JP5208551B2 - 光モジュール - Google Patents

光モジュール Download PDF

Info

Publication number
JP5208551B2
JP5208551B2 JP2008082248A JP2008082248A JP5208551B2 JP 5208551 B2 JP5208551 B2 JP 5208551B2 JP 2008082248 A JP2008082248 A JP 2008082248A JP 2008082248 A JP2008082248 A JP 2008082248A JP 5208551 B2 JP5208551 B2 JP 5208551B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bias
optical module
resistor
modulation signal
capacitor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008082248A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009238965A (ja
Inventor
雅裕 平山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Device Innovations Inc
Original Assignee
Sumitomo Electric Device Innovations Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Device Innovations Inc filed Critical Sumitomo Electric Device Innovations Inc
Priority to JP2008082248A priority Critical patent/JP5208551B2/ja
Publication of JP2009238965A publication Critical patent/JP2009238965A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5208551B2 publication Critical patent/JP5208551B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3011Impedance

Landscapes

  • Semiconductor Lasers (AREA)

Description

本発明は、光モジュールに関する。
電界吸収型光変調器(EAM:Electrical Absorption Modulator)として知られる変調器を駆動するために、直流バイアスが必要である(例えば、特許文献1参照)。
特開2006−128545号公報
図1は、従来の光モジュール200の構成を示す回路図である。図1に示すように、光モジュール200は、半導体レーザ201、光変調器202、終端回路203、バイアス部204、変調信号端子206、直流バイアス端子207および駆動入力端子208を備える。
駆動入力端子208は、半導体レーザ201に接続されている。変調信号端子206は、伝送線路205を介して光変調器202に接続されている。伝送線路205と光変調器202とは、ボンディングワイヤL11によって接続されている。また、光変調器202は、変調信号端子206および終端回路203に対して並列に接続されている。
直流バイアス端子207は、バイアス部204および終端回路203を介して光変調器202に接続されている。終端回路203は、変調信号端子206側に終端抵抗R11を備え、グランド電位側にコンデンサC11を備える。終端抵抗R11とコンデンサC11とは直列に接続されている。また、終端回路203は、ボンディングワイヤL11およびボンディングワイヤL12を介して伝送線路205と接続されている。
バイアス部204は、変調信号端子206から入力される変調信号をカットするチョークコイルL13を備える。バイアス部204は、終端回路203の終端抵抗R11とコンデンサC11との間に接続されている。
この構成によれば、変調信号端子206から直流バイアス端子207側へ漏洩する変調信号は、終端抵抗R11によって減衰させることができる。それにより、直流バイアス端子207に対する変調信号のアイソレーションを大きくすることができる。
しかしながら、従来の光モジュール200においては、直流バイアスが終端抵抗R11を介して光変調器202へ入力されるため、終端抵抗R11による直流バイアスの損失を回避することができなかった。終端抵抗R11の値は、終端インピーダンスの値(例えば、50Ω)に応じて決定される。それにより、終端抵抗R11の値をむやみに小さくすることはできない。
また、直流バイアスは終端抵抗R11において熱に変換される。この熱が半導体レーザの温度制御装置(図示せず)の温度制御を相殺する等の影響を与える問題があった。
本発明は、終端抵抗における直流バイアスの損失を低減させることができるとともに温度制御装置の温度制御への影響を抑制することができる光モジュールを提供することを目的とする。
本発明に係る光モジュールは、変調信号端子と、変調信号端子と接続された光変調器と、光変調器とグランド電位との間に接続された終端抵抗と、変調信号端子に接続され終端抵抗よりも小さい抵抗値を有するバイアス抵抗と、バイアス抵抗を介して光変調器へ直流バイアスを供給するための直流バイアス端子と、を有することを特徴とするものである。
