャパシタンス値が各モーターアセンブリに対して選択され、圧電キャパシタンスにおける小さな変化を埋め合わせて、各モーターアセンブリを、固定インダクター値を有する標準駆動電子機器と相互に交換可能にする一定の全キャパシタンスを維持することである。

図89および90を参照すると、モーター10、30、50、142、154、230、および300についての2つの制御方法が説明される。1つの方法はバースト制御モードであり、もう一方は、振幅制御モードである。

「バースト」モードの作動において、デューティ・サイクル513は、出力駆動電圧86および88を固定する信号521aおよび521bに対して固定される。図89aに示されるように、モーターは実行論理信号562を用いてオンおよびオフにする。モーター論理信号562は、間隔547内のオン持続時間546の間、オンにされる。間隔547は、オンとオフの持続時間の和が間隔547と等しくなるように、オン持続時間546とオフ持続時間604を含む。図89aに図示した態様において、方形波504の各オン持続時間546は、複数の電圧ピーク608を含む。間隔547は、複数の電圧ピークのうちの1つから次まで実質的に一定である。オン持続時間546の間隔547に対する比率は、約0〜約1で変化する。別の態様において、前述の比率は約0.01〜0.5で変化する。個別のバースト546は、小さなステップを生成するように要求されうる。この態様において、使用される典型的な間隔は10ミリ秒であり、典型的な持続時間の範囲は100マイクロ秒〜全時間間隔547である。バーストモード方形波504の連続作動は、モーターシャフトの一定速度をもたらし、ならびに持続時間546の変化は速度を変化させる。バーストモード作動は、分離位置センサーまたは高帯域幅制御ループなしに、高精度の位置制御を可能にする。

「振幅」モード作動において、デューティ・サイクル513は0〜0.5に調整され、モーター速度を変化させる駆動電圧振幅86および88を変化させる。PWM入力信号521aまたは521bの1つが、方形波504として図89bに示される。振幅モードにおいて、PWM信号のデューティ・サイクル513のみが変化する。図89bに示されるように、電圧ピーク600は電圧ピーク602とは異なるデューティ・サイクルを有する。振幅モードは一般にマイクロコントローラ534が位置フィードバック557を受容する閉ループ用途で望ましい（図90参照）。なぜなら、このモードはより滑らかな運動、正確さ、および最小のオーバーシュートを提供しうるためである。

図90を参照すると、当業者が一般に使用するフィードバックアルゴリズムは、比例/積分/微分（PID）制御ループである（例えば米国特許第6,308,113号を参照されたい）。モーター10、30、50、142、154、230、および300に対する制御ループのこの態様において、インクリメンタルガラススケールエンコーダ、電位差計、ホール効果磁気センサーなどを含む様々な位置センサー557を使用しうる。

運動コマンドは、外部コントローラインターフェース556を介してマイクロコントローラ534に送られる（例えばI²C、SPI、RS-232、USB、イーサネットなど）。運動コマンドは、絶対位置への移動、移動距離、停止コマンドまでの移動、および停止を含みうる。運動コマンドは設定された加速および速度も含みうる。

通常の間隔（例えば250マイクロ秒）で、マイクロコントローラ534のソフトウェアは、位置センサー557からモーターの現在位置を照会し、モーターの設定位置（または時間内のその時点で要求された位置）を計算する。要求された位置の決定は、最初の位置、どれだけ前にモーターが移動するように命令されたか、ならびに加速、速度、および目的位置についての要求に基づく。位置誤差は、この設定値から、位置センサーによって報告された現在位置を引いたものである。次に、適切な出力駆動振幅が、以下の方法で位置誤差に基づいて計算される。
誤差 = 設定値 - 現在位置
誤差変化 = 誤差 - 直前誤差
誤差の和 = 誤差の和 + 誤差
最終誤差 = 誤差
振幅 = KP^＊誤差 + KD^＊誤差変化 + KI^＊誤差の和
ここで、振幅は、要求された出力駆動振幅であり、
KPは比例係数であり、
KDは微分係数であり、
KIは積分係数である。

KP、KD、およびKI係数は、モーターの荷重、および位置フィードバック機構557の精度（カウント/単位距離）によって較正された定数である。

本発明を十分に説明したが、請求の範囲の本質および範囲を逸することなく数多くの変更および改変を本発明に加えることができることが当業者には明白であろう。

