JP5220497B2 - リニアモータ - Google Patents
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なお、ムービングコイルタイプについても同様な課題がある。
シェルは、第1のシェル部と、コイルを挟むように第1のシェル部に対向して配置される第2のシェル部と、第1のシェル部と第2のシェル部とを連結させる変形手段と、を備えたことを特徴とする。
この場合、弾性部は、弾性をもたない材質(例えば金属)で波状に形成されても、ゴム材により形成されてもよい。
このような構成を採用すると、変形手段の薄型化及び軽量化を可能にし、プレスや射出成形によって容易に成形することができる。
Claims (4)
- コイルと、前記コイルを内部に収容するシェルと、前記シェルの外部で前記コイルに対向して配置されたマグネットと、前記シェル内に設けられた冷媒流路とを有するリニアモータにおいて、
前記シェルは、
第1のシェル部と、
前記コイルを挟むように前記第1のシェル部に対向して配置される第2のシェル部と、
前記第1のシェル部と前記第2のシェル部とを連結させる変形手段と、を備えたことを特徴とするリニアモータ。 - 前記第1及び第2のシェル部は、前記マグネットに対向して位置するシェル主壁部を有し、前記変形手段によって、前記第1及び第2のシェル部は、前記シェル主壁部に対して垂直な方向に変位することを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。
- 前記変形手段には、弾性部が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載のリニアモータ。
- 前記変形手段は、非磁性の材料によって板状に一体成形されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のリニアモータ。
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JP2008172739A JP5220497B2 (ja) | 2008-07-01 | 2008-07-01 | リニアモータ |
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JP2004088844A (ja) * | 2002-08-23 | 2004-03-18 | Nikon Corp | リニアモータ装置、ステージ装置、及び露光装置 |
JP2004312877A (ja) * | 2003-04-07 | 2004-11-04 | Yaskawa Electric Corp | キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ |
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