本発明に係る光モジュールにおいては、終端抵抗を介さずにバイアス抵抗を介して光変調器へ直流バイアスが供給される。この場合、直流バイアスの損失を低減させることができる。さらに、終端抵抗に直流バイアスを流す場合に比較して発熱量が抑制される。それにより、本発明に係る光モジュールが搭載される温度制御装置の温度制御に対する影響を抑制することができる。
終端抵抗には、第1コンデンサが直列接続されていてもよい。また、第1コンデンサは、終端抵抗と光変調器との間に接続されていてもよい。この場合、終端抵抗への直流バイアスの入力を遮断することができる。
第1コンデンサは、キャリア上に設けられた下部電極、誘電体および上部電極の積層構造によって構成され、終端抵抗は、キャリア上に設けられた抵抗膜によって構成されるとともに、一端が第1コンデンサの下部電極と接続され他端がキャリアを貫通して設けられたビアホールによって裏面のグランド電位と接続されていてもよい。この場合、終端抵抗、第1コンデンサおよびグランド電位間をボンディングワイヤによって接続する必要がない。それにより、ボンディングワイヤを低減させることができる。その結果、終端特性を向上させることができる。
バイアス抵抗には、チョークコイルが直列接続されていてもよい。この場合、変調信号の流れが抑制される。それにより、直流バイアス端子への変調信号の漏洩が低減される。
チョークコイルには、ダンピング抵抗が並列に接続されていてもよい。この場合、チョークコイルを中心とした共振が抑制される。その結果、直流バイアス端子への変調信号の漏洩が低減される。
本発明に係る光モジュールは、直流バイアス端子とグランド電位とを接続する第2コンデンサをさらに備えていてもよい。この場合、直流バイアス端子への変調信号の漏洩をさらに防止することができる。
本発明によれば、終端抵抗における直流バイアスの損失を低減させることができるとともに温度制御装置の温度制御への影響を抑制することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図2は、本発明の第1実施例に係る光モジュール10の構成を示す回路図である。図2に示すように、光モジュール10は、半導体レーザ1、光変調器2、終端回路3、バイアス部4、変調信号端子6、直流バイアス端子7および駆動入力端子8を備える。
駆動入力端子8は、半導体レーザ1に接続されている。半導体レーザ1には、駆動入力端子8から駆動電流が入力される。それにより、半導体レーザ1は、レーザ発振する。
変調信号端子6は、伝送線路5を介して光変調器2に接続されている。伝送線路5と光変調器2とは、ボンディングワイヤL1によって接続されている。また、光変調器2は、変調信号端子6および終端回路3に対して、並列に接続されている。光変調器2には、変調信号端子6から伝送線路5を介して変調信号が入力される。それにより、光変調器2は、半導体レーザ1からのレーザ光を光変調信号に変調する。
終端回路3は、変調信号端子6に対して、光変調器2と並列に接続されている。終端回路3は、変調信号端子6側にコンデンサC1を備え、グランド電位側に終端抵抗R1を備える。終端抵抗R1とコンデンサC1とは、直列に接続されている。また、終端回路3は、ボンディングワイヤL1およびボンディングワイヤL2を介して伝送線路5と接続されている。終端回路3を設けることによって、変調信号端子6からの変調信号を終端抵抗R1によってインピーダンス整合をとることができる。
直流バイアス端子7は、バイアス部4を介して光変調器2に接続されている。バイアス部4は、伝送線路5とボンディングワイヤL1との間に接続されている。バイアス部4は、直流バイアス端子7側から順にチョークコイルL3およびバイアス抵抗R2が直列に接続された構造を有する。したがって、バイアス抵抗R2は、変調信号端子6および終端抵抗R1に対して並列に接続されている。バイアス抵抗R2は、終端抵抗R1よりも小さい抵抗値を有する。例えば、好ましい一例として、終端抵抗R1の抵抗値が50Ωである場合に、バイアス抵抗R2は5Ω程度の抵抗値を有する。チョークコイルL3は、高周波信号の流れを抑制することができる。それにより、チョークコイルL3は、変調信号端子6から入力される変調信号をカットする機能を有する。
本実施例においては、直流バイアス端子7に対して光変調器2と終端抵抗R1とが並列に接続されていることから、終端抵抗R1に直流バイアスが入力されることを抑制することができる。さらに、本実施例においては直流バイアス端子7と終端抵抗R1との間にコンデンサC1が設けられていることから、終端抵抗R1への直流バイアスの入力を遮断することができる。
バイアス抵抗R2は、直流バイアス端子7側へ漏洩する変調信号を減衰する機能を有する。終端抵抗R1の抵抗値(例えば、50Ω)は、終端回路の抵抗値としては適正な値である。しかしながら、この抵抗値は、直流バイアス端子7側へ漏洩する変調信号を減衰する値としては過大である。それにより、直流バイアス端子7と光変調器2との間に終端抵抗R1を配置すれば、直流バイアスの損失が大きくなってしまう。これに比較して、本実施例においては、直流バイアス端子7と光変調器2との間に終端抵抗R1よりも小さい抵抗値を有するバイアス抵抗R2が配置されることから、直流バイアスの損失を低減させることができる。また、終端抵抗R1に直流バイアスを流す場合に比較して発熱量が抑制される。それにより、光モジュール10が搭載される温度制御装置の温度制御に対する影響を抑制することができる。
なお、チョークコイルL3とダンピング抵抗とを、並列に接続してもよい。この場合、チョークコイルL3を中心とした共振が抑制される。その結果、直流バイアス端子7への変調信号の漏洩がさらに低減される。