本明細書、請求の範囲、および同様な参照番号が同様の要素を指す図面を参照することによって本発明を説明する。
4枚の長方形圧電プレートを含むモーターを示す。モーターの斜視図である。 4枚の長方形圧電プレートを含むモーターを示す。モーターの分解図である。 4枚の長方形圧電プレートを含むモーターを示す。モーターの端面図である。 4枚の長方形圧電プレートを含むモーターを示す。モーターへの電気接続を示す図である。 図5は、4枚の長方形圧電プレートを含むモーターを示す。図3の線A-A（30）から見たモーターの断面図である。図5Aは、4枚の長方形圧電プレートを含むモーターを示す。外部プレロードおよびモーター電源オフ状態でのねじ係合の拡大図（図5の47）である。図5Bは、4枚の長方形圧電プレートを含むモーターを示す。モーター作動状態での図5Aと同じ拡大図である。 4枚の長方形圧電プレートを含むモーターを示す。図3の線B-B（32）から見た断面図である。 4個の圧電スタックを含むモーターを示す。モーターの斜視図である。 4個の圧電スタックを含むモーターを示す。モーターの分解図である。 4個の圧電スタックを含むモーターを示す。モーターの端面図である。 4個の圧電スタックを含むモーターを示す。モーターへの電気接続を示す図である。 4個の圧電スタックを含むモーターを示す。図9の線A-A（48）から見た断面図である。 4個の圧電スタックを含むモーターを示す。図9の線B-B（46）から見た断面図である。 4個の外側電極を備えた圧電管を含むモーターを示す。モーターの斜視図である。 4個の外側電極を備えた圧電管を含むモーターを示す。モーターの分解図である。 4個の外側電極を備えた圧電管を含むモーターを示す。モーターの端面図である。 4個の外側電極を備えた圧電管を含むモーターを示す。モーターへの電気接続を示す図である。 4個の外側電極を備えた圧電管を含むモーターを示す。図15の線A-A（56）から見た断面図である。 ねじ山付きシャフトの回転および平行移動を示す、図1のモーターの場合のねじ山付きナットの軌道運動の略図である。 図18に示す動きを作り出すために必要な電気駆動信号の略図である。モーター10、30、50、142、154、230、および300の圧電要素を作動させるための二相の駆動信号86、88を示す。 図1のモーターをリニアステージとでパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。モーターアセンブリの斜視図である。 図1のモーターをリニアステージとでパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。モーターアセンブリの分解図である。 図1のモーターをリニアステージとでパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。モーターアセンブリの断面図である。 図1のモーターをリニアステージとでパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。図23Aは、図20とは逆から見た、モーターアセンブリの斜視図である。図23Bは、モーターアセンブリが順方向に回転し、平行移動する方法を示す斜視図である。図23Cは、モーターアセンブリが逆方向に回転し、平行移動する方法を示す斜視図である。 図1のモーターをリニアステージとでパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。図24Aは、順方向に作動するリニアステージに組み込まれたモーターアセンブリを示す図である。図24Bは、逆方向に作動するリニアステージに組み込まれたモーターアセンブリを示す図である。 図1のモーターをリニアステージとでパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。3軸ステージシステムに組み込まれたモーターアセンブリを示す図である。 図13〜17と同様、4個の外側電極を備えた圧電チューブを含むモーターを示す。モーターの斜視図である。 図13〜17と同様、4個の外側電極を備えた圧電チューブを含むモーターを示す。モーターの分解図である。 図13〜17と同様、4個の外側電極を備えた圧電チューブを含むモーターを示す。モーターの端面図である。 図13〜17と同様、4個の外側電極を備えた圧電チューブを含むモーターを示す。図28の線A-A（130）から見た断面図である。 4個の圧電スタックを平面配列で含むモーターを示す。モーターの斜視図である。 4個の圧電スタックを平面配列で含むモーターを示す。モーターの分解図である。 