JP5202278B2

JP5202278B2 - Positioning device and positioning method

Info

Publication number: JP5202278B2
Application number: JP2008323379A
Authority: JP
Inventors: 賢一横嶌; 謙司廣重
Original assignee: アルファーデザイン株式会社
Priority date: 2008-12-19
Filing date: 2008-12-19
Publication date: 2013-06-05
Anticipated expiration: 2028-12-19
Also published as: JP2010147270A

Description

本発明は精密機械の移載等に用いられる微細部品の位置決め用移動テーブル装置に関するもので、とくに一方向にのみ直線移動させると共に移動テーブル上の回転テーブルを回転させる装置および位置決め方法に関するものである。 BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a moving table device for positioning fine parts used for transfer of precision machines, and more particularly to a device and a positioning method for linearly moving in only one direction and rotating a rotating table on a moving table. .

精密部品に採用されるICチップや半導体基板はウエハ等をフラットリングに貼着されて提供される。しかし運搬の為には塵芥を避ける為にトレイやエンボステープ等に移載されて密封され運搬しやすいような状態で搬送される。 IC chips and semiconductor substrates used for precision parts are provided with wafers attached to flat rings. However, in order to avoid dust, it is transferred to a tray, embossed tape, etc. to be transported in a state that is sealed and easy to carry.

その際吸着ヘッドによってウエハ及びトレイが位置決めされたテーブル上のチップを吸着保持して移動するように構成されている。
それらのチップ等の微細部品を正確に吸着して指定位置に載置する為には、移動テーブルが直交した方向(XY方向)に移動するだけでなく、水平のθ方向に回転するように製作されていなければならない。 At that time, the chip on the table on which the wafer and the tray are positioned is sucked and held and moved by the suction head.
In order to accurately pick up and place fine parts such as chips and place them at specified positions, the moving table not only moves in the orthogonal direction (XY direction) but also rotates in the horizontal θ direction. Must have been.

従来の移動テーブルの構成は図5に示すもので本願の出願人と同一の出願人の出願した特願2008-19266及び特願2008-19265で使用されている。
図5に示すような従来の移動テーブルは、ウエハリング90が回転盤92に固定されており、モータ91が駆動することにより、ギャ93を介して回転盤92がθ方向に回転する。 The configuration of the conventional moving table is shown in FIG. 5, and is used in Japanese Patent Application Nos. 2008-19266 and 2008-19265 filed by the same applicant as the applicant of the present application.
In the conventional moving table as shown in FIG. 5, the wafer ring 90 is fixed to the rotating disk 92, and the rotating disk 92 rotates in the θ direction via the gear 93 when the motor 91 is driven.

Y方向への移動はモータ94を駆動し、ねじ軸941を回転させて螺合している軸受け942をY方向に移動させYテーブル95をY方向に移動させるものである。
同様にX方向への移動はモータ97を駆動しねじ軸971を回転させ螺合しているXテーブル96の軸受け(図示しない)をX方向に移動させる。 The movement in the Y direction drives the motor 94, rotates the screw shaft 941, moves the screwed bearing 942 in the Y direction, and moves the Y table 95 in the Y direction.
Similarly, the movement in the X direction drives the motor 97 to rotate the screw shaft 971 and move the bearing (not shown) of the X table 96 screwed in the X direction.

以上のような方法でXYθ方向への位置決めが可能となりウエハリング90上のチップがどの位置にあって、どちらの方向を向いていたとしても、指定方向に補正して指定位置に移動することができる。 Positioning in the XYθ direction is possible by the method described above, and the chip on the wafer ring 90 can be moved to the specified position by correcting it in the specified direction, regardless of the position and direction. it can.

また、図6のウエハ移動テーブル80は、XY方向に移動できる。そしてトレイ移動テーブルはY方向のみ移動できるようにしてカメラ84の真下に指定チップ85が来るようにウエハ移動テーブル80で調整し、ヘッド82がチップ85を吸着保持した後、トレイ移動テーブル81のトレイ811にチップ85を移載するようになっている。 Further, the wafer moving table 80 in FIG. 6 can move in the XY directions. Then, the tray moving table can be moved only in the Y direction and adjusted by the wafer moving table 80 so that the designated chip 85 comes directly under the camera 84. After the head 82 sucks and holds the chip 85, the tray of the tray moving table 81 is adjusted. The chip 85 is transferred to the 811.

ウエハリングケース801にもトレイ811にもθ方向への回転機構がないがヘッド82上部に取り付けられたヘッド回転モータ83を駆動することによってヘッド82をθ方向に回転するように構成されている。

特願2008-19265 特願2008-19266 Although neither wafer ring case 801 nor tray 811 has a rotation mechanism in the θ direction, head 82 is configured to rotate in the θ direction by driving head rotation motor 83 mounted on head 82.

Japanese Patent Application 2008-19265 Japanese Patent Application 2008-19266

図6のようなチップ移載装置89において、トレイ移動テーブル81及びウエハ移動テーブル80にはθ方向に回動させる回転機構が備わっていない。従ってカメラ841,842,843等でヘッド82が吸着保持したチップ85を撮像して位置補正する際、θ方向への回転機構が移動テーブル80,81には備わっていない。
そこでヘッド82に上部にヘッド回転モータ83を備えて回転モータ83とヘッド82の部分をタイミングベルトないしギャ等で接続させてヘッド82が回転モータ83によってθ方向に回転するように構成されていなくてはならない。そのためには回転モータ83を駆動・制御する為の配線ケーブルをケーブルベア等で他の配線や配管ホース等を捻ったり断線したりしないようまとめるようにして配設しなければならない。 In the chip transfer device 89 as shown in FIG. 6, the tray moving table 81 and the wafer moving table 80 are not provided with a rotating mechanism that rotates in the θ direction. Accordingly, the moving tables 80 and 81 do not have a rotation mechanism in the θ direction when the camera 851, 842, 843 or the like images the chip 85 sucked and held by the head 82 to correct the position.
Therefore, the head 82 is provided with a head rotation motor 83 at the top, the rotation motor 83 and the head 82 are connected by a timing belt or gear, and the head 82 is not configured to rotate in the θ direction by the rotation motor 83. Must not. For this purpose, it is necessary to arrange the wiring cables for driving and controlling the rotary motor 83 so as not to twist or disconnect other wirings or piping hoses with a cable carrier or the like.

ヘッド82は1000mm/sec程度の高速で繰り返しウエハ移動テーブル80とトレイ移動テーブル81間を移動する。そのためできるだけヘッド82に取り付けられるケーブル類が少ないほうが動きやすく断線しにくいので信頼性の向上になる。また、モータ83等の重量のある部品がヘッド82に取り付けられているとその機構を小型で精密に製作する為高価になると共にヘッド82の重量増加になり、高速移動に大きな出力が必要とされる。
結果としてヘッド82の移動速度が速くできず、タクト時間が長くなる上にねじ軸の磨耗や騒音の発生の原因となっていた。 The head 82 repeatedly moves between the wafer moving table 80 and the tray moving table 81 at a high speed of about 1000 mm / sec. For this reason, the smaller the number of cables attached to the head 82 as much as possible, the easier the movement and the disconnection are, and the reliability is improved. In addition, if heavy components such as the motor 83 are attached to the head 82, the mechanism is small and precise, which is expensive and increases the weight of the head 82, requiring high output for high-speed movement. The
As a result, the moving speed of the head 82 cannot be increased, the tact time is increased, and the screw shaft is worn and noise is generated.