図3は、光モジュール10の主要部に係る平面図である。図3に示すように、光モジュール10は、温度制御装置22上に、各要素を搭載する実装部130が配置された構造を有する。実装部130には、半導体レーザ1、光変調器2、終端回路3、バイアス部4および伝送線路5が実装されている。半導体レーザ1および光変調器2は、半導体レーザ1から出力されるレーザ光の光軸上に光変調器2が配置されるように、半導体基板上に1チップ化されており、これが実装部130上に搭載されている。
さらに、半導体レーザ1から出力されるレーザ光の光軸上に、レンズ20および光ファイバコネクタ30が配置されている。レンズ20は、温度制御装置22上に配置されている。温度制御装置22は、半導体レーザ1および光変調器2の温度を制御するための装置である。図3においては、変調信号端子6として、RFコネクタ21が配置されている。
伝送線路5とバイアス抵抗R2とは、ボンディングワイヤL4によって接続されている。バイアス抵抗R2とチョークコイルL3とは、ボンディングワイヤL5によって接続されている。半導体レーザ1と駆動入力端子8とは、ボンディングワイヤL6によって接続されている。チョークコイルL3と直流バイアス端子7とは、ボンディングワイヤL7によって接続されている。
図4は、図3のA−A線断面図であり、終端抵抗R1およびコンデンサC1の断面構造を示す。図4に示すように、コンデンサC1は、下部電極103上に誘電体層102および上部電極101が積層された構造を有し、セラミックスからなるキャリア110表面のメタライズ111上に搭載されている。
終端抵抗R1は、キャリア110上に形成された抵抗膜によって構成されている。終端抵抗R1の一端は、キャリア110表面のメタライズ111によってコンデンサC1の下部電極103と接続されている。また、終端抵抗R1の他端は、キャリア110表面のメタライズ112を経由して、キャリア110裏面に貫通して設けられたビアホール金属120に接続されている。ビアホール金属120は、キャリア110が実装される実装部130表面に接続されている。実装部130の表面は、グランド電位に接続されている。
本実施例においては、終端回路3を構成する終端抵抗R1およびコンデンサC1のうち、コンデンサC1が光変調器2側に配置されかつ終端抵抗R1がグランド電位側に配置されている。図4の構成によれば、終端抵抗R1の両端の電極は、いずれもキャリア110の表面に配置されることから、キャリア110の表面に配置されるコンデンサC1の下部電極103、終端抵抗R1およびビアホール金属120は、キャリア110表面のメタライズを介して接続されうる。
この場合、終端抵抗R1、コンデンサC1およびグランド電位間をボンディングワイヤによって接続する必要がない。それにより、終端回路3においてボンディングワイヤを減らすことができる。その結果、高周波特性を良好にすることができる。
これに比較して、終端抵抗R1を光変調器側に配置してコンデンサC1をグランド電位側に配置した場合、終端抵抗R1とコンデンサC1との間またはコンデンサC1とグランド電位との間にボンディングワイヤを接続する必要がある。この場合、高周波特性を良好にすることが困難である。
図1に示した従来例では、終端抵抗R1を直流バイアス端子207側へ漏洩する変調信号の減衰に利用していたため、終端抵抗R1を光変調器2側に接続する必要があった。一方、本実施例に係る光モジュール10は、終端抵抗R1を直流バイアス端子7側へ漏洩する変調信号の減衰に利用していないため、終端抵抗R1およびコンデンサC1のいずれを光変調器2へ接続するかは任意に決定することができる。
すなわち、図4に示す構造を採用することができたのも、バイアス抵抗R2を変調信号端子6および終端抵抗R1に対して並列に接続したことに起因する効果である。
図5は、本発明の第2実施例に係る光モジュール10aの構成を示す回路図である。図5において、実施例1に係る光モジュール10と同じ部位には同じ番号が付されている。光モジュール10aが図2の光モジュール10と異なる点は、一端がグランド電位に接続されたコンデンサC2が直流バイアス端子7とチョークコイルL3との間に接続されている点である。
コンデンサC2は、交流通過のためのコンデンサであり、バイアス抵抗R2およびチョークコイルL3を経て漏洩した変調信号をグランド電位に接続する。この場合、直流バイアス端子7への変調信号の漏洩および外部からのノイズ等の流入をさらに防止することができる。
図6は、本発明の第3実施例に係る光モジュール10bの構成を示す回路図である。図6において、実施例1に係る光モジュール10と同じ部位には同じ番号が付されている。光モジュール10bが図2の光モジュール10と異なる点は、バイアス部4が光変調器2に対して終端回路3側に接続されている点である。すなわち、本実施例においては、終端回路3およびバイアス部4は、ボンディングワイヤL2を介して光変調器2と接続されている。
本実施例においても、実施例1と同様、バイアス抵抗R2が変調信号端子6および終端抵抗R1に対して並列に接続されているため、直流バイアスの損失が抑制される。
従来の光モジュールの構成を示す回路図である。 本発明の第1実施例に係る光モジュールの構成を示す回路図である。 光モジュールの主要部に係る平面図である。 図3のA−A線断面図であり、終端抵抗およびコンデンサの断面構造を示す図である。 本発明の第2実施例に係る光モジュールの構成を示す回路図である。 本発明の第3実施例に係る光モジュールの構成を示す回路図である。
符号の説明
1 半導体レーザ
2 光変調器
3 終端回路
4 バイアス部
6 変調信号端子
7 直流バイアス端子
8 駆動入力端子
10 光モジュール
C1 コンデンサ
L1,L2 ボンディングワイヤ
L3 チョークコイル
R1 終端抵抗
R2 バイアス抵抗