4個の圧電スタックを平面配列で含むモーターを示す。モーターの端面図である。 4個の圧電スタックを平面配列で含むモーターを示す。図32の線A-A（132）から見た断面図である。 4個の圧電スタックを平面配列で含むモーターを示す。モーター中の1個の圧電スタックへの電気接続を示す図である。 4個の圧電スタックを平面配列で含むモーターを示す。モーター中の4個のスタックへの電気接続を示す図である。 4個の圧電スタックを平面配列で含むモーターを示す。図36A〜36Eは、図18に示す動的な作動に似ている、ねじ山付きシャフトの回転を示す図30のモーターの場合のねじ山付きナットの軌道運動の図である。 モーターおよびレンズを組み合わせた光学アライメント機構を示す。中空のシャフトを備え、該シャフト内にレンズが設置されている、図26のモーターの斜視図である。 モーターおよびレンズを組み合わせた光学アライメント機構を示す。モーターの端面図である。 モーターおよびレンズを組み合わせた光学アライメント機構を示す。図38の線A-A（134）から見た断面図である。 モーターおよびレンズを組み合わせた光学アライメント機構を示す。中空のシャフトを備え、該シャフト内にレンズが設置されている、図30のモーターの斜視図である。 モーターおよびレンズを組み合わせた光学アライメント機構を示す。モーターの端面図である。 モーターおよびレンズを組み合わせた光学アライメント機構を示す。図41の線A-A（136）から見た断面図である。 焦点面撮像素子を備えた図40に示す2個の光学アライメント機構を組み込んだカメラ自動焦点および自動ズームアセンブリを示す。カメラアセンブリの斜視図である。 焦点面撮像素子を備えた図40に示す2個の光学アライメント機構を組み込んだカメラ自動焦点および自動ズームアセンブリを示す。アセンブリの端面図である。 焦点面撮像素子を備えた図40に示す2個の光学アライメント機構を組み込んだカメラ自動焦点および自動ズームアセンブリを示す。図44の線A-A（138）から見た断面図である。 光学レンズが、平行移動するが回転はしないよう、回転防止ピンによって軸受けに装着されている、図43に示すカメラアセンブリを示す。カメラアセンブリの斜視図である。 光学レンズが、平行移動するが回転はしないよう、回転防止ピンによって軸受けに装着されている、図43に示すカメラアセンブリを示す。アセンブリの端面図である。 光学レンズが、平行移動するが回転はしないよう、回転防止ピンによって軸受けに装着されている、図43に示すカメラアセンブリを示す。図47のA-A（140）から見た断面図である。 内部の長さ全体が係合したねじを構成する中心部材に固定的に取り付けられた4枚の長方形圧電プレートを含む、（図1〜5と同様の）モーターを示す。モーターの斜視図である。 内部の長さ全体が係合したねじを構成する中心部材に固定的に取り付けられた4枚の長方形圧電プレートを含む、（図1〜5と同様の）モーターを示す。モーターの分解図である。 内部の長さ全体が係合したねじを構成する中心部材に固定的に取り付けられた4枚の長方形圧電プレートを含む、（図1〜5と同様の）モーターを示す。モーターの端面図である。 内部の長さ全体が係合したねじを構成する中心部材に固定的に取り付けられた4枚の長方形圧電プレートを含む、（図1〜5と同様の）モーターを示す。図51の線A-A（246）から見たモーターの断面図である。 図49のモーターを、デジタルカメラおよび携帯電話で使用されるような自動焦点を提供する光学アセンブリ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。自動焦点レンズアセンブリにパッケージングされたモーターアセンブリの斜視図である。 図49のモーターを、デジタルカメラおよび携帯電話で使用されるような自動焦点を提供する光学アセンブリ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。モーターアセンブリパッケージの部分断面図である。 図49のモーターを、デジタルカメラおよび携帯電話で使用されるような自動焦点を提供する光学アセンブリ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。モーターアセンブリパッケージの分解図である。 図49のモーターを、デジタルカメラおよび携帯電話で使用されるような自動焦点を提供する光学アセンブリ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。完全に格納されたモーターアセンブリおよび付随のレンズ機構を示す部分断面図である。 