同様にウエハ移動テーブル80やトレイン移動テーブル81はモータ駆動によってねじ軸を回転しそれに螺合しているねじ受け部によってウエハリングケース801やトレイ811の位置を移動する構成になっている。しかし螺合によって移動する構成では、高速で繰り返される移動によって熱を発生することがあると共に磨耗を防止しなければならない。従って常に潤滑と冷却をしなければならない。
一般に精密機械ではねじ軸と軸受け部をボールねじなどの摩擦の少ないもので製作されているが、移動時に発生する耳障りな音が発生し騒音の原因になると共に長期間の使用の磨耗による誤差は避けられない。摩滅した際は容易に部品交換できることが望ましい。 Similarly, the wafer moving table 80 and the train moving table 81 are configured to rotate the screw shaft by driving a motor and move the position of the wafer ring case 801 and the tray 811 by a screw receiving portion screwed into the screw shaft. However, in a structure that moves by screwing, heat may be generated by repeated movement at a high speed and wear must be prevented. Therefore, it must always be lubricated and cooled.
In general, in precision machines, the screw shaft and bearing are made of a ball screw, etc. with low friction, but an irritating sound is generated when moving, causing noise and errors due to long-term wear. Unavoidable. It is desirable that parts can be easily replaced when worn out.

また、図5のようにウエハリング90をθ方向に回転させるためには回転板92にギャ93等によって連結されたモータ91を駆動させて回転する。そのためにＹテーブル95にモータ91を取り付けなければならず、モータ91の配線が必要でＹテーブル95の移動によって断線しないようにケーブルベア等で保護して設置しなければならない。 Further, as shown in FIG. 5, in order to rotate the wafer ring 90 in the θ direction, the motor 91 connected to the rotating plate 92 by a gear 93 or the like is driven to rotate. Therefore, the motor 91 must be attached to the Y table 95, and the motor 91 must be wired and protected by a cable bearer or the like so as not to be disconnected by the movement of the Y table 95.

また、Ｙテーブルにはモータ91やギャ93が取り付けられるので、重量が増加しＹテーブルを高速で移動する為にモータ97やモータ94を大型化して出力を大きなものにしなければならない。
Further, since the motor 91 and gear 93 are attached to the Y table, the motor 97 and the motor 94 must be enlarged to increase the output in order to increase the weight and move the Y table at high speed.

そこで、台板上の移動テーブルを一方向にのみ直線移動させると共に、移動テーブル上の回転テーブルを回転させることにより、前記台板上の位置決めをする位置決めテーブルであって、前記台板の一方の辺の両側に固定された第一と第二のモータと、前記モータと同一台板上の他辺の両側に固定された第一と第二の台板用ローラと、前記移動テーブルの前記台板の一方の辺と同一側の前記移動テーブルの一方の辺の両側に固定された第一と第二の移動テーブル用ローラと、前記移動テーブルを回転させる回転ローラと、前記第一と第二のモータの軸と、前記第一と第二の台板用ローラと、前記第一と第二の移動テーブル用ローラと、前記回転ローラとを掛け渡したタイミングベルトと、前記第一と第二のモータを回転制御して前記タイミングベルトを回し前記移動テーブルを一方向への移動及び回転させる制御手段とを備え、前記制御手段は前記第一と第二のモータを正逆方向同速に回転させることにより、前記移動テーブルを前記一方向に直線移動させ、前記第一と第二のモータを同一方向に同速で回転させることにより前記回転テーブルを回転させるように制御することを特徴とする位置決め装置を提供するものである。 Therefore, the moving table on the base plate is linearly moved only in one direction, and the rotating table on the moving table is rotated to position on the base plate. First and second motors fixed on both sides of the side, first and second base plate rollers fixed on both sides of the same base plate as the motor, and the platform of the moving table First and second moving table rollers fixed on both sides of one side of the moving table on the same side as one side of the plate, a rotating roller for rotating the moving table, and the first and second A motor belt, the first and second base plate rollers, the first and second movable table rollers, and the timing belt spanning the rotating roller, and the first and second Rotating the motor of the timing Control means for rotating the belt to move and rotate the moving table in one direction by rotating a belt, and the control means rotates the first and second motors at the same speed in the forward and reverse directions, thereby The present invention provides a positioning device characterized in that the rotary table is controlled to rotate by linearly moving in one direction and rotating the first and second motors in the same direction at the same speed.

そして、前記タイミングベルトは各回転部を、前記第一のモータ軸、前記第一の台板用ローラ、前記回転ローラ、前記第二の台板用ローラ、前記第二のモータ軸、前記第二の移動テーブル用ローラ、前記第一の移動テーブル用ローラの順に掛け渡すようにしたことを特徴とする位置決め装置を提供するものである。 The timing belt includes each rotating portion, the first motor shaft, the first base plate roller, the rotary roller, the second base plate roller, the second motor shaft, and the second motor shaft. The positioning device is characterized in that the moving table roller and the first moving table roller are placed in this order.

本発明は、タイミングベルトを第一第二モータ軸と第一第二台板ローラそして回転テーブルローラ及び第一第二移動テーブルローラに掛け渡すことにより、Ｙ移動テーブルをＹ方向に移動させると共に回転テーブルをθ方向に回転することができるようにした位置決め装置を提供するようにしたものである。
構造を簡素化した装置を提供することを目的としたものである。 The present invention moves the Y moving table in the Y direction and rotates by passing the timing belt over the first second motor shaft, the first second base plate roller, the rotating table roller, and the first second moving table roller. A positioning device is provided that is capable of rotating a table in the θ direction.
The object is to provide a device with a simplified structure.

図１図2の発明品は回転テーブル上にモータ91等を設置する必要がないのでＹ移動テーブル21は軽量化することができる。更にモータ91に付属する配線ケーブル等を通すとき可動部にあたる部分の配線をまとめたり、断線や捩れの対策に使われるケーブルベア等を設置する必要がないので耐久性が向上し信頼性能を高めることができる。 The invention of FIG. 1 and FIG. 2 does not require the motor 91 or the like to be installed on the rotary table, so the Y moving table 21 can be reduced in weight. Furthermore, it is not necessary to collect the wiring that corresponds to the movable part when passing the wiring cable attached to the motor 91, or to install a cable bear that is used for measures against disconnection or twisting, so that durability is improved and reliability performance is improved. Can do.

また、図４のウエハ位置決めテーブル41は、図5の上は移動テーブル80のようにモータ91が取り付けられたＹテーブル95よりモータ分の重量を軽量化したＹ移動テーブル21になるので高速に移動することができるようになると共に、回転テーブル用の配線が不要になり、ケーブルベア等が発生する騒音もないので静粛性を高めることができる。 Further, the wafer positioning table 41 in FIG. 4 is moved at a high speed because the upper part of FIG. 5 is the Y moving table 21 that is lighter than the Y table 95 to which the motor 91 is attached, like the moving table 80 in FIG. As a result, the wiring for the rotary table is not required, and there is no noise generated by the cable bear and the silence can be improved.

また、図6のようにヘッド82に回転モータ83を取り付けて回転機能を高速連損移動を知り返すヘッド82を複雑にする必要がなくなるので、チップ移載機８９においてはヘッド82を更に軽量化することができ高速に移動することができる。 Also, as shown in FIG. 6, it is not necessary to attach a rotary motor 83 to the head 82 so that the rotary function knows the high-speed continuous loss movement, so that the head 82 is further reduced in weight in the chip transfer machine 89. Can move at high speed.

θ方向の回転は全て図４のようにウエハ位置決めテーブル４１及びトレイ位置決めテーブル42で位置決めすることができるので、ヘッド43は単純化され、軽量化され、可動部の配線を最小限にすることができるので、高速化が可能になると共に耐久性を向上させることができようになる。 Since all the rotations in the θ direction can be positioned by the wafer positioning table 41 and the tray positioning table 42 as shown in FIG. 4, the head 43 can be simplified and lightened, and the wiring of the movable part can be minimized. As a result, the speed can be increased and the durability can be improved.