Claims (7)

  1. 変調信号端子と、
    前記変調信号端子と接続された光変調器と、
    前記光変調器とグランド電位との間に接続された終端抵抗と、
    前記変調信号端子に接続され、前記終端抵抗よりも小さい抵抗値を有するバイアス抵抗と、
    前記バイアス抵抗を介して前記光変調器へ直流バイアスを供給するための直流バイアス端子と、を有することを特徴とする光モジュール。
  2. 前記終端抵抗には、第1コンデンサが直列接続されていることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
  3. 前記第1コンデンサは、前記終端抵抗と前記光変調器との間に接続されることを特徴とする請求項2記載の光モジュール。
  4. 前記第1コンデンサは、キャリア上に設けられた下部電極、誘電体および上部電極の積層構造によって構成され、
    前記終端抵抗は、前記キャリア上に設けられた抵抗膜によって構成されるとともに、一端が前記第1コンデンサの下部電極と接続され他端が前記キャリアを貫通して設けられたビアホールによって裏面のグランド電位と接続されていることを特徴とする請求項3記載の光モジュール。
  5. 前記バイアス抵抗には、チョークコイルが直列接続されていることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
  6. 前記チョークコイルには、ダンピング抵抗が並列に接続されていることを特徴とする請求項5記載の光モジュール。
  7. 前記直流バイアス端子と前記グランド電位とを接続する第2コンデンサをさらに備えることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
JP2008082248A 2008-03-26 2008-03-26 光モジュール Active JP5208551B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008082248A JP5208551B2 (ja) 2008-03-26 2008-03-26 光モジュール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008082248A JP5208551B2 (ja) 2008-03-26 2008-03-26 光モジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009238965A JP2009238965A (ja) 2009-10-15
JP5208551B2 true JP5208551B2 (ja) 2013-06-12