図49のモーターを、デジタルカメラおよび携帯電話で使用されるような自動焦点を提供する光学アセンブリ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。モーターアセンブリが順方向に平行移動し、結果的にレンズ機構を動かす方法を示す部分断面図である。 図49のモーターを、デジタルカメラおよび携帯電話で使用されるような自動焦点を提供する光学アセンブリ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。モーターアセンブリが完全に平行移動し、レンズ機構を操縦し得る方法を示す部分断面図である。 図59Aは、図49のモーターを、デジタルカメラおよび携帯電話で使用されるような自動焦点を提供する光学アセンブリ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。携帯電話に組み込まれた図53のモーターアセンブリパッケージを示す斜視図である。図59Bは、図49のモーターを、デジタルカメラおよび携帯電話で使用されるような自動焦点を提供する光学アセンブリ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。モーターアセンブリパッケージ（図59Aの247）の拡大スケール部分断面図である。 図26のモーターを、医療用液体ポンプで使用されるような制御液体分注のための手段を提供する分注シリンジ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。シリンジ液体分注システムにパッケージングされたモーターアセンブリの斜視図である。 図26のモーターを、医療用液体ポンプで使用されるような制御液体分注のための手段を提供する分注シリンジ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。モーターアセンブリパッケージの部分断面図である。 図26のモーターを、医療用液体ポンプで使用されるような制御液体分注のための手段を提供する分注シリンジ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。モーターアセンブリパッケージの分解図である。 図26のモーターを、医療用液体ポンプで使用されるような制御液体分注のための手段を提供する分注シリンジ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。液量がシリンジ本体の内部に残るのを可能にする、シリンジのプランジャーに沿って完全に格納されたモーターアセンブリを詳述する斜視図である。 図26のモーターを、医療用液体ポンプで使用されるような制御液体分注のための手段を提供する分注シリンジ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。すべての液量をシリンジ本体から押し出す、付随のプランジャーとともに完全に平行移動したモーターアセンブリの斜視図である。 図26のモーターを、医療用液体ポンプで使用されるような制御液体分注のための手段を提供する分注シリンジ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。医療用液体ポンプ内にパッケージングされたモーターアセンブリの斜視図である。 図26のモーターを、医療用液体ポンプで使用されるような制御液体分注のための手段を提供する分注シリンジ内にパッケージングし、組み合わせたモーターの応用を示す。医療用液体ポンプハウジング内のモーターアセンブリを示す図65の部分断面図である。 図67Aは、本明細書に含まれるすべてのモーターで使用され得る、接線運動を限定する特徴を示す。非係合状態における組み込まれた接線運動を限定する特徴を有する典型的なモーターアセンブリの斜視図を示す。図67Bは、本明細書に含まれるすべてのモーターで使用され得る、接線運動を限定する特徴を示す。接線運動を限定する特徴（図67Aの259）の拡大スケール図である。 図68Aは、本明細書に含まれるすべてのモーターで使用され得る、接線運動を限定する特徴を示す。係合状態における組み込まれた接線運動を限定する特徴を有する典型的なモーターアセンブリの斜視図を示す。図68Bは、本明細書に含まれるすべてのモーターで使用され得る、接線運動を限定する特徴を示す。接線運動を限定する特徴（図68Aの266）の拡大スケール図である。 本明細書に含まれるすべてのモーターで使用され得る、接線運動を限定する特徴を示す。図69Aは、接線運動を限定する特徴の固定局面の斜視図である。