そして本発明においては全ての動作をタイミングベルト20で動作させるので螺合部が熱を持つことがなく潤滑が不要であると共に耳障りな音がなく静粛で軽量である。 In the present invention, since all the operations are performed by the timing belt 20, the screwed portion does not have heat, lubrication is unnecessary, and there is no annoying sound, and it is quiet and lightweight.

モータケーブルなどがまとわりつき何かに引っかかって切断される心配も少なくなり、ケーブルベアも不要になり部品点数も少なくなり、また組み立て時の時間を短縮することができ、経済性も向上する。 There is less concern that motor cables will get caught in something and get cut off, there will be no need for cable bearers, the number of parts will be reduced, the assembly time will be shortened, and the economy will be improved.

Y移動テーブル２１が軽量化されたのでＹ方向へ移動時の立ち上がり速度と停止性能が向上し全体的に動作性能が更に良好になる。可動ケーブルがないので耐久性も向上し高速にすることができタクト時間を短縮することができる。 Since the Y moving table 21 has been reduced in weight, the rising speed and stopping performance when moving in the Y direction are improved, and the operation performance is further improved as a whole. Since there is no movable cable, durability can be improved and the speed can be increased, and the tact time can be shortened.

第一第二台板モータ251,252の容量を統一でき経済的であると共に、制御がやりやすい。Ｙ移動テーブル21はＹ方向に移動しながら回転テーブル22をθ方向に回転させることが可能であり、図5の従来例のような移動モータ94と回転モータ91を使用した場合とそん色ない動作が可能である。
また、２つのモータの合力で移動と回転ができるので駆動力があり重いものでも移動回転させることができる。
The capacity of the first and second base plate motors 251 and 252 can be unified, which is economical and easy to control. The Y moving table 21 can rotate the rotating table 22 in the θ direction while moving in the Y direction, which is the same operation as when using the moving motor 94 and the rotating motor 91 as in the conventional example of FIG. Is possible.
Further, since the movement and rotation can be performed by the combined force of the two motors, even a heavy object can be moved and rotated.

本発明はタイミングベルト20によって各モータ軸及びローラを第一モータ軸261〜第一台板ローラ271〜回転テーブルローラ221〜第二台板ローラ272〜第二モータ軸262〜第二移動テーブルローラ282〜第一移動テーブル281を経由して元の第一モータ軸261の順に掛け渡しすることによってＹ移動テーブル21をＹ方向に移動すると共に第一第二台板モータ251,252を同一方向に同一速度で駆動させることによって回転テーブル22をθ方向に回転させるように構成した位置決めテーブルである。 In the present invention, the timing belt 20 causes each motor shaft and roller to be connected to a first motor shaft 261 to a first base plate roller 271 to a rotary table roller 221 to a second base plate roller 272 to a second motor shaft 262 to a second moving table roller 282. -The Y movement table 21 is moved in the Y direction by passing through the first movement table 281 in the order of the original first motor shaft 261 and the first second base plate motors 251 and 252 are moved in the same direction at the same speed. It is a positioning table configured to rotate the rotary table 22 in the θ direction by being driven.

図1は本発明の構成を示す斜視図で、回転テーブル22が円形をしておりその上にトレイ29が載置されており、Ｙ方向とθ方向に移動可能なトレイ位置決めテーブル42を示す図である。 FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of the present invention, and is a diagram showing a tray positioning table 42 in which a rotary table 22 has a circular shape and a tray 29 is placed thereon and is movable in the Y and θ directions. It is.

図2はウエハリング32とウエハリング押さえ33を備えた角型回転テーブル31で構成されるＸ方向Ｙ方向θ方向に移動可能なウエハ位置決めーテーブル41の斜視図である。台板231はモータ391とねじ軸392によってＸ軸方向に移動するように構成されている。 FIG. 2 is a perspective view of a wafer positioning table 41 that is movable in the X direction, the Y direction, and the θ direction, and that is composed of a square rotary table 31 that includes a wafer ring 32 and a wafer ring presser 33. The base plate 231 is configured to move in the X-axis direction by a motor 391 and a screw shaft 392.

図3の（1）は第一モータ251をθ1方向に、そして第二モータ252をθ2方向に同速で回転したときにＹ移動テーブル２１ないし角型回転テーブル31はＹ1方向に移動することを図示したものである。
図3の（2）は第一モータ251をθ2方向に、そして第二モータ252をθ1方向に同速で駆動したときにＹ移動テーブル２１ないし角型回転テーブル31はＹ2方向に移動することを図示したものである。
図3の（3）は第一モータ251をθ2方向に、そして第二モータ252をθ2方向に同速で駆動したときに
角型回転テーブル31ないしウエハリンク押さえ33はθ1方向に回転することを図示したものである。
図3の（4）は第一モータ251をθ1方向に、そして第二モータ252をθ1方向に同速で駆動したときに
角型回転テーブル31ないしウエハリンク押さえ33はθ2方向に回転することを図示したものである FIG. 3 (1) shows that when the first motor 251 is rotated in the θ1 direction and the second motor 252 is rotated in the θ2 direction at the same speed, the Y moving table 21 or the rectangular rotating table 31 moves in the Y1 direction. It is illustrated.
FIG. 3 (2) shows that when the first motor 251 is driven in the θ2 direction and the second motor 252 is driven in the θ1 direction at the same speed, the Y moving table 21 or the rectangular rotary table 31 moves in the Y2 direction. It is illustrated.
3 (3) shows that when the first motor 251 is driven in the θ2 direction and the second motor 252 is driven in the θ2 direction at the same speed, the rectangular rotary table 31 or the wafer link presser 33 rotates in the θ1 direction. It is illustrated.
(4) in FIG. 3 shows that when the first motor 251 is driven in the θ1 direction and the second motor 252 is driven in the θ1 direction at the same speed, the rectangular rotary table 31 or the wafer link presser 33 rotates in the θ2 direction. As shown

図4はウエハ位置決めテーブル41に図2で図示したものを搭載し、トレイ位置決めテーブル42に図１で図示したものを搭載し、ヘッド43によってチップ35をトレイ29に移載するチップ移載機1の斜視図である。
図5は図2の従来例を示すものでＹテーブル95に回転盤92を回転するモータ91を搭載した状態を示す斜視図である。 FIG. 4 shows a chip transfer machine 1 in which the wafer positioning table 41 shown in FIG. 2 is mounted, the tray positioning table 42 shown in FIG. 1 is mounted, and the chips 35 are transferred to the tray 29 by the head 43. FIG.
FIG. 5 shows a conventional example of FIG. 2 and is a perspective view showing a state in which a motor 91 for rotating a turntable 92 is mounted on a Y table 95.

図6は図4の従来例を示すものでウエハ移動テーブル80には従来の図5に図示された装置を用いており、トレイ移動テーブル81にはモータ812とねじ軸813によって移動するトレイ811が搭載されている状態を示す従来のチップ移載機89を示す。
ヘッド82上部にはヘッド回転モータ83が搭載されておりヘッド部が大きく重くなっている従来例を図示したものである。 FIG. 6 shows the conventional example of FIG. 4. The wafer moving table 80 uses the conventional apparatus shown in FIG. 5, and the tray moving table 81 has a tray 811 moved by a motor 812 and a screw shaft 813. A conventional chip transfer machine 89 showing the mounted state is shown.
A head rotation motor 83 is mounted on the upper portion of the head 82, and a conventional example in which the head portion is large and heavy is illustrated.