Family

ID=41252577

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008082248A Active JP5208551B2 (ja) 2008-03-26 2008-03-26 光モジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5208551B2 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5313730B2 (ja) * 2009-03-16 2013-10-09 日本オクラロ株式会社 光送信機及び光送信モジュール
JP5545879B2 (ja) * 2011-02-28 2014-07-09 日本電信電話株式会社 半導体レーザ装置
JP2013015670A (ja) * 2011-07-04 2013-01-24 Sumitomo Electric Device Innovations Inc 光変調装置
JP2014160176A (ja) 2013-02-20 2014-09-04 Sumitomo Electric Ind Ltd 駆動回路
JP6218087B2 (ja) * 2015-12-25 2017-10-25 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 光変調装置
JP7430569B2 (ja) 2020-04-24 2024-02-13 CIG Photonics Japan株式会社 光モジュール

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03171687A (ja) * 1989-11-29 1991-07-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザダイオード駆動装置
JPH04369879A (ja) * 1991-06-18 1992-12-22 Sony Corp 発光装置回路
JPH06230328A (ja) * 1993-02-04 1994-08-19 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 電界吸収型光変調器の実装方法
JPH098583A (ja) * 1995-06-22 1997-01-10 Toshiba Corp バイアスt回路
JPH1054962A (ja) * 1996-08-09 1998-02-24 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光制御装置および光制御デバイス
JP2001209017A (ja) * 1999-11-15 2001-08-03 Mitsubishi Electric Corp 光電変換半導体装置
JP2001320065A (ja) * 2000-05-10 2001-11-16 Mitsubishi Electric Corp 光半導体装置
JP2004198697A (ja) * 2002-12-18 2004-07-15 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 半導体パルス光源
JP2005338678A (ja) * 2004-05-31 2005-12-08 Opnext Japan Inc 光変調器モジュール
JP4899356B2 (ja) * 2005-06-30 2012-03-21 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 光変調器

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009238965A (ja) 2009-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5208551B2 (ja) 光モジュール
US7263244B2 (en) Optical modulator
US7986020B2 (en) Optical communication module and flexible printed circuit board
JP6229649B2 (ja) 光モジュール
JP7133405B2 (ja) 半導体装置
JP2005286305A (ja) 光半導体装置
JP6497980B2 (ja) 光送信モジュール及び光送受信モジュール
JP2001257412A (ja) 光送信モジュール
JP2004047832A (ja) 光半導体装置
JP5949858B2 (ja) 光変調器、及び光スイッチ
JP4922239B2 (ja) 光送信器、及びフレキシブル基板
WO2017130450A1 (ja) 光変調器及びそれを用いた光送信装置
EP1158340A2 (en) High-frequency circuit and its module for communication devices
JP2011108940A (ja) To−can型tosaモジュール用実装構成およびto−can型tosaモジュール
JP2007266493A (ja) レーザモジュール
JP2022099537A (ja) 光モジュール
CN110007490B (zh) 光调制器及使用了该光调制器的光发送装置
JP4699138B2 (ja) 光半導体素子モジュール及びその製造方法
JP2009171468A (ja) 半導体リレーモジュール
JP3297362B2 (ja) 光学的情報記録再生装置
JP2009177030A (ja) 光送信モジュール及び光伝送装置
CN109976000B (zh) 光调制器及使用了该光调制器的光发送装置
JP2004088026A (ja) 光モジュール
JP2002237644A (ja) 光送信器
JP2010118626A (ja) 光モジュールおよび伝送線路基板

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20080327

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20080327

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101014

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120326

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121120

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130109

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130219

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130220

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160301

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5208551

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250