図69Bは、接線運動を限定する特徴の固定特性を詳述する側面図である。 本明細書に含まれるすべてのモーターで使用され得る、接線運動を限定する特徴を示す。図70Aは、接線運動を限定する特徴の回転局面の斜視図である。図70Bは、接線運動を限定する特徴の回転能力を詳述する側面図である。 本明細書に含まれるすべてのモーターで使用され得る、接線運動を限定する特徴を示す。モーターが回転し、平行移動するときの接線運動を限定する特徴の作動の段階を図示する。 電気制御および物理的組み付けの手段としてプリント回路基板に取り付けられた中央部材に固定して取り付けられた4つの長方形圧電プレートを含み、その内部の長さが係合されたねじを含む、モーターの斜視図を示す。 電気制御および物理的組み付けの手段としてプリント回路基板に取り付けられた中央部材に固定して取り付けられた4つの長方形圧電プレートを含み、その内部の長さが係合されたねじを含む、モーターの分解図を示す。 電気制御および物理的組み付けの手段としてプリント回路基板に取り付けられた中央部材に固定して取り付けられた4つの長方形圧電プレートを含み、その内部の長さが係合されたねじを含む、モーターを示す。図74Aは、モーターの端面図を示す。図74Bは、図74Aの線F-F（333）から見たモーターの断面図であり、係合ねじの全長を図示している。図74Cは、図74Aの線F-F（333）から見たモーターの断面図であり、係合ねじの部分長を図示している。 デジタルカメラおよび携帯電話カメラにおいて使用される自動焦点調節および光学ズーム機能と類似の機能を提供するカメラアセンブリに納められ、一体化された、図72のモーターの用途を示す。自動焦点調節および光学ズームレンズアセンブリを組み込んだカメラアセンブリの斜視図である。 図76は、デジタルカメラおよび携帯電話カメラにおいて使用される自動焦点調節および光学ズーム機能と類似の機能を提供するカメラアセンブリに納められ、一体化された、図72のモーターの用途を示す。カメラアセンブリパッケージの部分断面図である。図76Aは、部分的に分解した図76のカメラアセンブリパッケージの斜視図である。 デジタルカメラおよび携帯電話カメラにおいて使用される自動焦点調節および光学ズーム機能と類似の機能を提供するカメラアセンブリに納められ、一体化された、図72のモーターの用途を示す。カメラアセンブリパッケージの分解図である。 デジタルカメラおよび携帯電話カメラにおいて使用される自動焦点調節および光学ズーム機能と類似の機能を提供するカメラアセンブリに納められ、一体化された、図72のモーターの用途を示す。図78Aは、光学ズームレンズを完全に後退させたカメラアセンブリの部分断面図であり、図78Bは、光学ズームレンズを不完全に伸長させたカメラアセンブリの部分断面図であり、図78Cは光学ズームレンズを完全に伸長させたカメラアセンブリの部分断面図である。 デジタルカメラおよび携帯電話カメラにおいて使用される自動焦点調節および光学ズーム機能と類似の機能を提供するカメラアセンブリに納められ、一体化された、図72のモーターの用途を示す。図79Aは自動焦点レンズアセンブリを完全に後退させたカメラアセンブリの部分断面図であり、図79Bは自動焦点レンズを不完全に伸長させたカメラアセンブリの部分断面図であり、図79Cは付随の自動焦点レンズを完全に伸長させたカメラアセンブリの部分断面図である。 デジタルカメラおよび携帯電話カメラにおいて使用される自動焦点調節および光学ズーム機能と類似の機能を提供するカメラアセンブリに納められ、一体化された、図72のモーターの用途を示す。図80Aは、携帯電話に組み込まれた図75のカメラアセンブリの典型的な用途およびパッケージを示している斜視図であり、図80Bは、カメラアセンブリ（図80Aの330）の拡大部分断面図である。 モーター10、30、50、142、154、230、および300についての電気駆動回路の態様を示す。駆動信号の要求は、モーターの圧電要素、例えば18、20、22、および24に接続された二相86、88を示す図19に示した。方形波（パルス幅変調-PWM）入力信号を用いた直列共振回路の理論および実施について示す。図81は単相直列共振回路を示す。 モーター10、30、50、142、154、230、および300についての電気駆動回路の態様を示す。方形波（パルス幅変調-PWM）入力信号を用いた直列共振回路の理論および実施について示す。図82は、1つの態様において直列共振回路への入力として使用される方形波（PWM）信号を示す。 モーター10、30、50、142、154、230、および300についての電気駆動回路の態様を示す。