本発明の実施例について図1を用いて説明する。第一第二の台板モータ251、252について説明する。この２つのモータは同一容量のサーボモータであり、サーボモータの場合は、ロータリエンコーダが内蔵されている。
このようなサーボモータは回転数や回転角度に応じて回転パルスを発生しそれを制御部2に送信して解析・演算することによりモータがどちらの方向にどれだけ回転したかが判断される。 An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The first and second base plate motors 251 and 252 will be described. These two motors are servo motors having the same capacity. In the case of a servo motor, a rotary encoder is built in.
Such a servo motor generates a rotation pulse in accordance with the rotation speed and rotation angle, and transmits the rotation pulse to the control unit 2 for analysis and calculation to determine how much the motor has rotated in which direction.

このような構成によってタイミングベルト20がどちらの方向にどれだけ送られたかは第一第二台板モータ251,252によって制御部2に送信された回転パルスを解析することによって判断される。
以上のようなパルス解析手段でＹ移動テーブル21の位置及び回転テーブル22の回転角度が制御部２によって判断され制御される。 With such a configuration, how much the timing belt 20 is sent in which direction is determined by analyzing the rotation pulse transmitted to the control unit 2 by the first and second base plate motors 251 and 252.
The position of the Y moving table 21 and the rotation angle of the rotary table 22 are judged and controlled by the control unit 2 by the pulse analysis means as described above.

第一第二台板モータ251,252の駆動部である第一第二モータ軸261、262は歯車のように同一形状の歯付状態となっている。またタイミングベルト20のタイミングベルト内側202及びタイミングベルト外側201も第一第二モータ軸261、262の歯車と同じピッチの歯付ベルトとなっており、第一第二モータ軸261,262はタイミングベルト20の歯と噛合って第一第二台板モータ251,252の駆動をタイミングベルト20の送りに伝えるようになっておりスリップ等によって狂いが発生しないよう構成されている。 The first and second motor shafts 261 and 262, which are the drive units of the first and second base plate motors 251 and 252, are in a toothed state having the same shape like a gear. The timing belt inner side 202 and the timing belt outer side 201 of the timing belt 20 are also toothed belts having the same pitch as the gears of the first second motor shafts 261 and 262, and the first second motor shafts 261 and 262 The drive of the first and second base plate motors 251 and 252 is transmitted to the feed of the timing belt 20 by meshing with the teeth, and is configured so that no deviation occurs due to slip or the like.

以上のような構成によって、Ｙ移動テーブル21の原点（基準位置）及び回転テーブル22の原点（基準位置）が確定されて制御部2に記憶されれば、後は第一第二台板モータ251,252の回転方向を制御部2が解析することによってＹ移動テーブル21の移動した位置と回転テーブル22の回転した位置が判断され制御部２によって制御されるようになっている。 If the origin (reference position) of the Y moving table 21 and the origin (reference position) of the rotary table 22 are determined and stored in the control unit 2 by the above-described configuration, the first second base plate motors 251 and 252 are used thereafter. The control unit 2 analyzes the rotation direction of the rotation of the Y movement table 21 and the rotation position of the rotation table 22 are determined and controlled by the control unit 2.

第一第二台板ローラ271,272にも第一第二モータ軸261、262と同様に歯車のような同一形状の歯付状態となっておりタイミングベルト内側202に形成された歯と噛合って回転し、タイミングベルト20を摩擦力だけでなく、スリップしないで順送りするようになっている。 Similarly to the first second motor shafts 261 and 262, the first second base plate rollers 271 and 272 are in a toothed state having the same shape as a gear and mesh with the teeth formed on the inner side 202 of the timing belt to rotate. In addition, the timing belt 20 is fed forward without slipping in addition to the frictional force.

前述したようにタイミングベルト20はタイミングベルト外側201及びタイミングベルト内側202の両面が歯付ベルトになっており両面がローラ部やモータ軸部と噛合って送られている。
タイミングベルト20が歯付ベルトでありローラ部やモータ軸部が同一ピッチの歯車になっているのは、摩擦のみにより伝道する平ベルトやＶベルトと異なりスリップすることなくモータの駆動を正確に各部に伝えることができる為のものである。 As described above, in the timing belt 20, both the timing belt outer side 201 and the timing belt inner side 202 are toothed belts, and both the surfaces are engaged with the roller portion and the motor shaft portion.
The timing belt 20 is a toothed belt, and the roller part and the motor shaft part are gears with the same pitch. Unlike the flat belt and the V belt that are transmitted only by friction, each part of the motor is driven accurately without slipping. It is for being able to tell.

第一第二移動テーブルローラ281,282も同様に同一形状の歯付ローラとなっておりタイミングベルト201と噛合うよう構成されている。
回転テーブル22の下に取りつれられた回転テーブルローラ221についても同様に歯付ローラとなっておりタイミングベルト外側201の歯と噛合うことによりスリップすることなく伝道するようになっている。 Similarly, the first and second moving table rollers 281 and 282 are toothed rollers having the same shape, and are configured to mesh with the timing belt 201.
Similarly, the rotary table roller 221 mounted under the rotary table 22 is a toothed roller, and is engaged with the teeth on the outer side of the timing belt 201 to transmit without slipping.

本発明に使用されるタイミングベルト20は歯付ベルトである。仮に摩擦のみにより伝道する平ベルトや部位ベルトであってもよいが、スリップによる誤動作を防止するのであれば内側外側の両面が歯付になっているタイミングベルト20が望ましい。 The timing belt 20 used in the present invention is a toothed belt. Although it may be a flat belt or a part belt that is transmitted only by friction, a timing belt 20 having both teeth on the inner and outer sides is desirable to prevent malfunction due to slipping.

タイミングベルト内側202の歯は第一第二モータ251,252のモータ軸261,262及び第一第二の台板ローラ271,272と噛合うように構成されており、タイミングベルト外側201の歯は第一第二移動テーブルローラ281,282と回転テーブルローラ221の歯と噛合って伝道するように掛け渡されている。 The teeth on the inner side 202 of the timing belt are configured to mesh with the motor shafts 261 and 262 of the first and second motors 251 and 252 and the first and second base plate rollers 271 and 272. The rollers 281 and 282 are engaged with the teeth of the rotary table roller 221 so as to be transmitted.

以上のように構成された図1のトレイ位置決めテーブル４２について説明する。
台板23の一方の辺の両側に固定された第一第二台板モータ251,252と、他辺の両側に固定された第一第二台板ローラ271,272とタイミングベルト20が掛け渡されるのであるが、タイミングベルト20を緩むことなくかけ渡しする為には第一第二台板ローラ271,272がＹ2方向にスプリング等で引っ張り力を与えるようにするか、微動させて調整できるように構成されている。もしくはどこかの位置にタイミングベルト20に押しつけるようにしたローラを取り付ける等の方法で、タイミングベルト20に緩みが発生しないように掛け渡す手段が施されているものである。 The tray positioning table 42 of FIG. 1 configured as described above will be described.
The first and second base plate motors 251 and 252 fixed on both sides of one side of the base plate 23, the first and second base plate rollers 271 and 272 fixed on both sides of the other side, and the timing belt 20 are spanned. In order to pass the timing belt 20 without loosening, the first and second base plate rollers 271 and 272 can be adjusted by applying a pulling force with a spring or the like in the Y2 direction or by finely moving them. Alternatively, a means for passing the timing belt 20 so as not to loosen is provided by a method such as attaching a roller that is pressed against the timing belt 20 at some position.

タイミングベルト内側202の面を第一モータ軸61とかみ合わせ、同じく次にタイミングベルト内側202面が第一台板ローラ271とかみ合うように形成されている。
次にタイミングベルト外側201面が回転テーブルローラ221と噛合っており、次にタイミングベルト内側202面が第二台板ローラ272と噛合っている。 The surface of the timing belt inner side 202 is engaged with the first motor shaft 61, and similarly, the timing belt inner side 202 surface is formed so as to engage with the first base plate roller 271.
Next, the outer surface 201 of the timing belt meshes with the rotary table roller 221, and then the inner surface 202 of the timing belt meshes with the second base plate roller 272.

そして次にタイミングベルト内側202面が第二モータ軸262と噛合っており、次にタイミングベルト外側201面が第二移動テーブルローラ282と噛合い、同じくタイミングベルト外側201面が第一移動テーブルローラ281と噛合い、元のようにタイミングベルト内側202が、第一モータ軸261と噛合うようにタイミングベルト20が掛け渡されている。 Next, the inner surface 202 of the timing belt is engaged with the second motor shaft 262, the outer surface 201 of the timing belt is then engaged with the second moving table roller 282, and the outer surface 201 of the timing belt is also the first moving table roller. The timing belt 20 is stretched so that the timing belt inner side 202 is meshed with the first motor shaft 261.

ここで第一モータ軸261の半径をＲ1、第一モータ軸262の半径をＲ2とする。第一モータ軸261の回転角度をＣ1、第一モータ軸262の回転角度をＣ2とする。第一モータ軸261の回転各速度をω1、第一モータ軸262の回転各速度をω2とする。
すると第一モータ軸261の巻き取り量をＬ1とすると、Ｌ1＝Ｒ1×Ｃ1で算出される。
また第二モータ軸262の巻き取り量をＬ2とすると、Ｌ2＝Ｒ2×Ｃ2で算出される。 Here, the radius of the first motor shaft 261 is R1, and the radius of the first motor shaft 262 is R2. The rotation angle of the first motor shaft 261 is C1, and the rotation angle of the first motor shaft 262 is C2. Each rotational speed of the first motor shaft 261 is ω1, and each rotational speed of the first motor shaft 262 is ω2.
Then, when the winding amount of the first motor shaft 261 is L1, L1 = R1 × C1 is calculated.
When the winding amount of the second motor shaft 262 is L2, L2 = R2 × C2.

Y＝（Ｌ１−Ｌ２）／２＝（Ｒ１×Ｃ１−Ｒ２×Ｃ２） ⇒ Ｙ＝（Ｌ１−Ｌ２）／２＝（Ｒ１×Ｃ１−Ｒ２×Ｃ２）／２。
Ｙ移動テーブル21の移動量をＹとすると、Ｙ＝(Ｌ1−Ｌ2)／2＝(Ｒ1×Ｃ1−Ｒ2×Ｃ2)／2で算出される。ここで回転テーブルローラ221の半径をＲ、回転テーブルローラ221の回転角度をＣとすれば、
Ｃ＝(Ｌ1＋Ｌ2)／2Ｒ＝(Ｒ1×Ｃ1＋Ｒ2×Ｃ2)／2Ｒで表される。 Y = (L1-L2) / 2 = (R1 * C1-R2 * C2) => Y = (L1-L2) / 2 = (R1 * C1-R2 * C2) / 2.
When the movement amount of the Y movement table 21 is Y, Y = (L1−L2) / 2 = (R1 × C1−R2 × C2) / 2. Here, if the radius of the rotary table roller 221 is R and the rotation angle of the rotary table roller 221 is C,
C = (L1 + L2) / 2R = (R1 × C1 + R2 × C2) / 2R.

更にＲ1＝Ｒ2＝ｒのときＹ移動テーブル21の移動量はＹ＝ｒ×(Ｃ1−Ｃ2)／2で算出され、
Ｃ＝ｒ×（Ｃ１／Ｃ２）／２Ｒ ⇒ Ｃ＝ｒ×（Ｃ１−Ｃ２）／２Ｒ
回転テーブルローラ221の回転角度はＣ＝ｒ×(Ｃ1／Ｃ2)／2Ｒで算出される。以上のように制御部2で算出解析されＹ移動テーブル21の移動量と回転テーブルローラ221の回転角度が制御される。 Further, when R1 = R2 = r, the movement amount of the Y movement table 21 is calculated by Y = r × (C1−C2) / 2.
C = r × (C1 / C2) / 2R ⇒ C = r × (C1-C2) / 2R
The rotation angle of the rotary table roller 221 is calculated by C = r × (C1 / C2) / 2R. As described above, the control unit 2 calculates and analyzes the movement amount of the Y movement table 21 and the rotation angle of the rotary table roller 221.

またＹ移動テーブル21は台板23の凸部232と係合してＹ方向に直線移動できる様になっている。またＹ移動テーブル21のほぼ中央に回転テーブル22が回転可能に取り付けられており、回転テーブルローラ221がタイミングベルト外側201面と噛合うことによりθ方向に回転するように構成されている。 The Y moving table 21 engages with the convex portion 232 of the base plate 23 so as to be linearly movable in the Y direction. In addition, a rotary table 22 is rotatably attached to substantially the center of the Y moving table 21, and the rotary table roller 221 is configured to rotate in the θ direction when meshed with the outer surface 201 of the timing belt.

以上のような構成で作られているのがトレイ位置決めテーブル４２である。図2のウエハ位置決めテーブル41の台板231上部もほぼ同様に構成されているが、トレイ位置決めテーブル42と異なる点は回転テーブル22が角型回転テーブル31のように作られている。 The tray positioning table 42 is made with the above configuration. The upper part of the base plate 231 of the wafer positioning table 41 in FIG. 2 is configured in substantially the same manner, except that the rotary table 22 is made like a square rotary table 31 except for the tray positioning table.

角型回転テーブル31にはピン311が突出しており上部のウエハリング押さえ33を上下動するように構成されている。ウエハリング32を装着する際はウエハリング押さえ３３が上昇しウエハリング32を挿入する隙間ができるが、挿入後はウエハリング押さえ33がＺ1方向に下降してウエハリング32を角型回転テーブル31に固定する構成になっている。
角型回転テーブル31の下部には回転テーブルローラ221が取り付けられている。 Pins 311 protrude from the square rotary table 31 and are configured to move the upper wafer ring presser 33 up and down. When the wafer ring 32 is mounted, the wafer ring presser 33 is raised and a gap for inserting the wafer ring 32 is formed, but after insertion, the wafer ring presser 33 is lowered in the Z1 direction and the wafer ring 32 is moved to the square rotary table 31. It is configured to be fixed.
A rotary table roller 221 is attached to the lower part of the square rotary table 31.

台板231の裏面にはＸ方向台板39の凸部393と係合するような凹部(図面上見えないので図示しない)が形成されており台板231はＸ方向に直線移動可能にＸ方向台板39に取り付けられている。
台板231がＸ方向に移動する際はモータ391を駆動させてねじ軸392を回転しねじ軸392に螺合している台板231のねじ軸受け(図示しない)が移動することによって台板231はＸ方向台板39のＸ方向に移動する構成になっている。 The back surface of the base plate 231 is formed with a concave portion (not shown in the drawing, not shown) that engages with the convex portion 393 of the X direction base plate 39, so that the base plate 231 can move linearly in the X direction. Attached to the base plate 39.
When the base plate 231 moves in the X direction, the motor 391 is driven to rotate the screw shaft 392 and a screw bearing (not shown) of the base plate 231 that is screwed to the screw shaft 392 moves, thereby causing the base plate 231 to move. Is configured to move in the X direction of the X direction base plate 39.