方形波（パルス幅変調-PWM）入力信号を用いた直列共振回路の理論および実施について示す。図83は、PWM信号のデューティ・サイクルと、固定周波数でのピークピーク間の電圧（Vout）との関連を示す。 モーター10、30、50、142、154、230、および300についての電気駆動回路の態様を示す。方形波（パルス幅変調-PWM）入力信号を用いた直列共振回路の理論および実施について示す。図84は、直列共振回路と組み合わせたハーフブリッジ回路の1つの態様を示す。 モーター10、30、50、142、154、230、および300についての電気駆動回路の態様を示す。方形波（パルス幅変調-PWM）入力信号を用いた直列共振回路の理論および実施について示す。図85は2つのハーフブリッジ回路を直列共振回路と組み合わせるハーフブリッジ回路の1つの態様を図示する。 モーター10、30、50、142、154、230、および300についての電気駆動回路の態様を示す。方形波（パルス幅変調-PWM）入力信号を用いた直列共振回路の理論および実施について示す。図86は、2つの駆動信号86、88を生成する完全な共振モーター駆動回路の1つの態様を図示する。 モーター10、30、50、142、154、230、および300についての電気駆動回路の態様を示す。方形波（パルス幅変調-PWM）入力信号を用いた直列共振回路の理論および実施について示す。図87は、位相変化および方向制御を生じさせるPWMプロセス回路531の1つの態様を図示する。 モーター10、30、50、142、154、230、および300についての電気駆動回路の態様を示す。方形波（パルス幅変調-PWM）入力信号を用いた直列共振回路の理論および実施について示す。図88は、様々な速度および方向に対するPWM信号の例を図示する。 モーター10、30、50、142、154、230、および300についての電気駆動回路の態様を示す。方形波（パルス幅変調-PWM）入力信号を用いた直列共振回路の理論および実施について示す。図89Aは、急速にモーターをオンとオフに変えることによってモーター速度を制御するために使用される、バーストモードにおけるPWM信号の追加的な例を図示する。図89Bは、電圧振幅を変化させるためにデューティ・サイクルを用いてモーター速度を制御するために使用される、PWM信号の追加的な例を図示する。 モーター10、30、50、142、154、230、および300についての電気駆動回路の態様を示す。方形波（パルス幅変調-PWM）入力信号を用いた直列共振回路の理論および実施について示す。図90は、モーター、位置センサー、モーター駆動回路、およびPID制御ループを組み合わせる閉ループ制御システムの1つの態様を図示する。

Claims (45)

1. 焦点調節用口径を有する光学焦点アセンブリ、光学的口径を有する光学ズームアセンブリ、および、それと係合した第1および第2のねじ山付きナット、第1ならびに第2の軸方向および長さを有する第1および第2のねじ山付きシャフトを含む、ねじ山付きシャフトアセンブリを駆動するための装置であって、該ねじ山付きシャフトアセンブリが、第1および第2のねじ山付きナットを超音波振動に供し、それによって第1および第2のねじ山付きシャフトを回転させ、かつ第1および第2のねじ山付きナットをねじ山付きシャフトの長さの部分にわたって第1および第2の軸方向に平行移動させるための手段を含み、該口径のそれぞれが、光軸が該口径の両方を通過するように構成され、第1のねじ山付きシャフトは第2のねじ山付きシャフトに隣接して整列され光軸に対して平行である、装置。
2. 第1および第2のねじ山付きシャフトの回転が少なくとも360°まで起こる、請求項1記載の装置。
3. 各ねじ山付きナットの、軌道サイクルごとの軸方向の平行移動が、超音波振動の任意の単一の振幅の振幅値に比例した距離にわたって起こる、請求項1記載の装置。
4. 荷重が各ねじ山付きナットに接続している、請求項3記載の装置。
5. 各ねじ山付きナットが第1の振動共振を有する節点を有し、かつ荷重が節点でねじ山付きナットに接続している、請求項4記載の装置。
6. 各ねじ山付きナットが、各ねじ山付きシャフトに係合したねじ山付き部位と、ねじ山付きシャフトに係合しない過大部位とを含む、請求項5記載の装置。
7. 過大部位が節点に位置づけられている、請求項6記載の装置。
8. 荷重がプリント回路基板を含む、請求項5記載の装置。
9. プリント回路基板が、超音波振動を発生させるための手段に接続されている、請求項8記載の装置。
10. 超音波振動を発生させるための手段が、第1の方向に超音波振動を発生させるための第1の圧電プレート、および第2の方向に超音波振動を発生させるための第2の圧電プレートを含む、請求項9記載の装置。