次にタイミングベルト20と第一第二台板モータ251,252によってＹ移動テーブル21のＹ方向への動きと、回転テーブル22のθ方向への動きについて説明する。
図3の(1)の様に第一台板モータ251がθ1方向に、第二台板モータ252がθ2方向に同一送り速度で駆動すると、Ｙ方向に張られた一番外側のタイミングベルト20がＹ2方向に送られ角型回転テーブル31がＹ1方向に移動する。 Next, the movement of the Y moving table 21 in the Y direction and the movement of the rotary table 22 in the θ direction by the timing belt 20 and the first second base plate motors 251 and 252 will be described.
When the first base plate motor 251 is driven in the θ1 direction and the second base plate motor 252 is driven in the θ2 direction at the same feed speed as shown in (1) of FIG. 3, the outermost timing belt 20 stretched in the Y direction. Is sent in the Y2 direction, and the rectangular rotary table 31 moves in the Y1 direction.

次に図3の(2)の様に第一台板モータ251がθ2方向に、第二台板モータ252がθ1方向に同一速度で駆動するとＹ方向に張られた一番外側のタイミングベルト20がＹ1方向に引かれ角型回転テーブル31がＹ2方向に移動する。 Next, as shown in (2) of FIG. 3, when the first base plate motor 251 is driven in the θ2 direction and the second base plate motor 252 is driven in the θ1 direction at the same speed, the outermost timing belt 20 stretched in the Y direction. Is pulled in the Y1 direction, and the square rotary table 31 moves in the Y2 direction.

図3の(3)の様に第一モータ251がθ2方向に、第二台板モータ252がθ2の方向になるように2つのモータが同一方向に同一速度で駆動すると、ベルトはθ2方向に送られるので、角型回転テーブル31はθ1の方向に回転する。
図3の(4)のように第一台板モータ251がθ1方向に、第二台板モータ252がθ1方向になるように２つのモータが同一方向に同一速度で駆動するとベルトはθ1方向に送られるので、角型回転テーブルはθ2方向に回転する。 When the two motors are driven in the same direction and at the same speed so that the first motor 251 is in the θ2 direction and the second base plate motor 252 is in the θ2 direction as shown in (3) of FIG. 3, the belt moves in the θ2 direction. As a result, the rectangular rotary table 31 rotates in the direction of θ1.
When the two motors are driven in the same direction and at the same speed so that the first base plate motor 251 is in the θ1 direction and the second base plate motor 252 is in the θ1 direction as shown in (4) of FIG. 3, the belt is in the θ1 direction. Since it is sent, the square rotary table rotates in the θ2 direction.

以上のような構成のテーブルを利用して、図4のようにウエハリング32をウエハ位置決めテーブル41に装着して、更にトレイ位置決めテーブル42にトレイ29を搭載してチップ移載機1に取り付けると、ウエハリング32はウエハ位置決めテーブル41によってＥＦ方向に移動することができ、第一カメラ44の真下に指定したチップ35を位置決めし、θ方向の向きを第一カメラ44の撮像した映像によって制御部２で解析して位置調整することができる。
その位置にヘッド43を移動して指定のチップ35を吸着保持して移送することができる。 Using the table configured as described above, when the wafer ring 32 is mounted on the wafer positioning table 41 as shown in FIG. 4 and the tray 29 is further mounted on the tray positioning table 42 and attached to the chip transfer machine 1. The wafer ring 32 can be moved in the EF direction by the wafer positioning table 41, positions the specified chip 35 directly below the first camera 44, and controls the direction of the θ direction by the image captured by the first camera 44. The position can be adjusted by analyzing in 2.
The head 43 can be moved to that position, and the designated chip 35 can be sucked and held and transferred.

同様にトレイ29はトレイ位置決めテーブル42によってＸ方向に移動することができ、位置決めすることができる。指定したトレイ29の上部を通過した第三のカメラ443の撮像した映像によってヘッド43のＦ方向の停止位置を調整しトレイ29のＥ方向とθ方向を制御部2によって調整することができる。 Similarly, the tray 29 can be moved in the X direction by the tray positioning table 42 and can be positioned. The stop position in the F direction of the head 43 can be adjusted by the image captured by the third camera 443 passing through the upper portion of the designated tray 29, and the E direction and θ direction of the tray 29 can be adjusted by the control unit 2.

ヘッド43はチップ35を吸着保持した後Ｆ1方向に移動して第二カメラ443でヘッド43を下から撮像しチップ35の状態を確認する。位置がずれている場合はトレイ位置決めテーブル42とヘッド43の停止位置およびトレイ29のθ方向を制御部２によって調整することで指定のトレイ29の指定位置にチップ35を収納する。 The head 43 sucks and holds the chip 35 and then moves in the F1 direction, and the second camera 443 images the head 43 from below to check the state of the chip 35. When the position is shifted, the control unit 2 adjusts the stop position of the tray positioning table 42 and the head 43 and the θ direction of the tray 29 to store the chip 35 at the specified position of the specified tray 29.

以上のような構成であれば、ヘッド部分にヘッド回転モータ83を搭載していないのでヘッド43近傍が軽量化され立ち上がり速度と停止速度そして移動速度を向上させることができ、タクト時間の短縮化を図り作業効率を高めることができる。 With the configuration as described above, since the head rotation motor 83 is not mounted on the head portion, the vicinity of the head 43 is reduced in weight, the rising speed, the stopping speed, and the moving speed can be improved, and the tact time can be shortened. Planning work efficiency can be improved.

ヘッド43近傍の配線ケーブルが少なくなりケーブルベアも小型にすることができるのでヘッド43によって繰り返し折り曲げられる配線の断線の危険性を少なくし、耐久性能を向上させ信頼性を高めることができる。このことにより、ヘッド43近傍に精密部品が入らないので安価で経済的に製作することができる。 Since the number of wiring cables in the vicinity of the head 43 is reduced and the cable bear can be reduced in size, the risk of disconnection of the wiring that is repeatedly bent by the head 43 can be reduced, durability can be improved, and reliability can be increased. As a result, precision parts do not enter the vicinity of the head 43, so that it can be manufactured inexpensively and economically.

トレイ位置決めテーブル42とウエハ位置決めテーブル41の上部はタイミングベルト20で駆動するので作業時の静粛性が高い。
また、回転テーブル22及び角型回転テーブル31もモータ91を設置しなくてすむので軽量化されると共に、配線する必要がなくなるので簡素化することができる。このことにより、繰り返し移動による断線の心配がなく耐久性を向上し長期間使用に対する信頼性を高めることができるようになったものである。 Since the upper portions of the tray positioning table 42 and the wafer positioning table 41 are driven by the timing belt 20, the quietness during operation is high.
Further, the rotary table 22 and the square rotary table 31 can be simplified because the motor 91 is not required to be installed, so that the weight is reduced and wiring is not necessary. As a result, there is no fear of disconnection due to repeated movement, and durability can be improved and reliability for long-term use can be improved.

第一第二台板モータ251,252は同じモータを使用することができるので、制御しやすく、制御部2のプログラミングが容易である。
また、一般的に、タイミングベルトを用いて、回転運動を直線運動に変換する場合、ベルトの駆動軸径により、直線運動の速度が決定される。この場合、ベルトの最小曲げ半径の制限で、駆動軸径をあまり小さくすることが出来ない。さらに、サーボモータ等の高速回転、低慣性の駆動源を用いると、直線運動の速度が速すぎ、ハンチング等の悪影響が発生しやすい。これを避けるために、減速機構を組み込むことが、しばしば行われるが、本機構では、すでに直線運動部が、タイミングベルトを介した１／２減速機構になっており、別途、減速機等の機械要素を組み込む必要がない。 Since the same motor can be used for the first and second base plate motors 251 and 252, it is easy to control and programming of the control unit 2 is easy.
In general, when a rotary motion is converted into a linear motion using a timing belt, the speed of the linear motion is determined by the drive shaft diameter of the belt. In this case, the drive shaft diameter cannot be made too small due to the limitation of the minimum bending radius of the belt. Furthermore, when a high-speed rotation and low-inertia drive source such as a servomotor is used, the speed of linear motion is too high and adverse effects such as hunting are likely to occur. In order to avoid this, a speed reduction mechanism is often incorporated, but in this mechanism, the linear motion part is already a 1/2 speed reduction mechanism via a timing belt, and a machine such as a speed reducer is separately provided. There is no need to include elements.