11. 第1の方向と第2の方向とが直交する、請求項10記載の装置。
12. プリント回路基板が、第1の方向に超音波振動を発生させるための第3の圧電プレート、および第2の方向に超音波振動を発生させるための第4の圧電プレートをさらに含む、請求項11記載の装置。
13. 荷重が、光学焦点レンズおよび光学ズームレンズからなる群より選択されるレンズをさらに含む、請求項8記載の装置。
14. 超音波振動を発生させるための超可聴音発生装置をさらに含む、請求項3記載の装置。
15. 超可聴音発生装置が、第1のパルス幅変調信号および第2のパルス幅変調信号を発生させるためのマイクロコントローラをさらに含む、請求項14記載の装置。
16. 長さに沿ってねじ山付きナットの位置を感知するための位置センサー、および、ねじ山付きナットの位置をマイクロコントローラに伝達するための、位置センサーとマイクロコントローラとの間の電気接続をさらに含む、請求項15記載の装置。
17. マイクロコントローラが、伝達に応じて第1および第2のパルス幅変調信号を改変する、請求項16記載の装置。
18. 第1のパルス幅変調信号が、第2のパルス幅変調信号に対して約90°位相がずれている、請求項15記載の装置。
19. 超音波発生装置が回路共振周波数を有する直列共振回路をさらに含み、第1および第2のパルス幅変調信号が方形信号(square signal)であり、かつ入力周波数を有し、ねじ山付きナットが機械的共振周波数を有し、回路共振周波数が入力周波数と実質的に同等であり、入力周波数が機械的共振周波数と実質的に同等である、請求項15記載の装置。
20. 共振回路がコンデンサを含み、超可聴音発生装置が圧電プレートを含み、圧電プレートがコンデンサとして機能する、請求項19記載の装置。
21. 超可聴音発生装置が、圧電プレートと並列に配置されたパディングコンデンサをさらに含む、請求項20記載の装置。
22. パディングコンデンサがパディングキャパシタンスを有し、圧電プレートが圧電キャパシタンスを有し、パディングキャパシタンスの圧電キャパシタンスに対する比率が約2である、請求項21記載の装置。
23. 第1および第2のパルス幅変調信号が、共振回路によって方形信号から第1および第2の正弦波信号へと変換される、請求項20記載の装置。
24. 第1および第2のパルス幅変調信号が第1の電圧を有し、第1および第2の正弦波信号が第2の電圧を有し、第2の電圧が第1の電圧よりも大きくなるように電圧増幅器をさらに含む、請求項23記載の装置。
25. 第1のパルス幅変調信号が第2のパルス幅変調信号に先行する場合に、ねじ山付きナットがねじ山付きシャフトの第1の末端に向かって軸方向に平行移動し、かつ、第2のパルス幅変調信号が第1のパルス幅変調信号に先行する場合に、ねじ山付きナットがねじ山付きシャフトの第1の末端から離れて軸方向に平行移動する、請求項15記載の装置。
26. 第1および第2のパルス幅変調信号が第1の電圧ピークおよび第2の電圧ピークを含み、第1の電圧ピークが第2の電圧ピークとは異なるデューティ・サイクルを有する、請求項15記載の装置。
27. 第1および第2のパルス幅変調信号が一定のデューティ・サイクルで作動し、第1および第2のパルス幅変調信号が複数の電圧ピークを含み、複数の電圧ピークがオン持続時間にはオンでオフ持続時間にはオフであり、オン持続時間とオフ持続時間の和が間隔と等しく、間隔が実質的に一定であり、オン持続時間を間隔で割った比率が0〜1の間で変動する、請求項15記載の装置。
28. 第1のパルス幅変調信号が、約0〜約0.5のデューティ・サイクルを有する、請求項20記載の装置。
29. 第1および第2の正弦波信号が振幅を有し、長さにわたって平行移動しているねじ山付きナットの速度が振幅によって制御される、請求項23記載の装置。
30. （a）第1のねじ山付きナット、および、それと係合した、第1の軸方向および長さを有する第1のねじ山付きシャフトを含み、第1のねじ山付きナットを超音波振動に供し、それによって第1のねじ山付きシャフトを回転させ、かつ第1のねじ山付きナットを第1のねじ山付きシャフトの長さの部分にわたって第1の軸方向に平行移動させるための手段を含む、第1のねじ山付きナットに接続された光学焦点アセンブリ、
    （b）第2のねじ山付きナット、および、それと係合した、第2の軸方向および長さを有する第2のねじ山付きシャフトを含み、第2のねじ山付きナットを超音波振動に供し、それによって第2のねじ山付きシャフトを回転させ、かつ第2のねじ山付きナットを第2のねじ山付きシャフトの長さの部分にわたって第2の軸方向に平行移動させるための手段を含む、第2のねじ山付きナットに接続された光学ズームアセンブリ
    を含む、ねじ山付きシャフトアセンブリを駆動するための装置であって、
    第1のねじ山付きナットが、第1のプリント回路基板を介して光学焦点アセンブリに接続され、第2のねじ山付きナットが、第2のプリント回路基板を介して光学ズームアセンブリに接続されている、装置。
31. 第1のプリント回路基板および第2のプリント回路基板が、超音波振動を発生させるための手段に接続されている、請求項30記載の装置。
32. 光学焦点アセンブリが焦点レンズを含み、光学ズームアセンブリがズームレンズを含み、光軸が両レンズを通過するように焦点レンズおよびズームレンズが構成される、請求項31記載の装置。
33. 光学焦点アセンブリが第1のリニアガイドを含み、光学ズームアセンブリが第2のリニアガイドを含み、第1および第2のリニアガイドが光軸と平行である、請求項32記載の装置。
34. 第1のリニアガイド、第2のリニアガイド、第1の回転軸、および第2の回転軸が全て同一平面上にある、請求項33記載の装置。
35. 第1のねじ山付きシャフトが、第2のねじ山付きシャフトと一直線上にある、請求項32記載の装置。
36. 第1のねじ山付きシャフトおよび第2のねじ山付きシャフトがばねの内側に配置され、かつ、ばねと同軸であり、力が各回路基板に適用されるようにばねが第1のプリント回路基板および第2のプリント回路基板に接続されている、ばねをさらに含む請求項35記載の装置。
37. 第1のねじ山付きナットの第1の軸方向への平行移動により、光学焦点アセンブリの第1の軸方向への平行移動を生じ、これにより光学焦点アセンブリを調整する、請求項36記載の装置。
38. 第2のねじ山付きナットの第2の軸方向への平行移動により、光学ズームアセンブリの第2の軸方向への平行移動を生じ、これにより光学ズームアセンブリを調整する、請求項36記載の装置。
39. （a）第1のねじ山付きナット、および、それと係合した、第1の軸方向および長さを有する第1のねじ山付きシャフトを含み、第1のねじ山付きナットを超音波振動に供し、それによって第1のねじ山付きシャフトを第1の軸の周りで回転させ、かつ第1のねじ山付きナットを第1のねじ山付きシャフトの長さの部分にわたって第1の軸方向に平行移動させるための手段を含み、第1のプリント回路基板を介して第1のねじ山付きナットに接続されており、軌道サイクルごとの第1の軸方向の平行移動が超音波振動の任意の単一の振幅の振幅値に比例した距離にわたって起こる、光学焦点アセンブリ、
    （b）第2のねじ山付きナット、および、それと係合した、第2の軸方向および長さを有する第2のねじ山付きシャフトを含み、第2のねじ山付きナットを超音波振動に供し、それによって第2のねじ山付きシャフトを第2の軸の周りで回転させ、かつ第2のねじ山付きナットを第2のねじ山付きシャフトの長さの部分にわたって第2の軸方向に平行移動させるための手段を含み、第2のプリント回路基板を介して第2のねじ山付きナットに接続されており、軌道サイクルごとの第2の軸方向の平行移動が超音波振動の任意の単一の振幅の振幅値に比例した距離にわたって起こる、光学ズームアセンブリ
    を含み、
    第1のプリント回路基板が、第1の方向に超音波振動を発生させるための第1の圧電プレート、および第2の方向に超音波振動を発生させるための第2の圧電プレート、第1の方向に超音波振動を発生させるための第3の圧電プレート、および第2の方向に超音波振動を発生させるための第4の圧電プレートを含み、第1の方向および第2の方向が直交する、
    ねじ山付きシャフトアセンブリを駆動するための装置。
40. 第1のプリント回路基板および第2のプリント回路基板が硬質プリント回路基板である、請求項39記載の装置。
41. 第1のプリント回路基板および第2のプリント回路基板がフレキシブルプリント回路基板である、請求項39記載の装置。
42. 第1のプリント回路基板および第2のプリント回路基板が絶縁材料の層を含む、請求項39記載の装置。
43. 絶縁材料の層が、ガラス-エポキシ、セラミック、ポリテトラフルオロエチレン、およびそれらの組み合わせからなる群より選択される絶縁体を含む、請求項42記載の装置。
44. カメラの内部に配置される、請求項39記載の装置。
45. 携帯電話、無線電話、および携帯情報端末からなる群より選択されるデバイスの内部にカメラが配置される、請求項44記載の装置。

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