以上のように本発明は、タイミングベルトを第一第二モータ軸と第一第二台板ローラそして回転テーブルローラ及び第一第二移動テーブルローラに掛け渡すことにより、Ｙ移動テーブルをＹ方向に移動させると共に回転テーブルをθ方向に回転することができるようにした位置決め装置を提供するようにしたものである。構造を簡素化した装置を提供することを目的としたものである。
図１図2の発明品は回転テーブル上にモータ91等を設置する必要がないのでＹ移動テーブル21は軽量化することができる。更にモータ91に付属する配線ケーブル等を通すとき可動部にあたる部分の配線をまとめたり、断線や捩れの対策に使われるケーブルベア等を設置する必要がないので耐久性が向上し信頼性能を高めることができる。
また、図４のウエハ位置決めテーブル41は、図5の上は移動テーブル80のようにモータ91が取り付けられたＹテーブル95よりモータ分の重量を軽量化したＹ移動テーブル21になるので高速に移動することができるようになると共に、回転テーブル用の配線が不要になり、ケーブルベア等が発生する騒音もないので静粛性を高めることができる。
また、図6のようにヘッド82に回転モータ83を取り付けて回転機能を高速連損移動を知り返すヘッド82を複雑にする必要がなくなるので、チップ移載機８９においてはヘッド82を更に軽量化することができ高速に移動することができる。
θ方向の回転は全て図４のようにウエハ位置決めテーブル４１及びトレイ位置決めテーブル42で位置決めすることができるので、ヘッド43は単純化され、軽量化され、可動部の配線を最小限にすることができるので、高速化が可能になると共に耐久性を向上させることができようになる。
そして本発明においては全ての動作をタイミングベルト20で動作させるので螺合部が熱を持つことがなく潤滑が不要であると共に耳障りな音がなく静粛で軽量である。
モータケーブルなどがまとわりつき何かに引っかかって切断される心配も少なくなり、ケーブルベアも不要になり部品点数も少なくなり、また組み立て時の時間を短縮することができ、経済性も向上する。
Y移動テーブル２１が軽量化されたのでＹ方向へ移動時の立ち上がり速度と停止性能が向上し全体的に動作性能が更に良好になる。可動ケーブルがないので耐久性も向上し高速にすることができタクト時間を短縮することができる。
第一第二台板モータ251,252の容量を統一でき経済的であると共に、制御がやりやすい。Ｙ移動テーブル21はＹ方向に移動しながら回転テーブル22をθ方向に回転させることが可能であり、図5の従来例のような移動モータ94と回転モータ91を使用した場合とそん色ない動作が可能である。
また、２つのモータの合力で移動と回転ができるので駆動力があり重いものでも移動回転させることができる。
以上のような利点のある発明である。 As described above, the present invention extends the Y moving table in the Y direction by passing the timing belt over the first second motor shaft, the first second base plate roller, the rotating table roller, and the first second moving table roller. A positioning device is provided which is capable of moving and rotating the rotary table in the θ direction. The object is to provide a device with a simplified structure.
The invention of FIG. 1 and FIG. 2 does not require the motor 91 or the like to be installed on the rotary table, so the Y moving table 21 can be reduced in weight. Furthermore, it is not necessary to collect the wiring that corresponds to the movable part when passing the wiring cable attached to the motor 91, or to install a cable bear that is used for measures against disconnection or twisting, so that durability is improved and reliability performance is improved. Can do.
Further, the wafer positioning table 41 in FIG. 4 is moved at a high speed because the upper part of FIG. 5 is the Y moving table 21 that is lighter than the Y table 95 to which the motor 91 is attached, like the moving table 80 in FIG. As a result, the wiring for the rotary table is not required, and there is no noise generated by the cable bear and the silence can be improved.
Also, as shown in FIG. 6, it is not necessary to attach a rotary motor 83 to the head 82 so that the rotary function knows the high-speed continuous loss movement, so that the head 82 is further reduced in weight in the chip transfer machine 89. Can move at high speed.
Since all the rotations in the θ direction can be positioned by the wafer positioning table 41 and the tray positioning table 42 as shown in FIG. 4, the head 43 can be simplified and lightened, and the wiring of the movable part can be minimized. As a result, the speed can be increased and the durability can be improved.
In the present invention, since all the operations are performed by the timing belt 20, the screwed portion does not have heat, lubrication is unnecessary, and there is no annoying sound, and it is quiet and lightweight.
There is less concern that motor cables will get caught in something and get cut off, there will be no need for cable bearers, the number of parts will be reduced, the assembly time will be shortened, and the economy will be improved.
Since the Y moving table 21 has been reduced in weight, the rising speed and stopping performance when moving in the Y direction are improved, and the operation performance is further improved as a whole. Since there is no movable cable, durability can be improved and the speed can be increased, and the tact time can be shortened.
The capacity of the first and second base plate motors 251 and 252 can be unified, which is economical and easy to control. The Y moving table 21 can rotate the rotating table 22 in the θ direction while moving in the Y direction, which is the same operation as when using the moving motor 94 and the rotating motor 91 as in the conventional example of FIG. Is possible.
Further, since the movement and rotation can be performed by the combined force of the two motors, even a heavy object can be moved and rotated.
The invention has the advantages as described above.

本発明は、位置決め装置だけでなくヘッド部の移動や搬送装置の移動回転部分に応用することができる。

The present invention can be applied not only to the positioning device but also to the movement of the head portion and the moving and rotating portion of the transport device.

本発明の構成を示す斜視図で、回転テーブル22が円形をしておりその上にトレイ２９が載置されており、Ｙ方向とθ方向に移動可能なトレイ位置決めテーブル42を示す図である。FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of the present invention, and is a view showing a tray positioning table 42 in which a rotary table 22 has a circular shape and a tray 29 is placed thereon and is movable in the Y direction and the θ direction. 角型回転テーブル31で構成されるＸ方向Ｙ方向θ方向に移動可能なウエハ位置決めーテーブル41の斜視図である。4 is a perspective view of a wafer positioning table 41 that is configured by a square rotary table 31 and that can move in the X direction, the Y direction, and the θ direction. 第一第二モータ251,252の動きとＹ移動テーブルと角型回転テーブル31の連動を(1)〜(4)を用いて図示したものである。The movements of the first and second motors 251 and 252 and the interlocking of the Y moving table and the square rotary table 31 are illustrated using (1) to (4). トレイ位置決めテーブル42とウエハ位置決めテーブル41を設置したチップ移載機1の斜視図である。2 is a perspective view of a chip transfer machine 1 in which a tray positioning table 42 and a wafer positioning table 41 are installed. FIG. 従来のウエハ移動テーブル80の斜視図である。6 is a perspective view of a conventional wafer movement table 80. FIG. 従来のチップ移載機89の斜視図である。10 is a perspective view of a conventional chip transfer machine 89. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1
チップ移載機(本体)
2
制御部
20
タイミングベルト
201
タイミングベルト外側
202
タイミングベルト内側
21
Ｙ移動テーブル
22
回転テーブル
221 回転テーブルローラ
23
台板
231 台板(ウエハ位置決めテーブル用)
232 凸部
251
第一台板モータ
252
第二台板モータ
261
第一モータ軸
262
第二モータ軸
271
第一台板ローラ
272
第二台板ローラ
281
第一移動テーブルローラ
282
第二移動テーブルローラ
29
トレイ
31 角型回転テーブル
311 ピン
32 ウエハリング
33 ウエハリング押さえ
35 チップ
39 Ｘ方向台板
391 モータ
392 ねじ軸
393 凸部
41 ウエハ位置決めテーブル
42 トレイ位置決めテーブル
43 ヘッド
441 第一カメラ
442 第二カメラ
443 第三カメラ
80 ウエハ移動テーブル(従来例)
801 ウエハリングケース(従来例)
81 トレイ移動テーブル(従来例)
811 トレイ(従来例)
812 モータ(従来例)
813 ねじ軸(従来例)
82 ヘッド(従来例)
83 ヘッド回転モータ(従来例)
841 カメラ(従来例)
842 カメラ(従来例)
843 カメラ(従来例)
85 チップ(従来例)
90 ウエハリング(従来例)
91 モータ(従来例)
92 回転板(従来例)
93 ギャ(従来例)
94 モータ(従来例)
941 ねじ軸(従来例)
942 軸受け(従来例)
95 Ｙテーブル(従来例)
96 Ｘテーブル(従来例)
97 モータ(従来例)
971 ねじ軸(従来例)

1
Chip transfer machine (main unit)
2
Control unit
20
Timing belt
201
Timing belt outside
202
Timing belt inside
twenty one
Y moving table
twenty two
Rotating table
221 Rotating table roller
twenty three
Base plate
231 Base plate (for wafer positioning table)
232 Convex
251
First base plate motor
252
Second base plate motor
261
1st motor shaft
262
Second motor shaft
271
First base plate roller
272
Second base plate roller
281
First moving table roller
282
Second moving table roller
29
tray
31 Square rotary table
311 pin
32 Wafer ring
33 Wafer ring holder
35 chips
39 X direction base plate
391 motor
392 Screw shaft
393 Convex
41 Wafer positioning table
42 Tray positioning table
43 heads
441 first camera
442 Second camera
443 Third camera
80 Wafer movement table (conventional example)
801 Wafer ring case (conventional example)
81 Tray moving table (conventional example)
811 Tray (conventional example)
812 Motor (conventional example)
813 Screw shaft (conventional example)
82 heads (conventional example)
83 Head rotation motor (conventional example)
841 Camera (conventional example)
842 camera (conventional example)
843 Camera (conventional example)
85 chips (conventional example)
90 Wafer ring (conventional example)
91 Motor (conventional example)
92 Rotating plate (conventional example)
93 ga (conventional example)
94 Motor (conventional example)
941 Screw shaft (conventional example)
942 Bearing (conventional example)
95 Y table (conventional example)
96 X table (conventional example)
97 Motor (conventional example)
971 Screw shaft (conventional example)

Claims

台板上の移動テーブルを一方向にのみ直線移動させると共に、移動テーブル上の回転テーブルを回転させることにより、前記台板上の位置決めをする位置決め装置であって、
前記台板の一方の辺の両側に固定された第一と第二のモータと、
前記モータと同一台板上の他辺の両側に固定された第一と第二の台板用ローラと、
前記移動テーブルの前記台板の一方の辺と同一側の前記移動テーブルの一方の辺の両側に固定された第一と第二の移動テーブル用ローラと、
前記移動テーブル上の回転テーブルを回転させる回転ローラと、
前記第一と第二のモータの軸と、前記第一と第二の台板用ローラと、前記第一と第二の移動テーブル用ローラと、前記回転ローラとを掛け渡したタイミングベルトと、
前記第一と第二のモータを回転制御して前記タイミングベルトを回し前記移動テーブル上の回転テーブルを一方向への移動及び回転させる制御手段とを備え、
前記制御手段は前記第一と第二のモータを正逆方向同速に回転させることにより、前記移動テーブルを前記一方向に直線移動させ、前記第一と第二のモータを同一方向に同速で回転させることにより前記回転テーブルを回転させるように制御することを特徴とする位置決め装置。

A positioning device for positioning on the base plate by linearly moving the moving table on the base plate in only one direction and rotating the rotary table on the moving table,
First and second motors fixed to both sides of one side of the base plate;
First and second base plate rollers fixed to both sides of the same base plate as the motor;
First and second moving table rollers fixed to both sides of one side of the moving table on the same side as one side of the base plate of the moving table;
A rotating roller for rotating a rotating table on the moving table ;
A timing belt that spans the shafts of the first and second motors, the first and second base plate rollers, the first and second moving table rollers, and the rotating roller;
Control means for controlling the rotation of the first and second motors and rotating the timing belt to move and rotate the rotary table on the moving table in one direction;
The control means rotates the first and second motors at the same speed in the forward and reverse directions, thereby linearly moving the moving table in the one direction, and moving the first and second motors in the same direction at the same speed. A positioning apparatus, wherein the rotary table is controlled to rotate by rotating the rotary table.

前記タイミングベルトは各回転部を、前記第一のモータ軸、前記第一の台板用ローラ、前記回転ローラ、前記第二の台板用ローラ、前記第二のモータ軸、前記第二の移動テーブル用ローラ、前記第一の移動テーブル用ローラの順に掛け渡すようにしたことを特徴とする請求項1記載の位置決め装置。

The timing belt moves each rotating part to the first motor shaft, the first base plate roller, the rotary roller, the second base plate roller, the second motor shaft, and the second movement. 2. The positioning apparatus according to claim 1, wherein the table roller and the first moving table roller are arranged in this order.

台板上の移動テーブルを一方向にのみ直線移動させると共に、移動テーブル上の回転テーブルを回転させることにより、前記台板上の位置決めをする位置決め装置であって、
前記台板の一方の辺の両側に固定された第一と第二のモータと、
前記モータと同一台板上の他辺の両側に固定された第一と第二の台板用ローラと、
前記移動テーブルの前記台板の一方の辺と同一側の前記移動テーブルの一方の辺の両側に固定された第一と第二の移動テーブル用ローラと、
前記移動テーブル上の回転テーブルを回転させる回転ローラと、
前記第一と第二のモータの軸と、前記第一と第二の台板用ローラと、前記第一と第二の移動テーブル用ローラと、前記回転ローラとを掛け渡したタイミングベルトと、
前記第一と第二のモータを回転制御して前記タイミングベルトを回し前記移動テーブル上の回転テーブルを一方向への移動及び回転させる制御手段とを備えた位置決め装置の回転テーブルの位置決め方法であって、
前記第一と第二のモータを正逆方向同速に回転させることにより、前記移動テーブルを前記一方向に直線移動させ、前記第一と第二のモータを同一方向に同速で回転させることにより前記回転テーブルを回転させることにより前記回転テーブルを位置決めする位置決め方法。

A positioning device for positioning on the base plate by linearly moving the moving table on the base plate in only one direction and rotating the rotary table on the moving table,
First and second motors fixed to both sides of one side of the base plate;
First and second base plate rollers fixed to both sides of the same base plate as the motor;
First and second moving table rollers fixed to both sides of one side of the moving table on the same side as one side of the base plate of the moving table;
A rotating roller for rotating a rotating table on the moving table ;
A timing belt that spans the shafts of the first and second motors, the first and second base plate rollers, the first and second moving table rollers, and the rotating roller;
A rotary table positioning method for a positioning apparatus, comprising: control means for controlling rotation of the first and second motors and rotating the timing belt to move and rotate the rotary table on the moving table in one direction. And
By rotating the first and second motors at the same speed in the forward and reverse directions, the moving table is linearly moved in the one direction, and the first and second motors are rotated at the same speed in the same direction. A positioning method for positioning the rotary table by rotating the rotary table by the method.